專(zhuān)利名稱(chēng)：密封開(kāi)關(guān)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空設(shè)備，尤其涉及一種既能面向大氣壓反向密封，又能背向大氣壓正向密封，且密封性能好的密封開(kāi)關(guān)裝置。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能發(fā)電是利用太陽(yáng)光的輻射能量轉(zhuǎn)化成電能并儲(chǔ)存在蓄電池中為電器設(shè)備提供電力的發(fā)電形式。太陽(yáng)能電池板是太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)中的核心部分，也是太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)中價(jià)值最高的部分。其作用是將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化為電能，并送往蓄電池中存儲(chǔ)起來(lái)，因此，太陽(yáng)能電池板的質(zhì)量將直接決定整個(gè)系統(tǒng)的質(zhì)量。在太陽(yáng)能電池板制備過(guò)程中，尤其是非晶硅太陽(yáng)能電池板制備過(guò)程中需要進(jìn)行鍍膜處理，而每一次的蒸鍍(或?yàn)R鍍，或覆膜)膜層都需要處于真空環(huán)境中進(jìn)行。而真空設(shè)備中 一般使用閘閥對(duì)腔體進(jìn)行密封。現(xiàn)有的閘閥中，一種是利用凸輪機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)閥板水平方向的推動(dòng)，閥板的上下運(yùn)動(dòng)用一個(gè)主氣缸推動(dòng)實(shí)現(xiàn)。在此方案中，凸輪加工精度要求非常高，需專(zhuān)業(yè)加工才能滿足要求，一般加工廠較難實(shí)現(xiàn)。同時(shí)基本上只能承受單向密封壓力，不能適用于雙向的正反向密封和大尺寸閥體的場(chǎng)合。另一種是采用分布式小氣缸加波紋管式結(jié)構(gòu)，主要原理是在與閥板平行方向均勻分布多個(gè)專(zhuān)制的小氣缸以及波紋管，實(shí)現(xiàn)閥板水平方向的推動(dòng)，閘板的上下運(yùn)動(dòng)用兩個(gè)主氣缸推動(dòng)。在此方案中，沒(méi)有現(xiàn)成的小氣缸選購(gòu)，靠自己加工，精度要求非常高，需專(zhuān)業(yè)加工才能滿足要求，一般加工廠較難實(shí)現(xiàn)，波紋管較多，實(shí)施可靠性不高，從而造成密封性能不理想。因此，基于上述不足，需要一種既能面向大氣壓反向密封，又能背向大氣壓正向密封，且密封性能好的密封開(kāi)關(guān)裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種既能面向大氣壓反向密封，又能背向大氣壓正向密封，且密封性能好的密封開(kāi)關(guān)裝置。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的密封開(kāi)關(guān)裝置，適用于對(duì)太陽(yáng)能基板的鍍膜或封裝生產(chǎn)，包括閥體、縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩對(duì)滑動(dòng)座、一對(duì)閥板、密封圈、鉸鏈座、彈簧、彈簧座、連桿及一對(duì)真空腔室；所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述閥體的下端面且輸出端密封地伸入所述閥體內(nèi)，所述閥體的兩內(nèi)側(cè)面分別開(kāi)設(shè)有開(kāi)口，所述開(kāi)口分別與所述真空腔室連通；所述鉸鏈座及彈簧座上下依次地套接固定于所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端上，所述彈簧一端與所述彈簧座抵觸，另一端與所述閥板的下端抵觸；所述連桿一端與所述鉸鏈座鉸接，另一端與所述閥板鉸接；所述滑動(dòng)座分別設(shè)置于所述開(kāi)口的兩側(cè)，且所述滑動(dòng)座的上半段開(kāi)設(shè)有凹陷，所述閥板的兩側(cè)可上下滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)座中；所述閥板的外側(cè)面安裝有所述密封圈，其中一所述閥板還開(kāi)設(shè)有兩側(cè)相貫通的通氣孔，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)所述彈簧座進(jìn)而推動(dòng)所述閥板上升，且在所述閥板上升到頂部時(shí)推動(dòng)所述連桿，使所述閥板水平移動(dòng)并卡持于所述凹陷內(nèi)，從而使所述密封圈對(duì)所述開(kāi)口密封，此時(shí)所述通氣孔與對(duì)應(yīng)的所述開(kāi)口連通。較佳地，所述滑動(dòng)座上開(kāi)設(shè)有滑動(dòng)槽，所述閥板的兩側(cè)安裝有滾子，所述滾子滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)槽中。由于閥板對(duì)所述真空腔室進(jìn)行密封時(shí)需要一個(gè)上升的過(guò)程，因此，為了保證上升的平穩(wěn)順暢，設(shè)置所述滑動(dòng)槽及所述滾子，利用所述滑動(dòng)槽及滾子的滾動(dòng)配合，有利于減少所述閥板與所述滑動(dòng)座之間的磨擦阻力，進(jìn)行保證上升過(guò)程的流暢。具體地，每一所述滑動(dòng)座及所述閥板的兩端分別設(shè)置的所述凹陷及滾子數(shù)量為三。其中一滾子設(shè)置于所述閥板側(cè)面的上端，另一滾子設(shè)置于所述閥板側(cè)面的中部，第三個(gè)滾子設(shè)置于前兩滾子之間，這樣使得所述閥板在所述滑動(dòng)座上滑動(dòng)時(shí)受力均勻，運(yùn)行更穩(wěn)定。較佳地，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸、連接軸及波紋管，所述連接軸的一端與所述氣缸的輸出端連接，另一端伸入所述閥體內(nèi)，所述波紋管套接于所述氣缸與所述閥體之間的連接軸上，且一端與所述閥體密封固定，另一端與所述氣缸密封固定。利用所述氣缸作 為動(dòng)力源，不但運(yùn)行穩(wěn)定而且容易控制，另外，通過(guò)將所述波紋管密封地套接于所述連接軸上，利用波紋管的可伸縮性，從而在不影響所述連接軸伸縮的情況下保證所述閥體的密封性。具體地，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括軸套，所述軸套安裝于所述閥體的下端且伸入所述閥體內(nèi)，并與所述連接軸套接。所述軸套可以將所述連接軸與所述閥體的下側(cè)壁隔離，起到保護(hù)所述連接軸的作用。較佳地，所述密封開(kāi)關(guān)裝置還包括限位座，所述限位座安裝于所述閥體的內(nèi)側(cè)壁上，所述連接軸的頂端設(shè)有圓錐頭，所述限位座開(kāi)設(shè)有與所述圓錐頭對(duì)應(yīng)的圓錐孔，所述連接軸上移到頂端時(shí)，所述圓錐頭可與所述圓錐孔配合抵觸。通過(guò)設(shè)置所述限位座，使所述閥板密封所述開(kāi)口時(shí)所述連接軸的圓錐頭剛好插入所述圓錐孔內(nèi)，從而防止所述連接軸過(guò)度上升而使所述閥板脫離所述閥體的內(nèi)側(cè)壁，導(dǎo)致密封性能下降，嚴(yán)重時(shí)不能密封。由于本實(shí)用新型在所述閥體內(nèi)設(shè)置所述鉸鏈座及彈簧座，在所述閥體的開(kāi)口兩側(cè)安裝所述滑動(dòng)座，將所述閥板滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)座上，利用所述連桿將所述鉸鏈座與所述閥板鉸接，并在所述閥板與所述彈簧座之間設(shè)置所述彈簧，通過(guò)利用所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端密封地伸入所述閥體內(nèi)，進(jìn)而通過(guò)所述彈簧座推動(dòng)所述閥板沿所述滑動(dòng)座上升，并且在所述滑動(dòng)座的上半段開(kāi)設(shè)所述凹陷，當(dāng)所述閥板上的密封圈正對(duì)所述開(kāi)口時(shí)，推動(dòng)所述連桿，使所述連桿擺動(dòng)進(jìn)而將所述鉸鏈座的上下運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成水平運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而推動(dòng)所述閥板水平靠近所述開(kāi)口，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述開(kāi)口進(jìn)行密封；另外，通過(guò)在其中一所述閥板開(kāi)設(shè)有兩側(cè)相貫通的通氣孔，通過(guò)所述通氣孔，使所述閥體內(nèi)部與其中一所述真空腔室內(nèi)的氣壓狀態(tài)保持一致，通過(guò)抽氣進(jìn)而使另一所述真空腔室與所述閥體產(chǎn)生氣壓差，從而使所述閥體處于大氣壓狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)反向密封，處于真空狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)正向密封，而且也可實(shí)現(xiàn)兩真空腔室與閥體同時(shí)處于真空狀態(tài)的密封；整個(gè)密封開(kāi)關(guān)裝置運(yùn)行平穩(wěn)，控制容易，密封性能好。

圖I是本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。[0015]圖2是本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置中閥體部分的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置中閥體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。圖4是本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置中左右閥板上升的狀態(tài)圖。圖5是本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置中閥板中左右閥板平移的狀態(tài)圖。圖6是本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置中閥板中左右閥板下移的狀態(tài)圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置100適用于對(duì)太陽(yáng)能基板的鍍膜或封裝生產(chǎn)，包括閥體101、縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)102、兩對(duì)滑動(dòng)座103、一對(duì)閥板即左、右閥板1041、1042、兩密封圈105、若干鉸鏈座106、兩彈簧107、彈簧座108、若干連桿109、限位座110及一對(duì)真空腔室即左、右真空腔室1111、1112 ;所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)102安裝于所述閥體101的下端面且 輸出端密封地伸入所述閥體101內(nèi)；所述滑動(dòng)座103、左、右閥板1041、1042、密封圈105、鉸鏈座106、彈簧107、彈簧座108、連桿109均安裝于所述閥體101內(nèi)部，所述左、右真空腔室1111、1112分別設(shè)置于所述閥體101的兩側(cè)。如圖2所示，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)102包括氣缸(圖中未示)、連接軸102a、波紋管102b及軸套102c，所述連接軸102a的一端與所述氣缸的輸出端連接，另一端伸入所述閥體101內(nèi)，所述波紋管102b套接于所述氣缸與所述閥體101之間的連接軸102a上，且一端與所述閥體101密封固定，另一端與所述氣缸密封固定。所述軸套102c安裝于所述閥體101的下端且伸入所述閥體101內(nèi)，并與所述連接軸102a套接。利用所述氣缸作為動(dòng)力源，不但運(yùn)行穩(wěn)定而且容易控制，另外，通過(guò)將所述波紋管102b密封地套接于所述連接軸102a上，利用波紋管102b的可伸縮性，從而在不影響所述連接軸102a伸縮的情況下保證所述閥體101的密封性。而所述軸套102c可以將所述連接軸102a與所述閥體101的下側(cè)壁隔離，起到保護(hù)所述連接軸102a的作用。請(qǐng)參閱圖2及圖3，所述閥體101的兩內(nèi)側(cè)面分別開(kāi)設(shè)有開(kāi)口 101a，所述開(kāi)口 IOla分別與所述左、右真空腔室1111、1112連通。所述鉸鏈座106及彈簧座108上下依次地套接固定于所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)102的連接軸102a上，兩所述彈簧107 —端與所述彈簧座108抵觸，另一端與所述左、右閥板1041、1042的下端抵觸。所述連桿109 —端與所述鉸鏈座106鉸接，另一端與所述左、右閥板1041、1042鉸接；所述連桿109具有多根，本實(shí)用新型四根，分別對(duì)稱(chēng)地設(shè)置于所述鉸鏈座106的兩側(cè)，在所述左、右閥板1041、1042完全打開(kāi)所述開(kāi)口 IOla時(shí)，所述連桿109自上而下呈靠近所述鉸鏈座106的方向傾斜。所述滑動(dòng)座103分別設(shè)置于所述開(kāi)口 IOla的兩側(cè)，且所述滑動(dòng)座103的上半段開(kāi)設(shè)有凹陷103a，所述左、右閥板1041、1042的兩側(cè)可上下滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)座103中；具體地，所述滑動(dòng)座103上開(kāi)設(shè)有滑動(dòng)槽103b，所述左、右閥板1041、1042的兩側(cè)安裝有滾子104a，所述滾子104a滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)槽103b中。由于所述左、右閥板1041、1042對(duì)所述左、右真空腔室1111、1112進(jìn)行密封時(shí)需要一個(gè)上升的過(guò)程，因此，為了保證上升的平穩(wěn)順暢，設(shè)置所述滑動(dòng)槽103b及所述滾子104a，利用所述滑動(dòng)槽103b及滾子104a的滾動(dòng)配合，有利于減少所述左、右閥板1041、1042與所述滑動(dòng)座103之間的磨擦阻力，進(jìn)行保證上升過(guò)程的流暢。所述左、右閥板1041、1042的外側(cè)面分別安裝有所述密封圈105，其中所述右閥板1042還開(kāi)設(shè)有兩側(cè)相貫通的通氣孔(圖中未示)，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)102推動(dòng)所述彈簧座108進(jìn)而推動(dòng)所述左、右閥板1041、1042上升，且在所述左、右閥板1041、1042上升到頂部時(shí)推動(dòng)所述連桿109，使所述左、右閥板1041、1042水平移動(dòng)并卡持于所述凹陷103a內(nèi)，從而使所述密封圈105對(duì)所述開(kāi)口 IOla密封，此時(shí)所述通氣孔與對(duì)應(yīng)的所述開(kāi)口 IOla連通。具體地，每一所述滑動(dòng)座103及所述左、右閥板1041、1042的兩端分別設(shè)置的所述凹陷103a及滾子104a數(shù)量為三。其中一滾子104a設(shè)置于所述左、右閥板1041、1042側(cè)面的上端，另一滾子104a設(shè)置于所述左、右閥板1041、1042側(cè)面的中部，第三個(gè)滾子104a設(shè)置于前兩滾子之間，這樣使得所述左、右閥板1041、1042在所述滑動(dòng)座103上滑動(dòng)時(shí)受力均勻，運(yùn)行更穩(wěn)定。再請(qǐng)參閱圖2，所述限位座110安裝于所述閥體101的內(nèi)側(cè)壁上，所述連接軸102a的頂端設(shè)有圓錐頭102d，所述限位座110開(kāi)設(shè)有與所述圓錐頭102d對(duì)應(yīng)的圓錐孔110a，所述連接軸102a上移到頂端時(shí)，所述圓錐頭102d可與所述圓錐孔IlOa配合抵觸。通過(guò)設(shè)置所述限位座110，使所述左、右閥板1041、1042密封所述開(kāi)口 IOla時(shí)所述連接軸102a的圓錐頭102d剛好插入所述圓錐孔IlOa內(nèi)，從而防止所述連接軸102a過(guò)度上升而使所述左、右閥板1041、1042脫離所述閥體101的內(nèi)側(cè)壁，導(dǎo)致密封性能下降，嚴(yán)重時(shí)不能密封。 綜合上述并結(jié)合附圖，下面對(duì)所述密封開(kāi)關(guān)裝置100的工作原理進(jìn)行詳細(xì)描述，如下請(qǐng)參閱圖4及圖5，本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置100既能面向大氣壓反向密封，又能背向大氣壓正向密封；當(dāng)正向密封時(shí)，所述氣缸的輸出端伸出，帶動(dòng)所述連接軸102a上升，所述連接軸102a上升帶動(dòng)所述彈簧座108及所述鉸鏈座106向上移動(dòng)，進(jìn)而推動(dòng)所述左、右閥板1041、1042，所述左、右閥板1041、1042通過(guò)所述滾子104a的滾動(dòng)，沿所述滑動(dòng)槽103a方向向上移動(dòng)；當(dāng)所述滾子104a滾動(dòng)到所述滑動(dòng)槽103a的最頂端時(shí)，所述滾子104a剛好正對(duì)所述凹陷103a ;此時(shí)所述連接軸102a繼續(xù)上升，推動(dòng)所述彈簧座108上升，由于所述左、右閥板1041、1042不能繼續(xù)上升，因此，所述彈簧座108壓縮所述彈簧107，與此同時(shí)，所述鉸鏈座106繼續(xù)上升，并且?guī)?dòng)所述連桿109的下端上移，此時(shí)，所述連桿109推動(dòng)所述左、右閥板1041、1042水平移動(dòng)并靠近所述閥體101的內(nèi)側(cè)壁；所述連接軸102b繼續(xù)上升到一定程度后后停止上升，此時(shí)，所述左、右閥板1041、1042正好壓縮所述密封圈105從而使所述密封圈105封閉所述左、右真空腔室1111、1112，這時(shí)即完成初次密封。此時(shí)，對(duì)所述左真空腔室1111進(jìn)行抽真空，由于所述通氣孔的聯(lián)通作用，所述閥體101內(nèi)部與所述右真空腔室1112的氣壓保持一致，同時(shí)為大氣壓，此時(shí)，在右側(cè)大氣壓的作用下繼續(xù)推動(dòng)所述左閥板1041壓縮所述密封圈105，從而可以完全將所述密封圈105壓縮。這時(shí)，所述左真空腔室1111與所述閥體101及右真空腔室1112完全密封地隔離，保證了左真空腔室1111達(dá)到一定的真空度。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D6，當(dāng)需要打開(kāi)所述左真空腔室1111時(shí)，首先對(duì)所述左真空腔室1111進(jìn)行釋放，然后使所述氣缸的輸出端向下運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)所述連接軸102a向下移動(dòng)，所述連接軸102a帶動(dòng)所述鉸鏈座106及彈簧座108下移，此時(shí)，由于所述彈簧107的回復(fù)力作用，所述左、右閥板1041、1042仍然保持不動(dòng)，所述連桿109的下端隨所述鉸鏈座106下移，從而使所述連桿109的上端帶動(dòng)所述左、右閥板1041、1042水平移動(dòng)而離開(kāi)所述閥體101的內(nèi)側(cè)壁，此時(shí)所述滾子104a脫離所述凹陷103a ;當(dāng)所述連接軸102b繼續(xù)下移時(shí)，所述彈簧座108帶動(dòng)所述彈簧107下移從而帶動(dòng)所述左、右閥板1041、1042下移，當(dāng)所述連接軸102a下移動(dòng)最底端時(shí)，所述左、右閥板1041、1042剛好完全滑動(dòng)到所述滑動(dòng)座103的最下端，此時(shí)，所述左、右閥板1041、1042完全打開(kāi)所述左、右真空腔室1111、1112。當(dāng)反向密封時(shí)，工作原理與正向密封時(shí)的相同；不同點(diǎn)在于，反向密封時(shí)，所述左真空腔室1111的氣壓為大氣壓，對(duì)所述右真空腔室1112進(jìn)行抽真空，由于所述右閥板1042開(kāi)設(shè)有通氣孔，所述右真空腔室1112與所述閥體101相連通，因此，所述右真空腔室1112與所述閥體101同時(shí)處于真空狀態(tài)。當(dāng)然，所述左真空腔室1111也可以進(jìn)行抽真空，所述左、右真空腔室1111、1112及閥體102均可處于真空狀態(tài)，此時(shí)，本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置100也為反向密封。由于本實(shí)用新型在所述閥體101內(nèi)設(shè)置所述鉸鏈座106及彈簧座108，在所述閥體101的開(kāi)口 IOla兩側(cè)安裝所述滑動(dòng)座103，將所述左、右閥板1041、1042滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)座103上，利用所述連桿109將所述鉸鏈座106與所述左、右閥板1041、1042鉸接，并在所述左、右閥板1041、1042與所述彈簧座108之間設(shè)置所述彈簧107，通過(guò)利用所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)102的連接軸102a密封地伸入所述閥體101內(nèi)，進(jìn)而通過(guò)所述彈簧座108推動(dòng)所述左、右閥板1041、1042沿所述滑動(dòng)座103上升，并且在所述滑動(dòng)座103的上半段開(kāi)設(shè)所述 凹陷103a，當(dāng)所述左、右閥板1041、1042上的密封圈105正對(duì)所述開(kāi)口 IOla時(shí)，推動(dòng)所述連桿109，使所述連桿109擺動(dòng)進(jìn)而將所述鉸鏈座106的上下運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成水平運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而推動(dòng)所述左、右閥板1041、1042分別水平靠近所述開(kāi)口 101a，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述開(kāi)口 IOla進(jìn)行密封；另外，通過(guò)在所述右閥板1042開(kāi)設(shè)有兩側(cè)相貫通的通氣孔，通過(guò)所述通氣孔，使所述閥體101內(nèi)部與所述右真空腔室1042內(nèi)的氣壓狀態(tài)保持一致，通過(guò)抽氣進(jìn)而使所述左真空腔室1042與所述閥體101產(chǎn)生氣壓差，從而使所述閥體101處于大氣壓狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)反向密封，處于真空狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)正向密封，而且也可實(shí)現(xiàn)兩真空腔室與閥體101同時(shí)處于真空狀態(tài)的密封；整個(gè)密封開(kāi)關(guān)裝置100運(yùn)行平穩(wěn)，控制容易，密封性能好。本實(shí)用新型密封開(kāi)關(guān)裝置100所涉及到的抽真空方法均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所作的等同變化，仍屬于本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1.一種密封開(kāi)關(guān)裝置，適用于對(duì)太陽(yáng)能基板的鍍膜或封裝生產(chǎn)，其特征在于包括閥體、縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩對(duì)滑動(dòng)座、一對(duì)閥板、密封圈、鉸鏈座、彈簧、彈簧座、連桿及一對(duì)真空腔室；所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述閥體的下端面且輸出端密封地伸入所述閥體內(nèi)，所述閥體的兩內(nèi)側(cè)面分別開(kāi)設(shè)有開(kāi)口，所述開(kāi)口分別與所述真空腔室連通；所述鉸鏈座及彈簧座上下依次地套接固定于所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端上，所述彈簧一端與所述彈簧座抵觸，另一端與所述閥板的下端抵觸；所述連桿一端與所述鉸鏈座鉸接，另一端與所述閥板鉸接；所述滑動(dòng)座分別設(shè)置于所述開(kāi)口的兩側(cè)，且所述滑動(dòng)座的上半段開(kāi)設(shè)有凹陷，所述閥板的兩側(cè)可上下滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)座中；所述閥板的外側(cè)面安裝有所述密封圈，其中一所述閥板還開(kāi)設(shè)有兩側(cè)相貫通的通氣孔，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)所述彈簧座進(jìn)而推動(dòng)所述閥板上升，且在所述閥板上升到頂部時(shí)推動(dòng)所述連桿，使所述閥板水平移動(dòng)并卡持于所述凹陷內(nèi)，從而使所述密封圈對(duì)所述開(kāi)口密封，此時(shí)所述通氣孔與對(duì)應(yīng)的所述開(kāi)口連通。
2.如權(quán)利要求I所述的密封開(kāi)關(guān)裝置，其特征在于所述滑動(dòng)座上開(kāi)設(shè)有滑動(dòng)槽，所述閥板的兩側(cè)安裝有滾子，所述滾子滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)槽中。
3.如權(quán)利要求2所述的密封開(kāi)關(guān)裝置，其特征在于每一所述滑動(dòng)座及所述閥板的兩端分別設(shè)置的所述凹陷及滾子數(shù)量為三。
4.如權(quán)利要求I所述的密封開(kāi)關(guān)裝置，其特征在于所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸、連接軸及波紋管，所述連接軸的一端與所述氣缸的輸出端連接，另一端伸入所述閥體內(nèi)，所述波紋管套接于所述氣缸與所述閥體之間的連接軸上，且一端與所述閥體密封固定，另一端與所述氣缸密封固定。
5.如權(quán)利要求4所述的密封開(kāi)關(guān)裝置，其特征在于所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括軸套，所述軸套安裝于所述閥體的下端且伸入所述閥體內(nèi)，并與所述連接軸套接。
6.如權(quán)利要求4所述的密封開(kāi)關(guān)裝置，其特征在于所述密封開(kāi)關(guān)裝置還包括限位座，所述限位座安裝于所述閥體的內(nèi)側(cè)壁上，所述連接軸的頂端設(shè)有圓錐頭，所述限位座開(kāi)設(shè)有與所述圓錐頭對(duì)應(yīng)的圓錐孔，所述連接軸上移到頂端時(shí)，所述圓錐頭可與所述圓錐孔配合抵觸。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種密封開(kāi)關(guān)裝置，包括閥體、縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩對(duì)滑動(dòng)座、一對(duì)閥板、密封圈、鉸鏈座、彈簧、彈簧座、連桿及一對(duì)真空腔室；所述鉸鏈座及彈簧座上下依次地套接固定于所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端上，所述彈簧一端與所述彈簧座抵觸，另一端與所述閥板的下端抵觸；所述連桿一端與所述鉸鏈座鉸接，另一端與所述閥板鉸接；所述滑動(dòng)座分別設(shè)置于所述開(kāi)口的兩側(cè)，且開(kāi)設(shè)有凹陷，所述閥板滑動(dòng)地安裝于所述滑動(dòng)座中；所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)所述閥板上升到頂部時(shí)推動(dòng)所述連桿，使所述閥板水平移動(dòng)，從而使所述密封圈對(duì)所述真空腔室密封。本實(shí)用新型具有能正反向密封，密封性能好的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)F16K31/44GK202612686SQ20122022417
公開(kāi)日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月17日
發(fā)明者郭遠(yuǎn)倫, 葉宗鋒, 范振華 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司