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修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法

文檔序號:5620972閱讀:379來源:國知局
專利名稱:修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明是一種修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法,屬于修復(fù)充氮閥門方法的創(chuàng)新技術(shù)。
背景技術(shù)
在磁控管的生產(chǎn)設(shè)備中,黑球排氣臺的零部件一旦損壞,則必須更換。而所有高真空零部件都依靠進(jìn)口,備件費(fèi)用非常昂貴,其中四個高真空閥備件費(fèi)用最高,而這四個高真空閥中的充氮閥門(V3)是最容易損壞的,更換的頻率最高。更換的主要原因是V3閥門波紋管破裂,引起氮?dú)?N2)泄漏,這樣會大大延長抽真空時間以及增大氮?dú)鈸p耗;氮?dú)庥昧渴钦5陌俦渡踔翈装俦丁M瑫r產(chǎn)品的質(zhì)量也無法保障。
V3閥門的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示,由波紋管1、密封頭2、汽缸3組成,主要用于隔離高真空和低真空,防止低真空的氣體竄入高真空。波紋管1將波紋管內(nèi)與空氣相通的汽缸導(dǎo)桿4和氮?dú)鈮毫?隔離開(即將空氣壓力和氮?dú)鈮毫?隔離開);密封頭將氮?dú)鈮毫?和高真空6隔離開。一旦V3閥門的波紋管破裂,氮?dú)庀蚩諝庵袛U(kuò)散,加入真空槽的氮?dú)鉁p少,在規(guī)定時間內(nèi)不能充滿整個真空系統(tǒng),就會迫使空氣中的氣體進(jìn)入真空系統(tǒng),空氣的成分因環(huán)境不同,差異很大,空氣中充滿油脂、硫以及二氧化碳,最終將成為酸性物質(zhì),腐蝕低溫泵的檔板;油對高真空影響特別大,如果真空系統(tǒng)的金屬表面有油脂類物質(zhì)存在,油脂類物質(zhì)將不斷地向外分解,真空度始終達(dá)不到要求,嚴(yán)重影響產(chǎn)品品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述缺點(diǎn)而提供一種操作方便,簡單易行的修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法。充氮閥門用本發(fā)明的方法修復(fù)后,可大大地減少了氮?dú)獾挠昧?,縮短了高真空排氣臺的排氣時間,每臺機(jī)縮短了5-10分鐘不等;減輕低溫泵的負(fù)載,提高了產(chǎn)品的真空度,保證生產(chǎn),確保產(chǎn)品品質(zhì),且節(jié)省昂貴的備件費(fèi)用。
本發(fā)明修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法,包括如下步驟1)將閥門中損壞的波紋管沿管徑的垂直方向剪開;2)將波紋片的兩邊打磨;3)用高真空膠粘合兩邊波紋片,使用夾具壓緊波紋片的兩邊,讓高真空膠充分填滿波紋片縫隙;4)放置在室溫下晾干,使之粘合牢靠;5)打磨、修整多余的真空膠,確保真空膠平整,波紋管伸縮自如;6)將修復(fù)的閥門裝在檢漏機(jī)上檢漏,使之達(dá)到閥門的技術(shù)要求。
上述步驟4)放置在室溫下60~120分鐘晾干,使之粘合牢靠。
上述步驟6)在檢漏機(jī)上檢漏的技術(shù)要求是氦檢能達(dá)到1.0×10-9。
本發(fā)明采用將閥門中損壞的波紋管沿管徑的垂直方向剪開,將波紋片的兩邊打磨,再用高真空膠粘合兩邊波紋片的修復(fù)方法,由于隔離高真空的是密封頭,波紋管只隔離氮?dú)夂涂諝庵g的壓力,氮?dú)鈮毫?.4Pa,和空氣的壓力差很小,故可以用真空膠修補(bǔ);另外,因波紋管由十幾個波紋片組成,膠合一至兩個波紋片對波紋管的伸縮沒有影響;充氮閥門用本發(fā)明的方法修復(fù)后,可大大地減少了氮?dú)獾挠昧?,縮短了高真空排氣臺的排氣時間,每臺機(jī)縮短了5-10分鐘不等;減輕低溫泵的負(fù)載,提高了產(chǎn)品的真空度,保證生產(chǎn),確保產(chǎn)品品質(zhì),且節(jié)省昂貴的備件費(fèi)用。本發(fā)明是一種操作方便,簡單易行的修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法。


圖1為磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例本發(fā)明修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法,包括如下步驟1)將閥門中損壞的波紋管沿管徑的垂直方向剪開;2)將波紋片的兩邊打磨;3)用高真空膠粘合兩邊波紋片,使用夾具壓緊波紋片的兩邊,讓高真空膠充分填滿波紋片縫隙;4)放置在室溫下晾干,使之粘合牢靠;5)打磨、修整多余的真空膠,確保真空膠平整,波紋管伸縮自如;6)將修復(fù)的閥門裝在檢漏機(jī)上檢漏,使之達(dá)到閥門的技術(shù)要求。
上述步驟4)放置在室溫下60~120分鐘晾干,使之粘合牢靠。本實(shí)施例中,步驟4)放置在室溫下90分鐘晾干即可。
本實(shí)施例中,上述步驟6)在檢漏機(jī)上檢漏的技術(shù)要求是氦檢能達(dá)到1.0×10-9。
權(quán)利要求
1.一種修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法,其特征在于包括如下步驟1)將閥門中損壞的波紋管沿管徑的垂直方向剪開;2)將波紋片的兩邊打磨;3)用高真空膠粘合兩邊波紋片,使用夾具壓緊波紋片的兩邊,讓高真空膠充分填滿波紋片縫隙;4)放置在室溫下晾干,使之粘合牢靠;5)打磨、修整多余的真空膠,確保真空膠平整,波紋管伸縮自如;6)將修復(fù)的閥門裝在檢漏機(jī)上檢漏,使之達(dá)到閥門的技術(shù)要求。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法,其特征在于上述步驟4)放置在室溫下60~120分鐘晾干,使之粘合牢靠。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法,其特征在于上述步驟4)放置在室溫下90分鐘晾干。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法,其特征在于上述步驟6)在檢漏機(jī)上檢漏的技術(shù)要求是氦檢能達(dá)到1.0×10-9。
全文摘要
本發(fā)明是一種修復(fù)磁控管生產(chǎn)設(shè)備中充氮閥門的方法。本發(fā)明的修復(fù)方法包括如下步驟1)將閥門中損壞的波紋管沿管徑的垂直方向剪開;2)將波紋片的兩邊打磨;3)用高真空膠粘合兩邊波紋片,使用夾具壓緊波紋片的兩邊,讓高真空膠充分填滿波紋片縫隙;4)放置在室溫下晾干,使之粘合牢靠;5)打磨、修整多余的真空膠,確保真空膠平整,波紋管伸縮自如;6)將修復(fù)的閥門裝在檢漏機(jī)上檢漏,使之達(dá)到閥門的技術(shù)要求。充氮閥門用本發(fā)明的方法修復(fù)后,可大大地減少了氮?dú)獾挠昧浚s短了高真空排氣臺的排氣時間,每臺機(jī)縮短了5-10分鐘不等;減輕低溫泵的負(fù)載,提高了產(chǎn)品的真空度,保證生產(chǎn),確保產(chǎn)品品質(zhì),且節(jié)省昂貴的備件費(fèi)用。本發(fā)明操作方便,簡單易行。
文檔編號F16K41/10GK1760578SQ20041005183
公開日2006年4月19日 申請日期2004年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月14日
發(fā)明者劉兆震, 葉亞富, 鄧小林 申請人:佛山市美的日用家電集團(tuán)有限公司
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