專利名稱：干式真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種干式真空泵，該真空泵包括安裝在潤(rùn)滑支承軸承和泵級(jí)之間用于對(duì)潤(rùn)滑劑進(jìn)行密封的裝置。本發(fā)明尤其適用于包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)凸輪軸的羅茨干式真空泵或爪型干式真空泵，或者螺旋式或螺桿式泵或以另外的相似原理工作的泵。
背景技術(shù)：
這種泵通常包括一個(gè)或多個(gè)串聯(lián)安裝的泵級(jí)，其中待泵送的氣體在進(jìn)氣口和排氣口之間流動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)的真空泵包括旋轉(zhuǎn)的凸輪泵又稱為雙凸輪或三凸輪羅茨泵，和雙爪泵也稱為爪型泵。旋轉(zhuǎn)的凸輪泵包括具有相同輪廓且在定子內(nèi)部以相反的方向旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)轉(zhuǎn)子。在轉(zhuǎn)動(dòng)期間，所泵送的氣體被截獲于限定在轉(zhuǎn)子和定子之間的自由空間內(nèi)，由轉(zhuǎn)子驅(qū)動(dòng)到后續(xù)級(jí)或在第一級(jí)后被驅(qū)動(dòng)到排氣口。運(yùn)行時(shí)，在轉(zhuǎn)子和定子之間不產(chǎn)生任何機(jī)械接觸，因此在泵級(jí)中可能完全沒(méi)有油。轉(zhuǎn)子通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸承載，該旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)在軸端安裝的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室的潤(rùn)滑支承軸承來(lái)支撐。該馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室通過(guò)用于對(duì)潤(rùn)滑劑進(jìn)行密封的裝置與泵級(jí)隔離開(kāi)，由此旋轉(zhuǎn)軸總是易于旋轉(zhuǎn)的。在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，軸在潤(rùn)滑支承軸承中的轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生潤(rùn)滑劑霧，當(dāng)遭受壓力變化時(shí)，該潤(rùn)滑劑霧存在向泵級(jí)遷移的風(fēng)險(xiǎn)?，F(xiàn)在，必須的是在稱為“干式”運(yùn)行的應(yīng)用中不應(yīng)當(dāng)在泵級(jí)中存在油或油脂的痕跡，所述應(yīng)用例如為半導(dǎo)體基底的制造方法。現(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)存在對(duì)潤(rùn)滑劑進(jìn)行密封的裝置，該裝置包括潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器或擋板和稱為唇形密封的摩擦密封環(huán)。潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器安裝在位于潤(rùn)滑支承軸承和摩擦密封環(huán)之間的旋轉(zhuǎn)軸上，并在運(yùn)行中與該旋轉(zhuǎn)軸相連接地轉(zhuǎn)動(dòng)。偏轉(zhuǎn)器通過(guò)離心力的作用使?jié)櫥瑒┢D(zhuǎn)并通過(guò)小管將該潤(rùn)滑劑輸送到馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室的底部，所述小管的入口定位成面對(duì)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器的端部，所述小管的出口通向馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室的底部。這個(gè)裝置保持限定在馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室內(nèi)部的潤(rùn)滑劑。如果潤(rùn)滑劑殘余物仍將越過(guò)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器，那么摩擦密封環(huán)形成第二安全元件。然而，這種安全措施經(jīng)證明是不充分的。生產(chǎn)產(chǎn)量的增加導(dǎo)致真空泵工作溫度的增加， 這也使得摩擦密封環(huán)更為易碎。此外，摩擦密封環(huán)的任一側(cè)壓力變化的反復(fù)增加一這與流過(guò)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器的潤(rùn)滑劑的腐蝕相關(guān)聯(lián)一可能導(dǎo)致摩擦密封環(huán)的過(guò)早磨損，并且需要以更接近的間隔保養(yǎng)，每次中斷涉及半導(dǎo)體制造裝置的停機(jī)和真空泵的停機(jī)，這樣的成本太高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種干式真空泵，該真空泵包括潤(rùn)滑劑密封裝置，該密封裝置安裝在潤(rùn)滑支承軸承(被潤(rùn)滑的支承軸承)和泵級(jí)之間，該真空泵的使用壽命增加。為此，本發(fā)明的對(duì)象是干式真空泵，該真空泵包括-至少一個(gè)泵級(jí)，-通過(guò)潤(rùn)滑支承軸承支撐的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸，
3
-至少一個(gè)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器(轉(zhuǎn)向器，導(dǎo)流器)和至少一個(gè)安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的密封環(huán)，該密封環(huán)安裝在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器和泵級(jí)之間，該潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器安裝在潤(rùn)滑支承軸承和密封環(huán)之間，-第一貯存器，該第一貯存器包含液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備，該第一儲(chǔ)備在第一容積中與潤(rùn)滑支承軸承連通，-潤(rùn)滑劑飛濺單元，該潤(rùn)滑劑飛濺單元在第一貯存器中安裝在該旋轉(zhuǎn)軸上，該潤(rùn)滑劑飛濺單元的一端浸入(浸浴)在液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備中。該真空泵具有第二貯存器，該第二貯存器包括液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備，該第二貯存器與第一貯存器通過(guò)分隔壁隔開(kāi)，該分隔壁具有連通孔，該連通孔使得液體潤(rùn)滑劑的第一和第二儲(chǔ)備相互連通。一具有一個(gè)入口的潤(rùn)滑劑返回通道定位成朝向所述潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器，該潤(rùn)滑劑返回通道在液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備上方開(kāi)口通入第二貯存器的第二容積中。在運(yùn)行期間，包含第一潤(rùn)滑支承軸承和潤(rùn)滑劑飛濺單元的第一容積具有內(nèi)部霧狀環(huán)境，該環(huán)境包括氣體和潤(rùn)滑劑的混合物，它特別是通過(guò)潤(rùn)滑劑飛濺單元的轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生，并使得真空泵的滾柱軸承能被潤(rùn)滑。該環(huán)境通過(guò)分隔壁與潤(rùn)滑劑返回通道所通入的第二貯存器的環(huán)境隔開(kāi)。由于第二貯存器既不包含潤(rùn)滑劑飛濺單元，也沒(méi)有任何其他的在真空泵的運(yùn)行期間運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)元件，因此它在液體潤(rùn)滑劑上方具有沒(méi)有任何潤(rùn)滑劑霧的平靜的氣體環(huán)境，液相和氣相彼此很好地分離。因此，當(dāng)從潤(rùn)滑支承軸承將潤(rùn)滑劑霧吸到泵級(jí)中時(shí)，潤(rùn)滑劑通過(guò)離心力的作用被潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器偏轉(zhuǎn)入潤(rùn)滑劑返回通道，直到注入被隔離的第二貯存器的液體潤(rùn)滑劑的儲(chǔ)備中。此后，在壓力平衡階段中，當(dāng)潤(rùn)滑支承軸承中的壓力大于泵級(jí)中的壓力時(shí)，已下降到貯存器底部的潤(rùn)滑劑進(jìn)入潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備中，處于比潤(rùn)滑劑返回通道的開(kāi)口低的水平(高度)，不能上升到該通道中。相反地，第二貯存器中的位于液體潤(rùn)滑劑的水平方法的“干”氣體一即無(wú)潤(rùn)滑劑的氣體一將充滿潤(rùn)滑劑返回通道，并恢復(fù)密封裝置兩側(cè)的壓力平衡。第二貯存器的分離因此阻止包含在潤(rùn)滑支承軸承的含油(潤(rùn)滑油)的環(huán)境內(nèi)的霧狀潤(rùn)滑劑空氣在運(yùn)行中進(jìn)入潤(rùn)滑劑返回通道。第二貯存器和所述潤(rùn)滑劑返回通道例如構(gòu)造在所述真空泵的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室的殼體內(nèi)。所述分隔壁中的軸的通道的傳導(dǎo)性和潤(rùn)滑劑返回通道的開(kāi)口處的傳導(dǎo)性被校準(zhǔn)以引導(dǎo)潤(rùn)滑劑返回通道內(nèi)的氣流從第二容積到潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器。通過(guò)對(duì)傳導(dǎo)性的值的這種校準(zhǔn)，當(dāng)泵級(jí)中的壓力下降時(shí)，與在隔離的第二貯存器的第二容積中的下降相比，該壓力在包括潤(rùn)滑支承軸承的第一容積中下降地更快。第二容積因而相對(duì)第一容積保持輕微的超壓。干的氣體于是將快速通過(guò)潤(rùn)滑劑返回通道，并在其中加速直到潤(rùn)滑劑返回通道的入口，由此在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器上形成干氣體的障礙(屏障)。這個(gè)過(guò)程促使氣流的加速度在潤(rùn)滑劑返回通道中增加，從第二容積到潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器的增加要大于從第一容積到第二容積的增加。例如規(guī)定分隔壁中軸通道的直徑和旋轉(zhuǎn)軸的直徑之間的間隙小于3毫米，優(yōu)選為大約2毫米。還規(guī)定潤(rùn)滑劑返回通道的開(kāi)口的內(nèi)徑的尺寸小于5毫米，優(yōu)選為大約4毫米?？梢栽跐?rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器的外周端部之前在殼體內(nèi)構(gòu)造環(huán)形槽，所述環(huán)形槽與所述潤(rùn)滑劑返回通道的入口連通。
根據(jù)一實(shí)施例，真空泵具有由相應(yīng)潤(rùn)滑支承軸承支撐的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸。所述潤(rùn)滑劑返回通道則可包括與第一潤(rùn)滑支承軸承相關(guān)聯(lián)的第一通道部分、與第二潤(rùn)滑支承軸承相關(guān)聯(lián)的第二通道部分以及為所述第一和第二通道部分共用的通道部分，以便保持兩個(gè)潤(rùn)滑支承軸承上的潤(rùn)滑劑的平衡。例如，潤(rùn)滑劑返回通道具有在所述第一通道部分和所述第二通道部分之間的連通槽，并且所述潤(rùn)滑劑返回通道包括連接元件，該連接元件與所述連接槽接合并通向一接合管。所述連接元件可以包括封閉所述連通槽的板和偏心的接合管，該接合管從所述板垂直地伸出。


本發(fā)明其他的細(xì)節(jié)和特征根據(jù)下面的說(shuō)明將顯現(xiàn)，所述說(shuō)明通過(guò)實(shí)例給出以非限制性方式并參考附圖作出，在附圖中-圖1是真空泵的一部分的縱向截面圖，-圖2是馬達(dá)定子的立體圖和真空泵的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室的油箱(從馬達(dá)側(cè)看)處于分解狀態(tài)的立體圖，-圖3是圖2的油箱的后視圖(從齒輪側(cè)看)，-圖4是與圖3中從齒輪側(cè)看的油箱的視圖類似的視圖，其中設(shè)置有連接元件，-圖5是潤(rùn)滑支承軸承的元件的立體圖，和-圖6是圖5的元件處于裝配狀態(tài)下的示意圖。
在這些圖中，相同的元件具有相同的附圖標(biāo)記。
具體實(shí)施例方式圖1到6示出一種具有兩個(gè)羅茨型旋轉(zhuǎn)凸輪軸的干式真空泵的示范性的實(shí)施例。 自然地，本發(fā)明還可以用于其他種類的干式真空泵，例如“爪”型、螺旋或螺桿泵或者基于任何其他相似原理的泵。真空泵1具有一個(gè)或多個(gè)串聯(lián)安裝的泵級(jí)2，其中待泵送的氣體從進(jìn)氣口到輸出口(未示出)循環(huán)。旋轉(zhuǎn)軸3 (僅能從圖1中看到一個(gè))通過(guò)旋轉(zhuǎn)的凸輪轉(zhuǎn)子4延伸入泵級(jí)2中，并在真空泵1的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5內(nèi)的輸出級(jí)側(cè)被驅(qū)動(dòng)。泵級(jí)2之所以稱為干式是因?yàn)樵谄溥\(yùn)行時(shí)，轉(zhuǎn)子4在殼體6內(nèi)部以相反的方向旋轉(zhuǎn)，并在轉(zhuǎn)子4和真空泵1的殼體6之間沒(méi)有任何機(jī)械接觸，因此能夠完全沒(méi)有潤(rùn)滑劑。如圖1所示的真空泵水平地運(yùn)行，即，在該真空泵的運(yùn)行期間，旋轉(zhuǎn)軸3基本與地面的平面平行。旋轉(zhuǎn)軸3在軸的端部通過(guò)兩個(gè)潤(rùn)滑支承軸承(未示出)支撐一例如在吸入級(jí)通過(guò)油脂進(jìn)行潤(rùn)滑，并且在輸出級(jí)側(cè)上通過(guò)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5的兩個(gè)潤(rùn)滑支承軸承7a、7b支撐一例如通過(guò)液體潤(rùn)滑劑如油進(jìn)行潤(rùn)滑。潤(rùn)滑支承軸承7a、7b具有滾柱軸承9以引導(dǎo)和支撐旋轉(zhuǎn)軸3。真空泵1具有容置在馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5內(nèi)的馬達(dá)(未示出)以及安裝在相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)軸 3上的齒輪裝置(未示出)，以便以同步的方式驅(qū)動(dòng)主動(dòng)軸和傳動(dòng)軸。真空泵1具有第一貯存器觀，該第一貯存器包括液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備16a。第一貯存器觀與潤(rùn)滑支承軸承7a在第一容積Vl (圖1中虛線所示)內(nèi)連通。真空泵1還具有在第一貯存器觀內(nèi)安裝在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸3上的潤(rùn)滑劑飛濺單元11， 該潤(rùn)滑劑飛濺單元11的一端浸入液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備16a內(nèi)。潤(rùn)滑劑飛濺單元11例如采取同軸地安裝旋轉(zhuǎn)軸3上的盤(pán)狀件的形式。在運(yùn)行期間，驅(qū)動(dòng)軸3的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)潤(rùn)滑劑飛濺單元11的轉(zhuǎn)動(dòng)，因此在支承軸承7a、7b內(nèi)產(chǎn)生潤(rùn)滑劑霧，該霧使得真空泵1的滾柱軸承 9能被潤(rùn)滑。此外，真空泵1還包括用于對(duì)潤(rùn)滑劑進(jìn)行密封的裝置，以阻斷從馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5到泵級(jí)2的潤(rùn)滑劑通道。該密封裝置具有安裝在相應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸3上的密封環(huán)13和潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器 12 (圖1和圖幻，該密封環(huán)13安裝在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12和泵級(jí)2之間，該潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12 安裝在密封環(huán)13和潤(rùn)滑支承軸承7a、7b之間。密封環(huán)13例如是雙唇型摩擦密封環(huán)。潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12與旋轉(zhuǎn)軸3相連接地轉(zhuǎn)動(dòng)，由此使得潤(rùn)滑劑和來(lái)自潤(rùn)滑支承軸承 7a、7b的顆粒能通過(guò)離心作用轉(zhuǎn)向例如環(huán)形槽14，該環(huán)形槽14形成在馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5的面向潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12的外周端部的殼體內(nèi)(尤其見(jiàn)圖1和圖幻。潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12例如采取與旋轉(zhuǎn)軸3同軸安裝的盤(pán)狀件的形式。真空泵1具有構(gòu)造在真空泵1的殼體6內(nèi)的第二貯存器15，該第二貯存器15包括液體潤(rùn)滑劑例如油的第二儲(chǔ)備16b。第二貯存器15與第一貯存器觀通過(guò)分隔壁20隔開(kāi)， 該分隔壁20具有使第一和第二液體潤(rùn)滑劑儲(chǔ)備16a和16b連通的連通孔34。真空泵1的潤(rùn)滑劑返回通道17具有入口 18，該入口 18面向潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12并例如在環(huán)形槽14內(nèi)。 潤(rùn)滑劑返回通道17在潤(rùn)滑支承軸承7a、7b的下方延伸入馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5的體部的殼體內(nèi)，并在潤(rùn)滑劑流體的第二儲(chǔ)備16b的上方通過(guò)開(kāi)口 19通入該第二貯存器15的第二容積V2內(nèi)。在運(yùn)行期間，包含潤(rùn)滑支承軸承7a、7b的第一容積Vl和潤(rùn)滑劑飛濺單元11具有起霧的內(nèi)部環(huán)境，該霧具有氣體和潤(rùn)滑劑的混合物，它一般由油潤(rùn)滑的空氣特別是通過(guò)潤(rùn)滑劑飛濺單元11的轉(zhuǎn)動(dòng)而產(chǎn)生。該環(huán)境通過(guò)分隔壁20與潤(rùn)滑劑返回通道17通入其中的第二貯存器15的第二容積V2的環(huán)境隔開(kāi)。由于第二貯存器15未包含任何潤(rùn)滑劑飛濺單元或任何在真空泵1的運(yùn)行期間運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)元件，因此它具有在液體潤(rùn)滑劑16b上方的、沒(méi)有任何潤(rùn)滑劑霧的平靜的氣體環(huán)境，液相和氣相被很好地彼此分離。因此，當(dāng)潤(rùn)滑劑霧被從潤(rùn)滑支承軸承7a、7b吸到泵級(jí)2中時(shí)，該潤(rùn)滑劑通過(guò)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12偏轉(zhuǎn)入環(huán)形槽14中，然后通過(guò)離心力的作用進(jìn)入潤(rùn)滑劑返回通道17，直到其注入到第二貯存器15的液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備16b中。此后，在壓力平衡階段一其中潤(rùn)滑劑支承軸承7a、7b中的壓力大于泵級(jí)2中的壓力，液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備16b中的液體潤(rùn)滑劑已經(jīng)下降到第二貯存器15的底部并處于比潤(rùn)滑劑返回通道17的開(kāi)口 19更低的高度，該潤(rùn)滑劑不能在該通道中上升。相反地，第二貯存器15中的位于液體潤(rùn)滑劑的水平上方“干的”氣體，即無(wú)潤(rùn)滑劑的氣體，將充滿潤(rùn)滑劑返回通道17，并恢復(fù)密封裝置兩側(cè)的壓力平衡。第二貯存器15的分離因此阻止包含在潤(rùn)滑支承軸承7a、7b的含油環(huán)境內(nèi)的帶有潤(rùn)滑劑霧的空氣在運(yùn)行中進(jìn)入到潤(rùn)滑劑返回通道17。為此，根據(jù)圖1到圖6示出的實(shí)施例，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5的殼體包括例如驅(qū)動(dòng)定子21、 油箱22和例如由鑄鐵制成的端部凸緣23 (或HP (高壓)支承件)一它們組裝在一起，以及分隔壁20，該分隔壁將第二貯存器15的第二容積V2 (在圖1中以點(diǎn)充滿)與第一容積Vl
6隔開(kāi)，該第一容積Vl包括第一貯存器觀和潤(rùn)滑支承軸承7a、7b。分隔壁20在圖2中更明顯，該分隔壁20例如固定接合到油箱22上，該油箱22與驅(qū)動(dòng)定子21組裝在一起。驅(qū)動(dòng)定子21和油箱22的組裝構(gòu)成在底部具有液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備16b的第二容積V2。該組裝通常利用0形環(huán)M和緊固裝置完成。驅(qū)動(dòng)定子21還具有用于利用制冷劑冷卻馬達(dá)的裝置26。這些裝置部分地由一樹(shù)脂件隱藏，在該樹(shù)脂件中沿驅(qū)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)軸線形成有軸向容腔27，以容置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子(未示出)。由組裝在一起的油箱22和端部凸緣23形成的第一容積Vl的底部包括液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備16a，以便潤(rùn)滑潤(rùn)滑支承軸承7a、7b的轉(zhuǎn)動(dòng)元件(圖3和圖5)。圖3示出油箱22背面的注入孔30。該注入孔30可以在油箱的頂部右側(cè)角處看到，并與第一容積Vl連通。注入孔30由塞子31阻斷。還可以在油箱22的底部右側(cè)角處看到基準(zhǔn)標(biāo)志，其指示液體潤(rùn)滑劑的設(shè)定液位N。該基準(zhǔn)標(biāo)志對(duì)應(yīng)于形成在邊緣的油箱22 的透明部分(在圖3中不可見(jiàn))，以引導(dǎo)使用者將液體潤(rùn)滑劑16a填充到設(shè)定的液位N。油箱22還具有被阻斷并且與底部觀連通的排放孔32以及用于排空真空泵1的被阻斷的容器部分33。如可在圖2中看到的，分隔壁20具有位于液體潤(rùn)滑劑的設(shè)定液位N下方的連通孔 34，以使液體潤(rùn)滑劑的第一和第二儲(chǔ)備16a、16b達(dá)到相同液位。連通孔34因此位于潤(rùn)滑劑流體返回通道17的開(kāi)口 19的下部。本發(fā)明由此通過(guò)用于填充、排放和清空油箱22的裝置確保液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備16b的液位并同時(shí)確保液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備16a的液位。此外，分隔壁中的軸通道35的傳導(dǎo)性和潤(rùn)滑劑返回通道17的開(kāi)口 19的傳導(dǎo)性被校準(zhǔn)到引導(dǎo)氣流從第二容積V2到潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12，進(jìn)入潤(rùn)滑劑返回通道17內(nèi)。通過(guò)對(duì)傳導(dǎo)性的該校準(zhǔn)，當(dāng)泵級(jí)2中的壓力下降時(shí)，它在包括潤(rùn)滑級(jí)7a、7b的第一容積Vl中比在第二貯存器15的第二容積V2中下降地更快。第二容積V2因而保持比第一容積Vl略高約2bar的壓力。干的氣體于是將快速通過(guò)潤(rùn)滑劑返回通道17并在其中獲得加速直到潤(rùn)滑劑返回通道17的入口 18，由此在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12上形成干的氣體的阻礙。 因此，氣流的加速度在潤(rùn)滑劑返回通道17中增加，從第二容積V2到潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12的增加要大于從第一容積Vl到第二容積V2的增加。第一容積Vl和第二容積V2之間的傳導(dǎo)性由形成在驅(qū)動(dòng)軸3和分隔壁20中的軸通道35之間的空間限定。例如規(guī)定軸通道35的直徑和旋轉(zhuǎn)軸3的直徑之間的間隙將小于 3毫米，優(yōu)選約為2毫米。還可以規(guī)定潤(rùn)滑劑返回通道17的開(kāi)口 19的內(nèi)徑的尺寸將小于5 毫米，優(yōu)選約為4毫米。因此，軸通道35處的小空間有利于第二容積V2中的壓力超過(guò)第一容積VI，潤(rùn)滑劑返回通道17的低的傳導(dǎo)性有利于潤(rùn)滑劑流體返回通道17中的干的氣體的加速度，因此能夠在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12上形成氣體障礙。還可設(shè)想使?jié)櫥瑒┓祷赝ǖ?7包括與第一潤(rùn)滑支承軸承7a相關(guān)聯(lián)的第一通道部分17a、與第二潤(rùn)滑支承軸承7b相關(guān)聯(lián)的第二通道部分17b以及為第一和第二通道部分 17a、17b共用的通道部分17c。通道部分17a和17b每個(gè)都具有位于環(huán)形槽14中的入口， 它朝向與相應(yīng)潤(rùn)滑支承軸承7a、7b相關(guān)聯(lián)的潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12。潤(rùn)滑劑流體返回通道17因此在第一和第二潤(rùn)滑支承軸承7a、7b之間連通，以便保持這兩個(gè)潤(rùn)滑支承軸承7a、7b中潤(rùn)滑劑的平衡。
為此，如圖5所示，潤(rùn)滑劑返回通道17具有在第一通道部分17a和第二通道部分 17b之間的連通槽36。該潤(rùn)滑劑返回通道17還具有連接元件37，該連接元件37與連通槽 36組裝并通向接合管38。一旦連接元件37接合在油箱22和端部凸緣23之間，接合管38 就通過(guò)開(kāi)口 19從分隔壁20通向第二容積V2。連接元件37包括例如一板39和一接合管38，該板封閉連通槽36，該接合管偏離板39的中心并從該板39垂直地伸出。接合管38偏離中心以使旋轉(zhuǎn)元件例如驅(qū)動(dòng)軸3的潤(rùn)滑支承軸承7a的潤(rùn)滑劑飛濺單元11能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。潤(rùn)滑劑通過(guò)潤(rùn)滑劑返回通道17和通過(guò)潤(rùn)滑支承軸承7a、7b向密封裝置的轉(zhuǎn)移因此被限制，由此確保潤(rùn)滑劑不會(huì)在未經(jīng)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器12處理的情況下繞過(guò)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室5的潤(rùn)滑支承軸承7a、7b直接到達(dá)密封環(huán)13，這將增加密封環(huán)13的使用壽命。雖然說(shuō)明書(shū)中已經(jīng)給出了設(shè)置在真空泵的輸出側(cè)的密封裝置和液體潤(rùn)滑劑貯存器，但該密封裝置和液體潤(rùn)滑劑貯存器也可同等地放置在吸入或入口側(cè)，在具有最低壓力的級(jí)的端部，將潤(rùn)滑劑替換為油脂。
權(quán)利要求
1.干式真空泵，包括-至少一個(gè)泵級(jí)(2)，-通過(guò)潤(rùn)滑支承軸承(7a，7b)支撐的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸(3)，-安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的至少一個(gè)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器(1 和一個(gè)密封環(huán)(13)，該密封環(huán)(13) 安裝在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器(1 和泵級(jí)( 之間，該潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器(1 安裝在潤(rùn)滑支承軸承 (7a, 7b)和密封環(huán)(13)之間，-第一貯存器(觀)，該第一貯存器包含液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備(16a)，所述第一貯存器 (28)在第一容積(Vl)中與所述潤(rùn)滑支承軸承(7a，7b)連通，-潤(rùn)滑劑飛濺單元，該潤(rùn)滑劑飛濺單元在該第一貯存器08)中安裝在該旋轉(zhuǎn)軸(3)上， 該潤(rùn)滑劑飛濺單元的一端浸入該液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備(16a)中，其中，該真空泵具有第二貯存器(15)，該第二貯存器包括液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備 (16b)，該第二貯存器(1 與該第一貯存器08)通過(guò)分隔壁00)隔開(kāi)，該分隔壁具有連通孔(34)，該連通孔使得液體潤(rùn)滑劑的第一和第二儲(chǔ)備(16a，16b)相互連通，以及，設(shè)置有朝向所述潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器(1 的潤(rùn)滑劑返回通道(17)，該潤(rùn)滑劑返回通道具有一個(gè)入口(18) 并且在液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備(16b)上方通向該第二貯存器的第二容積(M)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述第二貯存器(1 和所述潤(rùn)滑劑返回通道(17)構(gòu)造在所述真空泵⑴的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)室(5)的殼體(6)內(nèi)。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的真空泵，其特征在于，所述潤(rùn)滑劑返回通道(17)的開(kāi)口(19)的內(nèi)徑的尺寸小于5毫米。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的真空泵，其特征在于，分隔壁中的軸通道(35)的直徑和旋轉(zhuǎn)軸⑶的直徑之間的間隙小于3毫米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的真空泵，其特征在于，一環(huán)形槽(14)在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器 (12)的外周端部前面構(gòu)造在該殼體(6)內(nèi)，并與所述潤(rùn)滑劑返回通道(17)的入口(18)連
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5之一所述的真空泵，其特征在于，包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸(3)，所述旋轉(zhuǎn)軸C3)每個(gè)都通過(guò)相應(yīng)的潤(rùn)滑支承軸承(7a，7b)支撐，以及，所述潤(rùn)滑劑返回通道(17)包括與第一潤(rùn)滑支承軸承(7a)相關(guān)聯(lián)的第一通道部分(17a)、與第二潤(rùn)滑支承軸承(7b)相關(guān)聯(lián)的第二通道部分(17b)以及為所述第一和第二通道部分(17a，17b)共用的通道部分 (17c)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其特征在于，潤(rùn)滑劑返回通道(17)具有位于所述第一通道部分(17a)和所述第二通道部分(17b)之間的連通槽(36)，所述潤(rùn)滑劑返回通道 (17)包括連接元件(37)，該連接元件與所述連通槽(36)相接合并且通向一接合管(38)中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，其特征在于，所述連接元件(37)包括板(39)和偏心的接合管(38)，該板封閉所述連通槽(36)，該偏心的接合管從所述板(39)垂直地伸出。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種干式真空泵，包括至少一個(gè)泵級(jí)；由潤(rùn)滑支承軸承支撐的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸；至少一個(gè)潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器和安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的密封環(huán)，該密封環(huán)安裝在潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器和泵級(jí)之間，該潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器安裝在潤(rùn)滑支承軸承和密封環(huán)之間；第一貯存器，它包含液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備并在第一容積中與潤(rùn)滑支承軸承連通；在第一貯存器中安裝旋轉(zhuǎn)軸上的潤(rùn)滑劑飛濺單元，它的一端浸入液體潤(rùn)滑劑的第一儲(chǔ)備中，該真空泵具有包括液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備的第二貯存器，該第二貯存器與第一貯存器通過(guò)分隔壁隔開(kāi)，該分隔壁具有使液體潤(rùn)滑劑的第一和第二儲(chǔ)備互連的連通孔，一潤(rùn)滑劑返回通道具有入進(jìn)口、朝向所述潤(rùn)滑劑偏轉(zhuǎn)器并在液體潤(rùn)滑劑的第二儲(chǔ)備上方通入第二貯存器的第二容積中。
文檔編號(hào)F04C29/02GK102312837SQ201110211420
公開(kāi)日2012年1月11日 申請(qǐng)日期2011年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者S·克羅謝 申請(qǐng)人:阿迪森真空產(chǎn)品公司