專利名稱：汽缸閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種汽缸閥，尤其涉及一種用于高純度和超高純度氣體的帶隔膜的汽缸閥。
背景技術(shù)：
汽缸閥被用于密封和控制來自汽缸的排氣。在一些應(yīng)用中，來自汽缸的排氣必須保持沒有雜質(zhì)。對于半導(dǎo)體工業(yè)尤為如此，在半導(dǎo)體工業(yè)中氣體中的任何雜質(zhì)都會不利地影響元器件的電特性，大大地減小了生產(chǎn)量。這些氣體還極具腐蝕性和毒性。
通常，用于高純度、超高純度和/或高腐蝕或毒性氣體的閥是隔膜閥。例如在US5516078或5823509中公開的這種隔膜閥。這些隔膜閥包括帶閥室的閥體、一個入口通道和一個出口通道。入口通道通過一個閥座與閥室連通。一個氣密體位于閥室中并可相對閥座移動。一個閥桿與該氣密體連接，使氣密體在一個關(guān)閉位置和一個打開位置之間移動，在關(guān)閉位置該氣密體擱置在閥座上以便密封通過閥的排氣，在打開位置氣密體與閥座隔開以便允許來自汽缸的排氣通過閥座。隔膜件形成閥座對面的閥室的柔性壁。它在閥室和桿室之間形成密封隔離，該桿室中容有閥桿。閥桿、氣密體和隔膜熔焊在一起，從而閥桿的往復(fù)運動使隔膜彈性變形。
注意到上述閥的出口通道與閥室直接連通，以便閥關(guān)閉時周圍的濕空氣可以進(jìn)入閥室。濕空氣可在閥室中冷凝。如果腐蝕氣體通過閥室排出，其中聚集的冷凝物將不可避免地在閥室中形成強(qiáng)酸。這些強(qiáng)酸可能浸蝕像閥室中的隔膜等部件。
還注意到上述閥通常用于高壓汽缸。因而斷定需要高的關(guān)閉力來使在閥座上的氣密體保持在密封位置和打開閥。

發(fā)明內(nèi)容
需要一種改進(jìn)的汽缸閥，可以更好地保護(hù)其中的隔膜不被腐蝕，而且該閥要求較低的關(guān)閉力來使閥座上的氣密體保持在密封位置和打開閥。
根據(jù)本發(fā)明的一種汽缸閥，它包括一個閥體，閥體內(nèi)有一個閥室、一個入口通道和一個出口通道。該入口通道和出口通道與閥室連通。一個氣密體，它可以相對閥體內(nèi)的一個閥座移動。一個閥桿，與氣密體連接，用來在一個關(guān)閉位置和一個打開位置之間移動氣密體，在關(guān)閉位置的氣密體擱置在閥座上，以便密封排氣通過閥座，在打開位置的氣密體與閥座隔開，以便允許來自汽缸的排氣經(jīng)過閥座。一個第一隔膜件，它形成閥室的一個柔性壁。第一隔膜件被機(jī)械地連接到閥桿上，以便閥桿的一個往復(fù)運動使第一隔膜件彈性變形。根據(jù)本發(fā)明的一個重要方面，閥座位于閥室和出口通道之間。入口通道與閥室直接壓力連通，從而當(dāng)閥被關(guān)閉時，閥室處于汽缸壓力下。氣密體被布置成在排氣方向上位于閥座的下游，從而閥室內(nèi)作用到第一隔膜件上的汽缸壓力傾向于將氣密體推向其閥座。首先應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)關(guān)閉閥時，包含第一隔膜件的閥室被氣密體相對出口連接件密封。由此可知濕的環(huán)境空氣不會進(jìn)入閥室而在第一隔膜件上形成冷凝物。還可以理解的是，當(dāng)閥關(guān)閉時，包含第一隔膜件的閥室與汽缸的內(nèi)部壓力連通。由此可知該汽缸壓力作用到第一隔膜件上，并提供關(guān)閉力使氣密體保持在其閥座上。
在一個最佳實施例中，被第一隔膜件密封在閥室內(nèi)的橫截面大于被擱置在閥座上的氣密體密封的橫截面。由此可知，當(dāng)閥關(guān)閉時，一個正壓力將氣密體壓在其閥座上。
閥的一個最佳實施例還有下面特征中的一個或多個。桿軸向延伸經(jīng)過所述第一隔膜件，其中一個氣密焊接件在桿和所述第一隔膜件之間提供一個有利的氣密連接。閥體有一個桿室，桿室中有一個肩，其中第一隔膜件落在肩的外邊緣上，一個氣密焊接件有利地將外邊緣氣密連接到所述肩上。閥還包括一個第二隔膜件，它與桿室內(nèi)的第一隔膜件軸向隔開。在這種情況下，閥體內(nèi)的一個通道有利地在第一和第二隔膜件之間的桿室內(nèi)產(chǎn)生局部真空，以便能夠檢查后者是否仍然提供要求的氣密性。
閥最好有一個密封蓋，密封蓋內(nèi)有一個整體形成的鎖定裝置，當(dāng)密封蓋被裝到出口連接件上時，它可用來推動氣密體緊靠在其閥座上。
出口通道最好在一個出口連接件內(nèi)，出口連接件可移動地安裝到閥體上。
在一個最佳實施例中，閥還包括一個線性驅(qū)動器。該線性驅(qū)動器最好安裝到閥體上，并通過連桿機(jī)構(gòu)連接到閥桿上。連桿機(jī)構(gòu)最好橫向安裝在閥體的外側(cè)。它包括例如一個連桿臂和一個中間鉸鏈，連桿臂由一個鉸鏈機(jī)構(gòu)連接到驅(qū)動器的驅(qū)動桿上，中間鉸鏈將連桿臂連接到閥體上。連桿臂有一個靠在閥桿的端頭的支撐面上的自由端，從而能夠?qū)㈤y桿推進(jìn)閥體內(nèi)。
閥體的一個最佳實施例包括一個將閥固定在汽缸上的法蘭；一個相對較薄的頸部，入口通道的大部分位于其中；和一個由相對薄的頸部支撐的第一長軸體。第一長軸體內(nèi)有閥室和閥座和出口通道。它容納有氣密體、閥桿和第一隔膜件；其中桿運動的軸與相對較薄的頸部成橫向關(guān)系。閥體還包括一個第二長軸體，由第一長軸體支撐。第二長軸體容納有一個線性驅(qū)動器，例如是一個汽缸，其中線性驅(qū)動器運動的軸也與該相對較薄的頸部成橫向關(guān)系。


下面通過示例和參考附圖來描述本發(fā)明，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個汽缸閥的三維示意圖；圖2是通過圖1的閥的縱截面圖；圖3是通過圖1的閥的橫截面圖。
具體實施例方式
圖中所示的閥是一種特別適合用于超高純度、腐蝕性大和高壓氣體的汽缸閥。
同時參考圖1和2，注意到該閥包括閥體10，閥體包括緊固在高壓汽缸14上的法蘭12，從法蘭12向上伸出的相對薄而長的頸部16，由頸部16支撐的第一長軸18，和支撐在第一長軸18上的第二長軸20。第一長軸18容納所說的閥室。它有一個用來連接氣體導(dǎo)管(未示)的標(biāo)準(zhǔn)化出口連接件22。在圖中該出口連接件22由密封蓋24蓋緊。第二長軸20容納用來驅(qū)動閥的氣缸26。注意到相對薄而長的頸部16是閥的一個重要安全特征。因為其剛性比大塊頭的閥體的剛性小得多，因此當(dāng)汽缸在運輸期間遇到事故時，頸部最可能是變形而不是斷裂。
如圖2所示，在頸部16內(nèi)有一個入口通道28。當(dāng)閥裝在汽缸14上時，入口通道28的下端延伸到汽缸14的內(nèi)部29。入口通道28的上端延伸到閥室30內(nèi)，閥室30在第一長軸18中。
現(xiàn)在參考圖3詳細(xì)描述所述閥組件。閥室30通過閥座開口32與出口通道34連通。出口通道布置在出口連接件22中。出口通道34在閥座開口32的下游緊靠開口形成一個室36。室36內(nèi)包含氣密體38。圖3中，氣密體38擱置在閥座40上，閥座包圍室36內(nèi)的閥座開口32。在氣密體38的該位置，閥室30相對出口通道34是密封的。由此得出，一方面沒有氣體通過閥被排出，另一方面沒有環(huán)境濕空氣進(jìn)入閥室30。
該氣密體38包括一個軟密封環(huán)42，環(huán)42固定在蓋子44和第一桿件48的肩46之間。后者軸向地通過閥座開口32和閥室30延伸。它的橫截面小于閥座開口32的橫截面，因此通過軸向地推動桿件48使它經(jīng)過閥座開口32進(jìn)入室36，可以將該氣密體從它的座40上舉起，其中在環(huán)繞桿件48的閥座開口32中形成一個環(huán)形氣體通道。氣體通過該環(huán)形開口從閥室30排進(jìn)出口通道34。
最好由一組夾層金屬隔膜(未示)組成的第一隔膜件50構(gòu)成閥室30的柔性壁，該壁在軸向上正對閥座開口32。形成隔膜件50的夾層隔膜的數(shù)量可以作為閥的尺寸、選擇的材料、設(shè)計壓力和其他因素的函數(shù)而改變。所選擇的隔膜材料應(yīng)當(dāng)保證彈性和疲勞特性，如果閥被用于高腐蝕氣體中，要保證優(yōu)良的抗腐蝕性。一種合適的材料比如是鎳、鉬和鉻合金。
第一桿件48的軸51通過第一隔膜件50的一個中心孔延伸。隔膜件50的內(nèi)邊壓迫在一個肩上，該肩由第一桿件48的定心凸緣52形成在閥室30內(nèi)。一個環(huán)焊縫54以氣密方式將隔膜件50與第一桿件48連接。
桿室56位于第一隔膜件50的另一側(cè)。桿室56的橫截面比閥室30的橫截面大，從而在桿室56和閥室30的過渡處形成一個肩58。第一隔膜件50的外邊緣落在肩58上。環(huán)焊縫60以氣密方式將隔膜件50的外邊緣與肩58連接。由此得出隔膜件50以氣密方式將閥室30與桿室56隔開。
當(dāng)?shù)谝粭U件48和第一隔膜件50剛性地連接在一起時，第一桿件48的往復(fù)運動使第一隔膜件50彈性變形。在圖3中，氣密體38緊靠它的座40。從閥室30看去，第一隔膜件50有一個凹面曲率。如果第一桿件48向右移動將氣密體38從座40舉起(也就是打開閥)，第一隔膜件50的凹面曲率逐漸減小。注意到，可以選擇第一桿件48的最大打開行程和第一隔膜件50的最初凹面曲率，以便第一隔膜件50為第一桿件48的最大開口行程留有殘余凹面曲率。
如果入口通道28直接與閥室30壓力連通，當(dāng)閥關(guān)閉時，即當(dāng)氣密體38擱置在它的座40上時，該閥室30處于汽缸壓力下?？梢岳斫鈿怏w室30內(nèi)的壓力產(chǎn)生一個關(guān)閉力(即將氣密體38推向座40的力)，該關(guān)閉力與第一隔膜件50所密封的橫截面積與擱置在座40上的氣密體38所密封的橫截面積的差成正比。當(dāng)?shù)谝桓裟ぜ?0密封的截面積遠(yuǎn)大于擱置在座40上的氣密體38密封的截面積時，可以得出汽缸壓力產(chǎn)生一個重要的力，該力使座40上的氣密體38保持在關(guān)閉位置。
第二桿件60固定在軸51上，軸51穿過第一隔膜件50的中心孔延伸，以便在定心凸緣52和第二桿件60的凸起環(huán)邊62之間，夾住第一隔膜件50的內(nèi)邊。如果環(huán)焊縫54出現(xiàn)任何問題，該夾緊提供補(bǔ)充的氣密封。
參考數(shù)字64表示第二隔膜件，它在桿室56內(nèi)與第一隔膜件50軸向隔開。該第二隔膜件64與第一隔膜件50類型相同。
第二桿件60的軸65通過第二隔膜件64的中心孔延伸。第二隔膜件64的內(nèi)邊落在第二桿件60的肩上。環(huán)焊縫66以氣密封方式將第二隔膜件64連接到第二桿件60上。
第一環(huán)形固定件68位于第一和第二隔膜件50和64之間的桿室56內(nèi)。它有一個面向第一隔膜件50的凹形的第一表面，和面向第二隔膜件64的平的第二表面。凹形的第一表面的環(huán)形外邊界靠在第一隔膜件50的外邊緣上。第二隔膜件64的外邊緣靠在第二表面上。
連接片70通過閥體10上的一個側(cè)開口從環(huán)形固定件68伸出。該連接片70中有一個通道72，通道72伸進(jìn)固定件68的中心孔中，其中容納有第二桿件60。該連接片70的目的是，一方面鎖住固定件68不轉(zhuǎn)動，另一方面在第一和第二隔膜件50和64之間的桿室中產(chǎn)生一個局部真空。該局部真空允許檢查兩個隔膜件30和64是否一直適當(dāng)?shù)貓?zhí)行其密封功能。在閥正常工作期間，連接片70由密封蓋74封閉。
第二環(huán)形固定件76位于第二隔膜件64反面的桿室56內(nèi)。第二環(huán)形固定件76有一個面向第二隔膜件64的凹形的第一表面，其中，該第一表面的環(huán)形外邊界靠在第二隔膜件64的外邊緣上，第二隔膜件64靠在第一固定件68上。
螺帽78螺緊在第一長軸22的外螺紋上。螺帽78將該第二環(huán)形固定件76緊緊壓進(jìn)桿室56中，以便夾緊第一和第二固定件68和76之間的第二隔膜件64的外邊緣，并壓迫第一固定件68使它的環(huán)形外邊界緊緊壓在第一隔膜件50的外邊緣上。
第三桿件60固定在軸65上，該軸通過第二隔膜件64的中心孔延伸，以便夾緊第二桿件60和第三桿件80的凹形前面之間的第二隔膜件64的內(nèi)邊。如果環(huán)焊縫66出現(xiàn)任何問題，該夾緊提供補(bǔ)充的氣密封。密封環(huán)82密封第二環(huán)形固定件76的中心孔中的第三桿件60。
可以理解上述閥在閥桿的側(cè)面提供一個高安全性的防氣體泄露。如果第一隔膜件50損壞，就會通過第二桿件60和第一固定件68之間的環(huán)形裂縫發(fā)生氣體泄露。但是該泄露可以被第二隔膜件64制止，從而不會有氣體從閥體中泄露出去。(在本文中應(yīng)當(dāng)注意到，第一隔膜件50損壞導(dǎo)致通過第一固定件68和限制桿室56的壁之間的環(huán)形裂縫發(fā)生氣體泄露，這種情況的可能性非常小。)即使第二隔膜件64也損壞，不會有大量氣體從桿室56中泄露出來。在這種情況下，可以由密封環(huán)82制止或基本抑制住泄露。另外，正如上面所述的，連接片74允許定期檢查是否還有相當(dāng)高的局部真空，能保證兩個隔膜件50和64仍然充分執(zhí)行密封功能。
第三桿件80通過螺帽78的中心孔延伸進(jìn)入螺帽78內(nèi)的彈簧室84中。彈簧室84中有一個彈簧部件，彈簧部件最好包括由幾個片簧構(gòu)成的一組彈簧86，彈簧86靠在螺帽78上，通過固定到第三桿件80上的圓盤88，將一個彈性力施加在第三桿件80上，該力將氣密體38推向它的閥座40上。隨后該閥可以被用做常閉閥。當(dāng)氣密體38擱置在它的閥座40上時，作用在氣密體38上的總關(guān)閉力，一方面歸因于閥室30中作用在第一隔膜件50上的汽缸壓力，另一方面歸因于彈簧86產(chǎn)生的彈力。由此可知，彈簧86的尺寸可以較小，同樣能保證防止不必要的排氣。
第三桿件上固定有一個從閥體側(cè)面伸出的端頭90。如圖1和2所示，端頭90為連桿機(jī)構(gòu)92形成一個支撐面，連桿機(jī)構(gòu)將氣壓缸26連接到閥桿上，以便將閥桿推進(jìn)桿室56中，從而從座40舉起氣密體38，因此打開閥。
現(xiàn)在參考圖2，注意到，第二長軸20內(nèi)的第二氣壓缸26是單動汽缸，即汽缸在一個方向上只能產(chǎn)生一個行程，即打開閥，返回行程由彈簧86產(chǎn)生。汽缸包括兩個活塞100和102，，它們安裝在一個共用的驅(qū)動器或活塞桿104上。第一活塞100裝在第一汽缸室106內(nèi)。第二活塞102裝在第二汽缸室108內(nèi)。氣動流體經(jīng)過氣動連接件108進(jìn)入第一室106中，并經(jīng)過環(huán)形通道110進(jìn)入第二室108中。手輪112允許在一個方向上手動產(chǎn)生一個行程，該方向與給驅(qū)動桿104的自由端114上施加一個推力而產(chǎn)生的氣動流體方向相同。該手輪112還可以用做在打開位置阻擋該閥。
連桿機(jī)構(gòu)92包括連桿臂120，連桿臂由第一鉸鏈122連接到驅(qū)動桿104的自由端124。一個中間鉸鏈126將連桿臂連接到支撐環(huán)128上，環(huán)128螺紋連接到螺帽78上。連桿臂有一個靠在閥桿的端頭90上的自由端130。
如果汽缸受氣動流體的壓迫，驅(qū)動桿104在箭頭132所指的方向上被推動，并引導(dǎo)連桿臂120繞鉸鏈126轉(zhuǎn)動，以便用它的自由端130推動閥桿反抗上述彈簧的動作，并將力施加給閥體從而打開閥。一個機(jī)械式終點擋板(未示)決定了閥桿的最大可能行程。如果給汽缸減壓，彈簧86在相反方向上驅(qū)動閥桿。閥桿的頂端90引導(dǎo)連桿臂120繞鉸鏈126轉(zhuǎn)動，以便在箭頭126所指的相反方向上推動驅(qū)動桿124，直到氣密體38又?jǐn)R置在閥座40上為止。
參考圖1，注意到連桿機(jī)構(gòu)92位于閥體10的外側(cè)部。為了保護(hù)連桿機(jī)構(gòu)92不受機(jī)械損害，設(shè)置一個上下兩件的保護(hù)帽140，142，它們可移動地安裝在連桿機(jī)構(gòu)92所處的閥端。
下面再參考圖3詳細(xì)描述出口連接件22及其密封蓋24。
首先可以理解的是，出口連接件22可移動地固定到閥體上。實際上最易經(jīng)歷腐蝕風(fēng)險的是出口連接件。單獨的出口連接件22可以由例如比閥體10其他部分高等級的材料制成，基本不會增加閥的成本。還有，如果檢測到了腐蝕，就可以以相對低的代價更換該單獨出口連接件22。出口連接件22由環(huán)形螺釘150固定到閥體10上。環(huán)形螺釘將帶平的密封面的可移動出口連接件22緊壓在閥體10的對應(yīng)的密封平面上。一個金屬密封環(huán)，最好是C-環(huán)152，位于密封平面之間的凹槽內(nèi)，并提供一個氣密連接。當(dāng)環(huán)形螺釘150擰進(jìn)閥體10上時，銷154可以防止出口連接件22轉(zhuǎn)動。
密封蓋24是一種特殊結(jié)構(gòu)，尤其適于用在上述閥中。它有一個一體構(gòu)成的鎖定裝置，用來在運輸期間將閥鎖在關(guān)閉位置。該鎖定裝置包括一個伸進(jìn)出口連接件22的出口通道34內(nèi)的推動插銷156，用來推動該氣密體38使其緊緊靠在座40上。當(dāng)密封蓋24擰進(jìn)出口連接件22時，彈簧158與推動插銷156連接以限制施加在氣密體38上的推力。密封環(huán)160密封出口通道34內(nèi)的推動插銷156，從而更加減小了氣體泄露的風(fēng)險。
可以理解上述密封蓋24是閥的一個重要安全特征。例如它可以防止運輸期間汽缸遭受震動時氣密體38起離座40。因此有毒氣體不會聚集在密封蓋24下的出口連接件22中，移走密封蓋時有毒氣體不會釋放出去。當(dāng)密封蓋24擰進(jìn)出口連接件22時，它還可以防止手動打開閥。
權(quán)利要求
1.一種汽缸閥，它包括一個閥體，它有一個閥室、一個入口通道和一個出口通道，所述入口和所述出口通道與所述閥室連通；一個氣密體，它可以相對所述閥體內(nèi)的一個閥座移動；一個閥桿，與所述氣密體連接，用來在關(guān)閉位置和打開位置之間移動氣密體，在關(guān)閉位置的所述氣密體擱置在所述閥座上，以便密封排氣通過所述閥座，在打開位置的所述氣密體與所述閥座隔開，以便允許來自汽缸的排氣經(jīng)過所述閥座；和一個第一隔膜件，它形成所述閥室的一個柔性壁，所述第一隔膜件被機(jī)械地連接到所述閥桿上，以便所述閥桿的一個往復(fù)運動使所述第一隔膜件彈性變形；其特征在于，所述入口通道與所述閥室直接壓力連通，從而當(dāng)所述閥被關(guān)閉時，所述閥室處于汽缸壓力下；所述閥座位于所述閥室和所述出口通道之間；所述氣密體被布置成在排氣方向上位于所述閥座的下游，從而所述閥室內(nèi)的作用到所述第一隔膜件上的汽缸壓力傾向于將所述氣密體推向其閥座。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥，其特征在于，所述閥室內(nèi)的被所述第一隔膜件密封的橫截面大于被擱置在閥座上的所述氣密體密封的橫截面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的閥，其特征在于，彈簧部件與所述桿聯(lián)接，以便彈簧傾向于牽引所述閥座上的所述氣密體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1，2或3所述的閥，其特征在于，所述桿軸向延伸經(jīng)過所述第一隔膜件，其中一個氣密焊接件連接所述桿與所述第一隔膜件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的閥，其特征在于，所述閥體有一個桿室，桿室中有一個肩，其中所述第一隔膜件的外邊緣落在所述肩上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的閥，其特征在于，一個氣密焊接件將所述外邊緣連接到所述肩上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的閥，其特征在于，一個第二隔膜件，它與所述桿室內(nèi)的所述第一隔膜件軸向隔開。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的閥，其特征在于，在所述閥體內(nèi)的一個通道，該通道用來在所述第一和第二隔膜件之間的桿室內(nèi)產(chǎn)生局部真空。
9.根據(jù)權(quán)利要求5-8之一所述的閥，其特征在于，一個第一環(huán)形固定件，位于所述第一和所述第二隔膜件之間的所述桿室內(nèi)，所述第一固定件有面向所述第一隔膜件的第一表面，和面對所述第二隔膜件的第二表面，其中所述第一表面的一個環(huán)形外邊界靠在所述第一隔膜件的所述外邊緣上，和所述第二隔膜件的外邊緣靠在所述第二表面上；一個第二環(huán)形固定件，位于所述第二隔膜件對面的所述桿室內(nèi)，所述第二固定件有面向所述第二隔膜件的凹形第一表面，其中所述第一表面的一個環(huán)形外邊界靠在所述第二隔膜件的所述外邊緣上；將所述第二環(huán)形固定件壓向所述桿室的裝置，將所述第二隔膜件壓在所述第一和第二固定件之間，并將所述第一固定件的外邊緣壓在所述第一隔膜件的所述外邊緣上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9之一所述的閥，其特征在于，一個出口連接件，其中有所述出口通道；一個可以蓋在所述出口連接件上的密封蓋；一個鎖定裝置，被結(jié)合在所述密封蓋內(nèi)，當(dāng)所述密封蓋被推到所述出口連接件上時，密封蓋用來推動所述氣密體緊靠在它的閥座上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥，其特征在于，所述鎖定裝置包括一個推動插銷，用來推動所述氣密體緊靠在它的閥座上；一個與所述推動插銷關(guān)聯(lián)的彈簧，用來限制施加在所述氣密體上的推力。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-11之一所述的閥，其特征在于，一個出口連接件，其中有所述出口通道，所述出口連接件被可移去地安裝到所述閥體上。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的閥，其特征在于，一個環(huán)形螺釘，用來將有平的密封面的所述可移去出口連接件緊壓在所述閥體的對應(yīng)密封平面上。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的閥，其特征在于，一個金屬密封環(huán)，它位于所述密封平面之間。
15.根據(jù)權(quán)利要求1-14之一所述的閥，其特征在于，一個安裝在所述閥體上的線性驅(qū)動器；和一個連桿機(jī)構(gòu)，它將所述線性驅(qū)動器連接到所述閥桿上，用來將所述氣密體從所述關(guān)閉位置移到所述打開位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的閥，其特征在于，所述連桿機(jī)構(gòu)位于所述閥體的外側(cè)橫向設(shè)置。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的閥，其特征在于，一個可移去地安裝到所述閥體上的蓋子，用來保護(hù)所述連桿機(jī)構(gòu)。
18.根據(jù)權(quán)利要求16或17所述的閥，其特征在于，所述驅(qū)動器包括一個驅(qū)動桿；所述連桿機(jī)構(gòu)包括一個由鉸鏈連接到所述驅(qū)動桿上的連桿臂，和一個使所述連桿臂在所述閥體上的中間鉸鏈；所述閥桿有一個從所述閥體伸出的端頭；和所述連桿臂有一個靠在所述端頭支撐面上的自由端，從而能夠?qū)⑺鲩y桿推進(jìn)所述閥體內(nèi)。
19.根據(jù)權(quán)利要求15-18之一所述的閥，其特征在于，所述線性驅(qū)動器是一個汽缸。
20.根據(jù)權(quán)利要求15-19之一所述的閥，其特征在于，所述驅(qū)動器包括一個手動裝置，用來將所述閥桿手動推進(jìn)所述閥體中。
21.根據(jù)權(quán)利要求1-20之一所述的閥，其特征在于，一個用來將所述閥固定在汽缸上的法蘭；一個相對較薄的頸部，所述入口通道的大部分位于其中；和一個由所述相對較薄的頸部支撐的第一長軸體，所述第一長軸體容納有所述閥室和所述閥座和所述出口通道，并且容納有所述氣密體、和所述閥桿和所述第一隔膜件；其中所述桿運動的軸與所述相對薄的頸部成橫向關(guān)系。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的閥，其特征在于，所述閥體還包括一個第二長軸體，由所述第一長軸體支撐，所述第二長軸體容納有一個線性驅(qū)動器，其中所述線性驅(qū)動器運動的軸與所述相對薄的頸部成橫向關(guān)系。
全文摘要
一汽缸閥包括閥體(10),閥體有閥室(30),入口通道(28)和出口通道(34)。氣密體(38)在閥體中相對閥座(40)移動。一閥桿(48)與氣密體連接以驅(qū)動氣密體在關(guān)閉位置和打開位置間移動,在關(guān)閉位置的氣密體擱置在閥座上從而通過閥座密封排氣,在打開位置的氣密體與閥座隔開以允許來自汽缸的排氣通過閥座。第一隔膜件(50)構(gòu)成閥室的柔性壁。它機(jī)械地連接到閥桿上,以便閥桿的往復(fù)運動使第一隔膜件彈性變形。入口通道與閥室直接壓力連通,從而當(dāng)閥被關(guān)閉時,閥室處于汽缸壓力下。閥座位于閥室和出口通道之間。氣密體被布置成:在排氣方向上位于閥座的下游,從而閥室內(nèi)作用到第一隔膜件上的汽缸壓力傾向于將氣密體推向其閥座。
文檔編號F16K31/16GK1342253SQ00804634
公開日2002年3月27日 申請日期2000年2月24日 優(yōu)先權(quán)日1999年3月5日
發(fā)明者保羅·克雷默 申請人:塞奧德克斯－烏爾特拉純設(shè)備技術(shù)股份有限公司