專利名稱：支撐腳裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種支撐腳裝置，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體晶片工藝過(guò)程的支撐腳裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)的支撐腳都是半開放式的，只能調(diào)節(jié)支撐腳到圓心的前后距離，這種支撐腳只需在圓環(huán)上開相應(yīng)的對(duì)心槽即可實(shí)現(xiàn)，但在實(shí)際應(yīng)用中有一定的局限性。比如，在半導(dǎo)體行業(yè)，根據(jù)設(shè)備本身的結(jié)構(gòu)，機(jī)械手的活動(dòng)空間受到一定的限制，取片時(shí)可能會(huì)由于支撐腳的安裝位置不當(dāng)，導(dǎo)致機(jī)械手出現(xiàn)撞車的情況。這種情況下，在不改變支撐腳大小，如果擴(kuò)大機(jī)械手的進(jìn)手范圍，從而會(huì)避免上述情況發(fā)生，同時(shí)也會(huì)節(jié)省設(shè)備本身的空間。圖I為現(xiàn)有技術(shù)去掉其中一個(gè)支撐腳本體后的結(jié)構(gòu)圖，如圖I所示，現(xiàn)有技術(shù)的支撐腳本體I只能通過(guò)對(duì)心槽3來(lái)調(diào)節(jié)支撐腳本體I到圓心距離，不能使之根據(jù)設(shè)備本身的結(jié)構(gòu)要求使支 撐腳本體I沿支撐環(huán)2調(diào)節(jié)位置，這樣調(diào)節(jié)形式單一。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種構(gòu)簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)、可以不受設(shè)備結(jié)構(gòu)限制，節(jié)省設(shè)備空間、可根據(jù)需要沿圓環(huán)調(diào)節(jié)位置的開放式支撐腳裝置。(二)技術(shù)方案一種支撐腳裝置，包括支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環(huán)，所述支撐腳本體位于支撐環(huán)上表面，所述支撐腳螺母穿過(guò)支撐環(huán)下表面與所述支撐腳本體通過(guò)緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環(huán)。更好地，所述支撐腳本體包括在所述支撐腳本體上表面開設(shè)的調(diào)節(jié)所述支撐腳本體到所述支撐環(huán)圓心的距離的長(zhǎng)形圓孔，在所述支撐腳本體下表面開設(shè)的使支撐腳本體滑行的滑行槽，所述滑行槽與所述長(zhǎng)形圓孔連通；所述支撐腳本體還包括支撐晶片的斜行面和防止機(jī)械手碰撞的槽孔。更好地，支撐腳螺母包括在所述支撐腳螺母上表面開設(shè)的緊固所述支撐腳本體的螺紋孔，所述螺紋孔上下貫通所述支撐腳螺母，所述支撐腳螺母還包括卡入所述滑行槽的滑行塊、固定所述支撐環(huán)的突出塊和擋板，所述滑行塊的寬度與滑行槽內(nèi)壁之間的寬度相同，所述擋板的上表面與所述支撐環(huán)的下表面緊密貼合。更好地，所述支撐環(huán)包括兩個(gè)套連的同心圓環(huán)。更好地，所述支撐腳螺母突出塊上設(shè)有兩個(gè)圓弧面，所述兩個(gè)圓弧面與所述兩個(gè)套連的同心圓環(huán)之間的內(nèi)圓面接觸，并且所述突出塊的寬度與所述兩個(gè)同心圓環(huán)之間的距
離相等。更好地，所述卡入滑行槽的滑行塊的上表面與滑行槽留有間隙。更好地，所述支撐腳本體及支撐腳螺母至少為3件。
更好地，所述緊固件為螺栓。(三)有益效果本發(fā)明的支撐腳裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)、可以不受設(shè)備結(jié)構(gòu)限制，節(jié)省設(shè)備空間、可根據(jù)需要沿圓環(huán)調(diào)節(jié)位置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中支撐腳單一性安裝方式的缺陷。


圖I為現(xiàn)有技術(shù)去掉其中一個(gè)支撐腳本體后的結(jié)構(gòu)圖；圖2為本發(fā)明支撐腳裝置的剖面圖；圖3為本發(fā)明支撐腳本體的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4為本發(fā)明支撐腳螺母的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明支撐環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明支撐腳裝置使用示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。如圖2所示，本發(fā)明提供一種支撐腳裝置，包括支撐腳本體100、支撐腳螺母200和支撐環(huán)300，所述支撐腳本體100位于支撐環(huán)300上表面，所述支撐腳螺母200穿過(guò)支撐環(huán)300下表面與所述支撐腳本體100通過(guò)緊固件400緊固，所述支撐腳本體100和支撐腳螺母200夾緊所述支撐環(huán)300。所述緊固件400為螺栓。如圖3所示，所述支撐腳本體100包括在所述支撐腳本體100上表面開設(shè)的調(diào)節(jié)所述支撐腳本體100到所述支撐環(huán)300圓心的距離的長(zhǎng)形圓孔101，在所述支撐腳本體100下表面開設(shè)的使支撐腳本體100滑行的滑行槽102，所述滑行槽102與所述長(zhǎng)形圓孔101連通；所述支撐腳本體100還包括支撐晶片4的斜行面103和防止機(jī)械手碰撞的槽孔104。如圖4所示，支撐腳螺母200包括在所述支撐腳螺母200上表面開設(shè)的緊固所述支撐腳本體100的螺紋孔203，所述螺紋孔203上下貫通所述支撐腳螺母200，所述支撐腳螺母200還包括卡入所述滑行槽102的滑行塊202、固定所述支撐環(huán)300的突出塊201和擋板204，所述滑行塊202的寬度與滑行槽102內(nèi)壁之間的寬度相同。所述擋板204的上表面與所述支撐環(huán)300的下表面緊密貼合。如圖5所示，所述支撐環(huán)300包括兩個(gè)套連的同心圓環(huán)。所述支撐腳螺母突出塊201上設(shè)有兩個(gè)圓弧面，所述兩個(gè)圓弧面與所述兩個(gè)套連的同心圓環(huán)之間的內(nèi)圓面接觸，并且所述突出塊201的寬度與所述兩個(gè)同心圓環(huán)之間的距離相等。所述支撐腳本體100斜行面103中心與所述支撐環(huán)300圓心相對(duì)。所述卡入滑行槽102的滑行塊202的上表面與滑行槽102留有間隙。所述支撐腳本體100及支撐腳螺母200至少為3件。如圖6所示，工作原理為在支撐腳安裝過(guò)程中，所述支撐腳本體100放置在支撐環(huán)300上表面，支撐腳螺母200從支撐環(huán)300的下表面穿過(guò)，使支撐腳螺母200上的擋板204與支撐環(huán)300的下表面緊密貼合，此時(shí)支撐腳螺母200上的滑行塊202已經(jīng)落入支撐腳本體100的滑行槽102內(nèi)，并且支撐腳螺母200上的突出塊201已經(jīng)卡入支撐環(huán)300的兩個(gè)連接環(huán)之間，移動(dòng)支撐腳螺母200到安裝位置，調(diào)整支撐腳本體100到圓心距離，緊固件400穿過(guò)支撐腳本體100與支撐腳螺母200并固定，由于支撐腳本體100上的滑行槽102底面與支撐腳螺母200上的滑行塊202上表面之間留有一定的間隙，所以能夠使支撐腳本體100、支撐腳螺母200和支撐環(huán)300連接牢固。如果沒(méi)有間隙，支撐腳本體100滑行槽102的底面與支撐腳螺母200的上表面會(huì)接觸，此時(shí)支撐腳螺母200的擋板204不能靠緊支撐環(huán)300，因此緊固件400失去固定的意義。本發(fā)明的支撐腳裝置，一方面可有效地解決支撐腳的單一安裝位置，使其根據(jù)需要沿圓環(huán)改變安裝位置，從而不受設(shè)備本身結(jié)構(gòu)的限制，另一方面，由于機(jī)械手從兩個(gè)支撐本體100之間進(jìn)手，本發(fā)明改變了支撐腳本體100安裝位置，給機(jī)械手留有最大的進(jìn)手空間，在相同的支撐腳本體100的尺寸下，可以減小設(shè)備的尺寸。以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有 等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種支撐腳裝置，其特征在于，包括支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環(huán)，所述支撐腳本體位于支撐環(huán)上表面，所述支撐腳螺母穿過(guò)支撐環(huán)下表面與所述支撐腳本體通過(guò)緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環(huán)。
2.如權(quán)利要求I所述的支撐腳裝置，其特征在于，所述支撐腳本體包括在所述支撐腳本體上表面開設(shè)的調(diào)節(jié)所述支撐腳本體到所述支撐環(huán)圓心的距離的長(zhǎng)形圓孔，在所述支撐腳本體下表面開設(shè)的使支撐腳本體滑行的滑行槽，所述滑行槽與所述長(zhǎng)形圓孔連通；所述支撐腳本體還包括支撐晶片的斜行面和防止機(jī)械手碰撞的槽孔。
3.如權(quán)利要求2所述的支撐腳裝置，其特征在于，支撐腳螺母包括在所述支撐腳螺母上表面開設(shè)的緊固所述支撐腳本體的螺紋孔，所述螺紋孔上下貫通所述支撐腳螺母，所述支撐腳螺母還包括卡入所述滑行槽的滑行塊、固定所述支撐環(huán)的突出塊和擋板，所述滑行塊的寬度與滑行槽內(nèi)壁之間的寬度相同，所述擋板的上表面與所述支撐環(huán)的下表面緊密貼
4.如權(quán)利要求3所述的支撐腳裝置，其特征在于，所述支撐環(huán)包括兩個(gè)套連的同心圓環(huán)。
5.如權(quán)利要求4所述的支撐腳裝置，其特征在于，所述支撐腳螺母突出塊上設(shè)有兩個(gè)圓弧面，所述兩個(gè)圓弧面與所述兩個(gè)套連的同心圓環(huán)之間的內(nèi)圓面接觸，并且所述突出塊的寬度與所述兩個(gè)同心圓環(huán)之間的距離相等。
6.如權(quán)利要求3所述的支撐腳裝置，其特征在于，所述卡入滑行槽的滑行塊的上表面與滑行槽留有間隙。
7.如權(quán)利要求I所述的支撐腳裝置，其特征在于，所述支撐腳本體及支撐腳螺母至少為3件。
8.如權(quán)利要求I所述的支撐腳裝置，其特征在于，所述緊固件為螺栓。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種支撐腳裝置，包括支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環(huán)，所述支撐腳本體位于支撐環(huán)上表面，所述支撐腳螺母穿過(guò)支撐環(huán)下表面與所述支撐腳本體通過(guò)緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環(huán)。本發(fā)明的支撐腳裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)、可以不受設(shè)備結(jié)構(gòu)限制，節(jié)省設(shè)備空間、可根據(jù)需要沿圓環(huán)調(diào)節(jié)位置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中支撐腳單一性安裝方式的缺陷。
文檔編號(hào)F16M7/00GK102840425SQ20121027788
公開日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月6日
發(fā)明者李廣義, 趙宏宇, 裴立坤, 徐俊成, 王營(yíng)營(yíng) 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司