專利名稱：一種化學(xué)液分配系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及化學(xué)液分配設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種不同配比化學(xué)液分配系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
集成電路通常采用半導(dǎo)體晶片來(lái)制造，而這種晶片通常是易脆材料制作的，在制作集成電路元器件期間，這些晶片通常要經(jīng)過(guò)若干處理步驟，在處理過(guò)程中晶片會(huì)暴露于或者承受各種不同配比的溶液的處理，以達(dá)到特定效果，而這些不同配比的化學(xué)液需經(jīng)過(guò)一個(gè)分配系統(tǒng)輸送至工作機(jī)臺(tái)。如果化學(xué)液分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)的不合理或者不完善，則會(huì)導(dǎo)致設(shè)備的穩(wěn)定性及生產(chǎn)效率降低?，F(xiàn)有的不同配比化學(xué)液分配系統(tǒng)如圖1所示，此分配系統(tǒng)中化學(xué)液A從第一化學(xué)液通路流入，由第一氣動(dòng)閥控制進(jìn)入緩存罐中，再由第二氣動(dòng)閥和計(jì)量泵來(lái)控制其流量，而化學(xué)液B則由廠家供應(yīng)，從第二化學(xué)液通路流入，利用手閥、第三氣動(dòng)閥、及節(jié)流器來(lái)控制其流量，使其進(jìn)入在線混合單元中與化學(xué)液A進(jìn)行混合，最后輸送到機(jī)臺(tái)。此種設(shè)計(jì)中，由于廠端直接供液，壓力波動(dòng)較大，化學(xué)液B的流量受其影響較大；并且只有一套分配系統(tǒng)，對(duì)于不同配比的化學(xué)液來(lái)說(shuō)，系統(tǒng)管路中的殘留液體會(huì)影響不同配比時(shí)液體的配比比例，使液體配比比例不夠精確，從而影響系統(tǒng)工作的穩(wěn)定性。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型主要解決現(xiàn)有的不同配比化學(xué)液分配系統(tǒng)在工藝上存在流量波動(dòng)大、化學(xué)液配比比例受系統(tǒng)管路中殘留液體影響大的技術(shù)問(wèn)題。
·[0005]本實(shí)用新型提供一種化學(xué)液分配系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括分別與機(jī)臺(tái)相連的交替工作的兩套相同的子系統(tǒng)，所述子系統(tǒng)包括與在線混合單元相連的第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路，其中，第一化學(xué)液通路包括依次連接的:第一氣動(dòng)閥,用于控制化學(xué)液流入；第一緩沖罐，用于消除廠端供液壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響；第二氣動(dòng)閥，用于配合所述第一緩沖罐補(bǔ)液、排液；計(jì)量泵，用于控制化學(xué)液流量；其中，第二化學(xué)液通路包括依次連接的:第三氣動(dòng)閥，用于控制化學(xué)液流入；第二緩沖罐，用于消除廠端供液壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響；第四氣動(dòng)閥，用于配合所述第二緩沖罐補(bǔ)液、排液；隔膜泵，用于控制化學(xué)液流量；脈沖消除裝置，用于消除流量脈沖，使流量穩(wěn)定；其中，在線混合單元用于將所述第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路流出的化學(xué)液進(jìn)行混合后傳輸至機(jī)臺(tái)。優(yōu)選的，所述第一緩沖罐和第二緩沖罐的底部、中部和上方各有一個(gè)液位傳感器，當(dāng)?shù)撞恳何粋鞲衅靼l(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐內(nèi)的液體已經(jīng)排放完畢；當(dāng)中部液位傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐內(nèi)的液體到達(dá)預(yù)定位置；當(dāng)上方液位傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐補(bǔ)液完成。優(yōu)選的，所述第二化學(xué)液通路適用于廠端直接供液。本實(shí)用新型可以避免由于廠端供液時(shí)壓力波動(dòng)對(duì)化學(xué)液流量的影響，同時(shí)雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)提高了設(shè)備的穩(wěn)定性及配比比例精準(zhǔn)度，易于實(shí)現(xiàn)。

圖1是現(xiàn)有的化學(xué)液分配系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖2是本實(shí)用新型系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。圖2為本實(shí)用新型系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)液分配系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括分別與機(jī)臺(tái)相連的交替工作的兩套相同的子系統(tǒng)，所述子系統(tǒng)包括與在線混合單元相連的第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路，其中，第一化學(xué)液通路包括依次連接的:第一氣動(dòng) 閥,用于控制化學(xué)液流入；第一緩沖罐，用于消除廠端供液壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響；第二氣動(dòng)閥，用于配合所述第一緩沖罐補(bǔ)液、排液；計(jì)量泵，用于控制化學(xué)液流量；其中，第二化學(xué)液通路包括依次連接的: 第三氣動(dòng)閥，用于控制化學(xué)液流入；第二緩沖罐，用于消除廠端供液壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響；第四氣動(dòng)閥，用于配合所述第二緩沖罐補(bǔ)液、排液；隔膜泵，用于控制化學(xué)液流量；脈沖消除裝置，用于消除流量脈沖，使流量穩(wěn)定；其中，在線混合單元用于將所述第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路流出的化學(xué)液進(jìn)行混合后傳輸至機(jī)臺(tái)。優(yōu)選的，所述第一緩沖罐和第二緩沖罐的底部、中部和上方各有一個(gè)液位傳感器，當(dāng)?shù)撞恳何粋鞲衅靼l(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐內(nèi)的液體已經(jīng)排放完畢；當(dāng)中部液位傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐內(nèi)的液體到達(dá)預(yù)定位置；當(dāng)上方液位傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐補(bǔ)液完成。優(yōu)選的，所述第二化學(xué)液通路適用于廠端直接供液。本實(shí)用新型分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)為兩套功能相同的系統(tǒng)，第一化學(xué)液通路中，第一緩沖罐用來(lái)消除廠端供液壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響，并且用第二氣動(dòng)閥及計(jì)量泵來(lái)控制其流量，使得該通路的化學(xué)液以小流量進(jìn)入在線混合單元與第二化學(xué)液通路的化學(xué)液進(jìn)行混合，最后輸送至機(jī)臺(tái)。第一化學(xué)液通路中的第一緩沖罐的底部、中間位置和上方共有三個(gè)液位傳感器，用于向系統(tǒng)反饋緩沖罐中液體體積的信息。當(dāng)?shù)撞總鞲衅靼l(fā)出信號(hào)時(shí)，說(shuō)明緩沖罐內(nèi)的液體已經(jīng)排放完畢，若此時(shí)工藝需要一定液體，可打開(kāi)前面的第一氣動(dòng)閥，關(guān)閉后面的第二氣動(dòng)閥，對(duì)緩沖罐進(jìn)行補(bǔ)液；當(dāng)中間的傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，說(shuō)明緩沖罐內(nèi)的液體到達(dá)一定位置；當(dāng)最上面的傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，說(shuō)明補(bǔ)液完成需關(guān)閉前面的第一氣動(dòng)閥；第一化學(xué)液通路的化學(xué)液用量比較小，可用計(jì)量泵來(lái)控制其流量，其前面安裝的第二氣動(dòng)閥用來(lái)配合其工作，當(dāng)計(jì)量泵工作時(shí)第二氣動(dòng)閥打開(kāi)，計(jì)量泵停止時(shí)第二氣動(dòng)閥關(guān)閉。第二化學(xué)液通路與第一化學(xué)液通路相比，其前面部分一樣，也在其中加入一個(gè)第二緩沖罐來(lái)消除廠端壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響，只是液泵為普通氣動(dòng)隔膜泵并且在其后加裝一個(gè)脈沖消除裝置，這是由于一般情況下第二化學(xué)液通路的化學(xué)液用量較大，故此處可用氣動(dòng)隔膜泵和脈沖消除裝置來(lái)控制其流量，安裝脈沖消除裝置是為了消除氣動(dòng)隔膜泵的流量脈沖使流量穩(wěn)定，然后使化學(xué)液流入在線混合單元，最后輸送至機(jī)臺(tái)。同時(shí)設(shè)計(jì)兩套一樣的分配系統(tǒng)，當(dāng)化學(xué)液配比需要改變時(shí)可以用另一套，此系統(tǒng)管路中無(wú)化學(xué)液的殘留，不會(huì)對(duì)配比精度造成影響，并且兩套系統(tǒng)可以提高工作的穩(wěn)定性。
具體實(shí)施過(guò)程如下:在第一化學(xué)液通路中，化學(xué)液經(jīng)過(guò)第一氣動(dòng)閥進(jìn)入第一緩沖罐中，第一緩沖罐上的三個(gè)液位傳感器反饋其中液體體積的信息，以提示是否對(duì)緩沖罐進(jìn)行補(bǔ)液，同時(shí)可以利用氣動(dòng)閥的開(kāi)閉來(lái)配合其補(bǔ)液、排液。由于第一化學(xué)液通路中的化學(xué)液用量較小，故用氣動(dòng)閥和計(jì)量泵來(lái)控制其流量的大小，使其進(jìn)入在線混合單元與另一通路的化學(xué)液進(jìn)行混合。在化學(xué)液分配系統(tǒng)中，第二化學(xué)液通路中的化學(xué)液由廠端供應(yīng)，由第三氣動(dòng)閥進(jìn)入第二緩沖罐中，來(lái)避免廠端壓力波動(dòng)造成的影響，然后通過(guò)第四氣動(dòng)閥、氣動(dòng)隔膜泵、脈沖消除裝置來(lái)控制液體流入混合單元中與第一化學(xué)液通路中的化學(xué)液進(jìn)行配比混合。其中氣動(dòng)閥的打開(kāi)與關(guān)閉由緩沖罐上的液位傳感器反饋的信號(hào)控制。若第二緩沖罐的底部傳感器有信號(hào)反饋，則緩沖罐內(nèi)化學(xué)液已用完，可以對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)液，第三氣動(dòng)閥打開(kāi)，第四氣動(dòng)閥關(guān)閉；當(dāng)頂部傳感器有信號(hào)反饋時(shí)，說(shuō)明緩沖罐內(nèi)液體已滿，此時(shí)第三氣動(dòng)閥關(guān)閉。當(dāng)工藝需要液體時(shí)，第四氣動(dòng)閥打開(kāi)，配合氣動(dòng)隔膜泵控制其流量，使其以穩(wěn)定的流量進(jìn)入在線混合裝置，最后輸送至機(jī)臺(tái)。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)液分配系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括分別與機(jī)臺(tái)相連的交替工作的兩套相同的子系統(tǒng)，所述子系統(tǒng)包括與在線混合單元相連的第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路， 其中，第一化學(xué)液通路包括依次連接的: 第一氣動(dòng)閥，用于控制化學(xué)液流入； 第一緩沖罐，用于消除廠端供液壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響； 第二氣動(dòng)閥，用于配合所述第一緩沖罐補(bǔ)液、排液； 計(jì)量泵，用于控制化學(xué)液流量； 其中，第二化學(xué)液通路包括依次連接的: 第三氣動(dòng)閥，用于控制化學(xué)液流入； 第二緩沖罐，用于消除廠端供液壓力波動(dòng)對(duì)流量的影響； 第四氣動(dòng)閥，用于配合所述第二緩沖罐補(bǔ)液、排液； 隔膜泵，用于控制化學(xué)液流量； 脈沖消除裝置，用于消除流量脈沖，使流量穩(wěn)定； 其中，在線混合單元用于將所述第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路流出的化學(xué)液進(jìn)行混合后傳輸至機(jī)臺(tái)。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一緩沖罐和第二緩沖罐的底部、中部和上方各有一個(gè)液位傳感器，當(dāng)?shù)撞恳何粋鞲衅靼l(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐內(nèi)的液體已經(jīng)排放完畢；當(dāng)中部液位傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐內(nèi)的液體到達(dá)預(yù)定位置；當(dāng)上方液位傳感器發(fā)出信號(hào)時(shí)，表明相應(yīng)的緩沖罐補(bǔ)液完成。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第二化學(xué)液通路適用于廠端直接供液。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種化學(xué)液分配系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括分別與機(jī)臺(tái)相連的交替工作的兩套相同的子系統(tǒng)，所述子系統(tǒng)包括與在線混合單元相連的第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路，其中第一化學(xué)液通路包括依次連接的第一氣動(dòng)閥、第一緩沖罐、第二氣動(dòng)閥和計(jì)量泵，其中第二化學(xué)液通路包括依次連接的第三氣動(dòng)閥、第二緩沖罐、第四氣動(dòng)閥、隔膜泵和脈沖消除裝置，其中在線混合單元用于將所述第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路流出的化學(xué)液進(jìn)行混合后傳輸至機(jī)臺(tái)。本實(shí)用新型可以避免由于廠端供液時(shí)壓力波動(dòng)對(duì)化學(xué)液流量的影響，同時(shí)雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)提高了設(shè)備的穩(wěn)定性及配比比例精準(zhǔn)度，易于實(shí)現(xiàn)。
文檔編號(hào)F17D3/01GK203131430SQ20132005757
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月31日
發(fā)明者周傳霞, 劉福生, 何金群, 裴立坤 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司