專利名稱：：線性致動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種線性致動(dòng)裝置，通過從流體進(jìn)/出口導(dǎo)入壓力流體，能夠迫使裝置中的滑臺(tái)沿著缸體的軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
背景技術(shù)：
：迄今為止，由諸如流體壓力缸等組成的線性致動(dòng)裝置(linearactuator)已作為工件傳輸手段被予以采用。在日本專利No.3795968中，本申請(qǐng)人提出了一種線性致動(dòng)裝置，通過使滑臺(tái)(slidetable)沿著缸體(cylindermainbody)直線往復(fù)移動(dòng)，該裝置能夠運(yùn)送承載于滑臺(tái)上的工件。然而，在最近的幾年中，對(duì)于上述線性致動(dòng)裝置，有需要降低其尺寸和成本。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的總體目的在于提供一種線性致動(dòng)裝置，該線性致動(dòng)裝置具有減小了的尺寸和大小，以及降低了的生產(chǎn)成本。本發(fā)明是一種線性致動(dòng)裝置，通過從流體進(jìn)/出口導(dǎo)入壓力流體，可使其中的滑臺(tái)沿著缸體的軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，該線性致動(dòng)裝置包括與進(jìn)/出口連通的缸體，該缸體具有供壓力流體導(dǎo)入其中的缸室；沿缸體的軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的滑臺(tái)；具有活塞的缸機(jī)構(gòu)，活塞可沿缸室滑動(dòng)，滑臺(tái)在活塞的移位動(dòng)作作用下往復(fù)移動(dòng)；用于沿缸體的軸向?qū)б_(tái)的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)，該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)附接在缸體上，并具有在內(nèi)部形成有第一循環(huán)通道的扁平導(dǎo)引塊，多個(gè)滾動(dòng)體在第一循環(huán)通道中滾動(dòng)并循環(huán)；以及安裝在導(dǎo)引塊內(nèi)的循環(huán)構(gòu)件，每個(gè)循環(huán)構(gòu)件在其內(nèi)部具有第二循環(huán)通道，滾動(dòng)體在第二循環(huán)通道內(nèi)滾動(dòng)并循環(huán)，其中，開口形成在導(dǎo)弓丨塊內(nèi)，循環(huán)構(gòu)件安裝在該開口中。根據(jù)本發(fā)明，開口形成在構(gòu)成導(dǎo)引機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引塊中，與導(dǎo)引塊分離的其他循環(huán)構(gòu)件被安裝于開口，所述其他循環(huán)構(gòu)件具有滾動(dòng)體從中滾動(dòng)的第二循環(huán)通道。因此，再無必要通過特殊化的加工等手段將滾動(dòng)體從中滾動(dòng)的循環(huán)通道形成在導(dǎo)引塊的內(nèi)部，從而使生產(chǎn)成本和加工步驟得以被減少。此外，因通常情況下在導(dǎo)引塊中加工此類循環(huán)通道所需的空間不再必需，所以導(dǎo)引塊的厚度尺寸可以減小(即變得更薄)。結(jié)果，導(dǎo)引塊本身可以做得更小。因此，包含導(dǎo)引塊的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)可具有更薄的外形，從而使線性致動(dòng)裝置的高度尺寸總體變小。以下，通過結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)先實(shí)施例進(jìn)行示意性的范例展示，本發(fā)明的上述及其他目的、特征和優(yōu)勢(shì)都將通過下文描述而變得更加顯而易見。圖1為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的線性致動(dòng)裝置的外部立體圖2為顯示滑臺(tái)從圖1中所示的線性致動(dòng)裝置向上分離狀態(tài)下的分界立體圖；圖3為從下方視角看去時(shí)圖1所示線性致動(dòng)裝置的分界立體圖；圖4為圖1所示線性致動(dòng)裝置的整體縱剖視圖；圖5為沿圖4中V-V的剖視圖；圖6為沿圖4中VI-VI的剖視圖；圖7為沿圖4中VII-VII的剖視圖；圖8為構(gòu)成圖1所示線性致動(dòng)裝置一部分的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)；圖9為圖8所示導(dǎo)引機(jī)構(gòu)的分解立體圖；圖10為整體縱剖視圖，展示圖4中所示線性致動(dòng)裝置中滑臺(tái)的端板沿遠(yuǎn)離缸體的方向移位時(shí)的狀態(tài)。具體實(shí)施例方式在圖1中，附圖標(biāo)記10代表依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的線性致動(dòng)裝置。如圖1至7所示，線性致動(dòng)裝置10包括缸體12、滑臺(tái)14、導(dǎo)引機(jī)構(gòu)(guidemechanism)16、以及止動(dòng)機(jī)構(gòu)(stoppermechanism)18。其中，滑臺(tái)14位于缸體12的上部，在長(zhǎng)度方向(箭頭A和B所示的方向)上沿直線進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)；導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16的位置介于缸體12和滑臺(tái)14之間，用于在長(zhǎng)度方向(箭頭A和B所示的方向)上導(dǎo)引所述的滑臺(tái)；止動(dòng)機(jī)構(gòu)18能夠調(diào)整滑臺(tái)14的位移量。缸體12具有矩形截面，且在長(zhǎng)度方向(箭頭A和B所示的方向)上具有預(yù)定的長(zhǎng)度。截面呈下陷的拱形形狀的凹陷20大致形成在缸體12上表面的中部，并沿長(zhǎng)度方向(箭頭A和B所示的方向)延伸。凹陷20中設(shè)置有一對(duì)通透的栓孔對(duì)，連接栓22插入該栓孔用于將缸體12與導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16連接在一起。此外，如圖5所示，在缸體12的一側(cè)表面上形成有第一和第二口(流體進(jìn)/出口)，28，用于壓力流體的供給和釋放。所述第一和第二口垂直于缸體12的長(zhǎng)度方向，且與將于后文描述的一對(duì)通孔(缸室)30a、30b連通。此外，在缸體12另外一側(cè)的表面上分別沿長(zhǎng)度方向(箭頭A和B所示的方向)的位置處形成有兩個(gè)傳感器附接槽32，傳感器(未示出)就安裝于該附接槽中。在缸體12的底面，在其寬度方向上的中部在軸線上形成有一對(duì)栓孔M。連接栓22從下方插入栓孔24。而且，連接栓22的端部從缸體12的上表面突出，通過螺旋配合與導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16的導(dǎo)引塊(guideblock)92相互連接。另一方面，缸體12的內(nèi)部形成有兩個(gè)通孔30a、30b，這兩個(gè)通孔沿長(zhǎng)度方向(箭頭A和B所示的方向)貫通，其中一個(gè)通孔30a與另外一個(gè)通孔30b彼此大致平行，且間隔預(yù)定的距離。通孔30a和30b的內(nèi)部設(shè)置有缸機(jī)構(gòu)(cylindermechanism)40，缸機(jī)構(gòu)40分別包含活塞37和與活塞37相連的活塞桿38。各活塞37的外周都安裝有密封環(huán)34和磁體36。缸機(jī)構(gòu)40由分別安裝在一對(duì)通孔30a、30b中的成對(duì)的活塞37和活塞桿38構(gòu)成。通孔30a、30b在其一端以蓋42封閉且密封，通孔30a、30b的另外一端被桿支座(rodholder)46密封，桿支座46通過鎖緊環(huán)(lockingring)44被保持在通孔中。桿支座46的外周借助環(huán)形槽安裝有0形環(huán)，從而防止壓力流體從通孔30a、30b與桿支座46之間的縫隙中泄漏。4此外，其中一個(gè)通孔30a分別與第一和第二口26J8連通，另外一個(gè)通孔30b也通過形成在所述一個(gè)通孔30a與所述另外一個(gè)通孔30b之間的一對(duì)連接通道50與所述一個(gè)通孔30a互連。具體而言，壓力流體被供應(yīng)到第一和第二口26J8并且導(dǎo)入一個(gè)通孔30a。之后，壓力流體也通過連接通道50被導(dǎo)入另外一個(gè)通孔30b。連接通道50形成為垂直于通孔30a、30b的延伸方向(箭頭A和B所示的方向)?；_(tái)14包含臺(tái)體(tablemainbody)52、與臺(tái)體52—端相連的止動(dòng)機(jī)構(gòu)(stoppermechanism)18、以及與臺(tái)體52另一端相連的端板M。端板M與臺(tái)體52垂直連接。臺(tái)體52由以預(yù)定的厚度沿長(zhǎng)度方向延伸的基構(gòu)件56和從基構(gòu)件56的兩側(cè)豎直向下延伸的一對(duì)導(dǎo)向壁(導(dǎo)向構(gòu)件)58a、58b構(gòu)成。導(dǎo)向壁58a、58b的內(nèi)表面上形成有第一滾珠導(dǎo)槽62，用于導(dǎo)引導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16的滾珠(滾動(dòng)體)(將于后文描述)。第一滾珠導(dǎo)槽62凹陷，截面大致呈半圓形。而且，基構(gòu)件56與導(dǎo)向壁58a、58b形成為具有大致相同的厚度尺寸(見圖7)。此外，臺(tái)體52的一端上形成有一對(duì)第一栓孔68，螺栓66a插入該栓孔68用于固定將于后文描述的止動(dòng)機(jī)構(gòu)18的支座部(holderportion)64。臺(tái)體52的另外一端上形成有一對(duì)第二栓孔70，螺栓(緊固件)66b插入第二栓孔70用于固定端板M。第一和第二栓孔68,70沿垂直于臺(tái)體52的延伸方向的方向貫穿。四個(gè)工件保持孔(workpieceretainingholes)72形成在基構(gòu)件56的一端和另一端之間。工件保持孔72相互間隔預(yù)定的距離，使得滑臺(tái)14在位于缸體12的上部時(shí)，工件保持孔72相對(duì)于設(shè)置在導(dǎo)引塊92對(duì)側(cè)表面上的第二滾珠導(dǎo)槽74趨于缸體12和導(dǎo)引塊92在寬度方向上的中間側(cè)(見圖7)。換而言之，工件保持孔72設(shè)置在滑臺(tái)14位于導(dǎo)引塊92的第二滾珠導(dǎo)槽74的內(nèi)側(cè)位置處。端板M由穿過形成在臺(tái)體52另一端的第二栓孔70的兩根螺栓66b固定，被設(shè)置成面向缸體12的一端表面。端板M也與活塞桿38的端部固定，活塞桿38插入形成在端板討內(nèi)的一對(duì)桿孔76a、76b中。因此，包含端板M的滑臺(tái)14能與活塞桿38—起沿著缸體12的長(zhǎng)度方向(箭頭A和B所示的方向)移動(dòng)。此外，端板M在一個(gè)桿孔76a與另外一個(gè)桿孔76b之間的位置處形成有減震器安裝孔(damperinstallationhole)80，減震器78安裝于其中。當(dāng)由橡膠等彈性材料制成的減震器78從端板M位于缸體12側(cè)的所述另外一側(cè)上安裝(插入)到減震器安裝孔80中時(shí)，其端部沿直徑膨脹，并從所述另外一側(cè)的表面向外突伸。具體而言，當(dāng)端板M與滑臺(tái)14一起移位時(shí)，通過從端板M的另外一側(cè)突出的減震器78與缸體12的一端表面相抵接，如果直接與缸體12抵碰所產(chǎn)生的令人憂慮的端板M的振動(dòng)和噪音得以被避免。止動(dòng)機(jī)構(gòu)18包括設(shè)置在臺(tái)體52—端下表面上的支座部64、與支座部64螺旋配合的止動(dòng)螺栓(stopperbolt)82、以及用于調(diào)節(jié)止動(dòng)螺栓82進(jìn)行前進(jìn)或者回縮移動(dòng)的鎖緊螺帽(locknut)840止動(dòng)機(jī)構(gòu)18被設(shè)置成面向位于缸體12上導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16的一端表面。支座部64形成為塊狀，由穿過第一栓孔68從上方插入的兩根螺栓66a固定在滑臺(tái)14的臺(tái)體52的基構(gòu)件56上。支座部64包含向下凸出的第一凸起部86，其截面在該支座部64的大致中部呈拱形。在包含第一凸起部86的支座部64的中央形成有螺孔(screwhole)88，止動(dòng)螺栓82螺旋適配于其中。螺孔88貫穿支座部64，大致平行于臺(tái)體52的延伸方向。具體而言，因螺孔88設(shè)置在具有第一凸起部86的支座部64的中央，所以，與未設(shè)有第一凸起部86的情況相比，螺孔88可以形成在稍許低些的位置處。此外，在支座部64中，第一凸起部86沿軸向延伸，使得滑臺(tái)14在沿長(zhǎng)度方向移位時(shí)，第一凸起部86穿過缸體12的凹陷20。止動(dòng)螺栓82，比方說，可由外周表面攻有螺紋的桿狀(shank-shaped)柱螺栓(studbolt)制成。止動(dòng)螺栓82的長(zhǎng)度使其在與支座部64的螺孔88螺旋配合的情況下能從螺孔88中伸出。此外，鎖緊螺帽84在止動(dòng)螺栓82從支座部64—端表面伸出的地方與止動(dòng)螺栓82螺旋適配。此外，通過相對(duì)于支座部64旋擰止動(dòng)螺栓82，止動(dòng)螺栓82沿軸向(箭頭A和B所示的方向)移位，從而靠近或者遠(yuǎn)離導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16。比方說，在止動(dòng)螺栓82旋轉(zhuǎn)從而朝導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16側(cè)(箭頭A所示的方向)突出預(yù)定的長(zhǎng)度以后，鎖緊螺母84被旋擰移動(dòng)并抵住支座部64的側(cè)面，從而調(diào)節(jié)止動(dòng)螺栓82的前進(jìn)或者回縮移動(dòng)。此外，由彈性材料制成的減震構(gòu)件(shock-absorbingmember)90從止動(dòng)螺栓82的端部上向?qū)б龣C(jī)構(gòu)16突出指定的長(zhǎng)度。設(shè)置減震構(gòu)件90的目的在于緩沖止動(dòng)螺栓82在滑臺(tái)14的移位動(dòng)作下抵碰導(dǎo)向構(gòu)件16端面所造成的振動(dòng)。如圖8和圖9所示，導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16包括寬而平的導(dǎo)引塊92、設(shè)置于導(dǎo)引塊92上的并且滾珠60可從中循環(huán)的一對(duì)滾珠循環(huán)構(gòu)件(循環(huán)構(gòu)件)94a和94b、沿長(zhǎng)度方向分別安裝在導(dǎo)引塊92相對(duì)兩端上的一對(duì)蓋(cover)96、以及分別覆蓋蓋96表面的一對(duì)蓋板98。第二滾珠導(dǎo)槽74沿長(zhǎng)度方向形成在導(dǎo)引塊92的兩側(cè)表面。在第二滾珠導(dǎo)槽74的附近區(qū)域沿長(zhǎng)度方向貫穿有一對(duì)安裝槽(開口)10(^、10013，滾珠循環(huán)構(gòu)件9如、9仙嵌入其中。第二滾珠導(dǎo)槽74截面呈半圓形，當(dāng)滑臺(tái)14設(shè)置在導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16的上部時(shí)，第二滾珠導(dǎo)槽74處于于第一滾珠導(dǎo)槽62相對(duì)的位置關(guān)系。安裝槽100a、100b形成在導(dǎo)引塊92的下表面，截面呈矩形，開口朝下，且在長(zhǎng)度方向處于相對(duì)的兩端。滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b形成為截面大致呈矩形，與安裝槽100a、100b相對(duì)應(yīng)，并具有貫穿于自身內(nèi)部的滾珠循環(huán)孔(第二循環(huán)通道)102，滾珠60可循環(huán)于該通道中。在滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b相對(duì)的兩端部上分別設(shè)置有滾動(dòng)反向部(roll-reversingsections)104a、104b，用于逆轉(zhuǎn)滾珠60的循環(huán)方向。滾動(dòng)反向部104a、104b形成為具有半圓形截面，滾珠60從中滾動(dòng)的滾珠槽形成在滾動(dòng)反向部104a、104b的外周表面上。這樣的滾珠槽與滾珠循環(huán)孔102形成無間斷連接。具體而言，滾珠60從滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b中的滾珠循環(huán)孔102中滾出，通過滾動(dòng)反向部104a、104b轉(zhuǎn)向180°進(jìn)入位于滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b外側(cè)的第一和第二滾珠導(dǎo)槽(第一循環(huán)通道)62、74。滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b設(shè)置在導(dǎo)引塊92內(nèi)，使得滾珠循環(huán)孔102的位置低于第一和第二滾珠導(dǎo)槽62、74。具體而言，滾珠循環(huán)孔102和第一、第二滾珠導(dǎo)槽62，74在豎直方向上(如圖7中箭頭C所示的方向)偏離預(yù)定的高度。此外，當(dāng)滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b插入到導(dǎo)引塊92的安裝槽IOOaUOOb中時(shí)，滾動(dòng)反向部l(Ma、104b的平面部108分別抵住導(dǎo)引塊92的端面(見圖6)，從而使得滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b的滾珠循環(huán)孔102與第二滾珠導(dǎo)槽74互連。具體而言，如圖7所示，在導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16中，滾珠循環(huán)孔102和第一、第二滾珠導(dǎo)槽62、74被滾動(dòng)反向部l(Ma、104b以傾斜的取向連接。因此，連續(xù)的呈環(huán)形的滾珠循環(huán)通道110由滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b的滾珠循環(huán)孔102、所述滾珠槽、滑臺(tái)14的第一滾珠導(dǎo)槽62和導(dǎo)引塊92的第二滾珠導(dǎo)槽形成。多個(gè)滾珠60沿滾珠循環(huán)通道110滾動(dòng)，從而滑臺(tái)14能夠沿著導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16進(jìn)行往復(fù)平滑移動(dòng)。蓋96被安裝覆蓋在導(dǎo)引塊92的兩端表面上。沿軸向貫通的孔111形成在蓋96的中央，且蓋96還設(shè)有第二凸起部112，該凸起部112環(huán)繞孔111分別沿上、下方向向外凸起，其截面呈上、下拱形。第二凸起部112的設(shè)置使其在導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16安裝在缸體12上部時(shí)，能夠嵌入缸體12的凹陷20中。另一方面，蓋96的內(nèi)部形成有空間114，滾動(dòng)反向部104a、104b容納于其中，用于保持在滾動(dòng)反向部104a、104b中滾動(dòng)的滾珠60的保持槽116也形成在空間114中。保持槽116形成為在滾動(dòng)反向部104a、104b的徑向外側(cè)具有拱形的截面，使得滾珠60能在保持槽116和滾動(dòng)反向部l(Ma、104b的滾珠槽之間滾動(dòng)。蓋板98在其大致中央形成有孔118，該孔118與蓋96的孔111同軸且具有相同的直徑。此外，導(dǎo)引塊92的端面通過孔111、118暴露于外，蓋板98上具有第三凸起部120，該第三凸起部120在上、下方向上凸出，截面呈拱形，與蓋96向?qū)?yīng)。第三凸起部120形成為截面大致與蓋96的第二凸起部112相同，也被設(shè)置成能夠嵌入缸體12的凹陷20。此外，上述蓋96和蓋板98被蓋固定栓122分別固定在導(dǎo)引塊92的端面上。此外，當(dāng)滑臺(tái)14往復(fù)移動(dòng)時(shí)，止動(dòng)機(jī)構(gòu)18的止動(dòng)螺栓82穿過孔118、111抵住導(dǎo)引塊92的端面。根據(jù)本發(fā)明具體實(shí)施例的線性致動(dòng)裝置10基本采用如上所述的結(jié)構(gòu)。接下來將描述線性致動(dòng)裝置10的運(yùn)行和效果。圖4中滑臺(tái)14的端板M抵靠缸體12端面的狀態(tài)將被描述為初始位置。起先，來自圖中未示出的壓力流體供給源的壓力流體被注入到第一口沈中。在此情況下，第二口觀在圖中未示出的切換閥的操作下處于與大氣連通的狀態(tài)。供至第一口沈的壓力流體被供至通孔30a，同時(shí)也通過連接通道50被供至另外一個(gè)通孔30b，從而使活塞37(沿箭頭A方向)被壓向桿支座46。結(jié)果，滑臺(tái)14和與活塞37相連的活塞桿38—起沿著遠(yuǎn)離缸體12的方向移位。此時(shí)，伴隨著滑臺(tái)14的移位，導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16的滾珠60沿滾珠循環(huán)通道110滾動(dòng)，從而使滑臺(tái)14被導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16沿軸向?qū)б?。然后，如圖10所示，設(shè)置于滑臺(tái)14一端的止動(dòng)螺栓82的端部抵住導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16的導(dǎo)引塊92的端面，使滑臺(tái)14的移位停止，滑臺(tái)14籍此抵達(dá)位移的末端位置。在旋松鎖緊螺母84使得止動(dòng)螺栓能夠移動(dòng)以后，止動(dòng)機(jī)構(gòu)18從支座部64端面的突出量可以通過旋擰止動(dòng)螺栓82來調(diào)節(jié)，從而使滑臺(tái)14的位移量也能夠被調(diào)節(jié)。另一方面，在滑臺(tái)沿著與上述方向相反的方向(即沿著遠(yuǎn)離圖10中所示位移末端位置的方向)移位的情況下，之前被供至第一口26的壓力流體現(xiàn)被供至第二口28，而第一口沈則處于與大氣連通的狀態(tài)。結(jié)果，借助從第二口觀供入一對(duì)通孔30a、30b內(nèi)的壓力流體，活塞37沿著遠(yuǎn)離桿支座46的方向(箭頭B的方向)移位，于是，滑臺(tái)14通過通過活塞37與活塞桿38—起在趨近于缸體12的方向上移位。然后，設(shè)置在滑臺(tái)14端板M上的減震器78抵靠缸體12的端面，于是線性致動(dòng)裝置10回復(fù)到初始位置。按照這種方式，上述實(shí)施例提供了這樣一種結(jié)構(gòu)一對(duì)向下開口的安裝槽100a、IOOb形成在導(dǎo)向結(jié)構(gòu)16的導(dǎo)引塊92的下表面，具有滾珠60可從中循環(huán)的滾珠循環(huán)孔102的滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b分別安裝、裝配在安裝槽IOOaUOOb中。因此，沒有必要為在導(dǎo)引塊92中形成滾珠循環(huán)孔102而進(jìn)行切削加工，從而使生產(chǎn)成本以及生產(chǎn)步驟的數(shù)目得以降低。此外，因通常情況下直接在導(dǎo)引塊92中加工制造此類滾珠循環(huán)孔102所需的空間不再必需，所以導(dǎo)引塊92的厚度尺寸可以減少(即導(dǎo)引塊可具有更薄的外形)。結(jié)果，導(dǎo)引塊92的尺寸可以做得更小。此外，在導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16中，滾珠60從中循環(huán)的滾珠循環(huán)通道110由滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b的滾珠循環(huán)孔102、滾動(dòng)反向部l(Ma、104b、導(dǎo)引塊92的第二滾珠導(dǎo)槽74、以及滑臺(tái)14的第一滾珠導(dǎo)槽62形成。其中，滾珠循環(huán)孔102被設(shè)置成相對(duì)于第一和第二滾珠導(dǎo)槽62、74在豎直方向上向下偏置。而且，導(dǎo)引塊92的第二滾珠導(dǎo)槽74位于設(shè)置于其上的滑臺(tái)14的工件保持孔72的外圍側(cè)。因此，即使，比方說，附接于工件保持孔72中的螺栓被緊固過度，以致其端部被壓入、抵觸導(dǎo)引塊92，因?yàn)闈L珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b是被設(shè)置在導(dǎo)引塊92在其位于缸體12側(cè)的下部?jī)?nèi)，來自螺栓的壓力也能被防止施加于滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b。結(jié)果，由內(nèi)部包含滾珠60的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)16所執(zhí)行的對(duì)滑臺(tái)14的導(dǎo)向功能不受損害。此外，因滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b是作為在導(dǎo)引塊92之外形成的不同的構(gòu)件被安裝在導(dǎo)引塊92中以提供滾珠循環(huán)孔102的，所以，與此類滾珠循環(huán)孔102通過加工導(dǎo)引塊92而直接形成在后者內(nèi)部的情況相比，再無必要考慮導(dǎo)引塊92中滾珠循環(huán)孔102附近區(qū)域的壁厚等問題了。因此，可以將滾珠循環(huán)構(gòu)件94a、94b的滾珠循環(huán)孔102設(shè)置在缸體12—側(cè)，而不必為形成滾珠循環(huán)孔102而增加導(dǎo)引塊92的厚度。結(jié)果，導(dǎo)引塊92的形狀可以做得更薄。此外，在滑臺(tái)14中，因?yàn)榛鶚?gòu)件56的厚度尺寸可以做得與一對(duì)導(dǎo)向壁58a、58b的厚度尺寸大致相同，所以滑臺(tái)14可以做得壁薄且重量輕?；_(tái)14可以通過模壓制成，因此其制造成本可以被降低。此外，因?yàn)槎税錗是由從上方插入的螺栓66b固定在滑臺(tái)14基構(gòu)件56的另一端的，所以，與從其前方固定在滑臺(tái)14的機(jī)構(gòu)件56的情形相比，如此固定的端板M可使基構(gòu)件56的厚度變薄。結(jié)果，包含基構(gòu)件56的滑臺(tái)14可以做得壁薄，因而使滑臺(tái)14的重量輕。本發(fā)明的線性致動(dòng)裝置并不僅限于上述實(shí)施例，只要不偏離隨附的權(quán)利要求中所闡述的本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和范圍，各種其他的或者附加的特征和結(jié)構(gòu)均可以被采用。權(quán)利要求1.一種線性致動(dòng)裝置(10)，通過從流體進(jìn)/出口(沈、28)導(dǎo)入壓力流體，使滑臺(tái)(14)沿著缸體(1的軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，該線性致動(dòng)裝置(10)包括與所述進(jìn)/出口(26、28)連通的所述缸體(12)，該缸體(1具有壓力流體注入其中的缸室(30a,30b)；沿所述缸體(1的軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的所述滑臺(tái)(14)；具有活塞(37)的缸機(jī)構(gòu)(40)，所述活塞(37)可沿所述缸室(30a、30b)滑動(dòng)，其中所述滑臺(tái)(14)在所述活塞(37)的移位動(dòng)作作用下往復(fù)運(yùn)動(dòng)；用于沿缸體(12)的軸向?qū)б龌_(tái)(14)的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)(16)，該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)(16)附接于所述缸體(12)，并具有在內(nèi)部形成有第一循環(huán)通道(62、74)的扁平導(dǎo)引塊(92)，多個(gè)滾動(dòng)體(60)在所述第一循環(huán)通道(62、74)中滾動(dòng)并循環(huán)；和安裝在導(dǎo)引塊(9內(nèi)的循環(huán)構(gòu)件(Ma、94b)，每個(gè)所述循環(huán)構(gòu)件(94a、94b)在其內(nèi)部具有第二循環(huán)通道(102)，滾動(dòng)體(60)在所述第二循環(huán)通道(102)內(nèi)滾動(dòng)并循環(huán)，其中，開口(IOOaUOOb)形成在導(dǎo)引塊(92)內(nèi)，循環(huán)構(gòu)件(Ma、94b)安裝在所述開口(IOOaUOOb)中。2.如權(quán)利要求1所述的線性致動(dòng)裝置，其特征在于，所述循環(huán)構(gòu)件(94a、94b)形成為管狀，每個(gè)所述循環(huán)構(gòu)件(94a、94b)在其內(nèi)部具有第二循環(huán)通道(102)。3.如權(quán)利要求2所述的線性致動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一循環(huán)通道(62、74)形成在導(dǎo)引塊(9的相對(duì)側(cè)表面上，所述第二循環(huán)通道(10相對(duì)于所述第一循環(huán)通道(62、74)設(shè)置在所述缸體(1側(cè)。4.如權(quán)利要求1所述的線性致動(dòng)裝置，其特征在于，所述滑臺(tái)(14)上形成有用于固定工件的工件保持孔(72)，所述工件保持孔(7在垂直于所述軸向的寬度方向上設(shè)置在相對(duì)于所述第一循環(huán)通道(62、74)的內(nèi)側(cè)。5.如權(quán)利要求1所述的線性致動(dòng)裝置，其特征在于，所述滑臺(tái)(14)進(jìn)一步包括設(shè)置在所述導(dǎo)引塊(92)上部的基構(gòu)件(56)；以及從所述基構(gòu)件(56)的相對(duì)側(cè)向下延伸的一對(duì)導(dǎo)向構(gòu)件(58a、58b)，其中，所述基構(gòu)件(56)與所述導(dǎo)向構(gòu)件(58a、58b)形成為具有大致相同的厚度。6.如權(quán)利要求5所述的線性致動(dòng)裝置，其特征在于，所述滑臺(tái)(14)進(jìn)一步包含通過活塞桿(38)與所述活塞(37)相連的端板64)，該端板(54)從所述基構(gòu)件(56)向下設(shè)置，且通過相對(duì)于所述基構(gòu)件(56)從上方插入的緊固件(66b)與所述基構(gòu)件(56)相連接。7.如權(quán)利要求1所述的線性致動(dòng)裝置，其特征在于，所述開口(IOOaUOOb)形成為具有大致矩形的截面，從所述導(dǎo)引塊(9朝下開口，且位于所述導(dǎo)引塊(9在長(zhǎng)度方向上的相對(duì)兩端O全文摘要一種線性致動(dòng)裝置(10)，包括構(gòu)成導(dǎo)引機(jī)構(gòu)(16)的導(dǎo)引塊(92)。在所述的導(dǎo)引塊(92)中，一對(duì)安裝槽(100a、100b)面向缸體(12)形成在下表面。內(nèi)部具有滾珠滾珠循環(huán)孔(102)的滾珠循環(huán)構(gòu)件(94a、94b)分別安裝在所述的安裝槽(100a、100b)中。此外，還設(shè)置有滾珠循環(huán)通道110，滾珠(60)循環(huán)于其中。所述滾珠循環(huán)通道110由設(shè)置在滾珠循環(huán)構(gòu)件(94a、94b)相對(duì)的兩端部上的滾動(dòng)反向部(104a、104b)、滾珠循環(huán)孔(102)、形成在導(dǎo)引塊(92)兩側(cè)表面上的第二滾珠導(dǎo)槽(74)、以及滑臺(tái)(14)的第一滾珠導(dǎo)槽(62)構(gòu)成。文檔編號(hào)F15B15/02GK102116330SQ20101024666公開日2011年7月6日申請(qǐng)日期2010年7月30日優(yōu)先權(quán)日2010年1月5日發(fā)明者佐藤俊夫,佐藤太平,原耕二,政所二朗,石橋康一郎,高梨精二申請(qǐng)人:Smc株式會(huì)社