專利名稱：泄液裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種泄液裝置。
背景技術：
在半導體車間內(nèi)安裝有大量的排風管，這些排風管可以抽走機臺生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢氣，以保證半導體車間內(nèi)的空氣質(zhì)量達標。由于抽走的氣體帶有水分，所以，在排風管的末端連接已排液管。該排液管靠傾斜角使液體自然流動排出。然而，現(xiàn)有的排風管和排液管的連接方式具有如下缺陷一方面，排風管為了排放廢氣，其內(nèi)部需要處于負壓狀態(tài)下。而所述排液管是非密封管，因此為了保證排風管的負壓狀態(tài)，風機要消耗很多的額外能量才能保證排風管的負壓值達到標準。另一方面，在排風管為負壓作用下，排液管內(nèi)的腐蝕氣態(tài)物質(zhì)，也容易被吸入排風管，以致于加快排風管的腐蝕和老化。因此，如何提供一種可以節(jié)能且減少排液管的廢氣回流的泄液裝置是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種泄液裝置，不但可以節(jié)能，而且可以減少排液管的廢氣回流。為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案一種泄液裝置，用于連接排風管和排液管，包括套管、活動擋板和擋板護欄，所述排風管的部分管段穿設于所述套管內(nèi)部，所述擋板護欄固設于所述套管內(nèi)部，所述擋板護欄和所述排風管具有一間隔空間，所述活動擋板位于所述排風管和擋板護欄之間的間隔空間內(nèi)，所述活動擋板的面積大于排風管的出風口面積且小于套管的出風口面積。在上述的泄液裝置中，所述活動擋板包括圓形板和若干支撐凸板，所述若干支撐凸板設置于所述圓形板的周向邊緣，所述圓形板的直徑大于所述排風管的直徑。氣體可以從活動擋板的邊緣空隙流動，即支撐凸板之間的空隙流動，從而保證活動擋板準確、牢靠地吸在所述排風管的出風口。在上述的泄液裝置中，所述支撐凸板均勻布設于所述圓形板的周向邊緣，使得氣體在活動擋板的周向均勻流動，從而保證活動擋板更加平穩(wěn)、準確地吸在所述排風管的出風口。在上述的泄液裝置中，所述擋板護欄包括圍圈和若干擋桿，所述若干擋桿間隔設置于所述圍圈內(nèi)。當活動擋板離開排風管壓在擋板護欄上時，排風管的液體可以從活動擋板的周邊間隙和擋板護欄內(nèi)的間隙流入排液管。在上述的泄液裝置中，所述排風管與擋板護攔的距離小于所述活動擋板的外徑， 以防止活動擋板傾斜。[0014]在上述的泄液裝置中，所述排風管上設有進液閥門。在上述的泄液裝置中，所述排液管上設有出液閥門。在對泄液裝置進行更換、維護時，可將進液閥門和出液閥門關閉，以防止排風管的液體泄露和排液管出現(xiàn)反味。在上述的泄液裝置中，所述套管遠離所述排風管的一端與所述排液管連接。本實用新型的有益效果如下本實用新型泄液裝置，將活動擋板設置于所述排風管和擋板護欄之間的間隔空間內(nèi)，當排風管內(nèi)無液體流出時，排風管內(nèi)的負壓氣體將活動擋板吸在排風管的出風口，由于所述活動擋板的面積大于排風管的出風口面積且小于套管的出風口面積，因此，當活動擋板吸在排風管的出風口時，活動擋板可以覆蓋所述排風管的出風口面積，從而將排風管封閉，即起到將排風管和套管及排液管隔離的作用。如此，一方面，排液管內(nèi)的氣體不能流入到排風管內(nèi)，從而不會影響排風管的負壓狀態(tài)，因此，不需要額外的能量維護排風管內(nèi)的負壓處于正常狀態(tài)，從而有效節(jié)約了能源。另一方面，活動擋板封閉所述排風管的出風口也可以防止排液管內(nèi)的腐蝕性氣體回流到排風管內(nèi)，進而避免這些腐蝕性氣體腐蝕排風管，延長了排風管的使用壽命。而排風管內(nèi)有液體產(chǎn)生時，一旦液體的累積使得液體的重力大于排風管的氣體對活動擋板的吸力時，活動擋板被上述液體壓至擋板護攔上，上述液體便可以從活動擋板邊緣的空隙和擋板護欄內(nèi)的間隙流至排液管進行排放。當液體排完后，排風管的負壓吸力會重新將活動擋板吸在所述排風管的出風口。如此，形成循環(huán)。由此可見，本實用新型相對現(xiàn)有的排風管和排液管直接相連的方式，不但可以實現(xiàn)排液的功能，而且可以在很大程度上防止排液管內(nèi)的氣體流入排風管內(nèi)，確保排風管的負壓正常和保證排風管不受腐蝕性氣體侵蝕。

本實用新型的泄液裝置由以下的實施例及附圖給出。圖1為本實用新型的泄液裝置結(jié)構(gòu)的實施例的示意圖；圖2為活動擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為擋板護欄的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下將對本實用新型的泄液裝置作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關系統(tǒng)或有關商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參閱圖1，圖1所示為本實用新型的泄液裝置結(jié)構(gòu)的實施例的示意圖。這種泄液裝置，用于連接排風管4和排液管5，包括套管1、活動擋板2和擋板護欄3，所述排風管4的部分管段穿設于所述套管1內(nèi)部，所述套管1遠離所述排風管4的一端與所述排液管5連接，所述擋板護欄3固設于所述套管1內(nèi)部，所述擋板護欄3和所述排風管4具有一間隔空間，所述活動擋板2位于所述排風管4和擋板護欄3之間的間隔空間內(nèi)，所述活動擋板2的面積大于排風管4的出風口面積且小于套管1的出風口面積。請參閱圖2，圖2為活動擋板的結(jié)構(gòu)示意圖。本實施例中，所述活動擋板2包括圓形板21和若干支撐凸板22，所述若干支撐凸板22設置于所述圓形板21的周向邊緣，所述圓形板21的直徑大于所述排風管4的直徑。當活動擋板2壓在所述擋板護欄3時，排液管 5內(nèi)的氣體可以從活動擋板2的邊緣空隙流動，即支撐凸板22之間的空隙流動，從而保證活動擋板2準確、牢靠地吸在所述排風管4的出風口，從而封閉所述排風管4。優(yōu)選，所述支撐凸板22均勻布設于所述圓形板21的周向，從而保證活動擋板2更加平穩(wěn)、準確地吸在所述排風管4的出風口。請參閱圖3，圖3所示為擋板護欄3的結(jié)構(gòu)示意圖。本實施例中，所述擋板護欄3 包括圍圈31和若干擋桿32，所述若干擋桿32間隔設置于所述圍圈31內(nèi)。本實施例中，所述擋桿32設有兩根。當活動擋板2離開排風管4壓在擋板護欄3上時，排風管4的液體可以從活動擋板2的周邊間隙和擋板護欄3內(nèi)的間隙流入排液管5。繼續(xù)參考圖1，本實施例中，所述排風管4與擋板護攔3的距離小于活動擋板2的外徑，從而可以防止活動擋板2傾斜。繼續(xù)參考圖1，本實施例中，所述排風管4上設有進液閥門6。所述排液管5上設有出液閥門7。在對泄液裝置進行更換、維護時，可將進液閥門6和出液閥門7關閉，以防止排風管4的液體泄露和排液管5出現(xiàn)反味。本實用新型的泄液裝置的使用方法如下請參閱圖1 圖3，當排風管4內(nèi)無液體流出時，排風管4內(nèi)的負壓氣體將活動擋板2吸在排風管4的出風口，由于所述活動擋板2的面積大于排風管4的出風口面積并小于套管1的出風口面積，因此，當活動擋板2吸在排風管4的出風口時，活動擋板2可以覆蓋所述排風管4的出風口面積，從而將排風管4封閉，即起到將排風管4和套管1及排液管 5隔離的作用。此時，密封性不強的排液管5內(nèi)的氣體不能流入到排風管4內(nèi)，從而不會影響排風管4的負壓狀態(tài)，因此，不需要額外的能量維護排風管4內(nèi)的負壓處于正常狀態(tài)，有效節(jié)約了能源。另一方面，活動擋板2封閉所述排風管4的出風口也可以防止排液管5內(nèi)的腐蝕性氣體回流到排風管4內(nèi)，進而避免這些腐蝕性氣體腐蝕排風管4，延長了排風管4 的使用壽命。而排風管4內(nèi)有液體產(chǎn)生時，一旦液體的累積使得液體的重力大于排風管4的氣體對活動擋板2的吸力時，活動擋板2被上述液體壓至擋板護攔3，上述液體便經(jīng)活動擋板 2邊緣的空隙和擋板護欄3內(nèi)的間隙流至排液管5。當液體排完后，排風管4的負壓吸力會重新將活動擋板2吸在所述排風管4的出風口。如此，形成循環(huán)。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種泄液裝置，用于連接排風管和排液管，其特征在于，包括套管、活動擋板和擋板護欄，所述排風管的部分管段穿設于所述套管內(nèi)部，所述擋板護欄固設于所述套管內(nèi)部，所述擋板護欄和所述排風管具有一間隔空間，所述活動擋板位于所述排風管和擋板護欄之間的間隔空間內(nèi)，所述活動擋板的面積大于排風管的出風口面積且小于套管的出風口面積。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泄液裝置，其特征在于，所述活動擋板包括圓形板和若干支撐凸板，所述若干支撐凸板設置于所述圓形板的周向邊緣，所述圓形板的直徑大于所述排風管的直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泄液裝置，其特征在于，所述擋板護欄包括圍圈和若干擋桿， 所述若干擋桿間隔設置于所述圍圈內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泄液裝置，其特征在于，所述排風管與擋板護攔的距離小于所述活動擋板的外徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泄液裝置，其特征在于，所述排風管上設有進液閥門。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泄液裝置，其特征在于，所述排液管上設有出液閥門。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的泄液裝置，其特征在于，所述套管遠離所述排風管的一端與所述排液管連接。
專利摘要本實用新型公開了一種泄液裝置。這種泄液裝置用于連接排風管和排液管，其包括套管、活動擋板和擋板護欄，所述排風管的部分管段穿設于所述套管內(nèi)部，所述擋板護欄固設于所述套管內(nèi)部，所述擋板護欄和所述排風管具有一間隔空間，所述活動擋板位于所述排風管和擋板護欄之間的間隔空間內(nèi)，所述活動擋板的面積大于排風管的出風口面積且小于套管的出風口面積。本實用新型相對現(xiàn)有的排風管和排液管直接相連的方式，不但可以實現(xiàn)排液的功能，而且可以在很大程度上防止排液管內(nèi)的氣體流入排風管內(nèi)，確保排風管的負壓正常和保證排風管不受腐蝕性氣體侵蝕。
文檔編號F16L55/07GK202091711SQ20112020005
公開日2011年12月28日 申請日期2011年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月14日
發(fā)明者劉鐵柱 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司