本實用新型屬于抽真空設備領域，特別是涉及一種用于MPCVD設備的抽真空分子泵模塊。

背景技術：
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目前的MPCVD設備，設備上安裝有包括分子泵的全套抽真空設備，但是在日常實驗和制備金剛石薄膜的過程中，只有少數(shù)情況是需要用到分子泵的，而分子泵價格昂貴，如果將分子泵分離出來并進行模塊化處理，那么即可以實現(xiàn)多臺設備共享同一臺分子泵，大大減小了生產(chǎn)成本。

目前的市面上包括有發(fā)明專利的分子泵抽氣機組或分子泵小車，由于為了適應多種抽氣環(huán)境，在設備上往往加裝了冷卻系統(tǒng)、前級泵（如機械泵等設備），而在MPCVD設備中本身就帶有這些設備，依靠MPCVD設備提供分子泵運行的一些必要條件，這將大大減小分子泵機組的復雜程度和尺寸。

同時，分子泵在安裝的過程中有水平度要求，而這些設計往往忽略了這一要求，在實際使用中，可能出現(xiàn)因為裝置放置不平穩(wěn)導致分子泵損壞的情況。除此之外，還可以防止分子泵在運行過程中由于碰撞或其他的原因?qū)е碌囊馔庖苿?，從而保證了連接管道的安全性，避免了因為管路意外脫節(jié)或漏氣而導致的安全隱患。

技術實現(xiàn)要素：
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本實用新型所要解決的技術問題是：提取出MPCVD設備的分子泵并在模塊中保證分子泵的正常運行。

為了解決上述技術問題，本實用新型是通過以下技術方案實現(xiàn)的：一種用于MPCVD設備的分子泵抽氣模塊，所述MPCVD設備包括設備主體、機械泵和水冷系統(tǒng)，分子泵抽氣模塊包括用于承載各個部件的箱體、分子泵、控制檢測單元和平衡穩(wěn)定裝置，所述分子泵、控制檢測單元和平衡穩(wěn)定裝置均安裝在箱體內(nèi)部，所述分子泵包括進氣口、出氣口、冷卻進水口和冷卻出水口，所述分子泵的進氣口、出氣口分別與設備主體出氣口、機械泵的進氣口相連接，所述分子泵冷卻進水口、冷卻出水口分別與水冷系統(tǒng)的出、進水口相連接，所述分子泵通過電路與控制檢測單元相連接，所述控制檢測單元可以控制分子泵的運轉(zhuǎn)以及實時監(jiān)測分子泵的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，所述平衡穩(wěn)定裝置由驅(qū)動電機連接伸縮桿組成，所述驅(qū)動電機可帶動伸縮桿作伸縮運動。

作為優(yōu)選，所述分子泵上還設置有流量復合真空計，所述流量復合真空計與控制檢測單元通過電路相連接。

作為優(yōu)選，所述平衡穩(wěn)定裝置的驅(qū)動電機與控制檢測單元通過電路相連接。

作為優(yōu)選，平衡穩(wěn)定裝置在箱體內(nèi)部四角對稱設置有四個。

作為優(yōu)選，所述平衡穩(wěn)定裝置的伸縮桿底部設置有橡膠墊。

作為優(yōu)選，所述箱體底部四角安裝有四個滑輪。

作為優(yōu)選，所述分子泵的進氣口安裝有防塵裝置。

作為優(yōu)選，所述控制檢測單元安裝在箱體的上部。

作為優(yōu)選，所述分子泵的進氣口與設備主體的出氣口之間通過法蘭連接。

作為優(yōu)選，所述分子泵進氣口的氣體通道上安裝有真空插板閥，所述分子泵出氣口的氣體通道上安裝有真空擋板閥。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益之處是：本分子泵模塊結(jié)構(gòu)簡單方便，省去了前級泵和冷卻系統(tǒng)，分子泵模塊整體尺寸大大減少；同時，增加了穩(wěn)定裝置，保證本實用新型可以在更多的工作場合工作；實現(xiàn)了對多臺設備的共享，減少了生產(chǎn)成本；接口采用易安裝的卡箍卡緊，避免了反復拆裝過程中對設備的損害。

附圖說明：

下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、箱體；2、分子泵；3控制檢測單元；4、平衡穩(wěn)定裝置；5、真空插板閥；6、真空擋板閥；7、滑輪。

具體實施方式：

下面結(jié)合附圖及具體實施方式對本實用新型進行詳細描述：

如圖1所示的一種用于MPCVD設備的分子泵抽氣模塊，所述MPCVD設備包括設備主體、機械泵和水冷系統(tǒng)，分子泵抽氣模塊包括用于承載各個部件的箱體1、分子泵2、控制檢測單元3和平衡穩(wěn)定裝置4，所述分子泵2、控制檢測單元3和平衡穩(wěn)定裝置4均安裝在箱體1內(nèi)部，所述分子泵2包括進氣口、出氣口、冷卻進水口和冷卻出水口，所述分子泵2的進氣口、出氣口分別與設備主體出氣口、機械泵的進氣口相連接，所述分子泵2冷卻進水口、冷卻出水口分別與水冷系統(tǒng)的出、進水口相連接，所述分子泵2通過電路與控制檢測單元3相連接，所述控制檢測單元3可以控制分子泵2的運轉(zhuǎn)以及實時監(jiān)測分子泵2的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，所述平衡穩(wěn)定裝置4由驅(qū)動電機連接伸縮桿組成，所述驅(qū)動電機可帶動伸縮桿作伸縮運動，使箱體穩(wěn)定固定在地面上。

所述分子泵2上還設置有流量復合真空計，所述流量復合真空計與控制檢測單元通過電路相連接，進而實現(xiàn)對分子泵2流量真空度的監(jiān)控。

所述平衡穩(wěn)定裝置4的驅(qū)動電機與控制檢測單元通過電路相連接，這樣一來，可實現(xiàn)平衡穩(wěn)定裝置4的自動化控制。

為了保證分子泵2工作時的穩(wěn)定性，平衡穩(wěn)定裝置4在箱體1內(nèi)部四角對稱設置有四個，所述平衡穩(wěn)定裝置4的伸縮桿底部設置有橡膠墊。

所述箱體1底部四角安裝有四個滑輪7，實現(xiàn)分子泵模塊的便捷移動。

所述分子泵2的進氣口安裝有防塵裝置，以保護分子泵2。

為了便觀察與操作，所述控制檢測單元3安裝在箱體1的上部。

所述分子泵2的進氣口與設備主體的出氣口之間通過法蘭連接，具有便于拆裝的優(yōu)點。

所述分子泵2進氣口的氣體通道上安裝有真空插板閥5，所述分子泵2出氣口的氣體通道上安裝有真空擋板閥6，所述真空插板閥5和真空擋板閥6能夠手動或自動實現(xiàn)模塊氣路的聯(lián)通與關閉，實現(xiàn)對所述分子泵2的保護。當所述真空插板閥5和真空擋板閥6選擇自動控制時，可用所述控制檢測模塊2進行控制。

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單緊湊，將渦輪分子泵運轉(zhuǎn)所必需的一些結(jié)構(gòu)，如控制檢測單元集合到箱體內(nèi)，箱體對于模塊起著支撐和保護作用。模塊整體尺寸較小，減小了實驗設備的占據(jù)空間。模塊可以對主設備進行完美響應，與主設備之間的管道連接采用卡箍連接的方式，操作簡單，穩(wěn)定可靠；盡量減小了內(nèi)部各個零件的反復拆卸，避免了反復拆卸對于設備的損害；增加了一些其他的輔助模塊工作的單元，如穩(wěn)定裝置，可以使得渦輪分子泵在更好的工作條件下運轉(zhuǎn)。

需要強調(diào)的是：以上僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內(nèi)。