本發(fā)明涉及一種真空泵，且具體涉及使用真空油來確保泵裝置的真空的旋轉(zhuǎn)式真空泵。

背景技術(shù)：

一般地說，真空裝置是在密封容器內(nèi)消除氣體分子的裝置，其構(gòu)造成以低于大氣壓的低壓進行抽吸和壓縮，并將壓縮氣體排放到空氣中，由此提高容器內(nèi)的真空度。這種真空泵可被分為機械真空泵和擴散泵，它們分別被設(shè)計為干式和濕式。擴散泵是濕式的，其使用油來確保高的真空度，而機械真空泵是干式的，其不使用油，并能夠確保相當?shù)偷恼婵斩?，但機械真空泵具有簡單結(jié)構(gòu)和高的耐用性，并具有穩(wěn)定的真空度，于是，機械真空泵廣泛地被用于各種工業(yè)領(lǐng)域，而其優(yōu)點在于，使用者可容易地操作且維護成本較低。

在這一點上，真空技術(shù)進步很快，其適用范圍可擴展到半導體沉積、電子工業(yè)、金屬領(lǐng)域、化學領(lǐng)域、醫(yī)學和醫(yī)藥供應(yīng)、原子能工業(yè)等。

此外，形成真空的真空泵的種類有封閉水類型、基于油的旋轉(zhuǎn)型、羅茨型、油擴散型、物理吸收型、化學吸收型等，且真空泵一般地可分類為濕式和干式。然而，水封閉型或油基旋轉(zhuǎn)型的濕式(水或油輸入到真空泵內(nèi))，在諸如半導體、食品、化學、醫(yī)學和醫(yī)藥供應(yīng)等的工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)逐漸地已經(jīng)不使用了。因此，干式真空泵(水或油不輸入到真空泵內(nèi))近年來已經(jīng)得到廣泛使用。使用真空油來確保真空泵裝置的潤滑操作、密封操作和冷卻操作的真空泵仍然大量使用。

可使用真空油而在使用真空油的旋轉(zhuǎn)式真空泵內(nèi)沒有任何物理或化學變化的條件在泵運行的維護方面是非常重要的。使用這種油的旋轉(zhuǎn)式真空泵的特征在于，當泵運行時，且缸體內(nèi)側(cè)偏心的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動，且轉(zhuǎn)子的葉片槽內(nèi)保持的葉片被離心力向后推，并轉(zhuǎn)動與缸體的表面緊密接觸，工作工藝氣體通過缸體 的抽吸端口被抽吸，且卡在兩個葉片之間的氣體被壓縮并沿排氣端口的方向轉(zhuǎn)移，且當排氣閥打開時顯著被壓縮的氣體通過排氣孔排出到外部。

當工藝氣體被泵模塊抽吸并壓縮時，在氣體壓縮期間產(chǎn)生壓縮熱量，且壓縮熱量增加為了潤滑和密封操作而供應(yīng)到缸體的真空油的溫度，同時還增加泵模塊的溫度。隨著上述工作工藝繼續(xù)，油溫逐漸升高，且溫度升高的油為了潤滑和密封操作而連續(xù)供應(yīng)到泵模塊，且因此所供應(yīng)的油在抽吸和壓縮工藝期間將工藝氣體的溫度增加得更多，所以油溫可能急速升高，且同時泵模塊的溫度可能急速升高，為此泵表面的溫度可能增加到泵的使用溫度以上(40～60℃)的范圍。

在使用油的、具有快速排氣速度(超過2,000升/分鐘)的旋轉(zhuǎn)式真空泵的情況下，高溫真空油在泵的性能方面非常關(guān)鍵。如果葉片沉積在轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子的葉片槽內(nèi)，高溫油借助于離心力被供給到在葉片槽內(nèi)線性移動的葉片，且由于溫度已經(jīng)升高的轉(zhuǎn)子的葉片槽內(nèi)的過熱，油可能變成固體，并可能涂敷在葉片槽的運行表面上，為此潤滑變糟，從而可能損壞葉片，這可能導致泵的卡住。此外，過熱的油可能在軸承的一部分上固化，當轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時該軸承支承軸，這可能導致糟糕的潤滑，從而可能損壞軸承。此外，供給到將軸密封的軸的密封部分的過熱的油可能造成軸的密封部分的任何變形，這可能造成油的泄露。由于過熱真空的溫度升高，油的蒸發(fā)壓力也升高，所以泵的真空度和排氣速度可能降低。

為了解決油溫升高的上述問題，制造和使用能夠冷卻真空油的泵。迄今已經(jīng)使用的典型方法如下。

1.使用冷卻盤管的油冷卻方法

圖1是示出真空油冷卻結(jié)構(gòu)的視圖，該結(jié)構(gòu)使用常規(guī)旋轉(zhuǎn)式真空泵裝置的冷卻盤管，其中冷卻盤管110的組裝部件由銅管制成并組裝到油存儲殼體100。在冷卻水流過冷卻盤管110的同時，冷卻油120的溫度。該方法的問題在于當制造冷卻盤管110的組裝部件時，必需有分開部件成本，且有組裝和拆解這些部件的復雜程序。油可能從殼體100的組裝部分泄露。由于冷卻盤管110的連接部分可能受損，且銅管材料可能腐蝕或可能裂解，所以冷卻水可能泄露到油中。此外，與增加的安裝和維護成本相比，上述方法并不提供多少效果(可預 期15～20℃的少量冷卻效果)。

2.在油存儲殼體的外壁上形成冷卻套的方法

圖2是描述一種方法的視圖，其中冷卻水套130形成在常規(guī)旋轉(zhuǎn)式真空泵裝置的油存儲殼體100的外壁上，且冷的冷卻水140被供給到該處，由此冷卻與真空油120接觸的邊界表面150上真空油120的溫度。該方法的問題在于冷卻過熱的真空油120效率低下，因為冷卻水套130的冷卻水140與油彼此接觸的邊界表面150的接觸面積較小。僅在冷卻水完全填充在冷卻水套130的空間內(nèi)時，冷卻效果可變得更高效。但是，由于具有空氣的空氣凹腔160形成在冷卻水套130處，油冷卻可能不是高效的。使用冷卻水套130的上述方法在其油冷卻效果方面可能不比使用冷卻盤管110的方法好。

3.用于分開安裝真空油冷卻系統(tǒng)的方法

圖3時用于描述一種方法的視圖，其中油冷卻系統(tǒng)170分開地安裝在常規(guī)旋轉(zhuǎn)式真空泵裝置的油存儲殼體100外部，且油存儲殼體100的真空油120連接在油通過通道180循環(huán)到油冷卻系統(tǒng)170的結(jié)構(gòu)內(nèi)，所以油存儲殼體100的真空油可在真空油穿過油冷卻系統(tǒng)170的同時被冷卻。因此，通過使用上述結(jié)構(gòu)使油連續(xù)地循環(huán)可將油冷卻。

但是，當制造油冷卻系統(tǒng)時，上述方法需要油循環(huán)泵、油冷卻器、油過濾器、管道等，為此需要高成本，且這些部件安裝在泵外部，所以泵安裝空間增大。

當試圖通過冷卻真空油來冷卻泵的溫度時上述三種方法都不能有效地降低泵模塊的溫度，所以有在最好狀態(tài)下保持真空泵油使用條件的問題。

由于過熱油溫造成的真空泵裝置的問題可總結(jié)如下。

-由于降低的油粘度，密封性能可能大大降低。

-由于油降低的潤滑性能各部件的磨損可能增加，且在彼此接觸并進行相對運動的各部件之間可能發(fā)生卡住問題。

-缸體的抽吸氣體壓縮期間，由于200℃以上高溫/高壓的氣體可能發(fā)生腐蝕問題。

-如果油的蒸氣壓力根據(jù)油溫變化而改變，則當油溫升高時泵的真空度可能由于蒸氣壓力升高而降低。

-在高溫/高壓狀態(tài)抽吸氣體內(nèi)的蒸氣轉(zhuǎn)變成液體的情況下，水可能由于相變聚集在真空泵的油中。

-油的蒸氣壓力升高得越高，油溫升高得越高，且真空油轉(zhuǎn)換成氣體的量可升高。在液態(tài)的油轉(zhuǎn)換成氣體且可能流回真空設(shè)備的情況下，可能污染工作工藝內(nèi)的產(chǎn)品。

-當油過熱時，泵模塊的各部件的尺寸可由于基于溫度變化的熱膨脹而變大，且在各操作部分的間隙處發(fā)生預定干涉，為此，泵而可能突然停止，因此損壞電動機。為了解決上述問題，如果各操作部分的間隙做得較大，密封性能在這些部分處可能變差，且泵的真空度和排氣速度降低，且工作時間增加，且難以符合所要求的真空度。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的提出是要解決典型的干式真空泵的上述問題。

本發(fā)明的目的是提供一種旋轉(zhuǎn)式真空泵裝置，其特征在于，基于三件式油冷卻結(jié)構(gòu)可確保穩(wěn)定的泵環(huán)境，其中在每個泵模塊部件處形成冷卻水套，以及將冷卻水循環(huán)通過冷卻水套，以及在泵模塊處產(chǎn)生的熱量可直接被冷卻，因此防止泵模塊的溫度升高，且同時油可在真空油的與泵模塊的冷卻水套接觸的接觸表面處被冷卻，且在由油泵供給的油流過暴露于冷卻水套的油通道的同時，油可被冷卻，且冷卻的油可供給到泵模塊以由此防止泵模塊的溫度升高。

本發(fā)明的另一目的是提供使用真空油的旋轉(zhuǎn)式真空泵裝置，其特征在于，過去由兩個部件形成的泵體和1級(第一)氣缸形成單個部件的形式，以由此減少各部件的數(shù)量，這導致降低的制造成本。

為了實現(xiàn)上述目的，提供一種使用真空油的旋轉(zhuǎn)式真空泵，包括：泵體缸，其構(gòu)造成具有呈單體形式的1級(第一)缸體；油殼體，其固定到泵體缸的一側(cè)；中間板，其固定到油殼體內(nèi)1級(第一)缸體的一側(cè)；2級(第二)缸體，其固定到中間板的一側(cè)；后蓋，其固定覆蓋2級(第二)缸體的一側(cè)；前蓋，其固定到泵體缸的外側(cè)；油泵殼體，其固定到前蓋的一側(cè)；油密封蓋，其固定 到油泵殼體的一側(cè)；電動機殼體，其固定到泵體缸同時圍繞并包裹油泵殼體和油密封蓋；第一轉(zhuǎn)子，其穿過油泵殼體、油密封蓋和1級(第一)缸體并使用油泵殼體在軸承的輔助下可轉(zhuǎn)動地被支承；電動機，其固定在電動機殼體處從而驅(qū)動第一轉(zhuǎn)子；第二轉(zhuǎn)子，其與第一轉(zhuǎn)子一體形成并在軸承的輔助下可轉(zhuǎn)動地支承在中間板處并朝向2級(第二)缸體延伸；第一葉片，其通過1級(第一)缸體內(nèi)的第一轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動并與1級(第一)缸體的內(nèi)壁緊密接觸，并抽吸、壓縮和排出氣體；吸氣端口，其設(shè)置在泵體缸處從而將從真空設(shè)備抽吸的氣體供應(yīng)到1級(第一)缸體；第二葉片，其通過第二轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動并與2級(第二)缸體的內(nèi)壁緊密接觸并抽吸、壓縮和排出從1級(第一)缸體傳送的氣體；排氣端口，其形成在油殼體處從而將從2級(第二)缸體排出的氣體排出到外部；1級(第一)氣缸冷卻水套，其形成在1級(第一)氣缸處；中間板冷卻水套，其形成在中間板處；1級(第一)氣缸冷卻水套，其形成在2級(第二)缸體處；后蓋冷卻水套，其形成在后蓋處；以及多個冷卻水通道8，其構(gòu)造成引導冷卻水循環(huán)通過冷卻水套，其中油殼體和泵體缸各包括油存儲空間，從而用于使第一和2級(第二)氣缸、中間板和后蓋浸在真空油下方。

根據(jù)本發(fā)明，電動機的軸和第一轉(zhuǎn)子使用聯(lián)軸器連接。

此外，根據(jù)本發(fā)明，油泵安裝在油泵殼體內(nèi)。

根據(jù)本發(fā)明，冷卻水入口端口形成在1級(第一)氣缸冷卻水套處，且冷卻水出口端口形成在后蓋處。

因此，還提供第一排氣閥，該第一排氣閥構(gòu)造成將1級(第一)氣缸的第一排氣通道向外部開口；以及第二排氣閥，該第二排氣閥構(gòu)造成將2級(第二)氣缸的第二排氣通道向外部開口。

此外，根據(jù)本發(fā)明，至少一個突出肋從1級(第一)氣缸、中間板和2級(第二)氣缸中的任一個沿每個冷卻水套的方向突出，且設(shè)有其中油循環(huán)通過各突出肋的油通道。

有益效果

本發(fā)明的益處在于過去由兩個部件形成的泵體和1級(第一)氣缸支承一個單體部件的形式，以由此減少部件的數(shù)量，這致使降低的制造成本。此外， 基于三件式油冷卻結(jié)構(gòu)可確保穩(wěn)定的泵環(huán)境，其中在每個泵模塊部件處形成冷卻水套，以及將冷卻水循環(huán)通過冷卻水套，以及在泵模塊處產(chǎn)生的熱量可直接被冷卻，因此防止泵模塊的溫度升高，且同時油可在真空油與泵模塊的冷卻水套接觸的接觸表面處被冷卻，且在由油泵供給的油流過暴露于冷卻水套的油通道的同時，油可被冷卻，且冷卻的油可被供給到泵模塊，以由此防止泵模塊的溫度升高。

具體來說，突出肋可形成在冷卻水套內(nèi)，且油通道可形成有輔助的突出肋或由此允許油循環(huán)。由于位于冷卻水內(nèi)且一起流動的油被冷卻且在泵模塊內(nèi)循環(huán)并被供給，所以非常有效地防止泵裝置的過熱。

附圖說明

參照附圖將會更好地理解本發(fā)明，附圖僅是借助于圖示來給出的，因此，對本發(fā)明沒有限制，附圖中：

圖1至3是示出常規(guī)構(gòu)造的各視圖。

圖4是根據(jù)本發(fā)明的使用真空油的旋轉(zhuǎn)式真空泵的正剖視圖；

圖5是沿根據(jù)本發(fā)明的使用真空油的旋轉(zhuǎn)式真空泵的線A-A截取的平面剖視圖；

圖6是沿圖4中的線B-B截取的側(cè)剖視圖；

圖7是沿圖4中的線C-C截取的側(cè)剖視圖；

圖8是沿圖4中的線D-D截取的側(cè)剖視圖；以及

圖9是沿圖4中的線E-E截取的側(cè)剖視圖。

具體實施方式

可連同以下示范的實施例更加具體地實施本發(fā)明。提供以下示范的實施例只是為了說明的目的，并不意圖限制如權(quán)利要求所述的本發(fā)明的范圍。因此，很顯然，本發(fā)明不受所披露的示范實施例的限制，應(yīng)該詮釋為包括根據(jù)以下描述可獲得的部分的和所有的修改。

將參照附圖對根據(jù)本發(fā)明示例性實施例使用真空油的旋轉(zhuǎn)式真空泵進行說明。

如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明使用真空油的旋轉(zhuǎn)式真空泵包括：泵體缸1，其構(gòu)造成具有呈單體形式的1級(第一)缸體“A”；油殼體2，其固定到泵體缸1的一側(cè)；中間板7，其固定到油殼體2內(nèi)1級(第一)缸體1A的一側(cè)；2級(第二)缸體8，其固定到中間板7的一側(cè)；后蓋9，其固定覆蓋2級(第二)缸體8的一側(cè)；前蓋5，其固定到泵體缸1的外側(cè)；油泵殼體14，其固定到前蓋5的一側(cè)；油密封蓋15，其固定到油泵殼體14的一側(cè)；電動機殼體4，其固定到泵體缸1同時圍繞并包裹油泵殼體14和油密封蓋15；第一轉(zhuǎn)子6，其穿過油泵殼體14、油密封蓋15和1級(第一)缸體1A并使用油泵殼體14在軸承33的輔助下可轉(zhuǎn)動地被支承；電動機50，其固定在電動機殼體4處從而驅(qū)動第一轉(zhuǎn)子6；第二轉(zhuǎn)子11，其與第一轉(zhuǎn)子6一體形成并在軸承34的輔助下可轉(zhuǎn)動地支承在中間板7處并朝向2級(第二)缸體8延伸；第一葉片10，其通過1級(第一)缸體1A內(nèi)的第一轉(zhuǎn)子6轉(zhuǎn)動并與1級(第一)缸體1A的內(nèi)壁緊密接觸，并抽吸、壓縮和排出氣體；吸氣端口35，其設(shè)置在泵體缸1處從而將從真空設(shè)備抽吸的氣體供應(yīng)到1級(第一)缸體1A；第二葉片12，其通過第二轉(zhuǎn)子11轉(zhuǎn)動并與2級(第二)缸體8的內(nèi)壁緊密接觸并抽吸、壓縮和排出從1級(第一)缸體1A傳送的氣體；排氣端口44，其形成在油殼體2處從而將從2級(第二)缸體8排出的氣體排出到外部；1級(第一)氣缸冷卻水套18，其形成在1級(第一)氣缸1A處；中間板冷卻水套19，其形成在中間板7處；2級(第二)氣缸冷卻水套20，其形成在2級(第二)缸體8處；后蓋冷卻水套12，其形成在后蓋9處；以及多個冷卻水通道23、24、25、26、27和28，其構(gòu)造成引導冷卻水循環(huán)通過冷卻水套18、19、20和21。油殼體2和泵體缸1各包括油存儲空間51以用于使第一和2級(第二)氣缸1A和8、中間板7和后蓋9浸在真空油17下。

如圖5所示，在冷卻水通道中，1級(第一)氣缸冷卻水通道(出)23和中間板冷卻水通道(入)24將1級(第一)氣缸冷卻水套18與中間板冷卻套19連通，且中間板冷卻水套19與2級(第二)缸體冷卻水套20之間的各部分通過中間板冷卻水通道(出)25和2級(第二)缸體冷卻水通道(入)26連通。此外，2級(第二)缸體冷卻水套20與后蓋冷卻水套21之間的各部分通過2級(第二)缸體通道(出)27和后蓋冷卻水通道(入)28連通。后蓋 冷卻水套21構(gòu)造成將冷卻水循環(huán)通過固定到油殼體2的冷卻水出口端口凸緣30的冷卻水出口端口29。如圖5至9所示，每個冷卻水的輸入和輸出通道形成在每個冷卻水套18、19、20和21的兩端，冷卻水套18、19、20和21各具有扇子(hand fan)形空間，即在最遠冷卻水通道的通道上彼此面對形成。

此外，電動機50的軸和第一轉(zhuǎn)子6通過由泵側(cè)聯(lián)軸器48和電動機側(cè)聯(lián)軸器49形成的一對聯(lián)軸器48和49連接，且油泵13安裝在殼體14內(nèi)，且冷卻水的初始入口端口形成在1級(第一)氣缸冷卻水套18處，且冷卻水的最后出口端口29形成在后蓋9的冷卻水套21處。如圖6和8所示，設(shè)有用于將1級(第一)氣缸1A的第一排氣通道38向外打開的第一排氣閥39，以及用于將2級(第二)氣缸8的第二排氣通道42向外打開的第二排氣閥43。1級(第一)氣缸1A的在其通過第一排氣閥39排出之后的剩余氣體通過圖8中的2級(第二)氣缸抽吸端口41從1級(第一)氣缸1A輸入到2級(第二)氣缸8，并通過第二轉(zhuǎn)子11的轉(zhuǎn)動而被壓縮，且在第二排氣閥43打開時通過相反側(cè)的第二排氣通道42和排氣端口排出到外部。

如圖6至9所示，圍繞由于氣體抽吸和壓縮而產(chǎn)生高溫熱量的第一和2級(第二)氣缸1A和8、中間板7和后蓋9的外側(cè)形成油存儲空間51，且真空油17存儲在油存儲空間51內(nèi)。設(shè)有與冷卻水套18、19和20接觸并從每個構(gòu)件1A、7或8突出到每個冷卻水套的一個或一個以上突出肋31A、32A和32A，且油循環(huán)通過突出肋31A、32A和32A，所以可大大促進真空油17的冷卻。

同時，如圖4和6所示，1級(第一)氣缸冷卻水套18的開口52由冷卻水蓋16覆蓋，且在冷卻水蓋16處形成冷卻水排出端口45。

附圖標記47表示用于固定真空密封的唇密封件。

本發(fā)明涉及基于三件式油冷卻結(jié)構(gòu)解決常規(guī)泵中由于過熱引起的問題，更具體地使得提供穩(wěn)定泵環(huán)境，其中將真空泵的結(jié)構(gòu)改進成能夠在泵模塊的每個隔室處形成冷卻水套并使冷卻水循環(huán)通過冷卻水套的結(jié)構(gòu)，所以可通過將在泵模塊處產(chǎn)生的熱量直接冷卻來防止泵模塊的溫度升高，且油可進一步在大大膨脹結(jié)構(gòu)的真空油的接觸表面處進一步冷卻，該接觸表面與泵模塊的冷卻水套接觸，且當由油泵傳送的油17輸入到泵模塊時，在油穿過油通道31和32的同 時，油可通過冷卻水套18、19和20中每個的冷卻水冷卻，，且冷卻的油再次輸入泵模塊，從而由此防止泵模塊的溫度升高。

本發(fā)明預期提供以下操作效果，所以工業(yè)應(yīng)用性良好。

-各部件的數(shù)量可減少，使得過去構(gòu)造成兩部分形式的泵體和第一(主)氣缸構(gòu)造成一體式泵氣缸的形式，所以包括材料成本、處理成本、組裝成本和維護成本在內(nèi)的制造成本可大大節(jié)省。本發(fā)明被改進成能夠防止油溫升高從而通過在泵體缸的1級(第一)氣缸的外壁處形成冷卻水套而吸收在第一(主)氣缸處產(chǎn)生的熱量，并直接將冷卻水循環(huán)通過冷卻水套。

-本發(fā)明被改進成這樣的結(jié)構(gòu)，其中流過泵模塊的冷卻水套的冷卻水可將泵的油溫保持在60℃以下，以由此解決由于泵的過熱引起的問題。

-在本發(fā)明的改進泵中，諸如氣缸、轉(zhuǎn)子、葉片、軸承、排氣閥等的各主要部件在穩(wěn)定油溫環(huán)境下操作，因此改進由于熱膨脹、密封、摩擦等引起的問題，所以可改進泵的真空度和排氣速度，且因為各部件的耐用性和充油丁苯橡膠的更換周期，能夠節(jié)省環(huán)境污染相關(guān)的成本，在更換各部件時與使用洗滌劑和在更換污染油時產(chǎn)生的廢油處理會發(fā)生環(huán)境污染相關(guān)的成本。

-在本發(fā)明的改進結(jié)構(gòu)中，通過在中間板、第二(副)氣缸、以及后蓋處形成冷卻水套，冷卻水可吸收泵模塊的各部件處產(chǎn)生的熱量，以由此防止泵模塊的溫度升高并在于冷卻水接觸的油接觸表面處將油冷卻。具體來說，在油循環(huán)通過從冷卻水套內(nèi)突出的油通道的同時油可通過冷卻水冷卻，且冷卻油輸入到泵內(nèi)以由此改進由于油的過熱造成的問題。

-油溫升高越高，油的蒸氣壓力增加越高，這意味著不可能獲得其中真空泵的真空度低于油的蒸氣壓力的壓力。給定油溫升高越高，泵的真空度與之成比例降低越低的問題，在相對于泵模塊的直接冷卻方法的輔助下可防止油溫升高，因此確保穩(wěn)定的油溫環(huán)境，所以可穩(wěn)定地獲得泵的必要真空度。

-如果油過熱，則發(fā)生化學反應(yīng)。如果將過熱油輸入泵模塊并用于潤滑和密封操作，則油輸入到各部件的各操作部分的間隙內(nèi)并可能變硬且可能涂敷在各部件上，為此潤滑操作停止，且各模塊部件可具有卡住問題，這導致泵的突然停止，但本發(fā)明可提供穩(wěn)定的油溫環(huán)境，以由此延長泵的使用壽命同時在泵維修時節(jié)省諸如部件成本、維修成本等的成本。

迄今已經(jīng)描述的本發(fā)明的各示例實施例，它們是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員實施本發(fā)明時已知的最佳模式。由于本發(fā)明可以好幾種形式實施，而不會脫離本發(fā)明的精神或基本特征，所以，還應(yīng)該理解到，上述實例不受以上描述的任何細節(jié)限制，除非另有規(guī)定，但相反，應(yīng)該認為廣泛地納入在如權(quán)利要求書限定的本發(fā)明精神和范圍之內(nèi)，因此，落入權(quán)利要求書的要求和界限之內(nèi)的所有變化和修改，或如此要求和界限的等價物，因此要被附后權(quán)利要求書所包括。

[附圖標記]

1:泵體缸

2:油殼體

3:頂部蓋

4:電動機殼體

5:前蓋

6:第一轉(zhuǎn)子

7:中間板

8:2級(第二)氣缸

9:后蓋

10:第一葉片

11:第二轉(zhuǎn)子

12:第二葉片

13:油泵

14:油泵殼體

15:油密封蓋

16:冷卻水蓋

17:真空油

18:1級(第一)氣缸冷卻水套

19:中間板冷卻水套

20:2級(第二)氣缸冷卻水套

21:后蓋冷卻水套

22:冷卻水入口端口

23:1級(第一)氣缸冷卻水套(出)

24:中間板冷卻水通道(入)

25:中間板冷卻水通道(出)

26. 2級(第二)氣缸冷卻水套(入)

27:2級(第二)氣缸通道(出)

28:后蓋冷卻水通道(入)

29:冷卻水出口端口

30:冷卻水出口端口凸緣

31:油通道

32:油通道

31A:突出肋

32A:突出肋

33:軸承

34:軸承

35:抽吸端口

36:抽吸通道

37:油反流防止閥

38:第一排氣通道

39:第一排氣閥

40:中間板吸氣通道

41：2級(第二)氣缸抽吸端口

42:第二排氣通道

43:第二排氣閥

44:排氣端口

45:冷卻水排出端口

46:冷卻水排出通道

47:唇密封件

48:泵側(cè)聯(lián)軸器

49:電動機側(cè)聯(lián)軸器

50:電動機

51:油存儲空間

52:開口