專利名稱：超高真空閘板閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種在超高真空系統(tǒng)中的用于調(diào)節(jié)氣體流量、切斷或接通管路的超高真空閘板閥。
背景技術(shù)：
目前，我國(guó)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的超高真空閘板閥，其技術(shù)和性能指標(biāo)等均比較落后，難以滿足超高真空系統(tǒng)的要求。現(xiàn)有的超高真空閘板閥由上閥板、下閥板、閥板架、驅(qū)動(dòng)裝置、閥體組成，閥板架安裝在閥體內(nèi)，上、下閥板分別連接在閥板架的兩側(cè)。閥板架由厚板車成，兩側(cè)及一個(gè)表面上設(shè)有軸，軸上套有導(dǎo)向軸承。上、下閥板上均設(shè)有一螺桿，螺桿上連接著一片狀的板簧，再由螺絲固定。這種超高真空閘板閥由于帶有螺絲、螺桿，導(dǎo)向軸承又是經(jīng)軸連接在閥板架上，螺絲與螺桿之間、導(dǎo)向軸承與軸之間會(huì)有微塵。此外，導(dǎo)向軸承與軸之間還會(huì)夾有氣體，降低真空度，特別是不能滿足半導(dǎo)體制造業(yè)對(duì)清潔超高真空系統(tǒng)的要求。
實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有閘板閥含有微塵、夾氣等不足之處，本實(shí)用新型的目的在于提供一種減少微塵、減少夾氣的超高真空閘板閥。
本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型包括上閥板、下閥板、驅(qū)動(dòng)裝置及閥體，閥體內(nèi)設(shè)有閥板架，上、下閥板分別安裝在閥板架的兩側(cè)，上閥板內(nèi)圓周壁設(shè)有密封圈，下閥板上開(kāi)有導(dǎo)向槽，上、下閥板與閥板架相對(duì)的表面均開(kāi)有雨點(diǎn)狀凹槽，置有滾珠；閥板架上開(kāi)有圓孔，圓孔的兩側(cè)設(shè)有限位下閥板的限位軸承，閥板架的一端設(shè)有定位軸，另一端設(shè)有軸承，驅(qū)動(dòng)裝置經(jīng)軸承與閥板架相連接，閥板架的兩側(cè)及連接上閥板的一面設(shè)有導(dǎo)向軸承，上閥板及下閥板上均設(shè)有凹槽，凹槽上固接有擋桿，擋桿上連接有板簧，上閥板及下閥板經(jīng)定位軸通過(guò)板簧相連接；所述閥板架上在圓孔的外圍均布有多個(gè)滾珠架。
其中板簧為夾板式結(jié)構(gòu)，一端夾在擋桿上，另一端卡在定位軸上；滾珠架為向上開(kāi)口半球形結(jié)構(gòu)；滾珠架所處圓周與圓孔同軸；圓孔的外圍均布的滾珠架，其個(gè)數(shù)與雨點(diǎn)狀凹槽個(gè)數(shù)相同。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為1.減少微塵。本實(shí)用新型的上、下閥板的中部均開(kāi)有兩個(gè)凹槽，凹槽上分別焊有兩個(gè)擋桿，板簧連接在擋桿上，避免了螺絲、螺桿連接而含有的微塵。
2.減少夾氣。本實(shí)用新型的導(dǎo)向軸承直接安裝在閥板架上，避免了因套在軸上而夾有氣體。


圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的右視圖；圖3為本實(shí)用新型的工作原理圖；圖4為本實(shí)用新型閥板架一個(gè)表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型閥板架另一個(gè)表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型上閥板一個(gè)表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型上閥板另一個(gè)表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實(shí)用新型下閥板一個(gè)表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本實(shí)用新型下閥板另一個(gè)表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本實(shí)用新型的立體示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。
如圖所示，本實(shí)用新型包括上閥板1、下閥板2、驅(qū)動(dòng)裝置4及閥體5，閥體5內(nèi)設(shè)有閥板架3，上閥板1及下閥板2分別安裝在閥板架3的兩側(cè)，上閥板1內(nèi)圓周壁設(shè)有密封圈17，下閥板2上開(kāi)有兩個(gè)導(dǎo)向槽9，上閥板1及下閥板2與閥板架3相對(duì)的表面均開(kāi)有八個(gè)雨點(diǎn)狀凹槽10。上閥板1及下閥板2的中部均設(shè)有兩個(gè)矩形凹槽6，每個(gè)矩形凹槽6上焊接有擋桿7，擋桿7上連接有板簧8，上閥板1及下閥板2經(jīng)定位軸16通過(guò)板簧8連接在一起。板簧8為夾板式結(jié)構(gòu)，一端夾在擋桿7上，另一端卡在定位軸16上。閥板架3的中央開(kāi)有圓孔11，在一個(gè)以圓孔11的圓心為圓心、半徑比圓孔11略大的圓周上均勻分布有八個(gè)滾珠架12，每個(gè)滾珠架12內(nèi)鑲嵌有兩粒滾珠。在圓孔11的兩條中心線中，其中不穿過(guò)軸承15的中心線與滾珠架12所在圓周的相交線上，分布有兩個(gè)與下閥板2的導(dǎo)向槽9相對(duì)應(yīng)的限位軸承13。閥板架3的一端設(shè)有兩個(gè)定位軸16，另一端設(shè)有軸承15，驅(qū)動(dòng)裝置3經(jīng)軸承15與閥板架3相連接，閥板架3的兩側(cè)及連接上閥板1的一面設(shè)有八個(gè)導(dǎo)向軸承14，起導(dǎo)向作用。驅(qū)動(dòng)裝置由四連桿機(jī)構(gòu)18、波紋管19及氣缸20組成。四連桿機(jī)構(gòu)18的一端連接在軸承15上，另一端與波紋管19相接，波紋管19的上方連接有氣缸20。驅(qū)動(dòng)裝置可為手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)或液壓傳動(dòng)。
本實(shí)用新型的工作過(guò)程及原理為閥門(mén)在打開(kāi)的時(shí)候，閥門(mén)兩側(cè)相通，壓力相等。當(dāng)需要關(guān)閉閥門(mén)的時(shí)候，首先氣缸20開(kāi)始運(yùn)動(dòng)，氣缸20通過(guò)波紋管19把動(dòng)力傳給四連桿機(jī)構(gòu)18，驅(qū)動(dòng)四連桿機(jī)構(gòu)18向上運(yùn)動(dòng)。閥板架3通過(guò)其末端的軸承15與四連桿機(jī)構(gòu)18相連接一起向上運(yùn)動(dòng)，在閥板架3向上運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，閥板架3上的八個(gè)導(dǎo)向軸承14在閥殼的軌道內(nèi)滾動(dòng)。此時(shí)閥板架3上的滾珠臥在上閥板1及下閥板2的八個(gè)雨點(diǎn)狀凹槽10中，隨著閥板架3的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)上閥板1及下閥板2一起運(yùn)動(dòng)，上閥板1及下閥板2緊貼在閥板架3上，并且上閥板1及下閥板2被夾在閥板架3前端的板簧8連接在一起，但此時(shí)的板簧8不受力。直到運(yùn)動(dòng)到當(dāng)夾在閥板架3前端的板簧8頂?shù)介y體5內(nèi)壁上，此時(shí)上閥板1及下閥板2停止運(yùn)動(dòng)，而閥板架3則繼續(xù)向前運(yùn)動(dòng)，直到閥板架3前端的兩個(gè)定位軸16頂?shù)桨寤?上不再運(yùn)動(dòng)為止。當(dāng)上閥板1及下閥板2已經(jīng)停止運(yùn)動(dòng)而閥板架3繼續(xù)運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，原來(lái)停留在上閥板1及下閥板2的雨點(diǎn)狀凹槽10內(nèi)的滾珠架12內(nèi)的滾珠將會(huì)由于閥板架3的繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，而沿著雨點(diǎn)狀凹槽10向其尖端滾動(dòng)，從而滾珠逐漸滾出雨點(diǎn)狀凹槽10，這樣，隨著閥板架3的繼續(xù)向前運(yùn)動(dòng)，滾珠將滾出雨點(diǎn)狀凹槽10，支撐起閥板，從而使上閥板1及下閥板2逐漸與閥板架3分離。隨著閥板架3的不斷向前運(yùn)動(dòng)，下閥板2先碰到閥殼，停止運(yùn)動(dòng)。這時(shí)，閥板架3還沒(méi)有停止運(yùn)動(dòng)，所以上閥板1繼續(xù)與閥板架3分離，在下閥板2停止分離而上閥板1繼續(xù)分離的這個(gè)過(guò)程中，上閥板1的密封圈17接觸到法蘭并隨著上閥板1與閥板架3的不斷分離而被壓緊，直至閥板架3上的限位軸承13頂?shù)桨寤?為止。此時(shí)閥門(mén)被完全關(guān)閉。
當(dāng)閥門(mén)打開(kāi)時(shí)，閥板架3首先向下運(yùn)動(dòng)，滾珠沿著雨點(diǎn)狀凹槽10的末端軌道逐漸向槽內(nèi)滾動(dòng)，直至閥板架3上的限位軸承13重新碰到板簧8為止，此時(shí)滾珠已經(jīng)完全進(jìn)入雨點(diǎn)狀凹槽10內(nèi)，上閥板1上的密封圈17與法蘭徹底分離，下閥板2與閥殼徹底分離，上閥板1及下閥板2都回到閥板架3上。之后，閥板架3帶著上閥板1及下閥板2和板簧8一起向下運(yùn)動(dòng)，從而使閥門(mén)完全打開(kāi)。
權(quán)利要求1.一種超高真空閘板閥，包括上閥板、下閥板、驅(qū)動(dòng)裝置及閥體，閥體內(nèi)設(shè)有閥板架，上、下閥板分別安裝在閥板架的兩側(cè)，上閥板內(nèi)圓周壁設(shè)有密封圈，下閥板上開(kāi)有導(dǎo)向槽，上、下閥板與閥板架相對(duì)的表面均開(kāi)有雨點(diǎn)狀凹槽，置有滾珠；閥板架上開(kāi)有圓孔，圓孔的兩側(cè)設(shè)有限位下閥板的限位軸承，閥板架的一端設(shè)有定位軸，另一端設(shè)有軸承，驅(qū)動(dòng)裝置經(jīng)軸承與閥板架相連接，閥板架的兩側(cè)及連接上閥板的一面設(shè)有導(dǎo)向軸承，其特征在于所述上閥板(1)及下閥板(2)上均設(shè)有凹槽(6)，凹槽(6)上固接有擋桿(7)，擋桿(7)上連接有板簧(8)，上閥板(1)及下閥板(2)經(jīng)定位軸(16)通過(guò)板簧(8)相連接；所述閥板架(3)上在圓孔(11)的外圍均布有多個(gè)滾珠架(12)。
2.按權(quán)利要求1所述的超高真空閘板閥，其特征在于所述板簧(8)為夾板式結(jié)構(gòu)，一端夾在擋桿(7)上，另一端卡在定位軸(16)上。
3.按權(quán)利要求1所述的超高真空閘板閥，其特征在于所述滾珠架(12)為向上開(kāi)口半球形結(jié)構(gòu)。
4.按權(quán)利要求1所述的超高真空閘板閥，其特征在于所述滾珠架(12)所處圓周與圓孔(11)同軸。
5.按權(quán)利要求1所述的超高真空閘板閥，其特征在于所述圓孔(11)的外圍均布的滾珠架(12)，其個(gè)數(shù)與雨點(diǎn)狀凹槽(10)個(gè)數(shù)相同。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種在超高真空系統(tǒng)中的用于調(diào)節(jié)氣體流量、切斷或接通管路的超高真空閘板閥，包括上閥板、下閥板、驅(qū)動(dòng)裝置及閥體，閥體內(nèi)設(shè)有閥板架，上、下閥板分別安裝在閥板架的兩側(cè)，上閥板內(nèi)圓周壁設(shè)有密封圈，下閥板上開(kāi)有導(dǎo)向槽，上、下閥板與閥板架相對(duì)的表面均開(kāi)有雨點(diǎn)狀凹槽，置有滾珠；閥板架上開(kāi)有圓孔，圓孔的兩側(cè)設(shè)有限位軸承，閥板架的一端設(shè)有定位軸，另一端設(shè)有軸承，驅(qū)動(dòng)裝置經(jīng)軸承與閥板架相連接，閥板架的兩側(cè)及連接上閥板的一面設(shè)有導(dǎo)向軸承，上、下閥板上均設(shè)有凹槽，凹槽上固接有擋桿，擋桿上連接有板簧，上、下閥板經(jīng)定位軸通過(guò)板簧相連接，閥板架上在圓孔的外圍均布有多個(gè)滾珠架。本實(shí)用新型可減少微塵、減少夾氣。
文檔編號(hào)F16K3/00GK2761923SQ20042012079
公開(kāi)日2006年3月1日 申請(qǐng)日期2004年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月31日
發(fā)明者張振厚, 張寧, 袁亮, 王光玉, 鄭帥, 何義, 佟雷, 王宏宇 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司