一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空技術(shù)的領(lǐng)域，尤其涉及一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]真空壓力調(diào)節(jié)器是真空設(shè)備上必不可少的部件，用來(lái)調(diào)節(jié)真空設(shè)備的壓強(qiáng)，其操作的可控性和穩(wěn)定性直接影響真空設(shè)備的使用性能。真空壓力調(diào)節(jié)器一般通過(guò)調(diào)節(jié)閥口流導(dǎo)大小來(lái)調(diào)節(jié)反應(yīng)室真空度，流導(dǎo)是真空管道、孔、擋板、阱及閥門(mén)等元件傳輸氣體的能力。一般閥門(mén)的最小可控流導(dǎo)越小，閥的靈敏度越高，因此真空壓力調(diào)節(jié)器設(shè)計(jì)過(guò)程中需盡可能增大閥芯厚度，同時(shí)又要顧及到閥芯在閥腔內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)自如，間隙不能過(guò)小，因此要求閥腔、閥芯和閥桿具有較高的精度，這就給設(shè)計(jì)和制造帶來(lái)了難度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個(gè)過(guò)程快速自動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時(shí)采用電機(jī)作動(dòng)力源，經(jīng)濟(jì)、實(shí)用。整個(gè)閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供了一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機(jī)以及操控面板，所述的控制器通過(guò)真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機(jī)與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個(gè)所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。
[0005]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述的控制器采用變頻控制器。
[0006]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述的電位器的數(shù)量為三個(gè)。
[0007]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個(gè)過(guò)程快速自動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時(shí)采用電機(jī)作動(dòng)力源，經(jīng)濟(jì)、實(shí)用。整個(gè)閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
【附圖說(shuō)明】
[0008]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖，其中:
圖1是本發(fā)明真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖中的標(biāo)記為:1、殼體，2、濾清器，3、過(guò)濾器，4、壓力換轉(zhuǎn)器，5、真空室，6、硅片，7、電氣連接端。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面將對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0010]如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例包括:
一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機(jī)以及操控面板，所述的控制器通過(guò)真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機(jī)與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個(gè)所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。
[0011]上述中，所述的控制器采用變頻控制器。變頻器遠(yuǎn)程控制器是一種實(shí)現(xiàn)變頻器遠(yuǎn)程操作的智能儀表，通過(guò)RS485網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程控制變頻器的啟動(dòng)、停止、加速、減速、正反轉(zhuǎn)，并實(shí)時(shí)顯示變頻器的工作頻率、轉(zhuǎn)速等運(yùn)行狀態(tài)信息。單機(jī)通訊距離可達(dá)1200M (9600bps)，有效減少變頻器的干擾。
[0012]本實(shí)施例中，所述的電位器的數(shù)量為三個(gè)。電位器(英文:Potent1meter)是可變電阻器的一種。通常是由電阻體與轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng)系統(tǒng)組成，即靠一個(gè)動(dòng)觸點(diǎn)在電阻體上移動(dòng)，獲得部分電壓輸出。電位器的電阻體有兩個(gè)固定端，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸或滑柄，改變動(dòng)觸點(diǎn)在電阻體上的位置，則改變了動(dòng)觸點(diǎn)與任一個(gè)固定端之間的電阻值，從而改變了電壓與電流的大小。
[0013]綜上所述，本發(fā)明的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個(gè)過(guò)程快速自動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時(shí)采用電機(jī)作動(dòng)力源，經(jīng)濟(jì)、實(shí)用。整個(gè)閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
[0014]以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專(zhuān)利范圍，凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書(shū)內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機(jī)以及操控面板，所述的控制器通過(guò)真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機(jī)與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個(gè)所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述的控制器采用變頻控制器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述的電位器的數(shù)量為三個(gè)。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機(jī)以及操控面板，所述的控制器通過(guò)真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機(jī)與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個(gè)所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。通過(guò)上述方式，本發(fā)明提供的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個(gè)過(guò)程快速自動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時(shí)采用電機(jī)作動(dòng)力源，經(jīng)濟(jì)、實(shí)用。整個(gè)閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
【IPC分類(lèi)】F16K31/04, F16K51/02
【公開(kāi)號(hào)】CN105135050
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510605585
【發(fā)明人】陳學(xué)兵, 王光輝
【申請(qǐng)人】蘇州普京真空技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年9月22日