技術(shù)編號：5577782
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型提供一種機械部件，具體地說是提供一種組合式閥門，這種閥門特別適用于作超純氣體終端凈化器的閥門配件。隨著科學技術(shù)的發(fā)展，在大規(guī)模集成電路、石油化工、金屬冶煉、航天、科研等諸多領(lǐng)域?qū)怏w純度的要求愈來愈高，目前一次性制氣純度遠遠不能滿足需要。其主要原因是在氣體輸送過程中由于容器的污染及閥門、管道的滲漏所造成的。因此，在氣體進入生產(chǎn)之前，必須進行終端凈化。例如在連續(xù)吸附法，氣體分離或凈化裝置中，由于吸附劑(例如制氧/氮過程中的分子篩、碳分子篩，或化學吸...
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