隔膜式致動器的制作方法

文檔序號：11286502閱讀：209來源：國知局

本發(fā)明涉及隔膜式致動器。

背景技術：

以往，作為開閉發(fā)動機的渦輪增壓器中的廢氣減壓閥的閥體的致動器，例如采用隔膜式致動器(例如，參照專利文獻1)。隔膜式致動器具備：與閥體連接的工作桿；驅動該工作桿的隔膜；在工作桿的軸線方向上隔著隔膜而鄰接的低壓室以及高壓室；以及配置于低壓室內(nèi)并對隔膜施力的復原彈簧。

專利文獻1：日本特開平7-269512號公報

例如，在渦輪增壓器工作時，在廢氣減壓閥成為打開狀態(tài)時，由于渦輪增壓器的殼體內(nèi)的壓力變動等，存在廢氣減壓閥的閥體振動的情況。若閥體振動，則與該閥體連接的工作桿也振動。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明對能夠抑制工作桿的振動的隔膜式致動器進行說明。

本發(fā)明的一方式是對工作桿沿所述工作桿的軸線方向進行驅動的隔膜式致動器，其中，該隔膜式致動器具備：隔膜，其與工作桿連結；低壓室，其與隔膜的軸線方向的一端側鄰接；高壓室，其與隔膜的軸線方向的另一端側鄰接；復原彈簧，其設置于低壓室，對隔膜向高壓室側施力；保持架，其設置于隔膜的高壓室側的面；以及彈性部件，其在高壓室的內(nèi)部，在軸線方向上配置于保持架與同保持架對置的壁面之間。

根據(jù)本發(fā)明的一方式，因為能夠通過彈性部件抑制保持架以及隔膜的振動，所以能夠抑制與隔膜連結的工作桿的振動。

附圖說明

圖1是表示具備本發(fā)明的實施方式的隔膜式致動器的車輛用增壓器的剖視圖。

圖2是圖1所示的車輛用增壓器的側視圖，是表示安裝于車輛用增壓器的側面的隔膜式致動器的圖。

圖3是沿著圖2中的iii－iii線的剖視圖。

圖4是本發(fā)明的第一實施方式的隔膜式致動器的剖視圖。

圖5是本發(fā)明的第二實施方式的隔膜式致動器的剖視圖。

圖6是本發(fā)明的第三實施方式的隔膜式致動器的剖視圖。

圖7是本發(fā)明的第四實施方式的隔膜式致動器的剖視圖。

具體實施方式

在該隔膜式致動器中，若低壓室的內(nèi)部壓力從低壓的狀態(tài)上升，則復原彈簧對隔膜施力而使隔膜向高壓室側移動，并且工作桿被向另一端側驅動。在該隔膜式致動器中，在設置于隔膜的高壓室側的面的保持架與在高壓室的內(nèi)部與保持架對置的壁面之間，配置有彈性部件。由此，在隔膜向高壓室側移動時，彈性部件被保持架和與保持架對置的壁面夾持。因此，通過彈性部件抑制保持架以及隔膜的振動。其結果是，與隔膜連結的工作桿的振動被抑制。

在保持架形成有在軸線方向上向高壓室的內(nèi)部突出的凸緣，彈性部件也可以是在軸線方向上與凸緣對置配置的結構。根據(jù)該結構，因為在保持架設置有凸緣，所以保持架的剛性被提高。另外，因為彈性部件與保持架的凸緣對置地配置，所以在隔膜向高壓室一側移動時，凸緣與彈性部件接觸，在軸線方向上凸緣和與該凸緣對置的壁面的接觸被防止，并且能夠通過彈性部件抑制保持架、隔膜以及工作桿的振動。

彈性部件也可以是安裝于高壓室的與保持架對置的壁體的內(nèi)表面亦即壁面的結構。由此，能夠通過高壓室的壁體穩(wěn)定地支承彈性部件。另外，因為彈性部件安裝于高壓室的壁體的保持架一側的面，所以當隔膜向高壓室側移動時，保持架與彈性部件接觸，軸線方向上的保持架與高壓室的壁體的接觸被防止，并且能夠通過彈性部件抑制保持架、隔膜以及工作桿的振動。另外，通過將彈性部件安裝于高壓室的壁體，能夠改變隔膜式致動器的固有振動頻率，抑制隔膜式致動器本身的振動，抑制工作桿的振動。

工作桿從隔膜向高壓室側延伸，并且在軸線方向貫穿與高壓室的保持架對置的壁體，在壁體支承有對工作桿進行保持的軸承部，軸承部從壁體向高壓室的內(nèi)部伸出，彈性部件也可以形成為安裝于作為軸承部的保持架側的面的壁面的結構。由此，通過將支承工作桿的軸承部配置于高壓室的內(nèi)部，能夠使軸承部向高壓室不向外部伸出。由此，能夠實現(xiàn)隔膜式致動器的省空間化。另外，因為彈性部件安裝于向高壓室的內(nèi)部伸出的軸承部的保持架側的面，所以在隔膜向高壓室側移動時，保持架與彈性部件接觸，使得保持架與高壓室的壁體的軸線方向上的接觸被防止，并且能夠通過彈性部件抑制保持架、隔膜以及工作桿的振動。另外，通過在從高壓室的壁體伸出的軸承部安裝彈性部件，能夠改變隔膜式致動器的固有振動頻率，抑制隔膜式致動器本身的振動，從而抑制工作桿的振動。

彈性部件由橡膠部件形成，其具備在軸線方向上與保持架對置配置的板狀部，該彈性部件也可以形成為使該板狀部的板厚方向沿著軸線方向的方式配置的結構。根據(jù)該結構，能夠抑制彈性部件的設置空間，能夠抑制隔膜的移動范圍的減少，并且能夠抑制保持架、隔膜以及工作桿的振動。

彈性部件也可以形成為具備從板狀部向另一端側延伸的伸出部的結構。根據(jù)該結構，通過伸出部與高壓室的壁體抵接，在軸線方向上，板狀部與高壓室的壁體分離地配置。而且，在隔膜向高壓室側移動時，保持架與由橡膠部件構成的板狀部接觸，能夠抑制保持架、隔膜以及工作桿的振動。

以下，一邊參照附圖一邊對本發(fā)明的實施方式詳細地進行說明。此外，對于各圖中的相同部分或者相當部分賦予相同的附圖標記，并省略重復的說明。

(增壓器)

圖1～圖3所示的增壓器1是車輛用的增壓器，利用從未圖示的發(fā)動機排出的排氣來壓縮向發(fā)動機供給的空氣。該增壓器1具備對圖3所示的廢氣減壓閥20進行開閉的隔膜式致動器50。該增壓器1具備渦輪2和壓縮機(離心壓縮機)3。渦輪2具備渦輪殼體4和被收納于渦輪殼體4的渦輪葉輪6。壓縮機3具備壓縮機殼體5和被收納于壓縮機殼體5的壓縮機葉輪7。

渦輪葉輪6設置于旋轉軸14的一端，壓縮機葉輪7設置于旋轉軸14的另一端。在渦輪殼體4與壓縮機殼體5之間設置有軸承殼體13。旋轉軸(轉子軸)14經(jīng)由軸承15以能夠旋轉的方式支承于軸承殼體13。增壓器1具備渦輪轉子軸16，該渦輪轉子軸16具備旋轉軸14和設置于該旋轉軸14的一端的渦輪葉輪6。渦輪轉子軸16以及壓縮機葉輪7作為一體的旋轉體而進行旋轉。

在渦輪殼體4設置有排氣流入口8以及排氣流出口10。從發(fā)動機被排出的排氣通過排氣流入口8流入渦輪殼體4內(nèi)，并使渦輪葉輪6旋轉，之后通過排氣流出口10向渦輪殼體4外流出。

在壓縮機殼體5設置有吸入口9以及排出口11。若如上述那樣渦輪葉輪6旋轉，則渦輪轉子軸16以及壓縮機葉輪7旋轉。旋轉的壓縮機葉輪7通過吸入口9吸入外部的空氣，將其壓縮并從排出口11排出。從排出口11被排出的壓縮空氣被供給至發(fā)動機。

如圖1以及圖3所示那樣，在渦輪殼體4的內(nèi)部形成有用于使從排氣流入口8導入的排氣的一部分從渦輪葉輪6分流而向排氣流出口10側導出的旁通流路(參照圖3)17。旁通流路17是用于使向渦輪葉輪6側供給的排氣的流量可變的氣體流量可變流路。

(廢氣減壓閥)

在渦輪殼體4的內(nèi)部作為流量可變閥機構的之一而設置有廢氣減壓閥20。廢氣減壓閥20是對旁通流路17的開口部進行開閉的閥。廢氣減壓閥20具備能夠旋轉地支承于渦輪殼體4的外壁的閥桿21；從閥桿21向閥桿21的徑向伸出的擺動片22；以及支承于擺動片22的閥體23。

在渦輪殼體4的外壁形成有沿外壁的板厚方向貫通的支承孔24。該在支承孔24內(nèi)插入有圓筒狀的襯套25。該襯套25固定于渦輪殼體4的外壁。

閥桿21插通于襯套25，并被支承為能夠相對于渦輪殼體4的外壁旋轉。擺動片22固定于閥桿21。閥桿21繞閥桿21的軸線旋轉，使擺動片22擺動。在擺動片22的前端部設置有用于安裝閥體23的安裝孔。

閥體23是能夠與旁通流路17的開口部的周邊部抵接隔離的部件，例如形成為圓盤狀。在閥體23設置有向與旁通流路17的開口部相反的一側突出的閥軸26。閥軸26插通于擺動片22的前端部的安裝孔。在閥軸26的與閥體23相反的一側的端部固定有卡止件27，通過該卡止件27對插入安裝孔的閥軸26進行保持。閥體23能夠被支承為能夠相對于擺動片22微動(包括傾動)。由此，因為閥體23相對于擺動片22微動，所以閥體23緊貼于旁通流路17的開口部的周邊部。而且，閥體23與旁通流路17的開口部的周邊部抵接從而廢氣減壓閥20成為關閉狀態(tài)，閥體23從旁通流路17的開口部的周邊部離開從而廢氣減壓閥20成為打開狀態(tài)。

在閥桿21的配置于渦輪殼體4的外部的端部，固定有向閥桿21的徑向突出的板狀的連桿部件28。在連桿部件28的前端部形成有供連結銷29插通的安裝孔，連結銷29插通于該安裝孔。另外，該連結銷29插通于在后述的隔膜式致動器50的工作桿51的前端部亦即另一端部51b形成的安裝孔。連結銷29的一方的端部通過鉚接而固定于工作桿51。在連結銷29的另一個端部安裝有夾具30，防止連結銷29從安裝孔脫落。閥桿21經(jīng)由連桿部件28以及連結銷29與隔膜式致動器50的工作桿51連結。

(隔膜式致動器)

接下來，對隔膜式致動器50進行說明。隔膜式致動器50如圖2以及圖3所示那樣，固定于從壓縮機殼體5向側方突出的托架18。

隔膜式致動器50如圖4所示那樣，具備工作桿51和沿軸線方向驅動該工作桿51的致動器主體52。致動器主體52具備：與工作桿51連結并將驅動力傳遞至工作桿51的隔膜53；與隔膜53的一側鄰接的低壓室54；與隔膜53的另一側鄰接的高壓室55；以及設置于低壓室54的內(nèi)部，并對隔膜53向高壓室55側施力的復原彈簧56。換言之，隔著隔膜53而設置有低壓室54和高壓室55，復原彈簧56對隔膜53向高壓室55側施力。工作桿51是被致動器主體52驅動的閥桿狀的部件。

致動器主體52具備在內(nèi)部形成低壓室54的低壓側蓋部58和在內(nèi)部形成高壓室55的高壓側蓋部59。低壓側蓋部58以及高壓側蓋部59由鐵等金屬形成。低壓側蓋部58具備圓筒部58a和將該圓筒部58a的一端側(圖示右側)封閉的背面壁58b。在圓筒部58a的另一端側設置有從開口部的周邊部沿圓筒部58a的徑向伸出的凸緣部58c。另外，在圓筒部58a設置有噴嘴58d。在該噴嘴58d連接有能夠使低壓室54的內(nèi)部的壓力減壓的負壓泵(未圖示)。

高壓側蓋部59具備圓筒部59a和將該圓筒部59a的另一端側(圖示左側)封閉的正面壁(壁體)59b。在圓筒部59a的一端側設置有從開口部的周邊部沿圓筒部59a的徑向伸出的凸緣部59c。高壓側蓋部59的圓筒部59a的內(nèi)徑與低壓側蓋部58的圓筒部58a的內(nèi)徑相對應。此外，圓筒部58a、59a彼此的內(nèi)徑既可以相同，也可以不同。另外，在正面壁59b的中央部形成有使工作桿51插通的開口部。

低壓側蓋部58以及高壓側蓋部59在工作桿51的軸線方向上，隔著隔膜53以相互的開口部對置的方式配置并接合。隔膜53例如形成為圓形，隔膜53的周邊部被低壓側蓋部58以及高壓側蓋部59的凸緣部58c、59c夾持。低壓側蓋部58以及高壓側蓋部59的凸緣部58c、59c彼此例如通過鉚接接合。低壓側蓋部58與高壓側蓋部59例如可以通過焊接接合、使用螺釘接合、或通過其他方法接合。

隔膜53與圓筒部58a、59a的內(nèi)徑相比具有較大的外徑。在低壓側蓋部58以及高壓側蓋部59的內(nèi)部，隔膜53的中央部沿工作桿51的軸線方向能夠移動。

在隔膜53的一個(圖示右側)面設置有低壓側保持架61，在隔膜53的另一個(圖示左側)面設置有高壓側保持架62。低壓側保持架61以及高壓側保持架62例如由鐵等金屬形成。低壓側保持架61具有與隔膜53的一個面抵接的圓盤狀的保持架主體61a和從保持架主體61a的外周側的周邊部沿工作桿51的軸線方向突出的突出部61b。高壓側保持架62具有與隔膜53的另一個面抵接的圓盤狀的保持架主體62a和從保持架主體62a的外周側的周邊部沿工作桿51的軸線方向突出的突出部(凸緣)62b。高壓側保持架62的保持架主體62a的外徑比低壓側保持架61的保持架主體61a的外徑小。另外，在保持架主體61a、62a的中央部形成有開口部。

工作桿51的一端部51a與隔膜53連結。具體而言，工作桿51的一端部51a插通高壓側保持架62的開口部、隔膜53的開口部以及低壓側保持架61的開口部，例如通過鉚接固定于高壓側保持架62以及低壓側保持架61。高壓側保持架62以及低壓側保持架61在工作桿51的軸線方向上從兩側夾著隔膜53的中央部對其進行支承。此外，工作桿51與隔膜53的連結方法并不限定于通過鉚接連結的方法。例如，在工作桿51的一端部形成螺紋部，通過將螺母緊固于該螺紋部，經(jīng)由高壓側保持架62以及低壓側保持架61將工作桿51與隔膜53連接也可以。

復原彈簧56例如是壓縮螺旋彈簧，復原彈簧56的一端部與低壓側蓋部58的背面壁58b抵接，復原彈簧56的另一端部與低壓側保持架61的保持架主體61a抵接。復原彈簧56在工作桿51的軸線方向上能夠伸長、壓縮，通過對低壓側保持架61向高壓室55側施力，能夠對隔膜53向高壓室55側施力。

工作桿51從隔膜53向高壓室55一側延伸，并貫通高壓側蓋部59的正面壁59b，向高壓室55的外部伸出。在與正面壁59b的開口部對應的位置設置有對工作桿51進行保持的軸承部63。

軸承部63具備圓筒狀的襯套64和收容襯套64的襯套收容部65。襯套收容部65具備：圓筒部65a；背面壁(壁體)65b；以及凸緣部65c。圓筒部65a配置為覆蓋襯套64的外周面。背面壁65b是圓筒部65a的一端側，形成為向徑向內(nèi)側伸出。在背面壁65b的中央部形成有使工作桿51插通的開口部。背面壁65b配置為覆蓋襯套64的一端側的端面。

凸緣部65c是圓筒部65a的另一端側，形成為朝徑向的外側伸出。凸緣部65c固定于高壓側蓋部59的正面壁59b的內(nèi)壁面(室內(nèi)側的面)。凸緣部65c例如通過焊接與高壓側蓋部59接合。襯套64在工作桿51的軸線方向上配置于高壓側蓋部59的正面壁59b與襯套收容部65的背面壁65b之間。

襯套收容部65配置為從正面壁59b向內(nèi)側伸出。換言之，襯套收容部65的背面壁65b配置于與高壓側蓋部59的正面壁59b相比靠近隔膜53的位置。襯套收容部65的背面壁65b在工作桿51的軸線方向上與高壓側保持架62對置。

這里，隔膜式致動器50在高壓室55的內(nèi)部，且在工作桿51的軸線方向上的、高壓側保持架62與襯套收容部65的背面壁65b之間，具備防振片(彈性部件)66。

防振片66是例如形成為環(huán)狀的橡膠板(板狀部)。防振片66的中央開口部是使工作桿51插通的開口。防振片66的外徑與襯套收容部65的背面壁65b的外徑對應。另外，防振片66配置為防振片66的板厚方向沿著工作桿51的軸線方向。防振片66的一個面配置為與高壓側保持架62的保持架主體62a面對，防振片66的另一個面與襯套收容部65的背面壁65b的內(nèi)壁面(與保持架對置的壁面)對面。防振片66例如通過粘合而安裝于襯套收容部65的背面壁65b的內(nèi)壁面。

防振片66的材質例如是硅橡膠、氯丁橡膠等耐熱性的橡膠。此外，高壓室55的內(nèi)部的溫度在增壓器1的使用狀態(tài)下例如是100℃左右。

接下來，對增壓器1的作用、效果進行說明。

從排氣流入口8流入的排氣通過渦輪滾動流路4a，被供給至渦輪葉輪6的入口側。渦輪葉輪6利用供給的排氣的壓力產(chǎn)生旋轉力，使旋轉軸14以及壓縮機葉輪7與渦輪葉輪6一體地旋轉。由此，使用壓縮機葉輪7將從壓縮機3的吸入口9吸入的空氣壓縮。被壓縮機葉輪7壓縮的空氣通過擴散流路5a以及壓縮機滾動流路5b從排出口11被排出。從排出口11被排出的空氣被供給至發(fā)動機。

例如，在增壓器1的運轉過程中，在增壓(從排出口11被排出的空氣的壓力)不足設定壓的情況下，通過負壓泵對隔膜式致動器50的低壓室54施加負壓。此時，高壓室55的內(nèi)部壓力比低壓室54的內(nèi)部壓力高，通過高壓室55的內(nèi)部壓力對隔膜53施力，隔膜53的中央部向低壓室54側移動。復原彈簧56成為被壓縮的狀態(tài)。

在低壓室54被施加負壓的狀態(tài)下，成為隔膜53的中央部接近低壓側蓋部58的背面壁58b的狀態(tài)。工作桿51是在軸線方向上被拉向一端側的狀態(tài)，工作桿51的拉伸力經(jīng)由與該工作桿51連結的連桿部件28、閥桿21以及擺動片22傳遞至閥體23。由此，閥體23被按壓在旁通流路17的開口部的周邊部，廢氣減壓閥20成為關閉狀態(tài)。即，在渦輪2中，由旁通流路17進行排氣的分流成為不進行的狀態(tài)。

而且，在增壓器1的運轉過程中，若增壓到達設定壓，則由負壓泵進行的負壓的施加狀態(tài)被解除，低壓室54的內(nèi)部壓力上升，且低壓室54的內(nèi)部壓力接近高壓室55的內(nèi)部壓力。此時，處于被壓縮的狀態(tài)的復原彈簧56伸長，隔膜53被復原彈簧56施力，從而隔膜53的中央部向高壓室55側移動。

若隔膜53的中央部向高壓室55側移動，則伴隨著隔膜53向中央部的移動，工作桿51在軸線方向上向另一端側移動。工作桿51是在軸線方向上被向另一端側按壓的狀態(tài)，工作桿51的擠壓力被傳遞至連桿部件28。連桿部件28以閥桿21為中心擺動，閥桿21繞其軸線旋轉，擺動片22擺動。由此，閥體23從旁通流路17的開口部的周邊部分離，廢氣減壓閥20成為打開狀態(tài)。由此，從排氣流入口8流入的排氣的一部分通過旁通流路17，對渦輪葉輪6分流。因此，能夠使供給至渦輪葉輪6的排氣的流量減少。

在廢氣減壓閥20是打開狀態(tài)，隔膜53向中央部的高壓室55側的移動成為最大的情況下，成為高壓側保持架62的保持架主體62a與防振片66抵接的狀態(tài)。換句話說，成為防振片66在工作桿51的軸線方向上被保持架主體62a和襯套收容部65的背面壁65b夾著的狀態(tài)。

在該狀態(tài)下，例如在閥體23振動的情況下，該閥體23的振動雖然傳遞至擺動片22、閥桿21、連桿部件28、工作桿51、隔膜53以及高壓側保持架62，但高壓側保持架62的振動被防振片66衰減。由此，因為高壓側保持架62的振動被抑制，所以隔膜53、工作桿51、連桿部件28、閥桿21、擺動片22以及閥體23的振動被抑制。

在該隔膜式致動器50中，因為在襯套收容部65的背面壁65b的內(nèi)壁面安裝有防振片66，所以高壓側保持架62與背面壁65b的接觸被防止。因此，不存在高壓側保持架62與背面壁65b碰撞而產(chǎn)生異響的擔憂。另外，因為襯套收容部65與高壓側蓋部59的正面壁59b相比向高壓側保持架62一側突出，所以在高壓側保持架62與正面壁59b碰撞之前，高壓側保持架62與防振片66碰撞。因此，不存在高壓側保持架62與高壓側蓋部59碰撞而產(chǎn)生異響的擔憂。

在該隔膜式致動器50中，因為在襯套收容部65安裝有防振片66，所以能夠使致動器主體52的固有振動頻率變化，從而能夠抑制致動器主體52的振動，并且能夠抑制工作桿51的振動。由此，能夠抑制工作桿51的振動，并能夠抑制閥體23的振動。

(第二實施方式)

接下來，參照圖5，對第二實施方式的隔膜式致動器50b進行說明。第二實施方式的隔膜式致動器50b與第一實施方式的隔膜式致動器50的不同點是替代防振片66而具備壓縮螺旋彈簧(彈性部件)67。此外，在第二實施方式的說明中，省略與第一實施方式相同的說明。

壓縮螺旋彈簧67在工作桿51的軸線方向上，配置于襯套收容部65的背面壁65b與保持架主體62a之間。壓縮螺旋彈簧67以與工作桿51成為同軸的方式配置，壓縮螺旋彈簧67的一端部與保持架主體62a抵接，壓縮螺旋彈簧67的另一端部與背面壁65b的壁面抵接。

該壓縮螺旋彈簧67的外徑例如與背面壁65b的外徑對應。壓縮螺旋彈簧67的彈簧常數(shù)比配置于低壓室54的內(nèi)部的復原彈簧56的彈簧常數(shù)低，例如是復原彈簧56的彈簧常數(shù)的1/10～1/5。例如，在高壓室55的內(nèi)部壓力與低壓室54的內(nèi)部壓力相等的情況下，隔膜53的中央部被復原彈簧56施力而向高壓室55側移動，壓縮螺旋彈簧67成為被壓縮的狀態(tài)。

根據(jù)該第二實施方式的隔膜式致動器50b，若閥體23振動，并且振動傳遞至隔膜53以及高壓側保持架62，則高壓側保持架62以及隔膜53的振動被壓縮螺旋彈簧67衰減，從而工作桿51的振動被抑制。因此，隔膜式致動器50的閥體23的振動被抑制。

在隔膜式致動器50b中，即使在閥未成為全開的狀態(tài)下，因為高壓側保持架62與壓縮螺旋彈簧67接觸，所以與閥的開度無關，工作桿51的振動被抑制。

此外，在第二實施方式中，壓縮螺旋彈簧67的另一端部配置為與襯套收容部65的背面壁65b抵接，例如，壓縮螺旋彈簧67的另一端部也可以配置為與高壓側蓋部59的正面壁59b的內(nèi)壁面抵接。另外，壓縮螺旋彈簧67也可以設置有多個，例如，配置于工作桿51的外側，也可以配置為不使工作桿51插通。

壓縮螺旋彈簧67的軸線方向的長度也可以比背面壁65b與保持架主體62a的距離短。例如，也可以構成為壓縮螺旋彈簧67的另一端部安裝于背面壁65b，壓縮螺旋彈簧67的一端部與保持架主體62a分離配置。在該情況下，在隔膜53向高壓室55側的移動量增加時，保持架主體62a與縮螺旋彈簧67抵接，高壓側保持架62的振動被衰減。

也可以構成為壓縮螺旋彈簧67的一端部安裝于保持架主體62a，壓縮螺旋彈簧67的另一端部與背面壁65b分離配置。在該結構的情況下，當隔膜53向高壓室55側的移動量增加時，背面壁65b與壓縮螺旋彈簧67抵接，高壓側保持架62的振動被衰減。

(第三實施方式)

接下來，參照圖6對第三實施方式的隔膜式致動器50c進行說明。第三實施方式的隔膜式致動器50c與第一實施方式的隔膜式致動器50的不同點是：替代以從正面壁59b向高壓室55的內(nèi)部伸出的方式配置的軸承部63而具備以從正面壁59b向高壓室55的外部伸出的方式配置的軸承部68，以及替代安裝于襯套收容部65的背面壁65b的防振片66而具備安裝于正面壁59b的內(nèi)壁面的防振片69。此外，在第三實施方式的說明中，省略與第一、第二實施方式相同的說明。

軸承部68具備襯套64和襯套收容部65。襯套收容部65具備圓筒部65a和正面壁65d。圓筒部65a形成為從高壓側蓋部59的正面壁59b向工作桿51的另一端側伸出。圓筒部65a的一端側與高壓側蓋部59的正面壁59b連續(xù)地設置。襯套收容部65的正面壁65d在圓筒部65a的另一端側形成為從圓筒部65a向徑向的內(nèi)側伸出。在正面壁65d的中央部形成有使工作桿51插通的開口部。正面壁65d配置為覆蓋襯套64的另一端側的端面。

防振片69例如是圓盤狀的橡膠板(板狀部)。在防振片69的中央部形成有使工作桿51插通的開口部。另外，防振片69的外徑具有大于高壓側保持架62的突出部62b的外徑的尺寸。防振片69例如通過粘結而安裝于正面壁59b。

在該結構的隔膜式致動器50c中，若隔膜53向中央部的高壓室55側的移動量成為最大，則高壓側保持架62的突出部62b的端面與防振片69抵接。由此，若閥體23的振動傳遞至隔膜53以及高壓側保持架62，則高壓側保持架62以及隔膜53的振動被防振片69衰減。因此，工作桿51的振動被抑制，隔膜式致動器50的閥體23的振動被抑制。

此外，在第三實施方式中，防振片69安裝于正面壁59b，防振片例如也可以安裝于高壓側保持架62。例如，防振片也可以是形成為環(huán)狀，并配置為覆蓋高壓側保持架62的突出部62b的端面的結構。

(第四實施方式)

接下來，參照圖7，對第四實施方式的隔膜式致動器50d進行說明。第四實施方式的隔膜式致動器50d與第三實施方式的隔膜式致動器50c的不同點是替代防振片69而具備防振片70。此外，在第四實施方式的說明中，省略與第一、第二、第三實施方式相同的說明。

防振片70例如是形成有圓錐臺狀的山型的板狀的橡膠部件。防振片70形成為圓盤狀，具備：與正面壁59b分離地配置的背面部(板狀部)70a；從背面部70a的外周側的邊緣部從正面壁59b側延伸的筒狀部(伸出部)70b；以及從筒狀部70b的正面壁59b側的端部向徑向外側伸出的凸緣部70c。

背面部70a在工作桿51的軸線方向上與正面壁59b分離，并配置于隔膜53一側。在背面部70a與正面壁59b之間形成有規(guī)定的空間。在背面部70a的中央部形成有使工作桿51插通的開口部。背面部70a在工作桿51的軸線方向上形成與高壓側保持架62對置的壁面。背面部70a的外徑例如具有比高壓側保持架62的突出部62b的內(nèi)徑小的尺寸。

筒狀部70b形成為圓錐狀，越靠近正面壁59b內(nèi)徑變得越大。在工作桿51的軸線方向上，筒狀部70b的一個端部與背面部70a連接，筒狀部70b的另一個端部與正面壁59b的內(nèi)壁面抵接。筒狀部70b的另一個端部的外徑比一個端部的外徑大，例如具有比高壓側保持架62的突出部62b的內(nèi)徑小的尺寸。

凸緣部70c配置為在工作桿51的軸線方向上例如與高壓側保持架62的突出部62b對置。凸緣部70c例如通過粘結而安裝于正面壁59b的內(nèi)壁面。凸緣部70c的外徑既可以具有比高壓側保持架62的突出部62b的外徑大的尺寸，也可以具有比突出部62b的外徑小的尺寸。

防振片70例如能夠由板狀的橡膠部件形成。能夠通過將橡膠部件按壓于形成為圓錐臺狀的山型的基臺而進行沖壓，從而形成防振片70。

在該結構的隔膜式致動器50d中，若隔膜53向中央部的高壓室55側移動，且該移動量成為最大，則高壓側保持架62的保持架主體62a與防振片70的背面部70a抵接。由此，閥體23的振動傳遞至隔膜53以及高壓側保持架62，高壓側保持架62以及隔膜53的振動被防振片70衰減。因此，工作桿51的振動被抑制，隔膜式致動器50的閥體23的振動被抑制。

此外，在第四實施方式中，與第三實施方式相同，防振片70安裝于正面壁59b，防振片70例如也可以安裝于高壓側保持架62。例如，也可以是防振片70的背面部70a的外徑比高壓側保持架62的突出部62b的外徑大，背面部70a配置為覆蓋突出部62b的端面的結構。

防振片70所形成的山型的形狀并不限定于圓錐臺狀。例如可以為圓筒狀，也可以為長方體狀。另外，山型的側面不限定于筒狀，也可以是具備在周向上隔開間隔配置的多個腳形狀的伸出部的部件。

防振片70構成為具備凸緣部70c，也可以是不具備凸緣部70c的結構。另外，防振片70也可以是具備在筒狀部70b的正面壁59b側的端部向徑向內(nèi)側伸出的凸緣部的結構，也可以是具備形成為封閉筒狀部70b的正面壁59b側的端部的圓盤狀的正面部的結構。

此外，本發(fā)明不限定于前述的實施方式，在不脫離權利要求的主旨的范圍內(nèi)能夠如下述那樣進行各種變形。

在上述實施方式中，將隔膜式致動器50作為增壓器1的廢氣減壓閥20的驅動源來使用，但是也可以作為用于開閉其他閥的驅動源來使用。另外，隔膜式致動器50也可以作為驅動閥以外的對象物的驅動源來使用。

在上述實施方式中，作為彈性部件舉例表示了防振片66、69、70以及壓縮螺旋彈簧67，但彈性部件例如也可以是盤形彈簧、板簧等其他彈簧部件。例如，也可以是同一種類的多個彈簧部件以在工作桿51的軸線方向重疊的方式配置的結構，也可以是多種彈簧部件以在工作桿51的軸線方向上重疊的方式配置的結構。例如，可以是如圖6那樣的防振片69重疊多片的結構，也可以是厚度、材質不同的多個防振片重疊的結構。另外，也可以是在防振片69的隔膜53側配置有防振片70的結構。另外，也可以是在防振片66、69、70的隔膜53側配置有壓縮螺旋彈簧的結構，也可以是在防振片66、69、70的正面壁59b側配置有壓縮螺旋彈簧的機構。

在上述實施方式中，舉例表示了將彈性部件安裝于襯套收容部65的背面壁65b的情況，將彈性部件安裝于高壓側蓋部59的正面壁59b的情況，以及將彈性部件安裝于高壓側保持架62的情況，但彈性部件安裝于其他部分也可以。例如，彈性部件也可以是安裝于高壓側蓋部59的圓筒部59a的內(nèi)周面的結構，也可以是經(jīng)由其他部件安裝于高壓側蓋部59的結構。

在上述實施方式中，高壓側保持架62是具備向高壓室55的內(nèi)部突出的突出部62b的結構，高壓側保持架62也可以是不具備向高壓室55的內(nèi)部突出的突出部62b的結構。另外，突出部62b并不局限于從保持架主體62a的外周部突出的結構，也可以是從徑向上的中間部突出的結構。

在上述實施方式中，將采用了廢氣減壓閥20的增壓器1作為車輛用增壓器而進行了舉例表示，但增壓器并不現(xiàn)定于車輛用，也可以用于船舶用的發(fā)動機，應用于其他發(fā)動機也可以。

根據(jù)本發(fā)明的幾個方式，因為通過彈性部件能夠抑制保持架以及隔膜的振動，所以能夠抑制與隔膜連結的工作桿的振動。

附圖標記說明：

1…增壓器；50、50b、50c、50d…隔膜式致動器；51…工作桿；52…致動器主體；53…隔膜；54…低壓室；55…高壓室；56…復原彈簧；59b…正面壁(與保持架對置的壁面)；62…高壓側保持架；62b…突出部(凸緣)；63…軸承部；65b…背面壁(與保持架對置的壁)；66、69、70…防振片(彈性部件、板狀的橡膠、圓錐臺狀的橡膠)；67…壓縮螺旋彈簧(彈性部件)；70a…背面部(板狀部)；70b…筒狀部(伸出部)。

權利要求書(按照條約第19條的修改)

1.(刪除)

2.(刪除)

3.(刪除)

4.(修改后)一種隔膜式致動器，其對工作桿沿所述工作桿的軸線方向進行驅動，所述隔膜式致動器的特征在于，具備：

隔膜，其與所述工作桿連結；

低壓室，其與所述隔膜的所述軸線方向的一端側鄰接；

高壓室，其與所述隔膜的所述軸線方向的另一端側鄰接；

復原彈簧，其設置于所述低壓室，對所述隔膜向所述高壓室側施力；

保持架，其設置于所述隔膜的所述高壓室側的面；以及

彈性部件，其在所述高壓室的內(nèi)部，在所述軸線方向上配置于所述保持架與同所述保持架對置的壁面之間，

所述工作桿從所述隔膜向所述高壓室側延伸，并且在所述軸線方向上貫通所述高壓室的與所述保持架對置的壁體，