專利名稱：一種組合式閥門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型提供一種機(jī)械部件，具體地說是提供一種組合式閥門，這種閥門特別適用于作超純氣體終端凈化器的閥門配件。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在大規(guī)模集成電路、石油化工、金屬冶煉、航天、科研等諸多領(lǐng)域?qū)怏w純度的要求愈來愈高，目前一次性制氣純度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足需要。其主要原因是在氣體輸送過程中由于容器的污染及閥門、管道的滲漏所造成的。因此，在氣體進(jìn)入生產(chǎn)之前，必須進(jìn)行終端凈化。例如在連續(xù)吸附法，氣體分離或凈化裝置中，由于吸附劑(例如制氧/氮過程中的分子篩、碳分子篩，或化學(xué)吸附劑用于脫氧、脫水等)需要再生，因而需多個閥門用于吸附器、反應(yīng)器之間的切換操作。有人研究、發(fā)明了組合多換向閥門用于制氧或制氮裝置中(CN87202629U)，這類閥門缺少可靠的隔離及預(yù)防空氣滲漏措施，只能用于一般要求的氣體分離設(shè)備中。如果用于超純氣體凈化中，則它們的隔離及預(yù)防空氣滲漏措施不足以防止原料氣或外部空氣向產(chǎn)品器的擴(kuò)散或滲漏。對于超純氣體的凈化只要有微量滲漏就會造成致命的污染。在組合多路換向閥門中，這種滲漏更難避免，而且會隨著閥門使用磨損日益加劇。在實際應(yīng)用中也常使用一種分立式閥門，如附


圖1所示是將4個閥門組合裝配，但使用這種閥門管道安裝工作量大，管道接頭(或焊縫)多，并需使用三通聯(lián)接，使分立式配置的閥門之間氣路距離長，易造成氣路死角，超純氣的質(zhì)量不易提高，同時氣密性能也難于保持。因此，在制備超純氣體的過程中需要有一種氣密性高，不易造成氣路死角，且動作可靠性強(qiáng)的組合閥門配件。
本實有新型的目的是提供一種性能優(yōu)異的組合式閥門，由于這種組合閥門可最短的縮小閥門間距離，不易造成氣路死角，氣密性高，且操作靈活方便，所以特別適于作超純氣體終端凈化器的組合閥門配件。
本實用新型的組合式閥門是由4個分立式閥門組合而成，其特征在于4個閥門組裝一個公用組合閥體上，在組合閥體中設(shè)有道道使4個閥門串聯(lián)成閉合通路，且在每相鄰兩閥門的通道中設(shè)置一通道接頭。
以下結(jié)合附圖對本實用新型組合閥門的結(jié)構(gòu)給予進(jìn)一步的說明。
附
圖1為普通4個分立式閥門組合裝配的流程圖；附圖2為本實用新型組合閥門的結(jié)構(gòu)示意附圖3為本實用新型組合閥門使用的流程圖。
附圖中，1～4閥主件，5．組合閥體；6．閥體通道；7．通道接頭。
附圖2所示結(jié)構(gòu)的組合閥門可作為本實用新型的一個實施例，它由4個閥主件(1)～(4)，組合閥體(5)，閥體通道(6)和4個通道接頭(7)組成，閥主件(1)～(4)組裝在一個組合閥體(5)上構(gòu)成分立的4個閥門，閥體通道(6)將4個閥門串聯(lián)成閉合通路，在每相鄰兩閥門通道中設(shè)置一通道接頭(7)，組合閥門共4個通道接頭(7)。附圖3為上述閥門的使用情況，與附
圖1分立式閥門組合裝配流程相比本實用新型組合閥門只有4個外接氣路即可組裝在凈化器的系統(tǒng)中。
本實用新型的組合閥門當(dāng)閥主件采用氣動式閥門，裝配成組合氣動閥門用于北京大學(xué)微電子研究所制25NM3/小時，全自動氮?dú)饨K端凈化器上作配件，其技術(shù)指標(biāo)要求氮?dú)?9.99％凈化后達(dá)到99.99％高純氣及用于遼寧發(fā)電廠制10NM3/小時全自動氫氣終端凈化器上，其技術(shù)指標(biāo)要求氫氣由99.8％凈化后達(dá)到99/99％純氫。在上述設(shè)備上長期使用，不論設(shè)備的保壓試驗，閥門的氣密性及動作的可靠性均達(dá)到技術(shù)要求。
本實用新型與普通分立式組合閥及已知組合閥相比具有如下顯著的優(yōu)點(diǎn)(1)結(jié)構(gòu)緊湊，氣密性高，動作可靠，氣路中不易造成死角；(2)設(shè)備造價低，配裝簡單，簡化了設(shè)備工藝流程；(3)各分閥門在動作上完全互相獨(dú)立，可根據(jù)工藝要求自由切換。因此，本實用新型的組合閥門可以實現(xiàn)多路切換，特別是用于作為超純氣體終端凈化器的閥門配件，可提高制氣的效果和質(zhì)量。
權(quán)利要求1．一種組合式閥門包含有4個分立式閥門，其特征在于4個閥主件(1)～(4)組裝在一個組合閥體(5)上，構(gòu)成分立的4個閥門，閥體通道(6)將4個閥門串聯(lián)成閉合通路，在每相鄰兩閥門通道中設(shè)置一通道接頭(7)，組合閥門共有4個通道接頭(7)。
專利摘要一種組合式閥門包含有4個分立式閥門,其4個閥主件組裝在一個組合閥體上,構(gòu)成分立的4個閥門,閥體通道將4個閥門串聯(lián)成閉合通路,在每相鄰兩閥門通道中設(shè)置一通道接頭,組合閥門共有4個通道接頭。該閥門結(jié)構(gòu)緊湊,氣密性高,動作可靠,氣路中不易造成死角;設(shè)備造價低,配裝簡單,簡化設(shè)備工藝流程,可以實現(xiàn)多路切換,特別是可用于作為超純氣體終端凈化器的閥門配件。
文檔編號F16K11/10GK2321992SQ97202899
公開日1999年6月2日 申請日期1997年4月1日 優(yōu)先權(quán)日1997年4月1日
發(fā)明者韓同生, 王瑞升, 劉景開, 邱長春 申請人:中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所