真空泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空栗，特別地，涉及一種能夠在半導(dǎo)體制造裝置和高能物理學(xué)的工業(yè)真空裝置等中在從中真空到超高真空的壓力范圍內(nèi)利用的真空栗。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著近年來電子設(shè)備的發(fā)展，存儲(chǔ)器和集成電路等半導(dǎo)體裝置的需求急劇增大。這些半導(dǎo)體裝置通過下述方式被制造:向純度極高的半導(dǎo)體基板(晶片)摻雜雜質(zhì)來賦予電氣性能，借助蝕刻在半導(dǎo)體基板上形成細(xì)微的電路。這些操作為了避免由空氣中的塵等帶來的影響，需要在高真空狀態(tài)的腔內(nèi)進(jìn)行，對(duì)于腔內(nèi)的排氣，一般使用真空栗，該真空栗是已知的(例如參照專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。
[0003]在這樣的真空栗中，設(shè)置有栗主體和控制單元，前述控制單元輸入輸出向該栗主體的電力和控制信號(hào)來控制該栗主體的驅(qū)動(dòng)。另外，栗主體和控制單元之間的電力和控制信號(hào)的輸入輸出使用金屬纜線(wire cable)，前述金屬纜線用絕緣用乙烯樹脂等包覆芯線的外周構(gòu)成。該金屬纜線的根數(shù)為約40根以上，在真空栗內(nèi)占據(jù)的空間也很多。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-344503號(hào)公報(bào)。
[0005]專利文獻(xiàn)2:日本實(shí)用新案登錄第3138105號(hào)公報(bào)。
[0006]如上所述，如在專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2中已知的那樣，在以往的真空栗中，對(duì)于栗主體和控制單元之間的電力和控制信號(hào)的輸入輸出，使用將芯線的外周用絕緣用乙烯樹脂等包覆的金屬纜線。因此，在真空栗內(nèi)金屬纜線占據(jù)的空間很多，而且重量也增大，因此妨礙真空栗的小型化和輕量化。
[0007]進(jìn)而，金屬纜線價(jià)格高，也是成本增加的原因。另外，金屬纜線具有撓性，但若要使多根構(gòu)成為束的金屬纜線同時(shí)彎曲，需要很大的力，也有作業(yè)性不佳的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]因此，為了提供能夠?qū)崿F(xiàn)小型輕量化、提高作業(yè)性并降低成本的真空栗，出現(xiàn)了必須解決的技術(shù)性問題，本發(fā)明的目的就是解決該問題。
[0009]本發(fā)明是為了實(shí)現(xiàn)上述目的提出的發(fā)明，技術(shù)方案1記載的發(fā)明提供一種真空栗，具備栗主體和控制單元，前述栗主體具有旋轉(zhuǎn)體，前述控制單元對(duì)該栗主體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，將前述栗主體內(nèi)的電氣連接、前述控制單元內(nèi)的電氣連接、或者前述栗主體和前述控制單元之間的電氣連接借助電纜進(jìn)行連接，其中，前述電纜的至少一部分借助柔性印制配線板形成，前述柔性印制配線板通過在呈薄板狀的絕緣性基材的表面上設(shè)置配線圖案而形成。
[0010]根據(jù)該方案，用于進(jìn)行栗主體內(nèi)的電氣連接、控制單元內(nèi)的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接的的電纜的至少一部分使用柔性印制配線板，因此與以往的金屬纜線相比，電纜占據(jù)的空間變小，并且變輕。另外，能夠容易地使柔性印制配線板彎曲，簡單地向所需要的位置拖拽。
[0011]技術(shù)方案2記載的發(fā)明提供一種真空栗，在技術(shù)方案1記載的方案中，前述控制單元安裝在前述栗主體上。
[0012]根據(jù)該方案，栗主體和控制單元一體化，能夠?qū)崿F(xiàn)緊湊化。
[0013]技術(shù)方案3記載的發(fā)明提供一種真空栗，在技術(shù)方案1或2記載的方案中，前述柔性印制配線板具備安裝在至少一端側(cè)的連接器。
[0014]根據(jù)該方案，能夠經(jīng)由柔性印制配線板和連接器，容易地進(jìn)行栗主體內(nèi)的電氣連接、控制單元內(nèi)的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接。
[0015]技術(shù)方案4記載的發(fā)明提供一種真空栗，在技術(shù)方案3記載的方案中，前述連接器具有用于與前述柔性印制配線板連接的多個(gè)銷。
[0016]根據(jù)該方案，使連接器的銷插入柔性印制配線板的孔，由此能夠使柔性印制配線板的端子和連接器的銷簡單地電氣連接。
[0017]技術(shù)方案5記載的發(fā)明提供一種真空栗，在技術(shù)方案4記載的方案中，前述多個(gè)銷夾著前述柔性印制配線板的延伸方向中心配設(shè)在左右對(duì)稱的位置上，前述連接器設(shè)有指示安裝前述柔性印制配線板的朝向的指示機(jī)構(gòu)。
[0018]根據(jù)該方案，若按照設(shè)在連接器上的指示機(jī)構(gòu)的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯(cuò)柔性印制配線板的朝向的情況下進(jìn)行安裝。
[0019]技術(shù)方案6記載的發(fā)明提供一種真空栗，在技術(shù)方案1到5中任意一項(xiàng)記載的方案中，前述柔性印制配線板具有多個(gè)孔與多個(gè)端子，前述多個(gè)端子將該多個(gè)孔分別包圍并分別連接于前述配線圖案。
[0020]根據(jù)該方案，使連接器的銷插入柔性印制配線板的孔，由此能夠使柔性印制配線板的端子和連接器的銷簡單地電氣連接。
[0021]技術(shù)方案7記載的發(fā)明提供一種真空栗，在技術(shù)方案1到6中任意一項(xiàng)記載的方案中，前述柔性印制配線板設(shè)有指示安裝前述柔性印制配線板的朝向的指示機(jī)構(gòu)。
[0022]根據(jù)該方案，若按照設(shè)在柔性印制配線板上的指示機(jī)構(gòu)的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯(cuò)柔性印制配線板的朝向的情況下進(jìn)行安裝。
[0023]技術(shù)方案1記載的發(fā)明由于電纜的至少一部分使用柔性印制配線板，能夠使電纜占據(jù)的空間及重量減小，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型.輕量化，前述電纜進(jìn)行栗主體內(nèi)的電氣連接、控制單元內(nèi)的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接。另外，由于能夠減少使用材料，并且能夠?qū)㈦娎|向所需要的位置簡單地拖拽，所以使得作業(yè)性提高，可以期待成本的降低。
[0024]技術(shù)方案2記載的發(fā)明由于栗主體和控制單元一體化，能夠?qū)崿F(xiàn)緊湊化，因此加上技術(shù)方案1的發(fā)明的效果，可以期待能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化的效果。
[0025]技術(shù)方案3記載的發(fā)明由于能夠經(jīng)由柔性印制配線板和連接器，容易地進(jìn)行栗主體內(nèi)的電氣連接、控制單元內(nèi)的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接，因此加上技術(shù)方案1或2的發(fā)明的效果，可以更加期待進(jìn)一步提高作業(yè)性、降低成本。
[0026]技術(shù)方案4記載的發(fā)明由于能夠通過使連接器的銷插入該柔性印制配線板的孔，使柔性印制配線板和連接器簡單地電氣連接，因此加上技術(shù)方案3記載的發(fā)明的效果，可以更加期待進(jìn)一步提高作業(yè)性、降低成本。
[0027]技術(shù)方案5記載的發(fā)明由于若按照設(shè)在連接器上的指示機(jī)構(gòu)的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯(cuò)柔性印制配線板的朝向的情況下進(jìn)行安裝，因此加上技術(shù)方案4記載的發(fā)明的效果，可以期待進(jìn)一步提高作業(yè)性和提高信賴性。
[0028]技術(shù)方案6記載的發(fā)明由于能夠通過使連接器的銷插入柔性印制配線板的孔，使柔性印制配線板的端子和連接器的銷簡單地電氣連接，因此加上技術(shù)方案1到5中任意一項(xiàng)記載的發(fā)明的效果，可以期待進(jìn)一步提高作業(yè)性和提高信賴性。
[0029]技術(shù)方案7記載的發(fā)明由于若按照設(shè)在柔性印制配線板上的指示機(jī)構(gòu)的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯(cuò)柔性印制配線板的朝向的情況下進(jìn)行安裝，因此加上技術(shù)方案1到6中任意一項(xiàng)記載的發(fā)明的效果，可以期待進(jìn)一步提高作業(yè)性和提高信賴性。
【附圖說明】
[0030]圖1是涉及本發(fā)明的一實(shí)施方式的真空栗的剖視圖。
[0031]圖2是在將控制單元從栗主體拆卸的狀態(tài)下表示的該真空栗的剖視圖。
[0032]圖3是將該真空栗中的電纜在將連接器安裝于柔性印制配線板的狀態(tài)下表示的圖，(a)是其俯視圖，(b)是其側(cè)視圖。
[0033]圖4是表示圖3示出的柔性印制配線板單體的圖，(a)是其俯視圖，(b)是其側(cè)視圖。
[0034]圖5是表示圖3示出的連接器單體的圖，(a)是其側(cè)視圖，(b)是其俯視圖。
[0035]圖6是作為本發(fā)明的變形例表示的真空栗的剖視圖。
[0036]圖7是用于說明柔性印制配線板和連接器的其他的連接例的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]為了實(shí)現(xiàn)提供能夠?qū)崿F(xiàn)小型輕量化、提高作業(yè)性并降低成本的真空栗的目的，本發(fā)明的真空栗，將具有旋轉(zhuǎn)體的栗主體和驅(qū)動(dòng)控制該栗主體的控制單元之間借助輸入輸出電力和控制信號(hào)的電纜進(jìn)行電氣連接，其中，將前述電纜借助柔性印制配線板形成，前述柔性印制配線板在呈薄板狀的絕緣性基材的表面上印制有配線圖案，由此，實(shí)現(xiàn)前述目的。
[0038]以下，參照附圖對(duì)涉及本發(fā)明實(shí)施方式的真空栗的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
實(shí)施例
[0039]圖1及圖2是表示涉及本發(fā)明的真空栗的圖，圖1是在將控制單元安裝于栗主體的狀態(tài)下表示的剖視圖，圖2是在將控制單元從栗主體拆卸的狀態(tài)下表示的剖視圖。
[0040]在圖1及圖2中，真空栗10具備進(jìn)行真空排氣的栗主體11和驅(qū)動(dòng)控制栗主體11的控制單元12，控制單元1