專利名稱：危險氣體安全輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種危險氣體安全輸送系統(tǒng)，特別是涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的安全可靠且實時監(jiān)控危險氣體濃度的危險氣體安全輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
工業(yè)加工和制造應(yīng)用中需要用到毒性較高的流體(見美國專利7905247)。這些應(yīng)用中有一類應(yīng)用就是半導(dǎo)體材料的加工，在半導(dǎo)體材料的加工中需要保證毒性較高的氫離子氣體或者齒素氣體(hydridic or halidic gases)的安全儲存和處理。這些氣體包括例如硅烷、鍺烷、氨氣、磷化氫、砷化氫、銻化氫、硫化氫、硒化氫、碲化氫、三氟化磷和五氟化砷等其他鹵素化合物。出于毒性和安全的考慮，在工業(yè)加工設(shè)備中必須小心謹(jǐn)慎地儲存和處理這些氣體。半導(dǎo)體工業(yè)中特別依賴在離子注入中作為源砷(As)、磷(P)、硼(B)和硅
(Si)的氣態(tài)砷化氫(AsH3)、磷化氫(PH3)、三氟化硼(BF3)和四氟化硅。通常離子注入系統(tǒng)采用儲存于傳送容器(delivery vessel)中的壓強(qiáng)為800psig (磅/平方英寸)的砷化氫和磷化氫的稀釋混合物以及壓強(qiáng)為1500psig的純凈氣體，該純凈氣體例如三氟化硼和四氟化硅。在半導(dǎo)體工業(yè)中，由于這些氣體具有較強(qiáng)的毒性和較高的壓強(qiáng)，它們的使用、運(yùn)輸和儲存存在較大的安全顧慮。出于不同安全上的顧慮，現(xiàn)有技術(shù)中已有一些系統(tǒng)被開發(fā)以用于在負(fù)壓條件下將這些氫離子氣體或者鹵素氣體傳送至離子注入裝置。例如，ATMI，Inc.的一化學(xué)系統(tǒng)SDS 涉及在一壓縮氣瓶中填充物理吸附材料(活性炭)并可逆地將該摻雜氣體吸附至該材料上。解吸附過程涉及在該吸附材料/吸附柱上作用真空或高溫。實際上，離子注入機(jī)中的真空是用于從該固相吸附劑中釋放該氣體的。該SDS (Safe Delivery System,安全傳送系統(tǒng))技術(shù)存在以下局限1)由于該吸附材料具有一有限的裝載容量，由此限制了在一給定尺寸氣瓶中的產(chǎn)品的量；2)將該氣瓶包裹(cylinder package)加熱可以觸發(fā)該解吸附過程，當(dāng)該氣瓶暴露在高于70華氏度的溫度下時，會導(dǎo)致該氣瓶達(dá)到了大氣壓強(qiáng)和超大氣壓強(qiáng)并且在大氣壓強(qiáng)和超大氣壓強(qiáng)下傳送氣體，而這一溫度在氣瓶倉庫中和一離子注入裝置中是很常見的；3)由于其他材料/氣體在該吸附材料上的吸附/解吸附會影響傳送至該氣瓶上的氣體的純度；4)氣瓶的利用率在很大程度上被作用于該包裹上的真空深度所影響，例如往往在該包裹中還有相當(dāng)一部分產(chǎn)品的時候該氣瓶就被替換了 ；5)吸附劑的損耗可在該氣體傳送系統(tǒng)造成微粒污染。此外，美國專利Nos. 6，089，027和6，101，816均涉及一流體儲存和分配系統(tǒng)，該系
統(tǒng)包括一容器，該容器用于維持一理想壓強(qiáng)。該容器包括一壓力調(diào)節(jié)器，例如一單級調(diào)節(jié)器或多級調(diào)節(jié)器，該壓力調(diào)節(jié)器與該容器的一接口相連并且被設(shè)置為一預(yù)設(shè)壓力。一分配組件被設(shè)置于可與該調(diào)節(jié)器氣流相通，該分配組件例如包括一流控制裝置，該流控制裝置例如一閥門，該閥門的開啟影響了氣體/蒸汽自該容器的分配。該容器中的流體可以由在一般溫度(例如環(huán)境溫度(室溫))、在超過其液化壓強(qiáng)的一壓強(qiáng)下被約束于該容器中的液體構(gòu)成。[0005]美國專利No. 6，857，447B2公開了一氣體分配裝置，其中源容器包含了壓強(qiáng)在20psig-2, OOOpsig之間的氣體。該裝置需要一較高壓強(qiáng)的氣瓶，該氣瓶具有一個較大的頸部開口以容納在流體排出路徑上連續(xù)排列的兩個壓力調(diào)節(jié)器。位于入口氣體端的該第一調(diào)節(jié)器將壓強(qiáng)從IOOOpsig (或者當(dāng)時該容器中的實際壓強(qiáng))降至lOOpsig，而該第二調(diào)節(jié)器將壓強(qiáng)從IOOpsig降至負(fù)壓。美國專利No. 5，937，895致力于研究具有一分配閥和一流體限制裝置的流體儲存和分配容器以提供一失效保護(hù)的系統(tǒng)來防止流體從一加壓氣瓶或氣罐的危險泄露。美國專利Nos. 6，007，609 and 6，045，115公開了沿著流體流動路徑放置的限流器，并且該限流器提供了細(xì)長的開口以在該分配閥失靈的時候最小化有毒氣體從壓縮氣瓶的泄露。在后的三篇文獻(xiàn)提供了一負(fù)壓傳送系統(tǒng)，其中褶皺盒位于一栓/提升閥組件對于通過一閥的氣體流的下游。另外，現(xiàn)有技術(shù)中還有一種“瓶中瓶”(bottle in bottle)的結(jié)構(gòu)來為毒性較強(qiáng)的高壓氣體提供安全保障，即將該危險氣體氣瓶置于另一密封性良好的氣瓶中，倘若該危險氣體氣瓶泄露，泄露的氣體也可被限制于其外部的氣瓶中。然而，上述提及的裝置大都沒有高壓端的漏氣及自動保護(hù)措施，所以無法最有效防止危險氣體泄露所導(dǎo)致的危害，并且具有較為復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和精細(xì)加工，其造價也都不菲。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中涉及危險氣體的使用安全性不高的缺陷，加設(shè)了高壓端的漏氣檢測裝置和氣源的關(guān)閉裝置，并提供一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、安全性較高的危險氣體安全輸送系統(tǒng)。本實用新型是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題的一種危險氣體安全輸送系統(tǒng)，其包括一密封柜，該密封柜中置有至少一個危險氣體鋼瓶，其特點在于，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括—位于該密封柜外部的危險氣體輸送線，該危險氣體輸送線用于將該危險氣體輸出至一危險氣體的使用端；與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的輸送管道，該輸送管道連接于該危險氣體鋼瓶與該危險氣體輸送線之間，用于輸送該危險氣體；與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的減壓閥，該減壓閥連接于該危險氣體鋼瓶的輸出端與該輸送管道的輸入端之間，用于將該危險氣體鋼瓶輸出的危險氣體的壓強(qiáng)減小至小于大氣壓強(qiáng)。在本實用新型所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng)中，在減壓閥的作用下，在每個輸送管道中輸送的危險氣體的壓強(qiáng)已經(jīng)降至負(fù)壓(即小于大氣壓強(qiáng)的壓強(qiáng))，也就是說，在整個系統(tǒng)中，除了該危險氣體鋼瓶中的氣體以外，其余的危險氣體傳輸過程均在負(fù)壓下進(jìn)行，由此即使該輸送管道產(chǎn)生氣體泄露，該密封柜中也不會發(fā)生任何危險氣體的噴射現(xiàn)象，這樣大大提高了整個系統(tǒng)的安全性。同時，由于多個輸送管道共用該危險氣體輸送線，也精簡了整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。本實用新型中所述的危險氣體例如PH3、AsH3、BF3> GeF4, NF6, SiH4, B2H6等所有的有毒和易爆氣體或液體(液體在一定的低壓能氣化)，它們常用于半導(dǎo)體、太陽能、LED (發(fā)光二級管)和平面顯示的制程生產(chǎn)線上。[0016]優(yōu)選地,該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一監(jiān)控裝置和與每個危險氣體鋼瓶
對應(yīng)的第一閥門，該第一閥門設(shè)置于該危險氣體鋼瓶的輸出端與該減壓閥之間，其中，該監(jiān)控裝置用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到一濃度閾值時關(guān)閉每個第
一閥門。優(yōu)選地，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第一閥門。由于設(shè)置了監(jiān)控裝置，使得用戶得以隨時獲知該密封柜中該危險氣體的濃度和/或壓強(qiáng)，以便及時應(yīng)對可能發(fā)生的情況。另外，第一閥門的設(shè)置又進(jìn)一步增加了安全系數(shù)，在危險氣體發(fā)生泄露時，該監(jiān)控裝置與第一閥門的自動聯(lián)動控制不僅簡化了用戶的操作，更重要的是及時阻止了危險氣體的蔓延，為后續(xù)處理贏得了更多的處理時間。優(yōu)選地，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的第二閥門，該第二閥門設(shè)置于該危險氣體鋼瓶所對應(yīng)的輸送管道的輸出端，其中，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到該濃度閾值時關(guān)閉每個第二閥門。該第二閥門的位置只要位于輸送管道的輸出端即可，可以在該密封柜的內(nèi)部，亦可在該密封柜的外部(即靠近該危險氣體輸送線)。或者，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的第二閥門，該第二閥門設(shè)置于該危險氣體鋼瓶所對應(yīng)的輸送管道的輸出端，其中，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到該濃度閾值時提示用戶關(guān)閉每個第二閥門。例如，該第二閥門位于該密封柜外部，當(dāng)監(jiān)控裝置探測到有危險氣體泄露時，可以通過例如聲光提示來提示用戶手動關(guān)閉該第二閥門(提示可以通過一提示單元來實現(xiàn)，該提示單元可以集成于該監(jiān)控裝置之中，亦可以單獨(dú)設(shè)置)。優(yōu)選地，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第二閥門?；蛘撸摫O(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時提示用戶關(guān)閉每個第二閥門。該第二閥門的設(shè)置有效阻止了危險氣體向外部的泄露，進(jìn)一步增加了安全系數(shù)。優(yōu)選地，該監(jiān)控裝置還包括一傳感器模組，用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度和/或探測該密封柜中的壓強(qiáng)；一控制裝置，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第一閥門，和/或，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第二閥門。例如，該傳感器模組可以包括壓力傳感器。優(yōu)選地，該第一閥門是由壓縮空氣驅(qū)動的或者該第一閥門是電磁驅(qū)動的，該第二閥門是由壓縮空氣驅(qū)動的。當(dāng)然，在監(jiān)控裝置探測到濃度達(dá)到該濃度閾值和/或壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時，也可通知用戶以使用戶手動關(guān)閉該第二閥門，即在這種情況下，該第二閥門也可以為機(jī)械閥門，手動控制其開啟與關(guān)閉。優(yōu)選地，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一抽氣裝置，用于將該密封柜中的氣體抽離該密封柜直至該濃度小于該濃度閾值和/或該壓強(qiáng)小于該壓強(qiáng)閾值。[0030]在該危險氣體安全輸送系統(tǒng)中，除了上述安全措施之外，在危險氣體發(fā)生泄露之后，除卻阻止危險氣體繼續(xù)泄露之外，為了便于維修人員的后續(xù)處理，保證維修人員的操作安全，還可以采用該抽氣裝置盡可能減少該密封柜中殘留的危險氣體。優(yōu)選地,該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一充氣裝置，用于將安全氣體充入該密封柜中。該安全氣體可以為氮?dú)狻Ｍㄟ^該充氣裝置向該密封柜中填充安全氣體，以保證維修人員的操作安全。當(dāng)然，該充氣裝置和該抽氣裝置可以結(jié)合使用，先利用抽氣裝置抽去密封柜中的大部分氣體，再填充氮?dú)猓笤俅卫迷摮闅庋b置抽去該密封柜中氮?dú)夂臀ｋU氣體的混合氣體，多次執(zhí)行上述操作，以將該密封柜中的危險氣體的量降低，保證了維修人員的操作安全。優(yōu)選地，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一本地報警裝置，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時實現(xiàn)本地報警，和/或，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一遠(yuǎn)程報警裝置，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時生成告警信息并將該告警信息發(fā)送給用戶以實現(xiàn)遠(yuǎn)程報警。通過上述報警裝置，可以使用戶及時獲知危險氣體的泄露狀況，及時做出有效處理。本實用新型的積極進(jìn)步效果在于1、由于該減壓閥連接于該危險氣體鋼瓶的輸出端與該輸送管道的輸入端之間，這樣即使危險氣體發(fā)生泄露，也不會產(chǎn)生噴射現(xiàn)象。2、整個系統(tǒng)中包括了監(jiān)控裝置，在危險氣體發(fā)生泄露后能及時關(guān)閉各個閥門，阻止了危險氣體的蔓延。3、抽氣裝置和充氣裝置的引入可在維修人員打開該密封柜檢查泄露原因前將該密封柜中的危險氣體降低至一安全范圍內(nèi)，保證了維修人員的操作安全。4、本地報警裝置和/或遠(yuǎn)程報警裝置的設(shè)置使得用戶得以及時獲知密封柜中危險氣體的濃度、壓強(qiáng)狀況，以便及時作出有效處理，避免事態(tài)進(jìn)一步發(fā)展。

圖1為本實用新型實施例1的危險氣體安全輸送系統(tǒng)的示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖給出本實用新型較佳實施例，以詳細(xì)說明本實用新型的技術(shù)方案。實施例1參考圖1，本實施例所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng)，其包括一密封柜1，該密封柜I中置有至少一個危險氣體鋼瓶11，圖1中以兩個危險氣體鋼瓶為例，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括—位于該密封柜外部的危險氣體輸送線2,該危險氣體輸送線2用于將該危險氣體輸出至一危險氣體的使用端；與每個危險氣體鋼瓶11 一一對應(yīng)的輸送管道3，該輸送管道3連接于該危險氣體鋼瓶11與該危險氣體輸送線2之間，用于輸送該危險氣體；[0046]與每個危險氣體鋼瓶11 一一對應(yīng)的減壓閥12，該減壓閥12連接于該危險氣體鋼瓶11的輸出端與該輸送管道3的輸入端之間,用于將該危險氣體鋼瓶11輸出的危險氣體的壓強(qiáng)減小至小于大氣壓強(qiáng)?？梢钥闯?，在減壓閥的作用下，在每個輸送管道中輸送的危險氣體的壓強(qiáng)已經(jīng)降至負(fù)壓(即小于大氣壓強(qiáng)的壓強(qiáng))，也就是說，在整個系統(tǒng)中，除了該危險氣體鋼瓶中的氣體以外，其余的危險氣體傳輸過程均在負(fù)壓下進(jìn)行，由此即使該輸送管道產(chǎn)生氣體泄露，該密封柜I中也不會發(fā)生任何危險氣體的噴射現(xiàn)象，這樣大大提高了整個系統(tǒng)的安全性。同時，由于多個輸送管道3共用該危險氣體輸送線2，也精簡了整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。除此之外，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一監(jiān)控裝置(圖中未示出)和與每個危險氣體鋼瓶 對應(yīng)的第一閥門13,該第一閥門13設(shè)置于該危險氣體鋼瓶11的輸出端與該減壓閥12之間，其中，該監(jiān)控裝置用于探測該密封柜I中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到一濃度閾值時關(guān)閉每個第一閥門13。并且，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第一閥門13。具體來說，該監(jiān)控裝置還包括一傳感器模組，用于探測該密封柜I中該危險氣體的濃度和/或探測該密封柜I中的壓強(qiáng)，本實施例中該傳感器模組包括一用于探測該密封柜中壓強(qiáng)的壓力傳感器；一控制裝置，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第一閥門13。由于設(shè)置了監(jiān)控裝置，使得用戶得以隨時獲知該密封柜中該危險氣體的濃度和/或壓強(qiáng)，以便及時應(yīng)對可能發(fā)生的情況。另外，第一閥門的設(shè)置又進(jìn)一步增加了安全系數(shù)，在危險氣體發(fā)生泄露時，該監(jiān)控裝置與第一閥門的自動聯(lián)動控制不僅簡化了用戶的操作，更重要的是及時阻止了危險氣體的蔓延，為后續(xù)處理贏得了更多的處理時間。除了防止該密封柜I中的危險氣體泄露之外，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的第二閥門4，該第二閥門4設(shè)置于該危險氣體鋼瓶11所對應(yīng)的輸送管道3的輸出端，用于防止輸送管道處危險氣體的泄露，其中，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜I中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到該濃度閾值時關(guān)閉每個第二閥門4。該第二閥門4的位置只要位于輸送管道的輸出端即可，本實施例中，該第二閥門位于在該密封柜的外部(即靠近該危險氣體輸送線一側(cè))。同樣地，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜I中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第二閥門4，這樣就有效阻止了危險氣體的外泄。該第二閥門的設(shè)置有效阻止了危險氣體向外部的泄露，進(jìn)一步增加了安全系數(shù)。在本實施例中，該第一閥門13和該第二閥門4均為由壓縮空氣驅(qū)動的閥門。另外，本實施例以兩個危險氣體鋼瓶為例，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)上述描述知曉兩個以上危險氣體鋼瓶的設(shè)置方式。實施例2實施例2的原理與實施例1相同，其主要部分也相同，不同之處在于(以下僅闡述不同部分，相同部分參考實施例1和圖1):本實施例中第二閥門并不采用自動控制的形式，在本實施例中該第二閥門由用戶手動控制，即該監(jiān)控裝置用于探測該密封柜I中的濃度和壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時或者在該濃度達(dá)到該濃度閾值時提示用戶關(guān)閉每個第二閥門4。本實施例中，該監(jiān)控裝置包括一提示單元，以聲光提示的方式提示用戶有氣體泄露，用戶在得知情況后趕至現(xiàn)場手動關(guān)閉該第二閥門。實施例3實施例3的原理與實施例1相同，其主要部分也相同，不同之處在于(以下僅闡述不同部分，相同部分參考實施例1和圖1):該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一抽氣裝置(圖中未示出)，用于將該密封柜中的氣體抽離該密封柜直至該濃度小于該濃度閾值和/或該壓強(qiáng)小于該壓強(qiáng)閾值(濃度閾值取決于氣體種類，例如AsH3可以設(shè)置濃度閾值為20ppb (part per billion的縮寫,表示液體濃度的一種單位符號，一般讀作1/10億，十億分之一，即10的負(fù)9次方的代表符號，是lXcPpm)，壓強(qiáng)閾值可以設(shè)置為I毫米汞柱，或者把密封柜抽成真空)。在該危險氣體安全輸送系統(tǒng)中，除了上述安全措施之外，在危險氣體發(fā)生泄露之后，除卻阻止危險氣體繼續(xù)泄露之外，為了便于維修人員的后續(xù)處理，保證維修人員的操作安全，還可以采用該抽氣裝置盡可能減少該密封柜中殘留的危險氣體。除此之外，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一充氣裝置(圖中未示出)，用于將安全氣體充入該密封柜中。該安全氣體可以為氮?dú)?。通過該充氣裝置向該密封柜中填充安全氣體，以保證維修人員的操作安全。本實施例中，該充氣裝置和該抽氣裝置結(jié)合使用，先利用抽氣裝置抽去密封柜中的大部分氣體，再填充氮?dú)?，之后再次利用該抽氣裝置抽去該密封柜中氮?dú)夂臀ｋU氣體的混合氣體，多次執(zhí)行上述操作，以將該密封柜中的危險氣體的量降低，保證了維修人員的操作安全。經(jīng)過多次的抽氣、充氣之后，再行處理該危險氣體安全輸送系統(tǒng)，例如，將該密封柜打開以檢查事故原因，這樣就從很大程度上避免了危險氣體對維修人員的影響。另外，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一本地報警裝置(圖中未示出)，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時實現(xiàn)本地報警，以及，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一遠(yuǎn)程報警裝置(圖中未示出)，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時生成告警信息并將該告警信息發(fā)送給用戶以實現(xiàn)遠(yuǎn)程報警。通過上述報警裝置，可以使用戶及時獲知危險氣體的泄露狀況，及時做出有效處理。雖然以上描述了本實用新型的具體實施方式
，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這些僅是舉例說明，本實用新型的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本實用新型的原理和實質(zhì)的前提下，可以對這些實施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種危險氣體安全輸送系統(tǒng)，其包括一密封柜，該密封柜中置有至少一個危險氣體鋼瓶，其特征在于，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括 一位于該密封柜外部的危險氣體輸送線，該危險氣體輸送線用于將該危險氣體輸出至一危險氣體的使用端； 與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的輸送管道，該輸送管道連接于該危險氣體鋼瓶與該危險氣體輸送線之間，用于輸送該危險氣體； 與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的減壓閥，該減壓閥連接于該危險氣體鋼瓶的輸出端與該輸送管道的輸入端之間，用于將該危險氣體鋼瓶輸出的危險氣體的壓強(qiáng)減小至小于大氣壓強(qiáng)。
2.如權(quán)利要求1所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng)，其特征在于，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一監(jiān)控裝置和與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的第一閥門，該第一閥門設(shè)置于該危險氣體鋼瓶的輸出端與該減壓閥之間，其中，該監(jiān)控裝置用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到一濃度閾值時關(guān)閉每個第一閥門。
3.如權(quán)利要求2所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng)，其特征在于，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第一閥門。
4.如權(quán)利要求2所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng),其特征在于，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的第二閥門，該第二閥門設(shè)置于該危險氣體鋼瓶所對應(yīng)的輸送管道的輸出端，其中，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到該濃度閾值時關(guān)閉每個第二閥門，或者， 該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度，并在該濃度達(dá)到該濃度閾值時提示用戶關(guān)閉每個第二閥門。
5.如權(quán)利要求4所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng)，其特征在于，該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第二閥門，或者， 該監(jiān)控裝置還用于探測該密封柜中的壓強(qiáng)，并在該壓強(qiáng)達(dá)到一壓強(qiáng)閾值時提示用戶關(guān)閉每個第二閥門。
6.如權(quán)利要求2-5中任意一項所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng),其特征在于,該監(jiān)控裝置還包括 一傳感器模組，用于探測該密封柜中該危險氣體的濃度和/或探測該密封柜中的壓強(qiáng)； 一控制裝置，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第一閥門，和/或，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時關(guān)閉每個第二閥門。
7.如權(quán)利要求2-5中任意一項所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng),其特征在于,該第一閥門是由壓縮空氣驅(qū)動的或者該第一閥門是電磁驅(qū)動的，該第二閥門是由壓縮空氣驅(qū)動的。
8.如權(quán)利要求2-5中任意一項所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng),其特征在于,該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一抽氣裝置，用于將該密封柜中的氣體抽離該密封柜直至該濃度小于該濃度閾值和/或該壓強(qiáng)小于該壓強(qiáng)閾值。
9.如權(quán)利要求8所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng),其特征在于，該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一充氣裝置，用于將安全氣體充入該密封柜中。
10.如權(quán)利要求2-5中任意一項所述的危險氣體安全輸送系統(tǒng),其特征在于,該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一本地報警裝置，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時實現(xiàn)本地報警，和/或， 該危險氣體安全輸送系統(tǒng)還包括一遠(yuǎn)程報警裝置，用于在該濃度達(dá)到該濃度閾值時和/或該壓強(qiáng)達(dá)到該壓強(qiáng)閾值時生成告警信息并將該告警信息發(fā)送給用戶以實現(xiàn)遠(yuǎn)程報警。
專利摘要本實用新型公開了一種危險氣體安全輸送系統(tǒng)，其包括一密封柜，該密封柜中置有至少一個危險氣體鋼瓶，以及一用于將該危險氣體輸出至一危險氣體的使用端的危險氣體輸送線；與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的輸送管道，該輸送管道連接于該危險氣體鋼瓶與該危險氣體輸送線之間，用于輸送該危險氣體；與每個危險氣體鋼瓶一一對應(yīng)的減壓閥，該減壓閥連接于該危險氣體鋼瓶的輸出端與該輸送管道的輸入端之間，用于將該危險氣體鋼瓶輸出的危險氣體的壓強(qiáng)減小至小于大氣壓強(qiáng)。采用該危險氣體安全輸送系統(tǒng)即使危險氣體發(fā)生泄露，也不會產(chǎn)生噴射現(xiàn)象，且整個系統(tǒng)中包括了監(jiān)控裝置，在危險氣體發(fā)生泄漏后能及時關(guān)閉各個閥門，阻止了危險氣體的蔓延。
文檔編號F17D1/02GK202834752SQ20122038148
公開日2013年3月27日 申請日期2012年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月2日
發(fā)明者陳麗慧 申請人:上海晶璽電子科技有限公司