本發(fā)明涉及適用于吸附用吸盤的有效的技術(shù)。

背景技術(shù)：

在韓國(guó)公開專利第10-2006-0082213號(hào)公報(bào)(以下稱為“專利文獻(xiàn)1”)中，記載了包括頂出銷和彈出頂出銷的彈簧的機(jī)械式的真空吸盤。在該真空吸盤中，在自由狀態(tài)下自主體部利用彈簧彈出的軸從吸盤部伸出。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：韓國(guó)公開專利第10-2006-0082213號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

當(dāng)吸附用吸盤(也稱為真空吸盤)的內(nèi)部空間是真空時(shí)，通過(guò)向該內(nèi)部空間中供給空氣(以下稱為“真空破壞空氣”)將真空破壞。為了可靠地從通過(guò)真空吸引而吸附工件的吸附用吸盤將工件脫離，例如考慮增強(qiáng)壓力、流量這樣的基于排出力、排出時(shí)間等的真空破壞空氣。此外，也可考慮通過(guò)對(duì)與工件接觸的吸盤部實(shí)施防粘附加工(例如粗糙化、涂層)，降低吸盤部的粘附力，從而減弱真空破壞空氣。

但是，在增強(qiáng)真空破壞空氣的情況下，有可能將脫離后的工件吹飛。另一方面，在減弱真空破壞空氣的情況下，存在例如在一部分粘附的狀態(tài)下將工件帶回等工件的脫離變得不穩(wěn)定的擔(dān)憂。特別是當(dāng)工件是小型化、輕量化了的半導(dǎo)體芯片時(shí)，脫離容易變得不穩(wěn)定。為此，可考慮對(duì)真空破壞空氣的壓力、流量和排出時(shí)間進(jìn)行微調(diào)，但由于微調(diào)而導(dǎo)致工序數(shù)增加，且需要用于微調(diào)的控制設(shè)備。

此外，在專利文獻(xiàn)1中記載的那樣的真空吸盤的情況下，在使工件與吸盤部接觸時(shí)會(huì)導(dǎo)致問(wèn)題產(chǎn)生。具體而言，在工件接觸吸盤部之前，由工件本身將伸出的軸上推，必須將軸向主體部縮回，此時(shí)工件可能會(huì)受到損傷。

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠保護(hù)所吸附的工件，且穩(wěn)定地進(jìn)行脫離的吸附用吸盤。本發(fā)明的上述目的及其他目的和新特征可由本說(shuō)明書的記載及附圖加以明確。

解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案

若對(duì)本申請(qǐng)公開的發(fā)明中的代表性的發(fā)明的概要進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明，則如下所述。

本發(fā)明的一種解決技術(shù)方案的吸附用吸盤的特征是，包括：主體部，上述主體部具有內(nèi)部空間；吸盤部，上述吸盤部與上述內(nèi)部空間連通；軸部，上述軸部具有前端部，且以上述前端部朝向上述吸盤部的方式設(shè)置在上述內(nèi)部空間中，上述前端部朝著上述吸盤部的內(nèi)外進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以及軸彈性部，上述軸彈性部使上述前端部縮回上述吸盤部?jī)?nèi)地對(duì)上述軸部進(jìn)行保持。

這里，上述軸部的沖程量?jī)?yōu)選比上述軸部的上述前端部向上述吸盤部外伸出的最大伸出量大。藉此，在將真空破壞空氣從吸盤部排出后的狀態(tài)之后，即使工件粘附在吸盤部，也能使用軸部穩(wěn)定地進(jìn)行工件的脫離。

此外，優(yōu)選還包括：空氣出入部，上述空氣出入部與上述內(nèi)部空間連通；以及活塞部，上述活塞部設(shè)置在上述內(nèi)部空間內(nèi)，且在上述軸部和上述空氣出入部之間。藉此，能將軸部抵抗軸彈性部而朝吸盤部側(cè)按壓。

此外，優(yōu)選上述主體部還具有導(dǎo)向貫通部，上述導(dǎo)向貫通部與上述吸盤部連通，且供上述軸部的前端部插入，上述軸部在與上述前端部相反的一側(cè)還具有直徑比上述導(dǎo)向貫通部的直徑大的凸緣部。藉此，在工件脫離后，利用凸緣部堵塞導(dǎo)向貫通部(空氣流路)，能使空氣停止從吸盤部排出。

本發(fā)明的一種解決技術(shù)方案的吸附用吸盤的動(dòng)作方法，其中，上述吸附用吸盤包括：主體部，上述主體部具有內(nèi)部空間；吸盤部，上述吸盤部與上述內(nèi)部空間連通；以及軸部，上述軸部以前端部朝向上述吸盤部的方式設(shè)置在上述內(nèi)部空間中，上述吸附用吸盤的動(dòng)作方法的特征是包括：(a)在將上述前端部縮回上述吸盤部?jī)?nèi)的狀態(tài)下，從上述內(nèi)部空間進(jìn)行空氣的吸引，使工件吸附于上述吸盤部的工序；以及(b)在上述(a)工序之后，向上述內(nèi)部空間進(jìn)行空氣的供給，在使空氣從上述吸盤部排出后，使上述軸部從上述吸盤部伸出的工序。

這里，優(yōu)選在上述(b)工序中，在使上述前端部從上述吸盤部伸出后，使空氣停止從上述吸盤部排出。藉此，能防止脫離后的工件的吹飛。

發(fā)明效果

若對(duì)由本申請(qǐng)所公開的發(fā)明中代表性的內(nèi)容獲得的效果進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明，則如下所述。根據(jù)本發(fā)明的一種解決方案的吸附用吸盤，能夠保護(hù)所吸附的工件，且穩(wěn)定地進(jìn)行脫離。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的吸附用吸盤的剖視圖。

圖2是與圖1連續(xù)的動(dòng)作工序中的吸附用吸盤的剖視圖。

圖3是與圖2連續(xù)的動(dòng)作工序中的吸附用吸盤的剖視圖。

圖4是與圖3連續(xù)的動(dòng)作工序中的吸附用吸盤的剖視圖。

圖5是與圖4連續(xù)的動(dòng)作工序中的吸附用吸盤的剖視圖。

圖6是用于說(shuō)明吸附用吸盤的動(dòng)作狀態(tài)的圖表。

具體實(shí)施方式

在以下的本發(fā)明的實(shí)施方式中，對(duì)于構(gòu)成元件的數(shù)(包括個(gè)數(shù)、數(shù)值、量、范圍等)，除特別明示的情況及原理上明確限定為特定的數(shù)的情況等以外，對(duì)該特定的數(shù)沒有特別限定，可以是特定的數(shù)以上或以下。此外，在提及構(gòu)成元件等的形狀時(shí)，除了特別明示的情況及認(rèn)為原理上明確不是該形狀的情況等以外，包括實(shí)質(zhì)上與該形狀等近似或類似的形狀等。

參照附圖，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式的吸附用吸盤10進(jìn)行說(shuō)明。圖1至圖5是動(dòng)作工序中的吸附用吸盤10的剖視圖。圖6是用于說(shuō)明吸附用吸盤10的動(dòng)作狀態(tài)的圖表，位置1至5分別對(duì)應(yīng)圖1至5。

首先，對(duì)吸附用吸盤10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行概略說(shuō)明。吸附用吸盤10被應(yīng)用于例如使用真空的吸附搬運(yùn)的領(lǐng)域，通過(guò)例如螺旋機(jī)構(gòu)或接頭并經(jīng)由管道(空氣流路)與空氣供給源(未圖示)連接?？諝夤┙o源包括例如換向閥(電磁閥等)、調(diào)壓裝置、真空泵及壓縮機(jī)，是對(duì)于所連接的吸附用吸盤10能夠進(jìn)行空氣吸引、空氣供給的結(jié)構(gòu)。因此，吸附用吸盤10通過(guò)來(lái)自空氣供給源的真空吸引(也稱為空氣吸引)能吸附工件w(例如半導(dǎo)體芯片)、或通過(guò)空氣供給能使工件w脫離。

這里，在本實(shí)施方式中，將利用空氣供給源吸引的空氣作為“真空空氣”、將利用空氣供給源供給的空氣作為“真空破壞空氣”來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。另外，真空吸引是以產(chǎn)生比周圍的高壓力低的壓力的方式進(jìn)行吸引，并不限定于一個(gè)大氣壓以下的真空。

吸附用吸盤10構(gòu)成為包括主體部11、吸盤部12、軸部13、軸彈性部14和活塞部15。在本實(shí)施方式中，吸附用吸盤10具有軸線x，有時(shí)會(huì)以圖中所示的軸線x的一方作為上方、以另一方作為下方進(jìn)行說(shuō)明。

主體部11具有內(nèi)部空間16。內(nèi)部空間16具有主要供軸部13存在的軸室16a、和主要供活塞部15存在的活塞室16b。軸室16a和活塞室16b相鄰且連通。這樣的內(nèi)部空間16由于真空空氣而成為真空狀態(tài)。真空狀態(tài)由于真空破壞空氣而被破壞。因此，內(nèi)部空間16也可稱為供真空空氣和真空破壞空氣流動(dòng)的空氣流路。

主體部11具有在上方側(cè)與內(nèi)部空間16的活塞室16b連通的空氣出入部11a?？諝獬鋈氩?1a具有成為空氣流路的空氣貫通部16c。在空氣出入部11a，吸附用吸盤10與空氣供給源連接。此外，主體部11具有導(dǎo)向貫通部16d，上述導(dǎo)向貫通部16d與吸盤部12連通，且供軸部13的前端部13a插入。上述導(dǎo)向貫通部16d與內(nèi)部空間16的軸室16a連通，成為空氣流路。另外，因?yàn)榭諝庳炌ú?6c和導(dǎo)向貫通部16d也成為空氣流路，所以包含在內(nèi)部空間16中。

吸盤部12具有唇部12a(開口)，與內(nèi)部空間16連通且設(shè)置在主體部11的下方側(cè)。即，吸盤部12和內(nèi)部空間16連通。因此，并不限定于主體部11的內(nèi)部空間16，可以說(shuō)包括吸盤部12的內(nèi)部空間在內(nèi)，都是吸附用吸盤10整體的內(nèi)部空間。

軸部13具有前端部13a和保持部13b，使前端部13a朝向吸盤部12而設(shè)置在內(nèi)部空間16中。此外，軸部13在與前端部13a相反一側(cè)具有凸緣部13c，上述凸緣部13c的直徑比導(dǎo)向貫通部16d的直徑大。因此，凸緣部13c能堵塞導(dǎo)向貫通部16d。

軸部13的前端部13a朝著吸盤部12的內(nèi)外進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)施方式中，在軸部13進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，軸部13的前端部13a和保持部13b在主體部11(導(dǎo)向主體部11b)的導(dǎo)向貫通部16d內(nèi)進(jìn)行滑動(dòng)。另外，為了明確導(dǎo)向貫通部16d的空氣流路，在圖1等中，相對(duì)于軸線x的左側(cè)，將右側(cè)的前端部13a和保持部13b較細(xì)地圖示。

軸彈性部14設(shè)置為在吸附用吸盤10處于自由狀態(tài)(沒有空氣出入的狀態(tài))下，使前端部13a縮回吸盤部12內(nèi)(內(nèi)部空間16內(nèi))地對(duì)軸部13進(jìn)行保持(參照?qǐng)D1)。具體而言，軸彈性部14設(shè)置在導(dǎo)向貫通部16d內(nèi)，且在主體部11的保持部11d(階梯部)和軸部13的保持部13b(階梯部)之間。

根據(jù)這樣的吸附用吸盤10，在將軸部13的前端部13a縮回吸盤部12內(nèi)的狀態(tài)下，能夠使工件w吸附在吸盤部12上(參照?qǐng)D3)。即，能夠消除由軸部13引起的對(duì)工件w的損傷，保護(hù)所吸附的工件w。

此外，吸附用吸盤10構(gòu)成為隨著軸彈性部14的伸縮運(yùn)動(dòng)(上下運(yùn)動(dòng))，軸部13進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)(上下運(yùn)動(dòng))。在本實(shí)施方式中，利用設(shè)置在軸部13和空氣出入部11a之間且設(shè)置在內(nèi)部空間16的活塞部15，能夠使軸部13抵抗軸彈性部14并將軸部13向吸盤部12側(cè)按壓。該活塞部15利用推力進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)(上下運(yùn)動(dòng))。例如，當(dāng)軸部13的前端部13a從吸盤部12伸出時(shí)，通過(guò)真空破壞空氣的作用(在軸室16a和活塞室16b之間發(fā)生的壓力差)經(jīng)由活塞部15將軸部13推出并使軸部13向下移動(dòng)，軸彈性部14變?yōu)槭湛s的狀態(tài)。

此外，吸附用吸盤10構(gòu)成為軸部13在內(nèi)部空間16內(nèi)的沖程量x1(參照?qǐng)D1)比軸部13的前端部13a向吸盤部12外伸出的最大伸出量x2(參照?qǐng)D5)大。藉此，在使工件w脫離時(shí)，在從吸盤部12將真空破壞空氣排出的狀態(tài)(參照?qǐng)D4)之后，即使工件w粘附在吸盤部12上，也能使用軸部13將工件w機(jī)械地推出(圖5參照)，從而能穩(wěn)定地進(jìn)行工件w的脫離。為此，軸部13作為對(duì)吸附的工件w的脫離進(jìn)行輔助的構(gòu)件而使用。

此外，在工件w脫離后，即，在軸部13從吸盤部12伸出后，因?yàn)閷?dǎo)向貫通部16d被凸緣部13c堵塞(參照?qǐng)D5)，所以能夠使真空破壞空氣的排出停止。此外，通過(guò)停止真空破壞空氣的排出，能夠防止工件w的吹飛。為此，能夠使輕量的工件w的脫離穩(wěn)定，工件w的生產(chǎn)性提高(循環(huán)周期提高，設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)率提高)。

此外，因?yàn)橥ㄟ^(guò)利用凸緣部13c堵塞導(dǎo)向貫通部16d從而進(jìn)行真空破壞空氣的停止，所以能粗略地進(jìn)行真空破壞空氣的壓力、流量、排出時(shí)間的設(shè)定，能夠削減調(diào)整工序數(shù)。此外，為了防止吹飛，不需要使用對(duì)真空破壞空氣進(jìn)行控制的控制設(shè)備，能降低使用吸附用吸盤10的吸附系統(tǒng)的成本。

接著，對(duì)吸附用吸盤10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行具體說(shuō)明。吸附用吸盤10包括具有內(nèi)部空間16的主體部11。主體部11由例如金屬等導(dǎo)電性構(gòu)件構(gòu)成。如果使用導(dǎo)電性構(gòu)件，則能夠防止作為工件w的半導(dǎo)體芯片等電子零件的靜電破壞。

內(nèi)部空間16構(gòu)成為在軸線x方向上空氣貫通部16c、活塞室16b、軸室16a、導(dǎo)向貫通部16d從上方側(cè)朝下方側(cè)依次連通。這里，軸室16a的內(nèi)徑比活塞室16b的內(nèi)徑大，在軸室16a和活塞室16b之間為階梯。該階梯部是限制軸部13朝上方側(cè)移動(dòng)的限位部11f。此外，活塞室16b的內(nèi)徑比空氣貫通部16c的內(nèi)徑大，在活塞室16b和空氣貫通部16c之間為階梯。該階梯部是限制活塞部15朝上方側(cè)移動(dòng)的限位部11g。

主體部11構(gòu)成為具有空氣貫通部16c的部分作為空氣出入部11a。在該空氣出入部11a，利用例如螺旋機(jī)構(gòu)或接頭經(jīng)由管道與空氣供給源連接。經(jīng)由空氣出入部11a的空氣貫通部16c利用空氣供給源將空氣從主體部11的內(nèi)部空間16吸引、或向主體部11的內(nèi)部空間16中供給空氣。此外，吸附用吸盤10設(shè)置在空氣出入部11a和空氣供給源的連接部位，且包括用于防止空氣泄漏的發(fā)生的密封部22(例如墊圈)。

此外，主體部11構(gòu)成為將具有導(dǎo)向貫通部16d的部分作為導(dǎo)向主體部11b。導(dǎo)向主體部11b對(duì)插入導(dǎo)向貫通部16d的軸部13的前端部13a以及比前端部13a的直徑大的保持部13b(大徑部)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向。為此，在僅供前端部13a插入的小徑的部位和供前端部13a和保持部13b插入的大徑的部位之間形成階梯。另外，上述階梯部是對(duì)軸彈性部14進(jìn)行保持的保持部11d。

為了將軸部13及活塞部15等零件安裝在內(nèi)部空間16中，導(dǎo)向主體部11b作為蓋能通過(guò)螺旋機(jī)構(gòu)裝拆。此外，吸附用吸盤10包括密封部23(例如，o型圈)，上述密封部23設(shè)置在主體部11的主要部分與蓋部分即導(dǎo)向主體部11b的連接部位，且用于防止來(lái)自內(nèi)部空間16的空氣泄漏。

此外，吸附用吸盤10包括吸盤部12。吸盤部12由例如丁腈橡膠、硅酮橡膠、導(dǎo)電性橡膠等橡膠構(gòu)件構(gòu)成。如果使用橡膠構(gòu)件，就能在與工件w接觸時(shí)對(duì)工件w進(jìn)行保護(hù)。吸盤部12利用主體部11(導(dǎo)向主體部11b)所具有的蓋保持部11c而被保持。在本實(shí)施方式中，以與凸緣狀的蓋保持部11c嵌合的方式在吸盤部12的內(nèi)部形成周向槽，吸盤部12被安裝(保持)于主體部11。如果是由橡膠構(gòu)件構(gòu)成的吸盤部12，就能確保主體部11和吸盤部12的連接部位的密封性。另外，在本實(shí)施方式中，主體部11和吸盤部12為分體，將吸盤部12安裝在主體部11，但主體部11和吸盤部12也可以例如由樹脂材料一體成形。

主體部11上所安裝的吸盤部12具有與內(nèi)部空間16(導(dǎo)向貫通部16d)連通的吸盤貫通部12b。該吸盤貫通部12b在唇部12a以逐漸展開的方式開口，上述唇部12a用于確保用于吸附工件w的面積。唇部12a的直徑在例如工件w是數(shù)毫米見方的小型化、輕量化的半導(dǎo)體芯片的情況下，是3mm左右，但根據(jù)工件w的大小、重量可為200mm左右。這樣的吸盤貫通部12b在工件w被吸盤部12吸附的情況下，處于真空狀態(tài)(參照?qǐng)D3)。

此外，吸附用吸盤10包括軸部13。軸部13與主體部11同樣地由例如金屬等導(dǎo)電性構(gòu)件構(gòu)成。軸部13構(gòu)成為在長(zhǎng)度方向(軸線x方向)上從下方側(cè)朝上方側(cè)依次為前端部13a、保持部13b、凸緣部13c。保持部13b設(shè)為比前端部13a的直徑大，凸緣部13c設(shè)為比保持部13b的直徑更大。

這樣的軸部13具有在長(zhǎng)度方向(軸線x方向)上貫通的軸貫通部13d。軸貫通部13d在吸附工件w時(shí)被用作空氣流路(參照?qǐng)D2)。此外，軸貫通部13d通過(guò)活塞部15而開閉。在軸貫通部13d通過(guò)活塞部15而閉塞的情況下，活塞部15與軸部13的凸緣部13c接觸。在本實(shí)施方式中，將活塞部15與軸部13的凸緣部13c接觸的部位作為端口a、將凸緣部13c與導(dǎo)向主體部11b接觸的部位作為端口b來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。

此外，凸緣部13c具有從上表面?zhèn)?活塞部15側(cè))凹陷的凹陷部24。軸貫通部13d在上述凹陷部24的里側(cè)開口。通過(guò)設(shè)置凹陷部24，能夠?qū)⑤S部13和活塞部15容易地向主體部11安裝。另外，可以是不設(shè)置凹陷部24，而是將凸緣部13c的上表面設(shè)為平坦面，且使軸貫通部13d開口的結(jié)構(gòu)。

此外，吸附用吸盤10包括軸彈性部14。軸彈性部14是例如由不銹鋼材料構(gòu)成的線圈狀的彈簧，供軸部13插入其中。軸彈性部14設(shè)置在導(dǎo)向貫通部16d內(nèi)，且在主體部11(導(dǎo)向主體部11b)的保持部11d和軸部13的保持部13b之間。此外，軸彈性部14在自由狀態(tài)下，使前端部13a縮回吸盤部12內(nèi)地對(duì)軸部13進(jìn)行保持(參照?qǐng)D1)。

在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為軸部13在內(nèi)部空間16內(nèi)的沖程量x1(參照?qǐng)D1)比軸部13的前端部13a向吸盤部12外伸出的最大伸出量x2(參照?qǐng)D5)大。這里，沖程量x1是從軸部13的凸緣部13c與限位部11f接觸的狀態(tài)到軸部13的凸緣部13c與導(dǎo)向主體部11b接觸(端口b)為止的距離。

此外，吸附用吸盤10包括活塞部15。該活塞部15設(shè)置在內(nèi)部空間16內(nèi)，且在軸部13和空氣出入部11a之間。該活塞部15利用推力進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)(上下運(yùn)動(dòng))。具體而言，活塞部15利用真空空氣向上方移動(dòng)、利用真空破壞空氣向下方移動(dòng)。

該活塞部15具有空氣出入部11a側(cè)的凹陷部15a和交差貫通部15b(圖1中表示軸線y)，上述交差貫通部15b在與凹陷部15a的深度方向(軸線x方向)交叉的方向上延伸且與凹陷部15a連通。利用向吸附用吸盤10供給的真空破壞空氣，將活塞部15和軸部13壓下。在該壓下動(dòng)作中，利用交叉貫通部15b和空氣流路(形成于軸部13的外周面和內(nèi)部空間16的內(nèi)周面之間)能夠?qū)⒄婵掌茐目諝獬蛭P部12送出。另外，在凹陷部15a的底部還可設(shè)置沿著軸線x方向朝軸部13側(cè)貫通的小孔(空氣流量小的孔)。

此外，吸附用吸盤10包括活塞彈性部25?；钊麖椥圆?5是例如由不銹鋼材料構(gòu)成的線圈狀的彈簧。該活塞彈性部25以與主體部11的保持部11e(凹陷部)和活塞部15的凹陷部15a關(guān)聯(lián)的方式被保持(嵌入)。在本實(shí)施方式中，作為活塞彈性部25使用推力(彈簧負(fù)荷)比軸彈性部14小的構(gòu)件。

接著，對(duì)吸附用吸盤10的動(dòng)作方法進(jìn)行說(shuō)明。自由狀態(tài)(沒有空氣出入的狀態(tài))的吸附用吸盤10如圖1(對(duì)應(yīng)于圖6的位置1)所示，軸部13的前端部13a處于縮回吸盤部12內(nèi)的狀態(tài)。因?yàn)槭亲杂蔂顟B(tài)，所以真空空氣和真空破壞空氣是關(guān)閉狀態(tài)。此外，工件w也處于未吸附狀態(tài)。此外，端口a為關(guān)閉狀態(tài)，端口b為打開狀態(tài)。

相對(duì)于自由狀態(tài)的吸附用吸盤10，當(dāng)將真空空氣設(shè)為打開狀態(tài)(真空破壞空氣為關(guān)閉狀態(tài))時(shí)，變?yōu)閳D2(對(duì)應(yīng)于圖6的位置2)所示的狀態(tài)。具體而言，在將前端部13a縮回吸盤部12內(nèi)的狀態(tài)下，從內(nèi)部空間16進(jìn)行真空空氣的吸引。藉此，活塞部15向上移動(dòng)至與限位部11g接觸，端口a變?yōu)榇蜷_狀態(tài)。此時(shí)，空氣流動(dòng)(真空流動(dòng))在從吸盤部12的唇部12a到軸貫通部13d內(nèi)、軸部13的外周面和內(nèi)部空間16的內(nèi)周面之間(導(dǎo)向貫通部16d和軸室16a)、包括活塞部15的內(nèi)部的活塞室16b、和空氣貫通部16c中發(fā)生。為此，利用真空空氣在吸盤部12的唇部12a產(chǎn)生吸引力。

接著，若將真空空氣設(shè)為打開狀態(tài)并進(jìn)行真空吸引，則如圖3(對(duì)應(yīng)于圖6的位置3)所示的工件w變?yōu)楸晃P部12的唇部12a吸附的狀態(tài)。在將工件w吸附后，變?yōu)闆]有空氣的流動(dòng)的真空狀態(tài)，端口a變?yōu)殛P(guān)閉狀態(tài)。在該狀態(tài)下搬運(yùn)工件w。

由此，根據(jù)吸附用吸盤10，能在將前端部13a縮回吸盤部12內(nèi)的狀態(tài)下，從內(nèi)部空間16進(jìn)行真空空氣的吸引，使工件w吸附在吸盤部12上。為此，在吸附時(shí)，無(wú)需使軸部13與工件w接觸，能保護(hù)工件w，減輕對(duì)工件w的損傷。

相對(duì)于真空狀態(tài)的吸附用吸盤10，當(dāng)將真空破壞空氣設(shè)為打開狀態(tài)(真空空氣為關(guān)閉狀態(tài))時(shí)，變?yōu)閳D4(對(duì)應(yīng)于圖6的位置4)所示的狀態(tài)。即，若供給真空破壞空氣，則吸附用吸盤10的內(nèi)壓上升，能夠從吸盤部12將真空破壞空氣排出。

具體而言，若供給真空破壞空氣，則經(jīng)由活塞部15利用將軸部13推出的推力使軸部13朝下方側(cè)開始移動(dòng)。此時(shí)，活塞部15與軸部13的凸緣部13c接觸，端口a變?yōu)殛P(guān)閉狀態(tài)。在軸部13移動(dòng)的期間，真空破壞空氣在導(dǎo)向貫通部16d的內(nèi)周面和軸部13的外周面之間(端口b)發(fā)生空氣流動(dòng)，真空破壞空氣從吸盤部12的唇部12a排出。利用該真空破壞空氣，工件w從吸盤部12的唇部12a脫離(變?yōu)槲次?。另外，根據(jù)軸部13的沖程量能夠調(diào)整真空破壞空氣的排出時(shí)間。

在使真空破壞空氣從吸盤部12的唇部12a排出后，仍繼續(xù)供給真空破壞空氣，通過(guò)活塞部15(真空破壞空氣)的按壓，使軸部13的前端部13a從吸盤部12的唇部12a伸出。藉此，即使是在工件w粘附在吸盤部12的唇部12a上的情況下(特別是在工件w為輕量時(shí)容易發(fā)生)，也能通過(guò)軸部13的推出使工件w脫離。

接著，若將真空破壞空氣設(shè)為打開狀態(tài)并進(jìn)行空氣供給，則成為圖5(對(duì)應(yīng)于圖6的位置5)所示的狀態(tài)。即，在使軸部13的前端部13a從吸盤部12伸出后，能使真空破壞空氣停止從吸盤部12排出。這里，軸部13的前端部13a變?yōu)橥耆斐鲋廖P部12外的狀態(tài)(最大伸出量x2)。具體而言，通過(guò)活塞部15的按壓使軸部13的凸緣部13c朝下移動(dòng)至與導(dǎo)向主體部11b接觸，端口b變?yōu)殛P(guān)閉狀態(tài)。藉此，來(lái)自吸盤部12的唇部12a的真空破壞空氣的排出受到阻斷，不會(huì)發(fā)生工件w的吹飛，能穩(wěn)定地進(jìn)行脫離。