本實用新型涉及一種兩級氣冷羅茨螺桿真空機組。

背景技術(shù)：

隨著化工、制藥行業(yè)的溶劑回收和半導(dǎo)體與微電子行業(yè)等高新產(chǎn)品的真空處理工藝需求的快速增長，目前國內(nèi)現(xiàn)有的真空機組仍然以水環(huán)泵、羅茨泵、爪泵等為主，不能夠適應(yīng)此類市場對溶劑回收、和高真空無油潔凈環(huán)境的要求。螺桿泵作為一種干式真空泵，具有無油、高真空的工作特性，但是其單泵的抽氣量相對較小，也無法滿足上述行業(yè)的產(chǎn)能擴大的需求。同時普通羅茨泵能夠在粗中真空環(huán)境下，大大增加前級泵的抽氣性能。但是由于其結(jié)構(gòu)特性，普通羅茨泵卻不能在大氣壓力啟動，其排氣也不能直排大氣，因它的使用場合受到了嚴(yán)格的限制，必須在前級泵的配合下才能正常工作。

因此，考慮到上述技術(shù)需求，需要設(shè)計一種既能夠可靠回收工藝過程相關(guān)產(chǎn)物，還能夠具有潔凈無油和高真空特點的真空機組。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：基于上述問題，提供一種兩級氣冷羅茨螺桿真空機組。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種兩級氣冷羅茨螺桿真空機組，包括氣冷三葉羅茨真空泵、氣體熱交換器、螺桿真空泵和消音器，氣冷三葉羅茨真空泵具有一個進氣口Ⅰ、一個排氣口Ⅰ和兩個側(cè)向冷卻氣體進氣口，氣體熱交換器具有一個進氣口Ⅱ、一個排氣口Ⅱ、兩個側(cè)向冷卻氣體排氣口和一個排污口，氣冷三葉羅茨真空泵的排氣口Ⅰ與氣體熱交換器的進氣口Ⅱ通過波紋管連通，氣體熱交換器的兩個側(cè)向冷卻氣體排氣口通過管道分別連通氣冷三葉羅茨真空泵的兩個側(cè)向冷卻氣體進氣口，氣體熱交換器的排氣口Ⅱ通過管道連通螺桿真空泵的進氣口Ⅲ，螺桿真空泵的排氣口Ⅲ通過管道連通消音器的進氣口Ⅳ，氣冷三葉羅茨真空泵、氣體熱交換器和螺桿真空泵表面均開設(shè)有與冷卻水進出水管道接通的冷卻水進水口、冷卻水出水口，內(nèi)部均具有冷卻水管路。

進一步地，氣冷三葉羅茨真空泵通過聯(lián)軸器連接有電機，氣冷三葉羅茨真空泵進氣口前連接有壓力變送器。

進一步地，電機、氣冷三葉羅茨真空泵、氣體熱交換器和螺桿真空泵均安裝在基座上。

進一步地，氣冷三葉羅茨真空泵的進氣口Ⅰ前安裝有過濾器。

進一步地，氣體熱交換器的排污口上安裝有球閥。

進一步地，螺桿真空泵通過聯(lián)軸器連接有電機，螺桿真空泵的進氣口Ⅲ前安裝有止回閥和進氣溫度變送器。

本實用新型的有益效果是：兩級氣冷羅茨螺桿真空機組使用三葉氣冷羅茨泵作為主泵，并在氣冷羅茨泵的排氣口連接有氣體熱交換器，前級泵采用直排大氣的無油螺桿真空泵，即可實現(xiàn)該機組在大氣壓下首先快速啟動螺桿泵，然后通過變頻控制器變頻啟動氣冷羅茨真空泵，能夠使得整個機組具有非常良好的抽氣速度，還能直排大氣；其組成的真空抽氣系統(tǒng)具有無油、潔凈和抽氣量大、抽氣效率高等特點，可以滿足多種化工和半導(dǎo)體微電子等場合的應(yīng)用要求；由于氣冷羅茨泵的三葉轉(zhuǎn)子和螺桿泵轉(zhuǎn)子之間均采用間隙密封，互不接觸，因此整個機組具備運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低、振動小等優(yōu)點；以氣冷羅茨泵作為主泵，具有高真空度下抽氣量大，效率高，由于螺桿泵、氣冷羅茨泵均為無油干式真空泵，不產(chǎn)生任何廢水、廢氣，而且還能及時回收排氣，因此機組具有使用和維護成本低等優(yōu)點，非常適用于化工制藥和半導(dǎo)體等技術(shù)領(lǐng)域中的無油潔凈的高真空場合環(huán)境。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是兩級氣冷羅茨螺桿真空機組的抽氣性能曲線；

其中：1.氣冷三葉羅茨真空泵，1-1.進氣口Ⅰ，1-2.排氣口Ⅰ，1-3.側(cè)向冷卻氣體進氣口，2.氣體熱交換器，2-1.進氣口Ⅱ，2-2.排氣口Ⅱ，2-3.側(cè)向冷卻氣體排氣口，2-4.排污口，3.螺桿真空泵，3-1.進氣口Ⅲ，3-2.排氣口Ⅲ，4.消音器，4-1.進氣口Ⅳ，5.波紋管，6.冷卻水進水口，7.冷卻水出水口，8.過濾器，9.球閥。

具體實施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。

如圖1所示的一種兩級氣冷羅茨螺桿真空機組，包括氣冷三葉羅茨真空泵1、氣體熱交換器2、螺桿真空泵3和消音器4，氣冷三葉羅茨真空泵1具有一個進氣口Ⅰ1-1、一個排氣口Ⅰ1-2和兩個側(cè)向冷卻氣體進氣口1-3，氣體熱交換器2具有一個進氣口Ⅱ2-1、一個排氣口Ⅱ2-2、兩個側(cè)向冷卻氣體排氣口2-3和一個排污口2-4，氣冷三葉羅茨真空泵1的排氣口Ⅰ1-2與氣體熱交換器2的進氣口Ⅱ2-1通過波紋管5連通，氣體熱交換器2的兩個側(cè)向冷卻氣體排氣口2-3通過管道分別連通氣冷三葉羅茨真空泵2的兩個側(cè)向冷卻氣體進氣口1-3，氣體熱交換器2的排氣口Ⅱ2-2通過管道連通螺桿真空泵3的進氣口Ⅲ3-1，螺桿真空泵3的排氣口Ⅲ3-2通過管道連通消音器4的進氣口Ⅳ4-1，氣冷三葉羅茨真空泵1、氣體熱交換器2和螺桿真空泵3表面均開設(shè)有與冷卻水進出水管道接通的冷卻水進水口6、冷卻水出水口7，內(nèi)部均具有冷卻水管路。

氣冷三葉羅茨真空泵1通過聯(lián)軸器連接有電機，氣冷三葉羅茨真空泵1的進氣口Ⅰ1-1前連接有壓力變送器。

電機、氣冷三葉羅茨真空泵1、氣體熱交換器2和螺桿真空泵3均安裝在基座上。

氣冷三葉羅茨真空泵1的進氣口Ⅰ1-1前安裝有過濾器8和壓力變送器。

氣體熱交換器2的排污口2-4上安裝有球閥9。

螺桿真空泵3通過聯(lián)軸器連接有電機，螺桿真空泵3的進氣口Ⅲ3-1前安裝有止回閥和進氣溫度變送器。

工作原理如下：氣冷三葉羅茨真空泵的排氣口通過波紋管與氣體熱交換器的進氣口相連，氣冷三葉羅茨真空泵排出的高溫氣體在氣體熱交換器內(nèi)被其內(nèi)的冷卻水冷卻，其溫度降低，并從氣體熱交換器的兩個側(cè)向冷卻氣體排氣口排出，通過管道導(dǎo)入氣冷三葉羅茨真空泵雙側(cè)的側(cè)向冷卻氣體進氣口，由于羅茨泵雙側(cè)的側(cè)向冷卻氣體進氣口與氣冷三葉羅茨真空泵的排氣口連通，冷卻氣體又重新與排出的高溫氣體混合，并被循環(huán)排出至氣體熱交換器，因此不會影響氣冷三葉羅茨真空泵的抽氣性能，同時能對氣冷三葉羅茨真空泵的泵體和轉(zhuǎn)子進行冷卻，防止氣冷三葉羅茨真空泵排氣產(chǎn)生巨大的氣體壓縮熱使得泵體與轉(zhuǎn)子出現(xiàn)過熱膨脹卡死問題。

氣體熱交換器在尾部具有一個排氣口，連接至螺桿真空泵進氣口，在螺桿真空泵的排氣口后接有一個消音器，消音器能夠降低氣冷羅茨螺桿真空機組的排氣噪聲，防止其污染環(huán)境，氣體熱交換器下部具有一個排污口，排污口上接有一個球閥，用于打開與關(guān)閉排污口，排污口可以將氣體熱交換器內(nèi)部由于氣冷三葉羅茨真空泵排出氣體帶入的各類冷凝物質(zhì)和油蒸汽排出，保持氣體熱交換器內(nèi)部潔凈。

兩級氣冷羅茨螺桿真空機組使用三葉氣冷羅茨泵作為主泵，并在三葉氣冷羅茨泵的排氣口連接有氣體熱交換器，前級泵采用直排大氣的無油螺桿真空泵，即可實現(xiàn)該機組在大氣壓下首先快速啟動螺桿泵，然后通過變頻控制器變頻啟動氣冷羅茨真空泵，能夠使得整個機組具有非常良好的抽氣速度，還能直排大氣；其組成的真空抽氣系統(tǒng)具有無油、潔凈和抽氣量大、抽氣效率高等特點，可以滿足多種化工和半導(dǎo)體微電子等場合的應(yīng)用要求；由于氣冷羅茨泵的三葉轉(zhuǎn)子和螺桿泵轉(zhuǎn)子之間均采用間隙密封，互不接觸，因此整個機組具備運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低、振動小等優(yōu)點；以氣冷羅茨泵作為主泵，具有高真空度下抽氣量大，效率高，由于螺桿泵、氣冷羅茨泵均為無油干式真空泵，不產(chǎn)生任何廢水、廢氣，而且還能及時回收排氣，因此機組具有使用和維護成本低等優(yōu)點，非常適用于化工制藥和半導(dǎo)體等技術(shù)領(lǐng)域中的無油潔凈的高真空場合環(huán)境。

兩級氣冷羅茨螺桿真空機組的抽氣性能曲線如圖2示，兩級氣冷羅茨螺桿真空機組與螺桿真空泵相比，在中高真空下具有抽氣速率高，啟動快，耗時短等特點。

以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。