高真空擋板閥的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明屬于真空設備的部件，特別涉及一種真空栗上使用的高真空擋板閥。
【背景技術(shù)】
[0002]目前高真空設備的擋板閥有兩種形式，一種為直板式，另一種是插板式。直板式的工作特點是真空栗在氣缸下面，當斷開時，與真空室隔絕，當工作時，擋板上升到中間位置，擋板處在管道中間，這樣就使氣體流導受阻，且在真空鍍膜過程中，有可能會飄上薄膜，影響其正常工作。第二種插板式閥門，它的特點是工作時完全開放和關(guān)閉，在多次使用后，下端會存留灰塵，在關(guān)閉時就會產(chǎn)生漏氣，影響密封性，降低了栗的效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)不足，一種可以提高抽氣效率，并且密封性好的高真空擋板閥。
[0004]本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種高真空擋板閥，包括分子栗，真空設備管壁，高真空擋板閥閥身和節(jié)流閥，在真空設備管壁的上平面用螺栓固定一個真空閥支架，真空閥支架的兩側(cè)固定有滑道，上面用螺栓固定一個高真空擋板閥閥身，高真空擋板閥閥身的閥桿與主軸連接，主軸與螺母螺紋連接，螺母上裝一個連接橫軸，連接橫軸兩端裝有徑向軸承，徑向軸承活動地裝在滑道中，主軸活動的穿過連接橫軸中間設的孔，主軸下端絞連接一個垂直連桿，垂直連桿下端固定一個180°固定絞座，180°固定絞座固定在擋板的中心；在擋板的上面用沉頭把緊螺釘固定兩個90°固定絞座，90°固定絞座上設有長條孔；在90°固定絞座上活動地裝有支撐連桿，支撐連桿上裝有水平控位螺釘。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:該發(fā)明密封性能好，抽氣效率高，具有高的氣流傳導性，開關(guān)閥穩(wěn)定，振動小，維修方便，可間接水冷，耐高溫。
【附圖說明】
[0006]以下結(jié)合附圖以實施例具體說明。
[0007]圖1是高真空擋板閥的主視圖；
[0008]圖2是圖1的局部剖視圖。
[0009]圖中:1-真空設備抽氣口 ；2_節(jié)流閥；3_真空設備管道壁；4_緊定螺釘；5_密封板；6_分子栗-J-密封膠圈；8_擋板；9_水平控位螺釘；10_支撐連桿；11_沉頭把緊螺釘；12-90°固定絞座；13-180°固定絞座；14-垂直連桿；15-徑向軸承；16-連接橫軸；17-滑道；18_螺母；19_主軸；20_膠圈；21_進氣孔；22_高真空擋板閥閥身；23_出氣孔；24_長條孔；25_真空閥支架；26_真空室。
【具體實施方式】
[0010]具體實施例，參上附圖，一種高真空擋板閥，包括分子栗6、真空設備管壁3，高真空擋板閥閥身22和節(jié)流閥2，其特征在于，在真空設備管壁3的上平面用螺栓固定一個真空閥支架25，真空閥支架25的兩側(cè)固定有滑道17，上面用螺栓固定一個高真空擋板閥閥身22，高真空擋板閥閥身22的閥桿與主軸19連接，主軸19與螺母18螺紋連接，螺母18上裝一個連接橫軸16，連接橫軸16兩端裝有徑向軸承15，徑向軸承15活動地裝在滑道17中，主軸19活動的穿過連接橫軸16中間設的孔，主軸下端絞連接一個垂直連桿14，垂直連桿14下端固定一個180°固定絞座13，180°固定絞座13固定在擋板8的中心；在擋板8的上面用沉頭把緊螺釘11固定兩個90°固定絞座12，90°固定絞座12上設有長條孔24 ; 12上活動地裝有支撐連桿10，支撐連桿10上裝有水平控位螺釘9。高真空閥22上端設有出氣孔23，下端設有進氣孔21 ;主軸19與真空閥支架25之間裝有膠圈20 ;在真空設備管壁上裝有節(jié)流閥2，密封板5用緊固螺釘4固定在真空設備管道壁3上，擋板8與密封板5之間裝有密封膠圈7。工作時控制高真空擋板閥閥身22的進氣孔21和出氣孔22即可，操作方便。
【主權(quán)項】
1.一種高真空擋板閥，包括分子栗(6)、真空設備管壁(3)，高真空擋板閥閥身(22)和節(jié)流閥(2)，在真空設備管壁(3)的上平面用螺栓固定一個真空閥支架(25)，真空閥支架(25)的兩側(cè)固定有滑道(17)，上面用螺栓固定一個高真空擋板閥閥身(22)，高真空擋板閥閥身(22)的閥桿與主軸(19)連接，主軸(19)與螺母(18)螺紋連接，螺母(18)上裝一個連接橫軸(16)，連接橫軸(16)兩端裝有徑向軸承(15)，徑向軸承(15)活動地裝在滑道(17)中，主軸(19)活動的穿過連接橫軸(16)中間設的孔，主軸下端絞連接一個垂直連桿(14)，垂直連桿(14)下端固定一個180°固定絞座(13)，180°固定絞座(13)固定在擋板(8)的中心；在擋板(8)的上面用沉頭把緊螺釘(11)固定兩個90°固定絞座(12)，90°固定絞座(12 )上設有長條孔(24 );在90 °固定絞座(12 )上活動地裝有支撐連桿(10 )，支撐連桿(10 )上裝有水平控位螺釘(9)。
【專利摘要】本實用新型屬于一種高真空擋板閥，包括分子泵（6）節(jié)流閥（2）,在真空設備管壁（3）的上平面固定一個真空閥支架（25），主軸（19）活動的穿過連接橫軸（16）中間設的孔，下端絞連接一個垂直連桿（14），垂直連桿（14）下端固定一個180°固定絞座，在90°固定絞座（12）上活動地裝有支撐連桿（10），支撐連桿（10）上裝有水平控位螺釘（9）。該發(fā)明密封性能好，抽氣效率高，具有高的氣流傳導性，開關(guān)閥穩(wěn)定，振動小，密封板可拆卸，維修方便，可間接水冷，耐高溫。
【IPC分類】F16K51/02
【公開號】CN204922218
【申請?zhí)枴緾N201520380078
【發(fā)明人】王俊波, 王金偉, 劉英林
【申請人】大連金泰表面工程科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年6月4日