本發(fā)明涉及真空設備，具體涉及對真空室進行抽真空的抽真空系統(tǒng)。

背景技術：

常規(guī)的抽真空系統(tǒng)通常包括前級泵、主抽泵、前級閥、預抽閥以及主閥，其中前級泵經由管道與真空室的預抽口連接，該管道上設有上述預抽閥。主抽泵的抽氣口經由主閥與真空室的抽真空口連接，主抽泵的排氣口經由管道與前級泵的排氣口連接，該管道上設有前級泵。該常規(guī)抽真空系統(tǒng)的工作過程如下：首先關閉前級閥和主閥，開啟前級泵，開啟預抽閥，當真空室內達到預定真空度時，關閉預抽閥，然后開啟主抽泵、前級閥和主閥，繼續(xù)抽真空，直到達到所需的真空度。

采用目前的抽真空系統(tǒng)，通常要在10～60分鐘之后，真空室才能達到所要求的真空度。這在一些需要更快速獲得所需真空度，尤其是高真空度的應用場合中不能滿足要求

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種能夠快速獲得真空度的抽真空系統(tǒng)和方法，

為實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一方面，本發(fā)明提供了一種抽真空系統(tǒng)，用于對真空室進行抽真空，其中，所述抽真空系統(tǒng)包括前級泵、主抽泵、預抽閥和主閥，其中所述主閥設有進口、預抽口和出口，所述主閥的進口與所述真空室的抽真空口連通，所述主閥的預抽口與所述預抽閥的入口連通，所述主閥的出口與所述主抽泵的抽氣口連通，以及所述前級泵的抽氣口經由三通接頭同時與所述主抽泵的排氣口和所述預抽閥的出口直接連通。

一實施例中，所述真空室的容積和所述前級泵的參數(shù)根據(jù)如下選擇：如果所述真空室的容積是A1L，而所述前級泵的抽速參數(shù)為B1L/S，則A1*0.5≤B1≤A1。

一實施例中，所述前級泵是機械泵，所述主抽泵是羅茨泵，以及所述預抽閥和所述主閥為氣動擋板閥。

一實施例中，所述機械泵的抽速為60L/S～120L/S，所述羅茨泵的抽速為300L/S～600L/S，所述主閥的通道口徑為DN150～250mm且所述主閥帶有口徑為DN80～160mm的預抽口。

一實施例中，前級泵為2X-70機械泵，主抽泵為ZJP-300型羅茨泵，主閥為DN160氣動擋板閥，以及預抽閥為DN100氣動擋板閥。

一實施例中，所述抽真空系統(tǒng)還包括控制裝置，所述控制裝置布置成根據(jù)所述真空室的真空度對所述前級泵、所述主抽泵、所述預抽閥以及所述主閥的啟閉進行控制。

一實施例中，控制系統(tǒng)布置成：在啟動系統(tǒng)時，關閉主閥，啟動前級泵并開啟預抽閥，并且在真空室的真空度達到第一預定值時啟動所述主抽泵，以及在所述真空室的真空度達到第二預定值時關閉所述預抽閥并打開所述主閥。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種對真空室進行抽真空的方法，其所述方法包括如下步驟：

A、提供如上所述的抽真空系統(tǒng)；

B、關閉所述主閥，啟動所述前級泵，并開啟所述預抽閥；

C、在所述真空室的真空度達到第一預定值時啟動所述主抽泵；以及

D、在所述真空室的真空度達到第二預定值時關閉所述預抽閥并打開所述主閥。

一實施例中，在步驟D中，當所述真空室的真空度小于所述第二預定值時，關閉所述主閥。

一實施例中，在關閉所述真空系統(tǒng)過程中，首先關閉所述主閥，然后停止所述主抽泵，在所述主抽泵停止并經過預定時間之后，關閉所述前級泵。

一實施例中，所述真空室的真空度通過傳感器檢測來獲得。

一實施例中，所述第一預定值范圍為7000Pa～9000Pa，以及所述第二預定值的范圍為4000Pa～6000Pa。

本申請的技術效果如下：

1、合理計算選配機械泵和羅茨泵機組后，根據(jù)真空腔體的真空度狀態(tài)，通過控制系統(tǒng)自動判斷真空室的真空度，合理控制各閥門的啟動和關閉的時機，達到最短的抽真空時間。

2、取消常規(guī)抽真空系統(tǒng)中的前級閥，節(jié)省抽氣時間，降低成本，打破常規(guī)設計行業(yè)規(guī)范。

3、主閥設置比常規(guī)同規(guī)格主閥更大的預抽口，更快速抽氣同時簡化用戶真空設計，真空室只需開一個主抽氣口，不必開預抽口。

4、在較低成本的配置下，實現(xiàn)在30秒內達到高工作真空度(1～20Pa)的要求。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一實施例的抽真空系統(tǒng)的結構圖。

圖2是根據(jù)本發(fā)明的一實施例的抽真空方法的流程圖。

具體實施方式

以下將結合附圖對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細說明，以便更清楚理解本發(fā)明的目的、特點和優(yōu)點。應理解的是，附圖所示的實施例并不是對本發(fā)明范圍的限制，而只是為了說明本發(fā)明技術方案的實質精神。

如圖1所示，抽真空系統(tǒng)包括前級泵1、主抽泵4、預抽閥2和主閥3，其中所述主閥3設有進口、預抽口和出口，主閥3的進口與設置于待抽真空的真空室(圖未示)上的抽真空口連通，主閥3的預抽口與預抽閥2的入口連通，主閥3的出口與主抽泵4的抽氣口連通。前級泵1的抽氣口經由三通接頭5同時與主抽泵4的排氣口和預抽閥2的出口直接連通。這里，根據(jù)需要，可以在前級泵1的抽氣口與三通接頭5還可連接有管道6。類似地，在三通接頭5與主抽泵4的排氣口之間也可連接有管道，在預抽閥2的出口與三通接頭5之間也可連接有管道。這里，前級泵1的抽氣口與主抽泵4的排氣口直接連通的意思是：在前級泵1的抽氣口與主抽泵的排氣口之間不設置前級閥，即無論是在三通接頭上，還是在三通接頭與主抽泵之間連接的管道7上，均不設置前級閥。與之對比，目前的真空手冊中，通常均要求在前級泵的抽氣口與主抽泵的排氣口之間設置前級閥。

本實施例中，前級泵是機械泵。當然，前級泵也可以采用其他任何合適的泵類型，例如前級泵：水環(huán)式真空泵、旋片式真空泵，立式無油真空泵、往復式真空泵、滑閥式真空泵。本實施例中，主抽泵是羅茨泵。類似地，主抽泵也可以采用其他任何合適的泵類型。預抽閥和主閥可以為氣動擋板閥，也可以是其他類型的閥，例如電磁閥，蝶閥或球閥等。預抽閥的類型和主閥的類型可以相同，也可以不同。

上述抽真空系統(tǒng)中，針對特定容積的真空室，通過選擇特定的前級泵，可以實現(xiàn)更快速地抽真空。具體地，真空室的容積和前級泵的參數(shù)可根據(jù)如下選擇：如果所述真空室的容積是A1L，而所述前級泵的抽速為B1L/S時，則A1*0.5≤B1≤A1。在滿足上述關系時，真空室可在短時間內，例如30秒內達到高真空度。

一實施例中，當前級泵為機械泵，而主抽泵為羅茨泵時，機械泵的抽速為60L/S～120L/S，羅茨泵的抽速為300～600L/S。主閥3為定制預抽口的真空閥。主閥的通道口徑為DN150～250mm且所述主閥帶有口徑為DN80～160mm的預抽口。采用上述的參數(shù)組合的抽真空系統(tǒng)對容積為120～180L的真空室進行抽真空時，可以在短時間內，例如30秒內達到工作要求的真空度，例如1～20Pa。

一實施例中，真空室為φ600*600mm的腔體。前級泵為2X-70機械泵，主抽泵為ZJP-300型羅茨泵，主閥為DN160氣動擋板閥，以及預抽閥為DN100氣動擋板閥。其中，主閥設有直徑為100mm的預抽口。在該配置下，通過適當?shù)目刂?，真空室可以?5秒左右達到1～20pa的工作真空度。

本文的抽真空系統(tǒng)還包括控制裝置(圖未示)，控制裝置布置成根據(jù)真空室的真空度對前級泵、主抽泵、預抽閥以及主閥的啟閉等進行控制。具體地，控制裝置根據(jù)預設定的程序并根據(jù)所檢測到的真空室的真空度，對各泵和閥的啟閉進行控制。

以下描述采用上述抽真空系統(tǒng)對真空室進行抽真空的方法。該方法包括如下步驟：

A、布置好上述的抽真空系統(tǒng)；

B、關閉所述主閥，啟動所述前級泵，并開啟所述預抽閥；

C、在所述真空室的真空度達到第一預定值時啟動所述主抽泵；以及

D、在所述真空室的真空度達到第二預定值時關閉所述預抽閥并打開所述主閥。

具體地，在關機狀態(tài)下，前級泵啟動后，打開預抽閥，真空室的真空度達到主抽泵啟動要求(即第一預定值，例如8000Pa)時，啟動主抽泵，真空室的真空度達到第二預定值(例如5000Pa)以下時，關閉預抽閥，打開主閥，真空室很快(例如6秒內)達到工作真空。當真空室異常泄漏時，在步驟D中，當真空室的真空度小于第二預定值時，關閉主閥。上述第一預定值和第二預定值可以根據(jù)不同的泵類型以及抽真空要求來設定。一實施例中，當主抽泵為羅茨泵時，第一預定值范圍為7000Pa～9000Pa，以及第二預定值的范圍為4000Pa～6000Pa。上述真空室的真空度可通過安裝在真空室內的傳感器檢測來獲得。

在關閉真空系統(tǒng)過程中，首先關閉主閥，然后停止主抽泵，在主抽泵停止并經過預定時間，例如5秒之后，關閉前級泵。

本發(fā)明的核心是通過采用新的抽真空布置，選用合適的泵和閥，并采取合適的控制方式，從而使得真空室快速獲得工作真空。本申請的抽真空系統(tǒng)及方法尤其適用于一些工業(yè)化批量生產的系統(tǒng)、設備中，其特點是工作節(jié)拍快，周期短(例如2分鐘以內)，要求工作真空度不高(1～20Pa)，但對抽真空速度要求快。本申請的抽真空系統(tǒng)及方法可實現(xiàn)在1分鐘，甚至30秒內達到工作真空。

以上已詳細描述了本發(fā)明的較佳實施例，但應理解到，在閱讀了本發(fā)明的上述講授內容之后，本領域技術人員可以對本發(fā)明作各種改動或修改。這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。