本發(fā)明涉及微型泵技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微型泵的振動源晶片及微型泵。

背景技術(shù)：

壓電陶瓷振動源晶片也稱壓電換能器，是壓電微型泵的主要驅(qū)動器件。微型泵的振動源晶片通常長期工作在有水液體或較潮濕的環(huán)境中，對抗腐蝕性、絕緣性要求比較高，而現(xiàn)有的振動源晶片所使用的金屬基片在這種惡劣環(huán)境下工作時就會出現(xiàn)金屬基片被腐蝕、氧化甚至漏電風險，會嚴重影響產(chǎn)品的使用壽命、效率及安全隱患。且金屬基片容易變形，即變形后不回彈或回彈小，如出現(xiàn)金屬基片變形，振動源晶片的壓電陶瓷片就會出現(xiàn)龜裂，使產(chǎn)品工作效率低或失效，從而浪費資源。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明旨在提供一種微型泵的振動源晶片及微型泵，通過采用堿土焦硼酸鈉-鋁硅酸鹽玻璃作為基片，得到的振動源晶片可以制作得到具有絕緣性好、耐熱性強、抗腐蝕性好等優(yōu)點，效率高，噪音低，結(jié)構(gòu)簡單特點的微型泵。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種微型泵的振動源晶片，包括堿土焦硼酸鈉-鋁硅酸鹽玻璃基片和壓電陶瓷晶片，所述堿土焦硼酸鈉-鋁硅酸鹽玻璃基片上粘貼導電線路后作為電極，所述壓電陶瓷晶片粘貼于所述導電線路上。

利用上述振動源晶片制作的微型泵，包括所述球形泵體，所述球形泵體內(nèi)安裝有振動源晶片，所述振動源晶片將球形泵體分為上下兩個部分，上部分為進腔，下部分為出腔；所述進腔和出腔的端面分別設(shè)有上泵蓋和下泵蓋；所述進腔和出腔分別通過進單向閥和出單向閥連通有進管和出管。

進一步地，所述球形泵體的內(nèi)壁設(shè)置有安裝槽，所述振動源晶片的邊緣插接在所述安裝槽內(nèi)，且振動源晶片的邊緣和安裝槽之間設(shè)有密封圈。

本發(fā)明的有益效果在于：

1、振動源晶片的基片采用堿土焦硼酸鈉-鋁硅酸鹽玻璃，玻璃具備與生俱來的平滑度和較低的表面粗糙度可以實現(xiàn)與壓電陶瓷晶片完美地貼合；堿土焦硼酸鈉-鋁硅酸鹽玻璃還具有與硅元素相當?shù)臒崤蛎浵禂?shù)、出眾的化學穩(wěn)定性—防腐蝕性能非常好。

2、采用該振動源晶片的微型泵具有絕緣性好、耐熱性強、抗腐蝕性好等優(yōu)點，效率高，噪音低，結(jié)構(gòu)簡單的特點，可以廣泛運用于水族魚缸增氧，或微型精密儀器設(shè)備等需要微小氣量、水量的場合。

附圖說明

圖1為振動源晶片的截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為導電線路的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為微型泵的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的描述，需要說明的是，本實施例以本技術(shù)方案為前提，給出了詳細的實施方式和具體的操作過程，但本發(fā)明的保護范圍并不限于本實施例。

如圖1-2所示，一種微型泵的振動源晶片，包括堿土焦硼酸鈉-鋁硅酸鹽玻璃基片11和壓電陶瓷晶片10，所述堿土焦硼酸鈉-鋁硅酸鹽玻璃基片11的一面與導電線路12相貼合(通過3M膠13)作為電極，所述壓電陶瓷晶片粘貼于所述導電線路12上。

作為本發(fā)明的另一個技術(shù)方案，如圖3所示，一種微型泵，包括所述球形泵體，所述球形泵體內(nèi)安裝有振動源晶片7，所述振動源晶片7將球形泵體分為上下兩個部分，上部分為進腔81，下部分為出腔82；所述進腔81和出腔82的端面分別設(shè)有上泵蓋5和下泵蓋9；所述進腔81和出腔82分別通過進單向閥4和出單向閥3連通有進管2和出管1；

進一步地，所述球形泵體的內(nèi)壁設(shè)置有安裝槽，所述振動源晶片7的邊緣插接在所述安裝槽內(nèi)，且振動源晶片的邊緣和安裝槽之間設(shè)有密封圈6。

在驅(qū)動模塊電壓的作用下，振動源晶片產(chǎn)生振動源。振動源晶片在硅膠密封腔或隔膜囊內(nèi)做彎曲變形振動，來改變進腔或出腔的容積，使進腔或出腔的進單向閥或出單向閥連續(xù)打開與封閉，實現(xiàn)進氣和出氣、進水或出水動作，成為泵體，即為微型泵。

對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可以根據(jù)以上的技術(shù)方案和構(gòu)思，作出各種相應(yīng)的改變和變形，而所有的這些改變和變形都應(yīng)該包括在本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍之內(nèi)。