技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種兩級氣冷羅茨螺桿真空機組，包括氣冷三葉羅茨真空泵、氣體熱交換器、螺桿真空泵和消音器，氣冷三葉羅茨真空泵的排氣口Ⅰ與氣體熱交換器的進氣口Ⅱ通過波紋管連通，氣體熱交換器的兩個側(cè)向冷卻氣體排氣口通過管道分別連通氣冷三葉羅茨真空泵的兩個側(cè)向冷卻氣體進氣口，氣體熱交換器的排氣口Ⅱ通過管道連通螺桿真空泵的進氣口Ⅲ，螺桿真空泵的排氣口Ⅲ通過管道連通消音器的進氣口Ⅳ。本實用新型的有益效果是：實現(xiàn)快速啟動螺桿泵，變頻啟動羅茨泵，整個機組在高真空度下抽氣量大，效率高，整個真空抽氣系統(tǒng)具有無油、潔凈和使用維護成本低等優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：徐晶;唐杰;周河聲
受保護的技術(shù)使用者：江陰愛爾姆真空設(shè)備有限公司
文檔號碼：201621055198
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.13
技術(shù)公布日：2017.08.01