一種高壓比復(fù)合分子泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種高壓比復(fù)合分子泵，該復(fù)合分子泵的壓比量級(jí)為1010~1011，包括渦輪段和牽引段，渦輪段由動(dòng)葉輪和靜葉片組成，實(shí)現(xiàn)大抽速，牽引段由牽引鼓筒和牽引槽筒組成，實(shí)現(xiàn)高壓比，本發(fā)明的高壓比復(fù)合分子泵還在渦輪段和牽引段之間增加了盤式牽引功能，即在動(dòng)葉輪組件上裝配了牽引盤，在外槽筒上安裝了雙面加工有圓弧或直線槽的牽引槽盤，增加的兩級(jí)牽引功能，可以有效提高分子泵的壓比，降低真空腔內(nèi)部的真空壓力，提高復(fù)合分子泵的抽氣性能，滿足儀器對(duì)超低真空的要求。
【專利說(shuō)明】
一種高壓比復(fù)合分子泵
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于真空技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高壓比復(fù)合分子栗。
【背景技術(shù)】
[0002]復(fù)合分子栗屬于高速旋轉(zhuǎn)的真空獲得設(shè)備，由動(dòng)葉輪、靜葉片、高速電機(jī)、滾動(dòng)軸承等組成。復(fù)合分子栗包括渦輪段和牽引段，渦輪段由多組動(dòng)葉輪和靜葉片組成，實(shí)現(xiàn)大抽速;牽引段由牽引鼓筒和牽引槽筒組成，實(shí)現(xiàn)高壓比。如果壓比不夠高，在前級(jí)加氣負(fù)載時(shí)，真空腔內(nèi)部的壓力會(huì)升高，影響測(cè)量結(jié)果，甚至?xí)p壞高精度的測(cè)量?jī)x器。
[0003]目前，亟需一種高壓比復(fù)合分子栗。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種高壓比復(fù)合分子栗。
[0005]本發(fā)明的高壓比復(fù)合分子栗，其特點(diǎn)是，包括內(nèi)磁環(huán)、栗殼、球軸承組件、底座組件、外槽筒、牽引槽盤、靜葉片、定位環(huán)、動(dòng)葉輪、永磁軸承外磁環(huán)、牽引盤、芯軸、牽引鼓筒、永磁電機(jī)轉(zhuǎn)子;其連接關(guān)系是，所述的栗殼與底座組件沿底座組件的圓周固定，球軸承組件放置在栗殼中心的空腔中，與底座組件圓周固定，栗殼中心安裝有芯軸;所述的外槽筒、牽引槽盤、靜葉片、定位環(huán)從下至上依次與芯軸同軸安裝在栗殼中心的空腔中，在栗殼的內(nèi)腔壁上定位固定;所述的動(dòng)葉輪、永磁軸承外磁環(huán)、牽引盤、牽引鼓筒依次過(guò)盈裝配在芯軸上，永磁電機(jī)轉(zhuǎn)子粘接在芯軸上;所述的芯軸的下端支承固定于球軸承組件，芯軸的上端由栗殼頂端的內(nèi)磁環(huán)、外磁環(huán)構(gòu)成的永磁軸承支承，內(nèi)磁環(huán)安裝在栗殼的上端，外磁環(huán)安裝在動(dòng)葉輪的內(nèi)孔腔。所述的牽引槽盤的上表面刻有上牽引槽，下表面刻有下牽引槽，上牽引槽的外徑小于下牽引槽的外徑。
[0006]所述的牽引槽盤采用雙面牽引槽結(jié)構(gòu)，牽引槽輪廓為圓弧或直線。
[0007]所述的牽引槽盤采用兩瓣結(jié)構(gòu)，使用止口定位。
[0008]所述的牽引槽盤的材料為招合金。
[0009]所述的牽引盤采用平面盤形結(jié)構(gòu)。
[0010]所述的牽引盤的材料為鋁合金，鋁合金的抗拉強(qiáng)度高于400MPa。
[0011]本發(fā)明的高壓比復(fù)合分子栗的壓比量級(jí)為1ltMO11，該高壓比復(fù)合分子栗在動(dòng)葉輪上裝配有牽引盤、在外槽筒上安裝雙面有槽的牽引槽盤，增加了兩級(jí)盤式牽引功能，提高了分子栗的壓比，降低了真空腔內(nèi)部的真空壓力，提高復(fù)合分子栗的抽氣性能，滿足儀器對(duì)超低真空的要求。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明的高壓比復(fù)合分子栗結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明的高壓比復(fù)合分子栗的上牽引槽示意圖；
圖3為本發(fā)明的高壓比復(fù)合分子栗的下牽引槽示意圖； 圖中:1.內(nèi)磁環(huán)2.栗殼3.球軸承組件4.底座組件5.外槽筒6.牽引槽盤7.靜葉片
8.定位環(huán)9.動(dòng)葉輪10.外磁環(huán)11.牽引盤12.芯軸13.牽引鼓筒14.永磁電機(jī)轉(zhuǎn)子601.上牽引槽602.下牽引槽。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
[0014]如圖1?圖3所示，高壓比復(fù)合分子栗，包括內(nèi)磁環(huán)1、栗殼2、球軸承組件3、底座組件
4、外槽筒5、牽引槽盤6、靜葉片7、定位環(huán)8、動(dòng)葉輪9、永磁軸承外磁環(huán)10、牽引盤11、芯軸12、牽引鼓筒13、永磁電機(jī)轉(zhuǎn)子14;其連接關(guān)系是，所述的栗殼2與底座組件4沿底座組件4的圓周固定，球軸承組件3放置在栗殼2中心的空腔中，與底座組件4圓周固定，栗殼2中心安裝有芯軸12;所述的外槽筒5、牽引槽盤6、靜葉片7、定位環(huán)8從下至上依次與芯軸12同軸安裝在栗殼2中心的空腔中，在栗殼2的內(nèi)腔壁上定位固定;所述的動(dòng)葉輪9、永磁軸承外磁環(huán)10、牽引盤11、牽引鼓筒13依次過(guò)盈裝配在芯軸12上，永磁電機(jī)轉(zhuǎn)子14粘接在芯軸12上;所述的芯軸12的下端支承固定于球軸承組件3，芯軸12的上端由栗殼2頂端的內(nèi)磁環(huán)1、外磁環(huán)10構(gòu)成的永磁軸承支承，內(nèi)磁環(huán)I安裝在栗殼2的上端，外磁環(huán)10安裝在動(dòng)葉輪9的內(nèi)孔腔;所述的牽引槽盤6的上表面刻有上牽引槽601，下表面刻有下牽引槽602，上牽引槽601的外徑小于下牽引槽602的外徑。
[0015]所述的牽引槽盤6采用雙面牽引槽結(jié)構(gòu)，牽引槽輪廓為圓弧或直線。
[0016]所述的牽引槽盤6采用兩瓣結(jié)構(gòu)，使用止口定位。
[0017]所述的牽引槽盤6的材料為鋁合金。
[0018]所述的牽引盤11采用平面盤形結(jié)構(gòu)。
[0019]所述的牽引盤11的材料為鋁合金，鋁合金的抗拉強(qiáng)度高于400MPa。
[0020]本發(fā)明的高壓比復(fù)合分子栗工作過(guò)程如下:
底座組件4中的電機(jī)驅(qū)動(dòng)動(dòng)芯軸12高速旋轉(zhuǎn)，氣體分子被動(dòng)葉輪9和靜葉片7向下驅(qū)趕，再由牽引盤11和牽引槽盤6、牽引鼓筒13和外槽筒5驅(qū)趕至前級(jí)栗，最后排入大氣。所增加的牽引盤11和牽引槽盤6的結(jié)構(gòu)，能進(jìn)一步提高壓比，滿足高壓比的要求。
[0021]本發(fā)明不局限于上述【具體實(shí)施方式】，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員從上述構(gòu)思出發(fā)，不經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性的勞動(dòng)，所作出的種種變換，均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高壓比復(fù)合分子栗，其特征在于，包括內(nèi)磁環(huán)(I)、栗殼(2)、球軸承組件(3)、底座組件(4)、外槽筒(5)、牽引槽盤(6)、靜葉片(7)、定位環(huán)(8)、動(dòng)葉輪(9)、永磁軸承外磁環(huán)(10)、牽引盤(11)、芯軸(12)、牽引鼓筒(13)、永磁電機(jī)轉(zhuǎn)子(14);其連接關(guān)系是，所述的栗殼(2)與底座組件(4)沿底座組件(4 )的圓周固定，球軸承組件(3 )放置在栗殼(2 )中心的空腔中，與底座組件(4)圓周固定，栗殼(2)中心安裝有芯軸(12);所述的外槽筒(5)、牽引槽盤(6)、靜葉片(7)、定位環(huán)(8)從下至上依次與芯軸(12)同軸安裝在栗殼(2)中心的空腔中，在栗殼(2)的內(nèi)腔壁上定位固定;所述的動(dòng)葉輪(9)、永磁軸承外磁環(huán)(10)、牽引盤(11)、牽引鼓筒(13 )依次過(guò)盈裝配在芯軸(12 )上，永磁電機(jī)轉(zhuǎn)子(14 )粘接在芯軸(12 )上;所述的芯軸(12)的下端支承固定于球軸承組件(3)，芯軸(12)的上端由栗殼(2)頂端的內(nèi)磁環(huán)(1)、外磁環(huán)(10)構(gòu)成的永磁軸承支承，內(nèi)磁環(huán)(I)安裝在栗殼(2)的上端，外磁環(huán)(10)安裝在動(dòng)葉輪(9)的內(nèi)孔腔；所述的牽引槽盤(6)的上表面刻有上牽引槽(601)，下表面刻有下牽引槽(602)，上牽引槽(601)的外徑小于下牽引槽(602)的外徑。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓比復(fù)合分子栗，其特征在于:所述的牽引槽盤(6)采用雙面牽引槽結(jié)構(gòu)，牽引槽輪廓為圓弧或直線。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓比復(fù)合分子栗，其特征在于:所述的牽引槽盤(6)采用兩瓣結(jié)構(gòu)，使用止口定位。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓比復(fù)合分子栗，其特征在于:所述的牽引槽盤(6)的材料為鋁合金。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓比復(fù)合分子栗，其特征在于:所述的牽引盤(11)采用平面盤形結(jié)構(gòu)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓比復(fù)合分子栗，其特征在于:所述的牽引盤(11)的材料為鋁合金，鋁合金的抗拉強(qiáng)度高于400MPa。
【文檔編號(hào)】F04D29/00GK106015034SQ201610539206
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年7月11日
【發(fā)明人】陶繼忠, 王文升, 何朝暉, 蔡飛飛, 劉廣民, 馬紹興, 劉有海, 雷艷華, 張明君, 吳定柱
【申請(qǐng)人】中國(guó)工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所