技術(shù)編號：5536911
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片工藝，特別涉及一種支撐腳裝置，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體晶片工藝過程的支撐腳裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)的支撐腳都是半開放式的，只能調(diào)節(jié)支撐腳到圓心的前后距離，這種支撐腳只需在圓環(huán)上開相應(yīng)的對心槽即可實(shí)現(xiàn)，但在實(shí)際應(yīng)用中有一定的局限性。比如，在半導(dǎo)體行業(yè)，根據(jù)設(shè)備本身的結(jié)構(gòu)，機(jī)械手的活動空間受到一定的限制，取片時可能會由于支撐腳的安裝位置不當(dāng)，導(dǎo)致機(jī)械手出現(xiàn)撞車的情況。這種情況下，在不改變支撐腳大小，如果擴(kuò)大機(jī)械手的進(jìn)手范圍，從而會避免上述情況發(fā)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。