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一種化學(xué)氣相沉積爐尾氣排放電磁閥自清洗裝置的制作方法

文檔序號(hào):5734674閱讀:305來源:國(guó)知局
專利名稱:一種化學(xué)氣相沉積爐尾氣排放電磁閥自清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種電磁閥自清洗裝置,特別是涉及一種化學(xué)氣相沉積尾氣排放電磁閥自清 洗裝置。
背景技術(shù)
電磁閥是利用當(dāng)電能流經(jīng)線圈產(chǎn)生電磁吸引力通過克服彈簧或自身重力將閥芯吸引,從 而實(shí)現(xiàn)閥中通道的切斷或聯(lián)通,常用于切斷油、水、氣等物質(zhì)的流通,配合壓力、溫度傳感 器等電氣設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。電磁閥大體可以分為直動(dòng)式電磁閥、分布直動(dòng)式電磁閥和先導(dǎo) 式電磁閥。由于電磁閥的原理簡(jiǎn)單容易制造而且使用方便,電磁閥已經(jīng)廣泛地應(yīng)用在生產(chǎn)的 各個(gè)領(lǐng)域。當(dāng)電磁閥應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積的設(shè)備中時(shí),它的作用是當(dāng)通過電流時(shí),使線圈產(chǎn) 生電磁力,克服彈簧的彈力使阓芯開啟,從而使氣體流通,當(dāng)電流關(guān)閉時(shí),彈簧的彈力使閥 芯關(guān)閉,阻隔氣體流通。 一般電磁閥對(duì)介質(zhì)的清潔度要求較高,而在化學(xué)氣相沉積過程中會(huì) 產(chǎn)生很多雜質(zhì),例如在某些實(shí)驗(yàn)過程中的SiCl,,硅烷及其分解產(chǎn)生的HC1等,這些雜質(zhì)會(huì)吸 附或沉積于閥體的內(nèi)表面或彈簧上,使電磁閥內(nèi)覆有污染物,從而影響電磁閥的正常工作。 電磁閥每工作50個(gè)小時(shí)就應(yīng)該進(jìn)行清洗,所以應(yīng)該通過一種有效、方便的手段定期對(duì)電磁閥 進(jìn)行清洗。
現(xiàn)階段對(duì)電磁閥的清洗主要是手工開拆電磁閥,然后用軟布或棉花等擦拭電磁閥的內(nèi)表 面及彈簧表面,這樣處理顯然耗費(fèi)時(shí)間和體力勞動(dòng),而且清洗不夠及時(shí)徹底。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是設(shè)計(jì)一種電磁閥的自清洗裝置,該方法可以克服現(xiàn)有電磁閥靠人工拆卸清洗的
弊端,提高工作效率。其特征是在電磁閥的閥體上表面、下表面各開l個(gè)孔,外接真空閥門。
在出氣管道端加裝高真空蝶閥。當(dāng)電磁閥不工作時(shí),通過上表面真空閥向電磁閥體內(nèi)放入堿
性清洗液,將污染物中和、清洗后從下閥門口排出,從而便于對(duì)閥門內(nèi)進(jìn)行清洗,使電磁閥
內(nèi)保持清潔,保證電磁閥的正常工作。


圖1是電磁閥自清洗裝置的示意圖。
圖中顯示了需要改進(jìn)的電磁閥的閥體部分,其中各部分的名稱分別為 1:進(jìn)液閥 2:閥體 3:出液閥4:截止闊
本發(fā)明為一種化學(xué)氣相沉積用電磁閥自清洗裝置,它可以在無需打開電磁閥的情況下對(duì) 閥體進(jìn)行間歇性清洗,工作過程是
(1) 在電磁閥斷電不工作情況下,關(guān)閉截止閥;
(2) 打開進(jìn)液閥,將堿性清洗液放入閥體;
(3) 待清洗液在閥體內(nèi)一定時(shí)間后,打開出液閥放出液體;
(4) 放入清水繼續(xù)清洗閥體,然后從出液閥放掉;
(5) 清洗完畢打開截止閥;
(6) 抽真空檢驗(yàn)。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于(1)由于電磁閥一次使用時(shí)間長(zhǎng),且每使用約50個(gè)小時(shí)就需要進(jìn) 行清洗,電磁閥自清洗裝置可以方便的對(duì)閥體內(nèi)部進(jìn)行清洗,操作簡(jiǎn)單;(2)清洗液可采用 弱堿液(如堿性的NaOH溶液)對(duì)閥體內(nèi)的酸性物質(zhì)進(jìn)行中和,使闊體免受腐蝕;(3)清洗時(shí) 無需考慮拆開電磁閥,清洗過程快捷容易;(4)清洗裝置密封性良好,不會(huì)破壞電磁閥原有 的氣密性要求;(5)針對(duì)通過電磁閥的氣體及雜質(zhì)的不同種類,可具體采用不同成分及濃度 的清洗液,以達(dá)到有效清洗的目的。
具體實(shí)施方案
化學(xué)氣相沉積氮化硅采用硅烷和氨氣為反應(yīng)氣體,沉積較長(zhǎng)時(shí)間后,電磁閥體中集聚了大 量硅烷殘余物,阻擋了電磁閥的正常工作。斷電后,關(guān)閉截止閥門4和高真空閥門3,通過 高真空閥門l沖入氫氧化鈉溶液,保持一定時(shí)間后,打開高真空閥門3,將閥體中液體排放。 反復(fù)幾次,將閥體中的硅垸清洗干凈后,再放入清水繼續(xù)清洗閥體,然后從出液閥放掉。清 洗完畢打開截止閥,抽真空檢驗(yàn)。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)氣相沉積爐尾氣排放電磁閥自清洗裝置,其特征在于電磁閥的閥體上表面、下表面各開1個(gè)孔,外接真空閥門,在出氣管道端加裝高真空蝶閥。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積電磁閥自清洗裝置,可將實(shí)驗(yàn)過程中殘留在電磁閥中的污染物質(zhì)無需打開電磁閥即可清除。其特征是在電磁閥的閥體上表面、下表面各開1個(gè)孔,外接真空閥門。在出氣管道端加裝高真空蝶閥。當(dāng)電磁閥不工作時(shí),通過上表面真空閥向電磁閥體內(nèi)放入堿性清洗液,將污染物中和、清洗后從下閥門口排出,從而便于對(duì)閥門內(nèi)進(jìn)行清洗,使電磁閥內(nèi)保持清潔,保證電磁閥的正常工作。
文檔編號(hào)F16K31/06GK201351174SQ20082021449
公開日2009年11月25日 申請(qǐng)日期2008年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月22日
發(fā)明者萬水成, 勇 劉, 吳王平, 涵 承, 聃 方, 王世明, 王亮兵, 陳照峰 申請(qǐng)人:南京航空航天大學(xué)
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