本發(fā)明涉及機(jī)械位移放大設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種納微定位平臺(tái)。

背景技術(shù)：

隨著科學(xué)技術(shù)的日益發(fā)展，納米技術(shù)的不斷提高，為了追求好品質(zhì)的生活質(zhì)量，許多領(lǐng)域?qū){微米級(jí)定位平臺(tái)提出更高的要求。如超精密加工制造業(yè)，生物細(xì)胞工程，芯片光刻機(jī)及引線縫合機(jī)等對(duì)納微平臺(tái)都有較高的精度要求。

在由精密驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的納微定位平臺(tái)領(lǐng)域中，精度和行程是它進(jìn)一步發(fā)展應(yīng)用矛盾的主要瓶頸。目前實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)大行程高定位精度的方法是采用宏微兩級(jí)工作臺(tái)，宏動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)大行程、微動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)最終的定位精度。這類定位平臺(tái)設(shè)計(jì)的主要思路是將兩種類型的電動(dòng)機(jī)結(jié)合起來(lái)，直流電動(dòng)機(jī)控制機(jī)構(gòu)大范圍運(yùn)動(dòng)，精密驅(qū)動(dòng)器保證終端執(zhí)行器的高精度。這種設(shè)計(jì)廣泛運(yùn)用于柔性機(jī)制的定位平臺(tái)中，但是一些特定情況下，無(wú)法滿足大行程要求。

普通納微定位平臺(tái)受到自身固有結(jié)構(gòu)的限制工能單一，而設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中的各項(xiàng)指標(biāo)需求通常是多樣的，這就導(dǎo)致了為了達(dá)到目的往往需要準(zhǔn)備不同種類的納微定位平臺(tái)，在一定程度上造成了設(shè)備成本的浪費(fèi)。

綜上所述，如何有效地解決現(xiàn)有的納微定位輸出裝置難以滿足不同精度及輸出行程的定位要求等的問(wèn)題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種納微定位平臺(tái)，該納微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以有效地解決現(xiàn)有的納微定位輸出裝置難以滿足不同精度及輸出行程的定位要求等的技術(shù)問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種納微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)輸入裝置、柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及用于固定柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的平臺(tái)底座，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置通過(guò)第一輸入杠桿與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一側(cè)連接，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)該側(cè)通過(guò)柔性鉸鏈連接有輸出平臺(tái)；所述第一輸入杠桿的首端與平臺(tái)底座連接，其中段設(shè)置有連接第一運(yùn)動(dòng)輸入裝置的第一輸入臺(tái)，其末端設(shè)置有連接第二運(yùn)動(dòng)輸入裝置的第二輸入臺(tái)，其末端的另一側(cè)與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一輸入臺(tái)與所述第一輸入杠桿之間通過(guò)第一柔性鉸鏈連接，所述第一輸入杠桿的末端與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之間通過(guò)第二柔性鉸鏈連接。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括半包圍結(jié)構(gòu)的第一杠桿，所述第一杠桿的頂端通過(guò)所述第二柔性鉸鏈與所述第一輸入杠桿連接，第一杠桿頂端的另一側(cè)通過(guò)對(duì)稱設(shè)置的第三柔性鉸鏈和第四柔性鉸鏈，與設(shè)置于所述輸出平臺(tái)一側(cè)的第一輸出桿的頂側(cè)連接。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一杠桿背離所述第一輸入杠桿的底端設(shè)置開口，所述開口的內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置有第五柔性鉸鏈和第六柔性鉸鏈，所述第一杠桿底端的內(nèi)側(cè)通過(guò)柔性鉸鏈與所述第一輸出桿的底側(cè)連接。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一輸出桿的端部設(shè)置有T形連接端，通過(guò)所述T形連接端的兩側(cè)分別與所述第三柔性鉸鏈、第四柔性鉸鏈及第五柔性鉸鏈、第六柔性鉸鏈連接，所述第一輸出桿的另一端穿過(guò)所述開口與所述輸出平臺(tái)固定連接。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還包括與所述平臺(tái)底座安裝固定的固定部，所述第一杠桿的左右兩外側(cè)分別通過(guò)一對(duì)外側(cè)柔性鉸鏈與所述固定部連接。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一柔性鉸鏈、第二柔性鉸鏈及所述外側(cè)柔性鉸鏈均為圓弧型柔性鉸鏈；所述第三柔性鉸鏈、第四柔性鉸鏈、第五柔性鉸鏈及第六柔性鉸鏈連接均為直梁型柔性鉸鏈。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)垂直于所述第一輸入杠桿輸入方向的一側(cè)還連接有第二輸入杠桿，所述第二輸入杠桿與所述第一輸入杠桿結(jié)構(gòu)相同，其末端與柔性運(yùn)動(dòng)平的第二杠桿連接，所述第二杠桿與所述第一杠桿結(jié)構(gòu)相同，所述輸出平臺(tái)垂直于所述第一輸出桿的方向還設(shè)置有第二輸出桿，所述第二輸出桿、所述第二杠桿之間的連接結(jié)構(gòu)同所述第一輸出桿與所述第一杠桿之間的連接結(jié)構(gòu)相同。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與所述第一輸入杠桿輸入方向正對(duì)另的一側(cè)還連接有第三輸入杠桿，所述第三輸入杠桿與所述第一輸入杠桿結(jié)構(gòu)相同，其末端與柔性運(yùn)動(dòng)平的第三杠桿連接，所述第三杠桿與所述第一杠桿結(jié)構(gòu)相同，所述輸出平臺(tái)與所述第一輸出桿的方向正對(duì)的另一側(cè)還設(shè)置有第三輸出桿，所述第三輸出桿、所述第三杠桿之間的連接結(jié)構(gòu)同所述第一輸出桿與所述第一杠桿之間的連接結(jié)構(gòu)相同。

優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置具體為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器。

本發(fā)明提供的納微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)輸入裝置、柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及用于固定柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的平臺(tái)底座，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置通過(guò)第一輸入杠桿與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一側(cè)連接，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)該側(cè)通過(guò)柔性鉸鏈連接有輸出平臺(tái)；所述第一輸入杠桿的首端與平臺(tái)底座連接，其中段設(shè)置有連接第一運(yùn)動(dòng)輸入裝置的第一輸入臺(tái)，其末端設(shè)置有連接第二運(yùn)動(dòng)輸入裝置的第二輸入臺(tái)，其末端的另一側(cè)與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接。這種納微定位平臺(tái)中采用柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)放大位移，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括由柔性鉸鏈連接的杠桿，采用柔性鉸鏈連接傳導(dǎo)位移，在柔性鉸鏈和杠桿本身位置及尺寸精準(zhǔn)的情況下，可以保證位移的較為精確的放大；在此基礎(chǔ)上，通過(guò)第一輸入杠桿將運(yùn)動(dòng)輸入裝置的位移輸出給柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，在杠桿的不同位置分別設(shè)置不同的輸入臺(tái)用于輸入位移，通過(guò)不同的輸入臺(tái)位置輸入位移并通過(guò)第一輸入杠桿的傳遞運(yùn)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)不同的位移放大倍數(shù)，相應(yīng)的輸出位移的精度也就不同。這種在第一輸入杠桿上設(shè)置不同輸入位移位置的設(shè)計(jì)，能夠較好的適應(yīng)實(shí)際使用中不同應(yīng)用場(chǎng)景下，對(duì)于不同輸出行程倍數(shù)及不同精度的需求，提高了同一套設(shè)備的利用率，節(jié)約了使用成本，有效地解決了現(xiàn)有的納微定位輸出裝置難以滿足不同精度及輸出行程的定位要求的技術(shù)問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的納微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的納微定位平臺(tái)的第一杠桿位置的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)記如下：

第一輸入杠桿1、第一輸入臺(tái)1-1、第二輸入臺(tái)1-2、第一柔性鉸鏈1-3、第二柔性鉸鏈1-4、第一杠桿2、輸出平臺(tái)3、第一輸出桿4、T形連接端4-1、第三柔性鉸鏈4-2、第四柔性鉸鏈4-3、第五柔性鉸鏈4-4、第六柔性鉸鏈4-5、固定部5、外側(cè)柔性鉸鏈5-1、第二輸入杠桿6。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明實(shí)施例公開了一種納微定位平臺(tái)，以解決現(xiàn)有的納微定位輸出裝置難以滿足不同精度及輸出行程的定位要求等的技術(shù)問(wèn)題。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1、圖2，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的納微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的納微定位平臺(tái)的第一杠桿位置的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

本發(fā)明實(shí)施例提供的納微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)輸入裝置、柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及用于固定柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的平臺(tái)底座，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置通過(guò)第一輸入杠桿1與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一側(cè)連接，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)該側(cè)通過(guò)柔性鉸鏈連接有輸出平臺(tái)3；所述第一輸入杠桿1的首端與平臺(tái)底座連接，其中段設(shè)置有連接第一運(yùn)動(dòng)輸入裝置的第一輸入臺(tái)1-1，其末端設(shè)置有連接第二運(yùn)動(dòng)輸入裝置的第二輸入臺(tái)1-2，其末端的另一側(cè)與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接。

其中需要說(shuō)明的是，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括通過(guò)柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)連接的杠桿及平臺(tái)組件，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的位移放大，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的固定部分與平臺(tái)底座固定連接，活動(dòng)部分不與平臺(tái)底座連接，第一輸入杠桿的末端的正反兩側(cè)分別與第二輸入平臺(tái)及柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接；此外第一輸入杠桿上所設(shè)置的輸入臺(tái)不僅僅限于第一和第二輸入臺(tái)，根據(jù)不同的行程和精度要求還可在第一輸入杠桿上的其他位置設(shè)置其他的輸入臺(tái)，以便適應(yīng)更多不同的使用需求。

另外，首端、末端和中段是相對(duì)的概念，用于說(shuō)明杠桿或平臺(tái)上連接點(diǎn)的相對(duì)位置，并無(wú)具體的尺寸和位置限制，具體應(yīng)用中可通過(guò)需要輸出的位移的大小和柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)具體調(diào)整鉸接點(diǎn)的位置以適應(yīng)具體應(yīng)用環(huán)境。

這種納微定位平臺(tái)中采用柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)放大位移，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括由柔性鉸鏈連接的杠桿，采用柔性鉸鏈連接傳導(dǎo)位移，在柔性鉸鏈和杠桿本身位置及尺寸精準(zhǔn)的情況下，可以保證位移的較為精確的放大；在此基礎(chǔ)上，通過(guò)第一輸入杠桿將運(yùn)動(dòng)輸入裝置的位移輸出給柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，在杠桿的不同位置分別設(shè)置不同的輸入臺(tái)用于輸入位移，通過(guò)不同的輸入臺(tái)位置輸入位移并通過(guò)第一輸入杠桿的傳遞運(yùn)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)不同的位移放大倍數(shù)，相應(yīng)的輸出位移的精度也就不同。這種在第一輸入杠桿上設(shè)置不同輸入位移位置的設(shè)計(jì)，能夠較好的適應(yīng)實(shí)際使用中不同應(yīng)用場(chǎng)景下，對(duì)于不同輸出行程倍數(shù)及不同精度的需求，提高了同一套設(shè)備的利用率，節(jié)約了使用成本，有效地解決了現(xiàn)有的納微定位輸出裝置難以滿足不同精度及輸出行程的定位要求的技術(shù)問(wèn)題。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一輸入臺(tái)1-1與所述第一輸入杠桿1之間通過(guò)第一柔性鉸鏈1-3連接，所述第一輸入杠桿1的末端與所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之間通過(guò)第二柔性鉸鏈1-4連接。

柔性鉸鏈?zhǔn)且环N結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、形狀較為規(guī)則的彈性支承，具有和幾何中心軸重合的回轉(zhuǎn)中心，依靠在圓周徑向均布的彈性薄片的有限變形進(jìn)行工作。在扭轉(zhuǎn)載荷下，繞其回轉(zhuǎn)中心在有限角度范圍內(nèi)產(chǎn)生回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。本實(shí)施例中采用的柔性鉸鏈本身可以與杠桿或平臺(tái)內(nèi)的其他固定部件一體成型加工，可有效避免裝配誤差。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括半包圍結(jié)構(gòu)的第一杠桿2，所述第一杠桿2的頂端通過(guò)所述第二柔性鉸鏈1-4與所述第一輸入杠桿1連接，第一杠桿2頂端的另一側(cè)通過(guò)對(duì)稱設(shè)置的第三柔性鉸鏈4-2和第四柔性鉸鏈4-3，與設(shè)置于所述輸出平臺(tái)3一側(cè)的第一輸出桿4的頂側(cè)連接。

本實(shí)施例提供的技術(shù)方案通過(guò)半包圍結(jié)構(gòu)的第一杠桿配合對(duì)稱設(shè)置的柔性鉸鏈實(shí)現(xiàn)位移的放大，通過(guò)第一輸入杠桿對(duì)第一杠桿的頂端輸出壓力和位移，通過(guò)第一杠桿另一側(cè)的兩個(gè)柔性鉸鏈向第一輸出桿傳遞位移，由于第三、第四柔性鉸鏈對(duì)稱的與第一輸出杠桿相連，能夠防止輸出位移方向發(fā)生偏移，并通過(guò)第一輸出桿向輸出平臺(tái)傳遞位移令輸出平臺(tái)向輸出桿的軸向發(fā)生位移。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一杠桿2背離所述第一輸入杠桿1的底端設(shè)置開口，所述開口的內(nèi)側(cè)對(duì)稱設(shè)置有第五柔性鉸鏈4-4和第六柔性鉸鏈4-5，所述第一杠桿2底端的內(nèi)側(cè)通過(guò)柔性鉸鏈與所述第一輸出桿4的底側(cè)連接。

本實(shí)施例提供的技術(shù)方案在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步的在第一杠桿的開口一側(cè)的內(nèi)側(cè)設(shè)置對(duì)稱的柔性鉸鏈連接第一輸出桿的另一側(cè)，通過(guò)第五和第六柔性鉸鏈輔助第三、第四柔性鉸鏈傳遞運(yùn)動(dòng)，提高了輸出行程的穩(wěn)定性和精準(zhǔn)度。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一輸出桿4的端部設(shè)置有T形連接端4-1，通過(guò)所述T形連接端4-1的兩側(cè)分別與所述第三柔性鉸鏈4-2、第四柔性鉸鏈4-3及第五柔性鉸鏈4-4、第六柔性鉸鏈4-5連接，所述第一輸出桿4的另一端穿過(guò)所述開口與所述輸出平臺(tái)3固定連接。

本實(shí)施例提供的技術(shù)方案進(jìn)一步優(yōu)化了第三至第六柔性鉸鏈與第一輸出桿的連接方式，通過(guò)T形的端部結(jié)構(gòu)，增加了端部可以固定柔性鉸鏈的空間，令柔性鉸鏈推動(dòng)第一輸出桿的位置可以更加均勻的分布在第一輸出桿端部的兩側(cè)，令運(yùn)動(dòng)輸出的平行度更好。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還包括與所述平臺(tái)底座安裝固定的固定部5，所述第一杠桿2的左右兩外側(cè)分別通過(guò)一對(duì)外側(cè)柔性鉸鏈5-1與所述固定部5連接。

本實(shí)施例提供的技術(shù)方案中固定部為柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的延伸部分，柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)通過(guò)固定部與平臺(tái)底座實(shí)現(xiàn)安裝固定，固定部并不僅僅指某一個(gè)特定結(jié)構(gòu)而是柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與平臺(tái)底座固定不動(dòng)的部分，通過(guò)第一杠桿的左右兩外側(cè)分別通過(guò)一對(duì)外側(cè)柔性鉸鏈與固定部連接有效確保了杠桿運(yùn)動(dòng)的支點(diǎn)固定穩(wěn)定；此外這種左右兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置柔性鉸鏈將傳遞運(yùn)動(dòng)的杠桿與固定部分連接的設(shè)計(jì)更夠確保在輸出運(yùn)動(dòng)時(shí)，在垂直于行程的方向上能夠有效解耦，防止影響位移輸出的精度。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述第一柔性鉸鏈1-3、第二柔性鉸鏈1-4及所述外側(cè)柔性鉸鏈5-1均為圓弧型柔性鉸鏈；所述第三柔性鉸鏈4-2、第四柔性鉸鏈4-3、第五柔性鉸鏈4-4及第六柔性鉸鏈4-5連接均為直梁型柔性鉸鏈。

其中，圓弧形鉸鏈?zhǔn)倾q鏈連接的兩端在過(guò)度位置均采用圓弧形的設(shè)計(jì)，鉸鏈本身呈現(xiàn)兩個(gè)相對(duì)圓弧的結(jié)構(gòu)，其在柔性鉸鏈中具有運(yùn)動(dòng)傳遞精度高，轉(zhuǎn)動(dòng)范圍較小的特點(diǎn)適合本技術(shù)方案中第一、第二柔性鉸鏈的應(yīng)用位置；梁型鉸鏈?zhǔn)倾q鏈連接的兩端在過(guò)度位置均采用直角形的設(shè)計(jì)，由于設(shè)計(jì)需要，第三至第六柔性鉸鏈需要能夠?qū)崿F(xiàn)較大的位移傳遞，由于其他柔性鉸鏈的限位作用不要求很高的運(yùn)動(dòng)精度，所以采用直梁型柔性鉸。。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)垂直于所述第一輸入杠桿1輸入方向的一側(cè)還連接有第二輸入杠桿6，所述第二輸入杠桿6與所述第一輸入杠桿1結(jié)構(gòu)相同，其末端與柔性運(yùn)動(dòng)平的第二杠桿連接，所述第二杠桿與所述第一杠桿2結(jié)構(gòu)相同，所述輸出平臺(tái)3垂直于所述第一輸出桿4的方向還設(shè)置有第二輸出桿，所述第二輸出桿、所述第二杠桿之間的連接結(jié)構(gòu)同所述第一輸出桿4與所述第一杠桿2之間的連接結(jié)構(gòu)相同。

進(jìn)一步的本實(shí)施例提供的技術(shù)方案在輸出平臺(tái)的另一側(cè)同樣設(shè)置與前述實(shí)施例中結(jié)構(gòu)基本一致的位移傳遞結(jié)構(gòu)，令納微定位平臺(tái)不僅可以實(shí)現(xiàn)單一方向上的精確輸出行程，還能夠在垂直前述實(shí)施例輸出方向的方向進(jìn)行位移的放大輸出，實(shí)現(xiàn)了在整個(gè)平面的范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)位移的精確放大輸出。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與所述第一輸入杠桿1輸入方向正對(duì)另的一側(cè)還連接有第三輸入杠桿，所述第三輸入杠桿與所述第一輸入杠桿1結(jié)構(gòu)相同，其末端與柔性運(yùn)動(dòng)平的第三杠桿連接，所述第三杠桿與所述第一杠桿2結(jié)構(gòu)相同，所述輸出平臺(tái)3與所述第一輸出桿4的方向正對(duì)的另一側(cè)還設(shè)置有第三輸出桿，所述第三輸出桿、所述第三杠桿之間的連接結(jié)構(gòu)同所述第一輸出桿4與所述第一杠桿2之間的連接結(jié)構(gòu)相同。

本實(shí)施例提出的技術(shù)方案的效果與上述實(shí)施例的效果相似，令位移的輸出不僅僅局限于一個(gè)維度內(nèi)的單一方向，而是可以實(shí)現(xiàn)正反雙向的位移放大輸出，進(jìn)一步優(yōu)化了設(shè)備的實(shí)用性。

為進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上優(yōu)選的，上述納微定位平臺(tái)中，所述運(yùn)動(dòng)輸入裝置具體為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器。

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器是一種利用壓電陶瓷的逆壓電原理，通過(guò)控制電流輸入實(shí)現(xiàn)精確位移輸出的裝置，采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器能夠提供精準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)輸入，從而令經(jīng)過(guò)柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)發(fā)大輸出的位移能夠更加精準(zhǔn)可控。

本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。