專利名稱：全方位轉(zhuǎn)動(dòng)工件安裝調(diào)整靶臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種供離子束注入和動(dòng)態(tài)共混工件安裝及旋轉(zhuǎn)的機(jī)械設(shè)備，它是用于離子注入的一種材料表面處理技術(shù)必不可少的輔助設(shè)備。
原有的靶臺(tái)如圖1所示，它只是由靶臺(tái)、支承軸、軸承支柱、底座和4個(gè)螺柱組成。這種工件安裝及旋轉(zhuǎn)設(shè)備只能做平面旋轉(zhuǎn)。也就是只能對(duì)規(guī)則的平面進(jìn)行處理，而對(duì)特殊形狀的表面，離子束就無(wú)法注入了；如對(duì)人工關(guān)節(jié)，冷彎成形模具等復(fù)雜工件的表面就無(wú)法進(jìn)行均勻的改性處理。
本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)一種靶臺(tái)，使靶臺(tái)上的工件可做全方位的調(diào)整，也就是使離子束可以注入工件需要材料表面改性處理的任何部位。這就要求靶臺(tái)臺(tái)面可以旋轉(zhuǎn)，可以上下升降，可以前后左右移動(dòng)，還可傾斜到一定的角度。
本實(shí)用新型的技術(shù)要點(diǎn)在于它是一種由靶臺(tái)、蝸桿、外套、支承軸、托板、傘齒輪、轉(zhuǎn)臺(tái)、滑座、蝸桿軸、軸承座、滑塊、支座、墊圈、活塊、轉(zhuǎn)片、調(diào)節(jié)桿、上、下瓦、滑軌、槽軌組合、直流力矩電機(jī)、軸承、鋼球、螺釘、螺母、推拉桿組成的全方位轉(zhuǎn)動(dòng)工件安裝調(diào)整靶臺(tái)，其特征在于靶臺(tái)7、外套9與支承軸10焊接，蝸輪8壓入外套9，托板11用4個(gè)螺釘36擰入外套9，傘齒輪12壓入蝸桿軸16，傘齒輪13壓入電機(jī)29主軸中，轉(zhuǎn)臺(tái)14、滑座15與鋼球31構(gòu)成旋轉(zhuǎn)組件，蝸桿軸16兩端壓入軸承30，再壓入軸承座17，軸承座17用3個(gè)螺釘32擰入托板11，滑塊18插入支承軸10后兩端裝在左支座19的凹槽內(nèi)，轉(zhuǎn)片23用鍵37與支承軸10連接，左支座19用2個(gè)螺釘33與轉(zhuǎn)臺(tái)14連接，轉(zhuǎn)片23的弧形槽插入活塊22內(nèi)后，加墊片21用螺母38擰緊，活塊22插入右支座20的凹槽內(nèi)，右支座20用螺釘34連接在轉(zhuǎn)臺(tái)14上，調(diào)節(jié)桿24擰在左支架19的螺孔內(nèi)，其上端圓柱插入滑塊18下端的圓孔中，下瓦25與上瓦27用螺釘40擰入槽軌組合28，滑軌26用螺釘35固定在工作臺(tái)面上，推拉桿39擰入下瓦25及上瓦27內(nèi)的螺孔內(nèi)，其前端圓周槽卡在轉(zhuǎn)臺(tái)14突出的U形槽內(nèi)。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于安放在靶臺(tái)上的零件不僅可以隨靶臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，還可隨靶臺(tái)升降，還可隨靶臺(tái)臺(tái)面做各種角度及各種方位的傾斜，還可前后左右移動(dòng)，這樣就可使靶臺(tái)上復(fù)雜形狀的工件的任何表面接受離子束的注入，擴(kuò)大了原有平面旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)的加工范圍。本靶臺(tái)可滿足真空使用的要求，靶基絕緣，標(biāo)準(zhǔn)件全部采用“國(guó)標(biāo)”，結(jié)構(gòu)合理，布局緊湊，使用維護(hù)方便，整靶可多方位調(diào)整、靈活、可靠。本實(shí)用新型還可用于其他加工工件需多方位變換的各種卡具上。


圖1為原有靶臺(tái)結(jié)構(gòu)原理圖1-靶臺(tái)2-支承軸3-軸承4-支柱5-底座6-螺釘圖2為全方位轉(zhuǎn)動(dòng)工件安裝調(diào)整靶臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖7-靶臺(tái) 8-蝸輪 9-外套 10-支承軸11-托板12-傘齒輪13-傘齒輪 14-轉(zhuǎn)臺(tái)15-滑座16-蝸桿軸17-軸承座 18-滑塊19-左支座 20-右支座21-墊圈22-活塊23-轉(zhuǎn)片24-調(diào)節(jié)桿25-下瓦26-滑軌27-上瓦28-槽軌組合 29-電機(jī)30-軸承31-鋼球32-螺釘 33-螺釘34-螺釘35-螺釘36-螺釘 37-鍵 38-螺母39-推拉桿 40-螺釘實(shí)施例1本實(shí)用新型的工作過程由直流力矩電機(jī)29軸上的傘齒輪13帶動(dòng)傘齒輪12、蝸桿16帶動(dòng)蝸輪8使轉(zhuǎn)臺(tái)14旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)臺(tái)14上的各部分隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，即靶臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)。本靶臺(tái)除轉(zhuǎn)動(dòng)功能還可平面移動(dòng)，調(diào)整高度和角度。平面移動(dòng)是由推拉桿39的螺紋調(diào)整，轉(zhuǎn)動(dòng)推拉桿39就可使靶臺(tái)左右移動(dòng)；槽軌組合28是與推拉桿39相似的構(gòu)件，用以調(diào)整靶臺(tái)前后位置。高度調(diào)整轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)桿24，則帶動(dòng)滑塊18使靶臺(tái)升降。角度調(diào)整松開螺母38，使活塊22在右支座20的凹槽內(nèi)及轉(zhuǎn)片23的弧形槽內(nèi)同時(shí)移動(dòng)，待靶臺(tái)傾斜到要求的角度后擰緊螺母38。
靶臺(tái)7是離子注入零件安放的臺(tái)面?；?6固定在真空容器的φ450的底盤上，滑座15及槽軌組合28構(gòu)件支承靶底，并保證其平面運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)臺(tái)14即是支承零件，又可保證平面旋轉(zhuǎn)。
調(diào)整靶臺(tái)主要參數(shù)1、靶臺(tái)直徑φ＝3002、結(jié)構(gòu)總高度h＝1703、調(diào)整高度h上＝125h下＝54、靶臺(tái)平面與水平面夾角θ＝0°-50°
權(quán)利要求1.一種由靶臺(tái)、蝸桿、外套、支承軸、托板、傘齒輪、轉(zhuǎn)臺(tái)、滑座、蝸桿軸、軸承座、滑塊、支座、墊圈、活塊、轉(zhuǎn)片、調(diào)節(jié)桿、上、下瓦、滑軌、槽軌結(jié)合、直流力矩電機(jī)、軸承、鋼球、螺釘、螺母、推拉桿組成的全方位轉(zhuǎn)動(dòng)工件安裝調(diào)整靶臺(tái)，其特征在于靶臺(tái)7、外套9與支承軸10焊接，蝸輪8壓入外套9，托板11用4個(gè)螺釘36擰入外套9，傘齒輪12壓入蝸桿軸16，傘齒輪13壓入電機(jī)29主軸中，轉(zhuǎn)臺(tái)14、滑座15與鋼球31構(gòu)成旋轉(zhuǎn)組件，蝸桿軸16兩端壓入軸承30，再壓入軸承座17，軸承座17用3個(gè)螺釘32擰入托板11，滑塊18插入支承軸10后兩端裝在左支座19的凹槽內(nèi)，轉(zhuǎn)片23用鍵37與支承軸10連接，左支座19用2個(gè)螺釘33與轉(zhuǎn)臺(tái)14連接，轉(zhuǎn)片23的弧形槽插入活塊22內(nèi)后，加墊片21用螺母38擰緊，活塊22插入右支座20的凹槽內(nèi)，右支座20用螺釘34連接在轉(zhuǎn)臺(tái)14上，調(diào)節(jié)桿24擰在左支架19的螺孔內(nèi)，其上端圓柱插入滑塊18下端的圓孔中，下瓦25與上瓦27用螺釘40擰入槽軌組合28，滑軌26用螺釘35固定在工作臺(tái)面上，推拉桿39擰入下瓦25及上瓦27內(nèi)的螺孔內(nèi)，其前端圓周槽卡在轉(zhuǎn)臺(tái)14突出的U形槽內(nèi)。
專利摘要全方位轉(zhuǎn)動(dòng)工件安裝調(diào)整靶臺(tái)屬于一種離子束注入及動(dòng)態(tài)共混工件安裝及旋轉(zhuǎn)的機(jī)械設(shè)備。本實(shí)用新型的目的是將原有只能平面旋轉(zhuǎn)的靶臺(tái)設(shè)計(jì)成可進(jìn)行X、Y、Z三個(gè)方向的位移,角度調(diào)整及旋轉(zhuǎn)的全方位轉(zhuǎn)動(dòng)的靶臺(tái)。靶臺(tái)、外套與支承軸焊接,蝸輪壓入外套,托板用4個(gè)螺釘擰入外套,本靶臺(tái)可滿足真空使用的要求,靶基絕緣,標(biāo)準(zhǔn)件全部采用“國(guó)標(biāo)”,結(jié)構(gòu)合理,布局緊湊,使用維護(hù)方便,整靶可多方位調(diào)整、靈活、可靠。本實(shí)用新型還可用于其他加工工件需多方位變換的各種卡具上。
文檔編號(hào)F16M11/04GK2278145SQ9720249
公開日1998年4月8日 申請(qǐng)日期1997年3月21日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月21日
發(fā)明者王文忠 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院空間科學(xué)與應(yīng)用研究中心