專利名稱：一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，特別涉
及一種防止特殊氣體從CGA泄露到環(huán)境中的裝置，屬于機(jī)械領(lǐng)域。 二 .
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體和太陽能電池行業(yè)生產(chǎn)所用的危險(xiǎn)性氣體的氣源大都采用由鋼瓶組 成的集裝格(4x4)或Y瓶供給，通過在供氣主管路和鋼瓶之間連接BSGS(大宗特氣供應(yīng)系 統(tǒng))控制氣體的流量或壓力。按照行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，氣體泄漏主要發(fā)生在經(jīng)常動(dòng)作的閥門或接口 部位，為了防止危險(xiǎn)性氣體泄漏時(shí)擴(kuò)散到環(huán)境中，BSGS系統(tǒng)將所有閥門都封閉在一個(gè)負(fù)壓 空間內(nèi)，并在箱體上端負(fù)壓風(fēng)管處裝有氣體采樣管， 一旦檢測(cè)到有氣體泄漏立即發(fā)生相應(yīng) 的保護(hù)動(dòng)作。但BSGS與集裝格或Y瓶的銜接部位，暴露于外界環(huán)境中，處于完全開放的狀 態(tài)。鋼瓶與BSGS之間大都采用CGA銜接鎖緊，其主要存在以下安全隱患1、隨著操作次數(shù) 的增加接頭螺紋會(huì)發(fā)生變形，導(dǎo)致接頭處密封效果下降發(fā)生危險(xiǎn)氣體泄漏。2、在用氣量較 大情況下，氣體從高壓氣瓶釋放沖出，會(huì)大量吸收環(huán)境熱量，導(dǎo)致接口處溫度迅速下降甚至 結(jié)霜，在生產(chǎn)工藝對(duì)氣體需求量不穩(wěn)的情況下，壓力和溫度的變化會(huì)在接口處反復(fù)產(chǎn)生應(yīng) 力變形從而產(chǎn)生氣體泄漏可能。3、人工操作可能存在的鎖緊不當(dāng)造成泄漏。為了防止上述 隱患發(fā)生，用氣單位常常在室內(nèi)環(huán)境安裝氣體偵測(cè)器，在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境內(nèi)特氣濃度。 一旦 被監(jiān)測(cè)氣體的濃度超過設(shè)定的安金上限，供氣系統(tǒng)將會(huì)自動(dòng)切斷氣柜關(guān)鍵閥件并觸發(fā)泄漏 警報(bào)。雖然這種方式從一定程度上提高了安全系數(shù)，但并沒有從根本上解決問題，此外，由 于半導(dǎo)體及太陽能電池行業(yè)所用大多數(shù)特氣(如硅烷、乙硼烷等)在空氣中具有不穩(wěn)定性， 如果偵測(cè)器采樣管長(zhǎng)度選取不合理，部分泄漏氣體在與電化學(xué)探頭接觸之前會(huì)與空氣中的 氧氣提前發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，這會(huì)影響偵測(cè)器監(jiān)測(cè)的氣體真實(shí)濃度。而供氣控制系統(tǒng)的關(guān)閉，勢(shì) 必會(huì)影響工廠生產(chǎn)工藝的正常進(jìn)行，進(jìn)而又增加了設(shè)備故障成本。 三.
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型為一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，該裝置能
為管道接口提供了第二道防泄漏保障，即能降低氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)，又能降低設(shè)備的故障成本。 本實(shí)用新型提供的一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，包括
馬鞍形的上腔體蓋和下腔體蓋，在上腔體蓋和下腔體蓋的前后部設(shè)有管路的外套，上腔體
蓋和下腔體蓋通過固定聯(lián)接與管路接頭和管路形成密封的腔體。在上腔體蓋和下腔體蓋之
間及管路的外套和和管路之間設(shè)置有密封墊圈。所述的密封墊圈為聚四氟乙烯。 本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，CGA接頭使用本裝置后，C接頭被包在一個(gè)密閉
的空間內(nèi)，這樣即使CGA接頭處有氣體泄漏，也只能是泄漏到卡套形成密閉空間中，從而可
以有效避免氣體泄漏到環(huán)境中引起的設(shè)備停機(jī)或其它安全隱患，起到降低設(shè)備故障成本，
提高生產(chǎn)安全系數(shù)效果。
四.
附圖是本裝置的示意圖五.具體實(shí)施方式如附圖所示，將CGA接頭放入上腔體1和下腔體2組成的空間內(nèi)內(nèi)，各對(duì)接面之間 放置四氟密封墊3，可以用四個(gè)螺栓通過孔5、6、7、8將上腔體1和下腔體2固定連接，也可 以再空中形成螺紋采用螺栓連接。在上下腔體之間、腔體與氣體管線之間的加上聚四氟乙 烯密密封墊圈。 CGA接頭使用本裝置后，CGA接頭被包在一個(gè)密閉的空間內(nèi)，這樣即使CGA接頭處 由于各種原因有氣體泄漏，也只能是泄漏到腔體形成密閉空間中，從而達(dá)到避免氣體泄漏 到環(huán)境中引起的設(shè)備停機(jī)或其它安全隱患的目的。
權(quán)利要求一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，其特征在于包括馬鞍形的上腔體蓋(1)和下腔體蓋(2)，在上腔體蓋(1)和下腔體蓋(2)的前后部設(shè)有管路的外套(3)和(4)，上腔體蓋(1)和下腔體蓋(2)通過固定聯(lián)接與管路接頭和管路形成密封的腔體。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，其 特征在于在上腔體蓋(1)和下腔體蓋(2)之間及管路的外套(3)和(4)和管路之間設(shè)置 有密封墊圈。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，其 特征在于所述的密封墊圈為聚四氟乙烯。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，屬于機(jī)械領(lǐng)域。本實(shí)用新型提供的一種薄膜太陽電池生產(chǎn)中防止氣體從管路接頭泄漏裝置，包括馬鞍形的上腔體蓋和下腔體蓋，在上腔體蓋和下腔體蓋的前后部設(shè)有管路的外套，上腔體蓋和下腔體蓋通過固定聯(lián)接與管路接頭和管路形成密封的腔體。本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，使用到氣瓶接頭上，可以有效的避免氣體在接口部位泄漏到環(huán)境中，提高生產(chǎn)安全系數(shù)效果。
文檔編號(hào)F16L21/06GK201502813SQ200920090119
公開日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月30日
發(fā)明者張文晴, 李曉東 申請(qǐng)人:河南新能光伏有限公司