專利名稱：用于大量超高純度氦供給和使用的方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將超高純度(UHP)氦氣輸送至使用場所(例如，半導(dǎo)體制造設(shè)施)的方法及系統(tǒng)。所述方法和系統(tǒng)對于以大范圍流動來供給超高純度氦氣、在客戶場所處保持額外的超高純度氦氣庫存，以及將超高純度氦氣直接供給至使用點特別有益。
背景技術(shù)：
當(dāng)沒有現(xiàn)場生產(chǎn)能力的客戶需要大容積的氣體(諸如氧(oxygen)、氮(nitrogen)、氬(argon)或氫(hydrogen))時，氣體通常以液體形式從生產(chǎn)場所輸送至使用點附近的儲存罐。然而，出于安全原因，液化氣體不能在顯著高于大氣的壓力下在公共道路上運輸。對于大多數(shù)氣體而言，通過使用液化氣體泵將液化氣體從運輸車輛傳送至儲存罐來提高其壓力而滿足在使用點處所需的較高壓力。液化氣體以這種高壓儲存在儲存罐中，并且在使用點需要時，以高壓汽化且輸送至使用點。氦并不順從這樣的實施。它具有很低的汽化熱，并且因此由液泵作用引至液體的熱導(dǎo)致大量液體汽化且因此損失。即使在由壓力差從運輸器皿傳遞至儲存罐期間，也會出現(xiàn)過度的汽化和氦的損失，因為冷氦氣的密度并非與液氦密度大為不同，并且因此罐內(nèi)大量的冷氦氣將被置換并損失；在較高的壓力下，這些置換損失甚至更高。因此，習(xí)慣做法是在真空絕緣的ISO容器中運輸液氦至分送場所(轉(zhuǎn)換填充(transfill))，將液體汽化，并且將產(chǎn)生的氣體壓縮到高壓缸和管式掛車中。然而，增長的氦的需求和使用使得這種模式的供給不切實際，因為這些容器(即，缸和管式掛車)典型地保持小的容積。增長的氦的需求主要是因為其在新的半導(dǎo)體制造工藝中的使用。當(dāng)集成電路上的特征幾何形狀在尺寸中減小時，就需要更先進(jìn)的工藝來沉積可接受的膜，其依次通常需要更高純度的更多氦。典型的20缸組合(具有總能力為150Nm3)在5Nm3/hr的使用速率下將僅持續(xù)30小時。同樣，20Nm7hr的使用速率意思是具有容量為^OONm3的管式掛車將持續(xù)少于5天，并且甚至更高的使用速率導(dǎo)致更頻繁的變化(change-outs)。頻繁的源的變化是非期望的，因為它們勞動密集，并且增加了切換期間空氣和水分受污染痕量的潛在性。此外，轉(zhuǎn)換填充能力可變?yōu)橄拗埔蛩?，因為壓縮和填充設(shè)備的能力或故障，不動產(chǎn)的可用性和多管式掛車填充灣的成本也變?yōu)榭紤]因素。因此，在正常的操作條件下，大容積用戶的氦供給的物流是消耗性的，但可管理。然而，在異常情況下，管式掛車氦供給物流將尤其是不可預(yù)見的。例如，當(dāng)全球氦供給中短缺周期延長時，或當(dāng)轉(zhuǎn)換填充故障時，就將出現(xiàn)異常情況。當(dāng)這種中斷出現(xiàn)時，由轉(zhuǎn)換填充服務(wù)的所有客戶必須分享有限的剩余庫存，或沒有氦。可以預(yù)計到的是，氦市場中緊張的供應(yīng)情形將持續(xù)，因為計劃的工廠儲運損耗、維護(hù)中斷和由設(shè)備阻礙(setback)造成的延遲。新的氦工廠的建設(shè)不是切實可行的方案，因為氦是從天然氣田中開采的且取決于天然氣的生產(chǎn)。這些因素增加了客戶用盡的可能性，因此對其處理能力具有顯著的不利影響。因此，就需要新的和改進(jìn)的方法及系統(tǒng)來將超高純度氦氣輸送至使用場所，并且確保在地理上很分散的區(qū)域中的較多客戶的長期庫存。具體而言，存在確?？煽砍呒兌群す┙o的需要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明部分地涉及一種用于將超高純度氦氣輸送至使用場所的方法，所述方法包括
提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，所述一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有至少一個進(jìn)入口(inlet opening)，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口被注入內(nèi)部器皿隔間中；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有至少一個排出口(outlet opening)，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，所述一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口被分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
可選地將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置(economizer apparatus)輸送至所述使用場所，所述至少一個節(jié)約器裝置包括用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動至所述使用場所的反壓閥；
準(zhǔn)許超高純度氦流體從所述副器皿進(jìn)入至所述主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦氣，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出；
將所述超高純度氦液體從所述主器皿傳送至至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入汽化裝置中；并且所述汽化裝置具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口從汽化裝置進(jìn)行分送；
使所述超高純度氦液體在所述汽化裝置中實現(xiàn)相變來形成超高純度氦氣；以及將所述超高純度氦氣從所述汽化裝置輸送至所述使用場所。本發(fā)明還部分地涉及一種用于將超高純度氦氣輸送至使用場所的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括
包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，所述一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入內(nèi)部器皿隔間中；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間被分送；
包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，所述一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口被分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
超高純度氦氣供給線路，其在外部從副器皿頂部處或附近的至少一個排出口延伸至主器皿頂部處或附近的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口被分送至所述主器皿內(nèi)部器皿隔間中，超高純度氦氣供給線路在其中包含至少一個超高純度氦氣流量控制閥，其用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其的流動，以及至少一個節(jié)約器裝置；所述至少一個節(jié)約器裝置包括反壓閥，所述反壓閥用于控制經(jīng)由其的超高純度氦氣至所述使用場所的流動；
至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入汽化裝置中；并且所述汽化裝置具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口從汽化裝置進(jìn)行分送；
超高純度氦液體排放線路，其在外部從主器皿底部上方的至少一個排出口延伸至汽化裝置的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口被分送至汽化裝置，超高純度氦液體供給線路在其中包含至少一個超高純度氦液體流量控制閥，其用于控制超高純度氦液體經(jīng)由其的流動；以及
超高純度氦氣排放線路，其在外部從汽化裝置的至少一個排出口延伸至所述使用場所，超高純度氦氣排放線路在其中包含至少一個超高純度氦氣流量控制閥，其用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其的流動。 本發(fā)明還部分地涉及一種用于控制超高純度氦氣輸送至使用場所的方法，所述方法包括
提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，所述一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入內(nèi)部器皿隔間中；所述主器皿在主器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，所述一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層對準(zhǔn)成在鄰近所述一個或多個壁部件的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處鄰近彼此；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口被分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
可選地將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至所述使用場所，所述至少一個節(jié)約器裝置包括用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動至所述使用場所的反壓閥；
準(zhǔn)許超高純度氦流體從所述副器皿進(jìn)入至所述主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦氣，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出；
將所述超高純度氦流體從所述主器皿傳送至至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入到汽化裝置中；并且所述汽化裝置具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口從汽化裝置進(jìn)行分送；使所述超高純度氦液體在所述汽化裝置中實現(xiàn)相變來形成超高純度氦氣；將所述超高純度氦氣從所述汽化裝置輸送至所述使用場所；以及使用從副器皿注入到所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的所述超高純度氦氣、所述一個或多個隔熱層、以及/或者至少一個節(jié)約器裝置來控制所述超高純度氦氣輸送至所述使用場所。本發(fā)明提供了許多優(yōu)點。本發(fā)明描述了一種用于可靠的UHP氦氣供給和保持專用現(xiàn)場庫存的方法及系統(tǒng)。具體而言，本發(fā)明使用了多個ISO容器，由此備用ISO容器的蒸汽空間(vapor space)和/或氦氣隔熱層中汽化的UHP氦用于聯(lián)機(jī)(on-line)器皿中累積(build-up)壓力。ISO容器的隔熱有助于減少熱泄漏，由此降低了蒸發(fā)速率和UHP氦的總量，UHP氦需要收回來保持器皿的最大可允許工作壓力(MAWP)。通過經(jīng)由節(jié)約器(如本文所述)從主ISO容器和待機(jī)(standby) ISO容器兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層抽取(draw)蒸發(fā)的UHP氦氣但將液體保持在ISO容器中，甚至更低的供給速率是可能的。這使得有可能高效地管理供給速率(從低流動至較高流動要求)，并且有可能優(yōu)化UHP氦從儲存器皿的抽取速率。另一優(yōu)點在于，發(fā)送給客戶的UHP氦氣高度純凈，因為其直接來自于液體源。如果需要高純度氣體，則來自于管式掛車的氣態(tài)氦通常需要代價較高的凈化工藝。昂貴的轉(zhuǎn)換填充膨脹、管式掛車的大量資金投入、支持使用速率較高的客戶的許多變化的較大分送成本和人工成本可能會變?yōu)椴辉试S的。UHP液氦輸送方法是全面的更為經(jīng)濟(jì)的選擇，因為其準(zhǔn)許較大的待運輸?shù)臄?shù)量。多個ISO容器的使用也提供了增加的庫存，這在短缺周期期間尤其是所期望的。客戶可選地使用高壓氣體管式掛車來作為液體ISO容器的后備。管式掛車在供給中斷期間受到較少保護(hù)，并且使得生產(chǎn)設(shè)施由于氦用盡而不得不關(guān)閉更為可能。這可對客戶操作有顯著的不利影響。另外，來自于液體源的氦的固有高純度消除了在氦從氣態(tài)儲存器皿抽取時通常所要求的昂貴凈化系統(tǒng)。


圖1為根據(jù)本發(fā)明的氦供給系統(tǒng)的示意圖。圖2為繪出涉及汽化氣體供給的操作邏輯的流程圖。圖3為繪出UHP氦供給和使用方法的流程圖。
具體實施例方式如本文所使用的，超高純度(UHP)意思是氣體或液體具有小于大約十億分之100，優(yōu)選為小于大約十億分之50，并且更優(yōu)選為小于大約十億分之10的分子雜質(zhì)，并且具有小于大約萬億分之1000、優(yōu)選為小于大約萬億分之500，并且更優(yōu)選為小于大約萬億分之10的金屬雜質(zhì)。更優(yōu)選的是，UHP氣體和液體具有小于大約十億分之10的分子雜質(zhì)和小于大約萬億分之10的金屬雜質(zhì)。本發(fā)明涉及一種用于確保向使用速率為10Nm7hr或更高的客戶可靠地供給UHP氦氣的方法。在一個實施方式中，供給方法涉及在客戶場所處直接裝運和保持多個巨大的液氦ISO容器。本發(fā)明關(guān)于一種穩(wěn)健的供給系統(tǒng)，其將UHP氦氣供給使用速率為10Nm7hr或更大的客戶。具體而言，本發(fā)明關(guān)于確?？煽康腢HP氦氣供給。本發(fā)明在半導(dǎo)體工藝和其它工業(yè)應(yīng)用中提供了一種從低容量缸式/管式掛車供給切換至支持UHP氦氣的增長的應(yīng)用的有效方式。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種將UHP氦氣供給大型用戶的方法，其導(dǎo)致了用于客戶的專用UHP氦氣庫存，涉及將ISO容器中的UHP液氦直接地供給客戶，并且在生產(chǎn)場所處保持儲存容量。本發(fā)明消除了氦轉(zhuǎn)換填充和管式掛車的需要。本發(fā)明的方法從客戶的視角來看本身更為可靠。如上文指出那樣，本發(fā)明部分地涉及一種用于將超高純度氦氣輸送至使用場所的方法，所述方法包括
提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，一個或多個的真空絕緣層和一個或多個的隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入內(nèi)部器皿隔間中；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
]提供了包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，一個或多個的真空絕緣層和一個或多個的隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口被分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
可選地將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿(例如，從所述主器皿和/或所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層)經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至所述使用場所，所述至少一個節(jié)約器裝置包括反壓閥，其用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其至所述使用場所的流動；
準(zhǔn)許超高純度氦流體從所述副器皿(例如，從所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層)至所述主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦氣，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出；
將所述超高純度氦液體從所述主器皿運送至至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入汽化裝置中；并且所述汽化裝置具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口從汽化裝置進(jìn)行分送；
使在所述汽化裝置中的所述超高純度氦液體實現(xiàn)相變來形成超高純度氦氣；以及將所述超高純度氦氣從所述汽化裝置輸送至所述使用場所。以上方法還包括控制了所述超高純度氦氣至所述使用場所的輸送速率，這使用了(i)從副器皿注入所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的超高純度氦氣、(ii) 一個或多個隔熱層、以及/或者(iii)至少一個節(jié)約器裝置。在一個實施方式中，本發(fā)明的方法涉及將超高純度氦氣從主器皿和/或副器皿的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至使用場所。在另一實施方式中，本發(fā)明的方法涉及準(zhǔn)許超高純度氦氣從副器皿的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層進(jìn)入主器皿，該超高純度氦氣在主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從主器皿排出。關(guān)于控制輸送速率，(i)從副器皿(例如，從副器皿的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)注入所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間的超高純度氦氣控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿(例如，從主器皿和副器皿兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；(ii) 一個或多個隔熱層控制了所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的所述超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率，所述凈蒸發(fā)速率控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率，并且控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿(例如，從主器皿和副器皿兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；并且(iii)至少一個節(jié)約器裝置控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿(例如，從主器皿和副器皿兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)至所述使用場所的輸送速率，同時使超高純度氦液體保持在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中。超高純度氦氣供給線路可在外部從副器皿頂部處或附近的至少一個排出口延伸至主器皿頂部處或附近的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口被分送至所述主器皿內(nèi)部器皿隔間中，超高純度氦氣供給線路在其中包含了用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦氣流量控制閥、以及至少一個節(jié)約器裝置；所述至少一個節(jié)約器裝置包括反壓閥，該反壓閥用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其至所述使用場所的流動。超高純度氦液體排放線路可在外部從主器皿底部上方的至少一個排出口延伸至汽化裝置的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述進(jìn)入口被分送至汽化裝置，超高純度氦液體供給線路在其中包含了用于控制超高純度氦液體經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦液體流量控制閥。超高純度氦氣排放線路在外部從汽化裝置的至少一個排出口延伸至所述使用場所，超高純度氦氣排放線路在其中包含了用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦氣流量控制閥。一個或多個隔熱層具有內(nèi)部的隔間來保持隔熱流體，例如液體或氣體。在一個實施方式中，隔熱層包括液氮0Λ)隔熱層和氦氣隔熱層。隔熱層可減少進(jìn)入至少一個主器皿和至少一個副器皿中的熱泄漏，從而降低至少一個主器皿和至少一個副器皿中的超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率。通過減少進(jìn)入至少一個主器皿和至少一個副器皿中的熱泄漏，并且從而降低了至少一個主器皿和至少一個副器皿中的超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率，隔熱層就可降低從至少一個主器皿和至少一個副器皿中所需要被收回的超高純度氦氣的總量，以便保持至少一個主器皿和至少一個副器皿的最大可允許工作壓力。在一個實施方式中，通過從副器皿的隔熱層抽取汽化的UHP氦氣并且將其供給至少一個主器皿的蒸汽空間以在主器皿中累積壓力而減少了進(jìn)入至少一個副器皿中的熱泄漏。出于若干原因，使用根據(jù)本發(fā)明的多個ISO容器是有益的。例如，多個ISO容器準(zhǔn)許在大范圍流動下供給氦，在客戶場所保持附加的庫存，以及將UHP氦氣直接供給使用場所。在本發(fā)明的UHP氦氣供給方法和系統(tǒng)中可使用至少兩個ISO容器(例如，真空絕緣的ISO容器)。一個ISO容器聯(lián)機(jī)，而另一個待機(jī)。待機(jī)ISO容器中的熱泄漏汽化了 UHP氦(凈蒸發(fā)速率(NER)氣體)，從而增大了器皿中的壓力。從待機(jī)ISO容器的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層中抽取這種NER氣體，可選地將這種NER氣體通過壓力累積汽化器(pressurebuilding vaporizer)加熱且排放至工作的ISO容器來累積和保持操作壓力。來自于工作的ISO容器的UHP液氦被注入產(chǎn)物汽化器且發(fā)送至使用點?？赏ㄟ^使用ISO容器的隔熱以將熱泄漏減至最少且因此將產(chǎn)生和必須收回的NER量減至最少來實現(xiàn)更低的氦供給速率。還可通過使用節(jié)約器來從將發(fā)送至客戶的主器皿和后備器皿兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層放出壓力累積氣體同時在儲存器皿中保持液氦來達(dá)到更低的氦供給速率。巨大(bulk)的液體ISO容器可保持大量UHP液體或超臨界氦，例如，1800至11000加侖的UHP液氦。因為在與UHP氣態(tài)氦等容量的情況下可運輸更大的量(超過五倍的分子)，可有利地以液體或超臨界形式供給UHP氦。更大容量的UHP氦源顯著地減少與勞動和污染風(fēng)險相關(guān)聯(lián)的變化頻率。另外，執(zhí)行如本文所描述的供給方法提供了 UHP氦氣使用速率中的靈活性，并且準(zhǔn)許客戶在長時間周期內(nèi)有效地管理庫存。UHP氦流體可直接從如上文所描述的儲存器皿中抽取。存在于器皿中的雜質(zhì)比液體或低溫超臨界氦更密集，并且因此主要在底部或沉積在器皿的壁上。UHP氦可在一溫度下收回，該溫度不大于被收回的流體中雜質(zhì)濃度等于預(yù)定極限時所處的溫度，該極限例如為所期望或可準(zhǔn)許的極限。這消除了從氣態(tài)源獲得供給時通常所要求的昂貴凈化設(shè)備的需求。直接的UHP液氦供給系統(tǒng)由多件設(shè)備構(gòu)成。這包括如圖1中所繪的UHP液氦容器、高壓軟管、軟管清洗組件、壓力調(diào)節(jié)器和產(chǎn)物供給壓力減壓閥。參考圖1，來自于備用ISO容器102的汽化氦(NER氣體)可選為通過壓力累積汽化器202和201加熱，并且經(jīng)由氣體連接線路601被注入工作的ISO容器101，以便累積和保持操作壓力。如果需要時可選的高壓管式掛車103還可用于在工作的ISO容器中累積壓力。減壓閥401和402分別用于保持ISO容器101和102中的可允許壓力。減壓閥403、404、405和406用于保持ISO容器101和102上的氣體連接和液體連接線路中的可允許壓力。氣體連接線路601上的控制閥300、301和304用于調(diào)節(jié)ISO容器壓力累積氣體或直接被發(fā)送至節(jié)約器305的氣體的流動。流體流動的驅(qū)動力為器皿與使用點605之間的壓力差。主ISO容器101中增大的壓力用于經(jīng)由液體連接線路602上的控制閥501來驅(qū)動液氦，以便汽化和發(fā)送給使用點。因此，主供給器皿101中所需的壓力取決于所期望的氦使用速率和輸送壓力。從定位在器皿底部上方大約1厘米至30厘米處的端口收回。當(dāng)器皿101聯(lián)機(jī)時，待機(jī)ISO容器102的液體輸送線路的出口上的控制閥502就關(guān)閉，并且根據(jù)所期望的流動速率來起動控制閥501。經(jīng)由線路602驅(qū)動的液氦發(fā)送至產(chǎn)物汽化器203來汽化，并且被發(fā)送至使用點605。汽化產(chǎn)物的流動由閥303和503控制。汽化氣體還穿過可選的低溫壓力保護(hù)(LTPP)單元306 (用以保護(hù)下游設(shè)備)，并且然后穿過可選的過濾滑道(skid) 204 (用以除去顆粒)。儲存器皿(NER氣體)中的氦蒸發(fā)速率可借助于隔熱來控制。隔熱為覆蓋包含液化氦的內(nèi)器皿隔間的區(qū)。通常，存在若干交替的真空絕緣層和隔熱層，使得在其它情況下將傳遞至ISO容器的內(nèi)器皿的輻射能由隔熱流體進(jìn)行攔截。典型地，至少一個隔熱層填充有液化氣體諸如氮，并且至少一個其它隔熱層填充有來自于內(nèi)器皿隔間的汽化UHP氦氣，該內(nèi)器皿隔間包含液化UHP氦。在ISO容器從生產(chǎn)場所至客戶場所的運輸期間，這可花費若干星期，將排出汽化防護(hù)流體。液化氣體隔熱典型地可保持足夠的液化氣體以持續(xù)高達(dá)約30天。在副器皿中的熱泄漏可汽化超高純度氦液體，從而增大了所述副器皿中的壓力。蒸發(fā)的氦氣被運送至所述主器皿以累積并保持操作壓力足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出。只要出口(exit)處的溫度低于雜質(zhì)的凍結(jié)溫度，則可收回雜質(zhì)濃度低到足以用于特定用途的氦流體?？稍谝欢囟认率栈睾韺崿F(xiàn)仍更低的雜質(zhì)濃度，該溫度不大于雜質(zhì)蒸汽壓力導(dǎo)致所收回的流體中的雜質(zhì)達(dá)到或等于所期望或可允許的濃度極限時所處的溫度。雜質(zhì)可存在于氦和相應(yīng)的接近溫度下，在這些溫度下，雜質(zhì)蒸汽壓力導(dǎo)致雜質(zhì)在大氣壓力下達(dá)到氦流體中百萬分之5體積(ppmv)的濃度，雜質(zhì)包括例如氏0(207° K)、C02(111° K)、0J42° K), Ar (42° 1()和隊(36° K)。相比之下，雜質(zhì)在大氣壓力下在氦流體中達(dá)到Ippmv濃度所處的相應(yīng)接近的溫度，雜質(zhì)包括例如H2O (197° K)、(X)2 (105° K)、O2 (39° K)、Ar(39° 1()和隊(34° K)。如果這些雜質(zhì)中的一些存在，只要收回溫度不大于具有最高蒸汽壓力的雜質(zhì)達(dá)到氦流體中濃度極限時所處的溫度，則可從下氣門(port)收回氦。美國專利No. 5，386，707中描述了從器皿收回具有較低雜質(zhì)的低溫氦的更為詳細(xì)的說明，該專利的公開內(nèi)容通過弓I用并入本文中?，F(xiàn)場供給系統(tǒng)也配備有節(jié)約器裝置，S卩，反壓閥305，其可用于放出壓力累積氣體且直接發(fā)送給客戶。當(dāng)器皿中的氣體累積大于客戶的抽取速率時，這很重要。當(dāng)器皿中壓力增大且達(dá)到節(jié)約器裝置(即，反壓閥305)上的設(shè)定點時，就使用如圖2中所示的操作邏輯迫使氣體穿過線路603。閥305設(shè)置在低于器皿MAWP但高于產(chǎn)物閥303的壓力下。穿過節(jié)約器的較高壓力的流動保持閥303關(guān)閉，并且將產(chǎn)物供給給客戶。以此方式，系統(tǒng)可以以很低的流動速率(即，來自于所有器皿的NER)供給氦，同時將液氦保持在器皿中且在MAWP下。此外，來自于器皿隔熱的UHP氦氣可如本文所描述地被抽取和發(fā)送給節(jié)約器。當(dāng)可用時，氣體也可從備用管式掛車經(jīng)由閥302和線路604直接地發(fā)送給客戶。參考圖1和圖2，如果來自于ISO容器101和102的組合NER氣體大于客戶所求的氦使用速率，則節(jié)約器裝置(即反壓閥305)開啟，控制閥301和304開啟，并且來自于ISO容器101和102的NER氣體經(jīng)由線路603直接供給使用場所605。如果來自于ISO容器101和102的組合NER氣體不大于客戶所需要的氦使用速率，則NER氣體從ISO容器102直接接至ISO容器101來生成壓力，液氦從ISO容器101經(jīng)由閥501抽至汽化器203，在汽化器203處其被汽化且氦氣被輸送至使用場所605?？刂浦辽僖粋€節(jié)約器裝置以從至少一個主器皿和/或至少一個副器皿抽取超高純度氦氣用于輸送至使用場所，同時將超高純度氦液體保持在至少一個主器皿和/或至少一個副器皿中。本發(fā)明的供給過程的執(zhí)行可涉及若干ISO容器的使用。供給過程可涉及主器皿和副器皿的各種組合，例如，一個或多個主器皿和2個或多個副器皿、一個或多個主器皿和3個或多個副器皿，2個或多個主器皿和2個或多個副器皿，等。所需要的容器總數(shù)主要取決于氦的使用速率。這是因為如果來自于所有容器的總NER氣體超過日常需要，則氦必須排至大氣以便保持ISO容器的MAWP。另外，當(dāng)計算所需的容器總數(shù)時，必須考慮客戶需要在現(xiàn)場保持的庫存水平和客戶與生產(chǎn)設(shè)施之間的ISO容器轉(zhuǎn)送(裝運)時間。圖3中示出了供給循環(huán)流程圖的示意圖。在任意時間點，每個容器均處于循環(huán)中的不同點。這包括了客戶場所處的裝滿的和/或部分使用的容器、運回至供應(yīng)商處用于再填充的空容器，以及已經(jīng)再填充過且正轉(zhuǎn)送回至客戶場所的容器。在正常操作模式下，在工作的容器騰空之前不久新容器到達(dá)客戶場所。裝滿的ISO容器在客戶場所處被卸下，并且空掛車開走來再填充。如果計算出所要求的ISO容器的數(shù)目不是整數(shù)，則建議進(jìn)位舍入最接近的整數(shù)來提供供給系統(tǒng)的靈活性。UHP氦氣可輸送至多種使用場所，例如，半導(dǎo)體制造場所和其它工業(yè)應(yīng)用場所。當(dāng)使用場所為半導(dǎo)體制造場所時，超高純度氦氣可用來例如作為運載氣體以將有機(jī)金屬前體(precursor)引入化學(xué)蒸汽或原子層沉積室內(nèi)。超高純度氦氣還可用于在IXD處理中進(jìn)行干法蝕刻。超高純度氦氣還可用于后側(cè)冷卻來控制硅層蝕刻過程的速率和均勻性。超高純度氦氣還可用于檢查泄漏和線路清洗(purge)。遠(yuǎn)程監(jiān)測系統(tǒng)可用于監(jiān)測液體儲存罐。其可由遙測單元構(gòu)成，遙測單元采集液位和頭部空間壓力數(shù)據(jù)和全球位置數(shù)據(jù)。在裝運期間，該數(shù)據(jù)無線傳輸至客戶和/或供應(yīng)商。如果壓力和液體的不正常狀態(tài)到達(dá)隔熱和/或ISO容器中，則蒸汽可根據(jù)預(yù)定程序排出，以便嘗試重建液位和蒸汽壓力設(shè)定點。追蹤系統(tǒng)還提示供應(yīng)商關(guān)于運輸期間的裝運延期和其它容器問題。一旦掛車處在目的地，則客戶可選擇繼續(xù)使用該單元來監(jiān)測庫存水平或其它。取決于客戶想要在現(xiàn)場保持的最少氦量，客戶通過電話或通過電子系統(tǒng)(例如，電子郵件)下了新掛車的訂單。何時下該訂單必須考慮ISO容器的轉(zhuǎn)送時間。這還可自動地設(shè)立，使得在某一時間周期之后，新掛車將發(fā)送至客戶。例如，見美國專利No. 6，922，144，該專利的公開內(nèi)容通過引用并入本文中?？刂葡到y(tǒng)和方法可選為在UHP氦氣輸送系統(tǒng)的操作中使用，該系統(tǒng)構(gòu)造成使得能夠自動實時優(yōu)化和/或調(diào)整操作參數(shù)來實現(xiàn)所期望或最佳的操作條件。計算執(zhí)行的系統(tǒng)可選為用于控制NER、供給速率、ISO容器的加熱和冷卻、反壓閥和減壓閥上的設(shè)置等。計算機(jī)控制系統(tǒng)可具有調(diào)整不同參數(shù)以求優(yōu)化UHP氦氣輸送至客戶場所的能力。該系統(tǒng)可執(zhí)行為自動地調(diào)整參數(shù)。UHP氦氣輸送系統(tǒng)的控制可使用常規(guī)硬件或軟件執(zhí)行的計算機(jī)和/或電子控制系統(tǒng)與多種電子傳感器一同來實現(xiàn)?？刂葡到y(tǒng)可構(gòu)造成用以控制NER、供給速率、ISO容器的加熱和冷卻、反壓閥和減壓閥上的設(shè)置等。UHP氦氣輸送系統(tǒng)還可包括傳感器，傳感器用于測量多種參數(shù)，諸如NER、供給速率、ISO容器的加熱和冷卻、反壓閥和減壓閥等?？刂茊卧蛇B接到傳感器、以及進(jìn)入口和排出口中的至少一個上，用于根據(jù)測得的參數(shù)值來將UHP氦傳遍整個系統(tǒng)。計算機(jī)執(zhí)行的系統(tǒng)可選地為UHP氦氣輸送系統(tǒng)的一部分或者與UHP氦氣輸送系統(tǒng)相聯(lián)。該系統(tǒng)可構(gòu)造或編程為控制和調(diào)整系統(tǒng)的操作參數(shù)，以及分析和計算值。計算機(jī)執(zhí)行的系統(tǒng)可發(fā)送和接收控制信號來設(shè)置和控制系統(tǒng)的操作參數(shù)。計算機(jī)執(zhí)行的系統(tǒng)可相對于UHP氦氣輸送系統(tǒng)遠(yuǎn)程地被定位。其還可構(gòu)造成用以從一個或多個遠(yuǎn)程UHP氦氣輸送系統(tǒng)通過間接或直接的方式接收數(shù)據(jù)，諸如通過以太網(wǎng)連接或無線連接?？刂葡到y(tǒng)可遠(yuǎn)程地操作，諸如通過國際互聯(lián)網(wǎng)?？稍跊]有計算機(jī)的情況下完成UHP氦氣輸送系統(tǒng)的部分或所有的控制。可利用物理控制來實現(xiàn)其它類型的控制。在一種情形中，控制系統(tǒng)可為用戶所操作的人工系統(tǒng)。在另一實例中，用戶可如所描述那樣向控制系統(tǒng)提供輸入。適合的壓力計可用于監(jiān)測供給速率(例如，UHP氦氣輸送速率)。氣壓計可具有適合的關(guān)閉閥，如果速率超高預(yù)定值，則該關(guān)閉閥可預(yù)設(shè)為關(guān)閉UHP氦氣至客戶的供給。
在異常條件的情況下，例如，當(dāng)全球氦供給中短缺周期延長時或轉(zhuǎn)換填充故障時，本發(fā)明的方法就可提供可靠的UHP氦供給。參考圖3，如果發(fā)生供給中斷，可識別中斷的性質(zhì)，例如，全球氦供給短缺、ISO容器故障或裝運延期。如果發(fā)生全球氦供應(yīng)短缺，UHP氦可在現(xiàn)場從ISO容器抽取，并且告知客戶調(diào)配情況。如果發(fā)生ISO容器故障，UHP氦可在現(xiàn)場從另一 ISO容器抽取，并且剩余庫存將更新。將通知氦生產(chǎn)場所，并且請求另一 ISO容器。故障的ISO容器將回到氦生產(chǎn)場所用于修理。如果發(fā)生裝運延期，UHP氦可在現(xiàn)場從ISO容器抽取，并且告知客戶和生產(chǎn)場所裝運延期。如果沒有發(fā)生供應(yīng)中斷，UHP氦可在現(xiàn)場從ISO容器抽取，剩余庫存將更新，并且更新了在轉(zhuǎn)運中的ISO容器信息。在另一實施方式中，可以為客戶保持位于氦生產(chǎn)工廠處的大的液體儲存容量。該儲存容量可為連接到UHP氦液化器上的大容量的杜瓦瓶(例如，30，000加侖的容積)的形式。一旦填充該容積，則汽化的UHP氦可被很有效地再液化。杜瓦瓶中的UHP氦預(yù)售且專用于特定客戶(具有商業(yè)協(xié)議所涵蓋的細(xì)節(jié))。如果發(fā)生UHP氦短缺，杜瓦瓶將可用于供給客戶的輸送。這可為特別有效的方式來在工廠供給不足(“調(diào)配“)期間管理UHP氦源，因為調(diào)配的情形通常與裝運容器良好可用性相符(即，當(dāng)裝運小于最大產(chǎn)品量時，容器空閑)。因此，不需要預(yù)先購入昂貴的裝運容器就能夠在調(diào)配周期期間裝運該產(chǎn)品。如上文指出那樣，本發(fā)明部分地涉及一種用于控制超高純度氦氣輸送至使用場所的方法，所述方法包括
提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入內(nèi)部器皿隔間中；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
可選地將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿(例如，從所述主器皿和/或所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層)經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至所述使用場所，所述至少一個節(jié)約器裝置包括反壓閥，該反壓閥用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其至所述使用場所的流動；
準(zhǔn)許超高純度氦流體從所述副器皿(例如，從所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層)至所述主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦氣，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出；
將所述超高純度氦流體從所述主器皿傳送至至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入汽化裝置中；并且所述汽化裝置具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口從汽化裝置進(jìn)行分送；使所述超高純度氦液體在所述汽化裝置中實現(xiàn)相變來形成超高純度氦氣；將所述超高純度氦氣從所述汽化裝置輸送至所述使用場所；以及使用從副器皿注入到所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的所述超高純度氦氣、所述一個或多個隔熱層、以及/或者至少一個節(jié)約器裝置來控制所述超高純度氦氣輸送至所述使用場所。在一個實施方式中，本發(fā)明的方法涉及將超高純度氦氣從主器皿和/或副器皿的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至使用場所。在另一個實施方式中，本發(fā)明的方法涉及準(zhǔn)許超高純度氦氣從副器皿的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層至主器皿，該超高純度氦氣在主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從主器皿排出。
關(guān)于控制所述超高純度氦氣至所述使用場所的輸送，(i)從副器皿(例如，從副器皿的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)注入到所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間的超高純度氦氣控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿(例如，從主器皿和副器皿兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；( ) 一個或多個隔熱層控制了在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的所述超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率，所述凈蒸發(fā)速率控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率，并且控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿(例如，從主器皿和副器皿兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；并且(iii)至少一個節(jié)約器裝置控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿(例如，從主器皿和副器皿兩者的蒸汽空間和/或氦氣隔熱層)至所述使用場所的輸送速率，同時使超高純度氦液體保持在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中。如上文指出那樣，本發(fā)明部分地涉及用于將超高純度氦氣輸送至使用場所的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括
包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入內(nèi)部器皿隔間中；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有至少一個排出口，所述超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送；
超高純度氦氣供給線路，其在外部從副器皿頂部處或附近的至少一個排出口延伸至主器皿頂部處或附近的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述進(jìn)入口被分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中，超高純度氦氣供給線路在其中包含用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦氣流量控制閥、以及至少一個節(jié)約器裝置；所述至少一個節(jié)約器裝置包括反壓閥，該反壓閥用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其至所述使用場所的流動；至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述進(jìn)入口注入汽化裝置中；并且所述汽化裝置具有至少一個排出口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述排出口從汽化裝置進(jìn)行分送；
超高純度氦液體排放線路，其在外部從主器皿底部上方的至少一個排出口延伸至汽化裝置的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述排出口被分送至汽化裝置，超高純度氦液體供給線路在其中包含至少一個超高純度氦液體流量控制閥，其用于控制超高純度氦液體經(jīng)由其的流動；以及
超高純度氦氣排放線路，其在外部從汽化裝置的至少一個排出口延伸至所述使用場所，超高純度氦氣排放線路在其中包含用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦氣流量控制閥?，F(xiàn)場供給系統(tǒng)可配備有節(jié)約器裝置，即，反壓閥305，其可用于經(jīng)由線路603放出壓力累積氣體，并且使用如圖2中所示的操作邏輯直接地發(fā)送至客戶。現(xiàn)場系統(tǒng)還可配備有低溫壓力保護(hù)(LTPP)單元306(用以保護(hù)下游設(shè)備)和過濾裝置204，例如過濾滑道，在其中超高純度氦氣可在輸送超高純度氦氣至使用場所之前穿過過濾裝置204。過濾滑道用于除去顆粒。盡管建議多個ISO容器用于實施本發(fā)明，但小容積的用戶可使用具有嵌入的壓力累積線圈的單個容器。這將使得能夠在不使用外側(cè)氣體的情況下在器皿中進(jìn)行壓力累積。該方法比管式掛車提供了顯著更高的專用現(xiàn)場庫存水平。小容積使用的客戶還能通過具有較低NER的較小ISO容器來從本發(fā)明中受益。另外，盡管以上公開內(nèi)容集中于大型電子設(shè)備客戶，但該供給方法也可提供給其它行業(yè)中的大型氦用戶。本發(fā)明的各種修改和變型對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員將是明顯的，并且應(yīng)當(dāng)理解的是這樣的修改和變型被涵蓋在本申請的權(quán)限和權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于將超高純度氦氣輸送至使用場所的方法，所述方法包括提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和所述一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其注入所述內(nèi)部器皿隔間中的至少一個進(jìn)入口 ；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有能將所述超高純度氦液體經(jīng)由其從所述內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送的至少一個排出口 ；提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間的至少一個排出口 ；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有能將所述超高純度氦液體經(jīng)由其從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送的至少一個排出口；可選地將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至所述使用場所，所述至少一個節(jié)約器裝置包括用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動至所述使用場所的反壓閥；準(zhǔn)許超高純度氦流體從所述副器皿進(jìn)入至所述主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦氣，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出；將所述超高純度氦液體從所述主器皿傳送至至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有能將超高純度氦液體經(jīng)由其注入所述汽化裝置中的至少一個進(jìn)入口 ；并且所述汽化裝置具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其從所述汽化裝置進(jìn)行分送的至少一個排出口 ；使所述超高純度氦液體在所述汽化裝置中實現(xiàn)相變來形成超高純度氦氣；以及將所述超高純度氦氣從所述汽化裝置輸送至所述使用場所。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括控制了所述超高純度氦氣至所述使用場所的輸送速率，這使用了(i)從副器皿注入所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的所述超高純度氦氣、(ii)所述一個或多個隔熱層、以及/或者(iii)至少一個節(jié)約器裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，(i)從副器皿注入所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的所述超高純度氦氣控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；(ii)所述一個或多個隔熱層控制了在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的所述超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率，所述凈蒸發(fā)速率控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率，并且控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；并且(iii)所述至少一個節(jié)約器裝置控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿至所述使用場所的輸送速率，同時使超高純度氦液體保持在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述一個或多個隔熱層具有用以保持隔熱流體的內(nèi)部隔間，所述隔熱流體包括液體或氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述一個或多個隔熱層包括液氮(LN2)隔熱層和氦氣隔熱層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法包括以下至少一個(i)將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至所述使用場所，以及(ii)準(zhǔn)許超高純度氦氣從所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層進(jìn)入至所述主器皿，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述隔熱層減少了進(jìn)入所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的熱泄漏，從而降低了在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的所述超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述隔熱層減少了進(jìn)入所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的熱泄漏，從而降低了在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的所述超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率，并且從而減少了需要從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中收回的超高純度氦氣的量，以便保持所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿的最大可允許工作壓力。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括控制所述至少一個節(jié)約器裝置以從所述至少一個主器皿和/或所述至少一個副器皿抽取超高純度氦氣而用于輸送至所述使用場所，同時在所述至少一個主器皿和/或所述至少一個副器皿中保持超高純度氦液體。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿包括ISO容器。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述超高純度氦氣在所述使用場所處以至少約IONmVhr的使用速率進(jìn)行使用。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述使用場所為半導(dǎo)體制造場所。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，(i)所述超高純度氦氣被用作將前體引入到沉積室中的運運載氣體體，( )所述超高純度氦氣用于LCD處理中的干法蝕刻，(iii)所述超高純度氦氣在后側(cè)冷卻中控制硅層蝕刻過程的速率和均勻性，或(iv)所述超高純度氦氣用于檢查泄漏和線路清洗。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括在一溫度下從所述主器皿收回超高純度氦液體，所述溫度不大于被收回的所述超高純度氦液體中至少一種雜質(zhì)的濃度等于預(yù)定極限時所處的溫度，其中所述至少一種雜質(zhì)選自水、二氧化碳、氧、氬和氮。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法還包括在將所述超高純度氦氣輸送至所述使用場所之前，使所述超高純度氦氣經(jīng)過低溫壓力保護(hù)(LTPP)單元和過濾裝置。
16.一種用于將超高純度氦氣輸送至使用場所的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其注入內(nèi)部器皿隔間中的至少一個進(jìn)入口 ；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有能將所述超高純度氦液體經(jīng)由其從所述內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送的至少一個排出口；包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的至少一個排出口 ；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有能將所述超高純度氦液體經(jīng)由其從所述內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送的至少一個排出口；超高純度氦氣供給線路，其在外部從所述副器皿頂部處或附近的至少一個排出口延伸至所述主器皿頂部處或附近的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦氣能經(jīng)由所述主器皿頂部處或附近的所述至少一個進(jìn)入口被分送至所述主器皿內(nèi)部器皿隔間中，所述超高純度氦氣供給線路在其中包含用于控制所述超高純度氦氣經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦氣流量控制閥、以及至少一個節(jié)約器裝置；所述至少一個節(jié)約器裝置包括用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動至所述使用場所的反壓閥；至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有能將超高純度氦液體經(jīng)由其注入所述汽化裝置中的至少一個進(jìn)入口 ；并且所述汽化裝置具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其從所述汽化裝置進(jìn)行分送的至少一個排出口；超高純度氦液體排放線路，其在外部從所述主器皿底部上方的至少一個排出口延伸至所述汽化裝置的至少一個進(jìn)入口，超高純度氦液體能經(jīng)由所述汽化裝置的所述至少一個進(jìn)入口被分送至所述汽化裝置，所述超高純度氦液體供給線路在其中包含用于控制所述超高純度氦液體經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦液體流量控制閥；以及超高純度氦氣排放線路，其在外部從所述汽化裝置的至少一個排出口延伸至所述使用場所，所述超高純度氦氣排放線路在其中包含用于控制所述超高純度氦氣經(jīng)由其流動的至少一個超高純度氦氣流量控制閥。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，所述超高純度氦氣排放線路包含低溫壓力保護(hù)(LTPP)單元和過濾裝置。
18.一種用于控制超高純度氦氣至使用場所的輸送的方法，所述方法包括提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述主器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述主器皿在主器皿頂部處或附近具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其注入所述內(nèi)部器皿隔間中的至少一個進(jìn)入口 ；并且所述主器皿在主器皿底部上方具有能將所述超高純度氦液體經(jīng)由其從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送的至少一個排出口；提供包含低溫超高純度氦流體的至少一個副器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦液體和超高純度氦氣；所述副器皿包括一個或多個壁部件，這樣的一個或多個壁部件被構(gòu)造成用以形成保持所述超高純度氦液體和超高純度氦氣的內(nèi)部器皿隔間；所述內(nèi)部器皿隔間具有一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層，所述一個或多個真空絕緣層和一個或多個隔熱層在與所述一個或多個壁部件鄰近的所述內(nèi)部器皿隔間周邊處彼此鄰近對準(zhǔn)；所述副器皿在副器皿頂部處或附近具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其分送至所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的至少一個排出口 ；所述副器皿與所述主器皿進(jìn)行超高純度氦氣流動連通；并且所述副器皿在副器皿底部上方具有能將所述超高純度氦液體經(jīng)由其從內(nèi)部器皿隔間進(jìn)行分送的至少一個排出口；可選地將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至所述使用場所，所述至少一個節(jié)約器裝置包括用于控制超高純度氦氣經(jīng)由其流動至所述使用場所的反壓閥；準(zhǔn)許超高純度氦流體從所述副器皿進(jìn)入至所述主器皿，所述超高純度氦流體包括超高純度氦氣，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出；將所述超高純度氦液體從所述主器皿傳送至至少一個汽化裝置；所述汽化裝置具有能將超高純度氦液體經(jīng)由其注入所述汽化裝置中的至少一個進(jìn)入口 ；并且所述汽化裝置具有能將超高純度氦氣經(jīng)由其從所述汽化裝置進(jìn)行分送的至少一個排出口 ；使所述超高純度氦液體在所述汽化裝置中實現(xiàn)相變來形成超高純度氦氣；將所述超高純度氦氣從所述汽化裝置輸送至所述使用場所；以及使用從副器皿注入到所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的所述超高純度氦氣、所述一個或多個隔熱層、以及/或者至少一個節(jié)約器裝置來控制所述超高純度氦氣輸送至所述使用場所。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中，(i)從副器皿注入到所述主器皿的內(nèi)部器皿隔間中的所述超高純度氦氣控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；(ii)所述一個或多個隔熱層控制了在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中的所述超高純度氦液體的凈蒸發(fā)速率，所述凈蒸發(fā)速率控制了所述超高純度氦液體從所述至少一個主器皿至所述至少一個汽化裝置的輸送速率、以及超高純度氦氣從所述至少一個汽化裝置至所述使用場所的輸送速率，并且控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿經(jīng)由所述至少一個節(jié)約器裝置至所述使用場所的輸送速率；并且(iii)所述至少一個節(jié)約器裝置控制了所述超高純度氦氣從所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿至所述使用場所的輸送速率，同時使超高純度氦液體保持在所述至少一個主器皿和所述至少一個副器皿中。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述方法包括以下至少一個(i)將超高純度氦氣從所述主器皿和/或所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層經(jīng)由至少一個節(jié)約器裝置輸送至所述使用場所，以及(ii)準(zhǔn)許超高純度氦氣從所述副器皿的蒸汽空間和/或隔熱層進(jìn)入至所述主器皿，所述超高純度氦氣在所述主器皿中的壓力被準(zhǔn)許達(dá)到足以將超高純度氦液體從所述主器皿排出。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于可靠的超高純度(UHP)氦氣供給和保持專用現(xiàn)場庫存的方法及系統(tǒng)。具體而言，本發(fā)明使用了多個ISO容器，由此備用ISO容器中汽化的UHP氦被用于在聯(lián)機(jī)ISO容器中累積壓力。ISO容器的隔熱可用于減少進(jìn)入備用ISO容器中的熱泄漏，從而降低了氦汽化速率和需要收回來保持器皿的最大可允許工作壓力(MAWP)的氣體量。通過使用節(jié)約器閥抽取UHP氦氣但使液體保持在ISO容器中，甚至更低的供給速率也是可能的。這使得有可能高效地管理供給速率(從低流動至較高流動要求)，并有可能優(yōu)化UHP氦從儲存器皿的抽取速率。另一優(yōu)點在于，發(fā)送給客戶的UHP氦氣具有較高的純度，因為其直接來自于液體源。UHP氦氣可用于半導(dǎo)體制造，例如作為運載氣體，以便在薄膜沉積在晶片上的期間將前體引入沉積室。
文檔編號F17C9/02GK102575809SQ201080043979
公開日2012年7月11日 申請日期2010年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月30日
發(fā)明者J.J.貝爾恩, K.貝杜-阿米薩, M.C.約翰遜, S.查克拉瓦蒂, T.R.舒爾特 申請人:普萊克斯技術(shù)有限公司