六方軸結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種六方軸結(jié)構(gòu)，涉及機(jī)械領(lǐng)域。六方軸結(jié)構(gòu)包括：第一軸承、第二軸承、桶形的主軸芯和轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于所述主軸芯內(nèi)；所述轉(zhuǎn)動軸的頭部與所述主軸芯的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第一軸承；所述轉(zhuǎn)動軸的尾部與所述主軸芯的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第二軸承。本實(shí)用新型所述六方軸結(jié)構(gòu)采用轉(zhuǎn)動軸取代軸頭，通過2個(gè)軸承、轉(zhuǎn)動軸和主軸芯配合有效的避免了磁鋼支座與靶筒的相對偏心轉(zhuǎn)動，達(dá)到了使整個(gè)旋轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng)更穩(wěn)定的目的。
【專利說明】六方軸結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種六方軸結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)支撐結(jié)構(gòu)(六方軸結(jié)構(gòu))采用自潤滑軸承，該自潤滑軸承容易磨損，導(dǎo)致磁鋼支座相對于靶筒產(chǎn)生偏心轉(zhuǎn)動，刮蹭靶筒，在一定程度上影響了磁場的均勻性，因而存在使整個(gè)旋轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng)不穩(wěn)定的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有自潤滑軸承容易磨損，導(dǎo)致磁鋼支座相對于靶筒產(chǎn)生偏心轉(zhuǎn)動，刮蹭靶筒，在一定程度上影響了磁場的均勻性，因而存在使整個(gè)旋轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng)不穩(wěn)定的問題，從而提供六方軸結(jié)構(gòu)的技術(shù)方案。
[0004]實(shí)用新型所述六方軸結(jié)構(gòu)，包括:第一軸承、第二軸承、桶形的主軸芯和轉(zhuǎn)動軸，
[0005]所述轉(zhuǎn)動軸可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于所述主軸芯內(nèi)；
[0006]所述轉(zhuǎn)動軸的頭部與所述主軸芯的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第一軸承；
[0007]所述轉(zhuǎn)動軸的尾部與所述主軸芯的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第二軸承。
[0008]優(yōu)選的，所述第一軸承為沖壓外圈滾針軸承。
[0009]優(yōu)選的，所述第二軸承為深溝球軸承。
[0010]優(yōu)選的，還包括:油封，所述油封設(shè)置于第二軸承的一側(cè)，位于轉(zhuǎn)動軸的尾部。
[0011]優(yōu)選的，還包括:墊圈，所述墊圈設(shè)置于所述油封與所述第二軸承之間。
[0012]優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動軸的尾部設(shè)置有一凹槽。
[0013]優(yōu)選的，所述主軸芯包括:軸芯部和連接端部，
[0014]所述軸芯部與所述連接端部為一體式結(jié)構(gòu)，所述軸芯部為管形結(jié)構(gòu)，所述管形結(jié)構(gòu)的端面外圈形狀為正六邊形；
[0015]所述連接端部的端面的寬度大于所述正六邊形的外接圓的直徑，所述轉(zhuǎn)動軸的一端伸出所述連接端部。
[0016]本實(shí)用新型的有益效果:
[0017]本實(shí)用新型所述六方軸結(jié)構(gòu)是磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動端頭內(nèi)部帶動靶筒旋轉(zhuǎn)的一個(gè)部件，主要有作用:通過電機(jī)帶動靶筒旋轉(zhuǎn)；通過與水電端頭配合支撐磁鋼支座，使磁鋼支座與靶筒產(chǎn)生相對轉(zhuǎn)動；使驅(qū)動端與靶筒之間絕緣。
[0018]本實(shí)用新型所述六方軸結(jié)構(gòu)采用轉(zhuǎn)動軸取代軸頭，通過2個(gè)軸承、轉(zhuǎn)動軸和主軸芯配合有效的避免了磁鋼支座與靶筒的相對偏心轉(zhuǎn)動，達(dá)到了使整個(gè)旋轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng)更穩(wěn)定的目的。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型所述六方軸結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為六方軸結(jié)構(gòu)與驅(qū)動端頭、磁鋼支架以及靶筒的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]附圖中:1.第一軸承；2.主軸芯；21.軸芯部；22.連接端部；3.轉(zhuǎn)動軸；4.第二軸承；5.塾圈；6.油封；7.驅(qū)動纟而頭；8.TK方軸結(jié)構(gòu)；9磁鋼支座；10.祀筒；11水電纟而頭；12.驅(qū)動電機(jī)。

【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，但不作為本實(shí)用新型的限定。
[0023]如圖1所示，本實(shí)用新型的六方軸結(jié)構(gòu)，包括:第一軸承1、第二軸承4、桶形的主軸芯2和轉(zhuǎn)動軸3，
[0024]所述轉(zhuǎn)動軸3可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于所述主軸芯2內(nèi)；
[0025]所述轉(zhuǎn)動軸3的頭部與所述主軸芯2的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第一軸承I ;
[0026]所述轉(zhuǎn)動軸3的尾部與所述主軸芯2的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第二軸承4。
[0027]第一軸承1、第二軸承4使轉(zhuǎn)動軸3在轉(zhuǎn)動的同時(shí)保持軸中心位置的固定。
[0028]如圖2所示，六方軸結(jié)構(gòu)8的主軸芯2的一端固定于驅(qū)動電機(jī)12的驅(qū)動端頭7上，主軸芯2的另一端與靶筒10連接，通過驅(qū)動電機(jī)12帶動靶筒10旋轉(zhuǎn)；轉(zhuǎn)動軸3與磁鋼支座9連接，轉(zhuǎn)動軸3與的一端磁鋼支座9的一端連接，該磁鋼支座9的另一端固定于水電端頭11上。第一軸承1、第二軸承4使轉(zhuǎn)動軸3在轉(zhuǎn)動的同時(shí)保持軸中心位置的固定。主軸芯2為管形，該管一端的外圈的橫截面為正六邊形。
[0029]上述技術(shù)方案中，第一軸承I為沖壓外圈滾針軸承。
[0030]上述技術(shù)方案中，第二軸承4為深溝球軸承。
[0031]上述技術(shù)方案中，還包括:油封6，油封6設(shè)置于第二軸承4的一側(cè)，位于轉(zhuǎn)動軸3的尾部。
[0032]上述技術(shù)方案中，還包括:墊圈5，墊圈5設(shè)置于油封6與第二軸承4之間。
[0033]上述技術(shù)方案中，轉(zhuǎn)動軸3的尾部設(shè)置有一凹槽，用以固定磁鋼支座9。
[0034]上述技術(shù)方案中，主軸芯2包括:軸芯部21和連接端部22，
[0035]軸芯部21與連接端部22為一體式結(jié)構(gòu)，軸芯部21為管形結(jié)構(gòu)，管形結(jié)構(gòu)的端面外圈形狀為正六邊形；
[0036]連接端部22的端面的寬度大于正六邊形的外接圓的直徑，轉(zhuǎn)動軸3的一端伸出連接端部22。
[0037]連接端部22與靶筒10連接。
[0038]以上所述僅為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識到凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.六方軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括:第一軸承、第二軸承、桶形的主軸芯和轉(zhuǎn)動軸， 所述轉(zhuǎn)動軸可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于所述主軸芯內(nèi)； 所述轉(zhuǎn)動軸的頭部與所述主軸芯的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第一軸承； 所述轉(zhuǎn)動軸的尾部與所述主軸芯的內(nèi)壁之間設(shè)置所述第二軸承。
2.如權(quán)利要求1所述六方軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一軸承為沖壓外圈滾針軸承。
3.如權(quán)利要求1所述六方軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二軸承為深溝球軸承。
4.如權(quán)利要求1所述六方軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括:油封，所述油封設(shè)置于第二軸承的一側(cè)，位于轉(zhuǎn)動軸的尾部。
5.如權(quán)利要求4所述六方軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括:墊圈，所述墊圈設(shè)置于所述油封與所述第二軸承之間。
6.如權(quán)利要求1所述六方軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動軸的尾部設(shè)置有一凹槽。
7.如權(quán)利要求1所述六方軸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述主軸芯包括:軸芯部和連接端部， 所述軸芯部與所述連接端部為一體式結(jié)構(gòu)，所述軸芯部為管形結(jié)構(gòu)，所述管形結(jié)構(gòu)的端面外圈形狀為正六邊形； 所述連接端部的端面的寬度大于所述正六邊形的外接圓的直徑，所述轉(zhuǎn)動軸的一端伸出所述連接端部。
【文檔編號】F16C35/12GK203835986SQ201420104875
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月7日
【發(fā)明者】沈喜豐 申請人:上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司, 洛陽北方玻璃技術(shù)股份有限公司