專利名稱：一種微機電傳感器的內(nèi)減震裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及微機電傳感器，具體是ー種微機電傳感器的內(nèi)減震裝置。
技術(shù)背景 在需要對微機電系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計中一般都設(shè)有微機電系統(tǒng)傳感器，例如微機電陀螺儀傳感器、加速度傳感器、磁場傳感器等容易受震動影響的微機電器件，隨著測量裝置的越來越精確，對傳感器測量精度和采用速率也就越來越快，震動產(chǎn)生的影響也相應(yīng)增大，因此減少微機電傳感器系統(tǒng)的震動影響既能保持測量裝置的穩(wěn)定運行和采樣數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確，也能固定微機電傳感器系統(tǒng)不會在震動過程中隨機晃動?，F(xiàn)有對微機電傳感器系統(tǒng)進(jìn)行減震方式，一般采用直接接觸式減震方法，隨著對微機電傳感器測量精度參數(shù)越來越高，帶有粘性的減震膠已經(jīng)無法滿足震動強度大的應(yīng)用場合了。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供ー種設(shè)計簡單、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、成本低且微機電傳感器系統(tǒng)輸出數(shù)據(jù)穩(wěn)定的內(nèi)減震裝置。該裝置不僅避免了在劇烈震動時使得傳感器數(shù)據(jù)產(chǎn)生一些奇異信號的輸出，內(nèi)置的海綿也起固定的微機電傳感器系統(tǒng)作用。實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是一種微機電傳感器的內(nèi)減震裝置，包括微機電傳感器、防滑動底板、姿態(tài)測量系統(tǒng)的主控板及撓性印制線路，與現(xiàn)有技術(shù)不同的是還設(shè)置有上減震凹形海綿和下減震海綿，下減震海綿通過雙面貼固定在姿態(tài)測量系統(tǒng)的主控板上，微機電傳感器通過雙面貼懸浮在上減震凹形海綿和下減震海綿之間，上減震凹形海綿與防滑動底板固連，撓性印制線路ー端穿過上減震凹形海綿上的凹槽并與微機電傳感器連接，另一端與主控板連接。所述上減震凹形海綿呈長方體形，厚4mm，中部設(shè)置有凹槽。所述下減震海綿呈長方體形,厚4mm。所述雙面貼為帶有彈性的雙面貼，其四個角呈圓環(huán)狀，増大了其粘附力。本實用新型的優(yōu)點是本內(nèi)減震裝置通過上減震凹形海綿、下減震海綿和撓性印制線路以及防滑動底板對該微機電傳感器系統(tǒng)進(jìn)行固定，避免了微機電傳感器在強烈震動的情況下，產(chǎn)生傾斜或者完全脫離減震結(jié)構(gòu)等意外情況，不管上下震蕩還是左右震蕩都不會對該系統(tǒng)內(nèi)部傳感器產(chǎn)生影響，達(dá)到了非常好的防震效果，且設(shè)計簡單，結(jié)構(gòu)緊湊，成本低。

圖I為本實用新型一種微機電傳感器的內(nèi)減震裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1.防滑動底板2.上減震凹形海綿3.雙面貼4.微機電傳感器5.下減震海綿6.主控板7.撓性印制線路。
具體實施方式
參照圖1，本實用新型一種微機電傳感器的內(nèi)減震裝置由防滑動底板I、上減震凹形海綿2、微機電傳感器4、下減震海綿5和主控板6組成，上減震凹形海綿2上設(shè)有凹槽，并與防滑動底板I固接，微機電傳感器4上、下兩面通過雙面貼3分別與上減震凹形海綿2和下減震海綿5連接，下減震海綿5粘連在姿態(tài)測量系統(tǒng)的主控板6上，撓性印制線路7 —端穿過上減震凹形海綿2上的凹槽與微機電傳感器連接，另一端與主控板6連接。本實用新型利用上減震凹形海綿和下減震海綿的動力相互作用的阻尼作用進(jìn)行減震，基于集中質(zhì)量模型質(zhì)點體系理論，分析了微機電傳感器系統(tǒng)的隔震結(jié)構(gòu)的減震原理，并且分析了基于集中質(zhì)量模型的多質(zhì)點體系，并對減震后的微機電傳感器系統(tǒng)的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行了驗證。從實際的測試和仿真結(jié)果表明底部、頂部隔震體系都有一定的減震效果， 并且利用上下減震這個體系的優(yōu)點不需要額外的減震，也不需要為裝置提供額外的減震空間，同時，該方案比較容易在實際工程中得到實現(xiàn)，并且降低了生產(chǎn)和調(diào)試成本。
權(quán)利要求1.一種微機電傳感器的內(nèi)減震裝置，包括微機電傳感器、防滑動底板、姿態(tài)測量系統(tǒng)的主控板及撓性印制線路，其特征是還設(shè)置有上減震凹形海綿和下減震海綿，下減震海綿通過雙面貼固定在姿態(tài)測量系統(tǒng)的主控板上，微機電傳感器通過雙面貼懸浮在上減震凹形海綿和下減震海綿之間，上減震凹形海綿與防滑動底板固連，撓性印制線路一端穿過上減震凹形海綿上的凹槽并與微機電傳感器連接，另一端與主控板連接。
專利摘要本實用新型公開了一種微機電傳感器的內(nèi)減震裝置，包括微機電傳感器、防滑動底板、姿態(tài)測量系統(tǒng)的主控板及撓性印制線路，其特征是還設(shè)置有上減震凹形海綿和下減震海綿，下減震海綿通過雙面貼固定在姿態(tài)測量系統(tǒng)的主控板上，微機電傳感器通過雙面貼懸浮在上減震凹形海綿和下減震海綿之間，上減震凹形海綿與防滑動底板固連，撓性印制線路一端穿過上減震凹形海綿上的凹槽并與微機電傳感器連接，另一端與主控板連接。本實用新型內(nèi)減震裝置通過上減震凹形海綿、下減震海綿和撓性印制線路以及防滑動底板對該微機電傳感器進(jìn)行固定，避免了微機電傳感器在強烈震動的情況下，產(chǎn)生傾斜或者完全脫離減震結(jié)構(gòu)等意外情況，達(dá)到了非常好的防震效果。
文檔編號F16F15/04GK202646525SQ20122027530
公開日2013年1月2日 申請日期2012年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月12日
發(fā)明者魏承赟 申請人:桂林飛宇電子科技有限公司