專利名稱：一種真空泵用排氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空泵設(shè)備，具體地說是一種真空泵用排氣裝置。
背景技術(shù)：
國產(chǎn)真空泵經(jīng)過二十年的快速發(fā)展，其主要性能指標(如抽速、極限壓力、能耗、零流量壓縮比及壓差等)均達到或接近國外先進水平。這種大抽速干式真空泵在國內(nèi)尚無生產(chǎn)廠家，國外的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)復(fù)雜、價格又相當(dāng)昂貴；與此形成對比的是隨著國內(nèi)光伏、醫(yī)藥、石化等行業(yè)的迅速發(fā)展，在惡劣環(huán)境下對大抽速干式真空泵的需求十分迫切。目前，國產(chǎn)的干泵機組抽速單一，滿足大抽速的干泵機組種類少，且性能較差。此外，現(xiàn)有的真空泵在向外排氣時，噪音大，粉塵堆積嚴重，向排氣管排氣時采用單向閥或橡膠球結(jié)構(gòu)，由于氣體中含有粉塵，直接排出時會堵塞排氣管，導(dǎo)致維護周期短、能耗大。因此，真空獲得設(shè)備行業(yè)發(fā)展滯后，已經(jīng)影響了國內(nèi)其它行業(yè)的發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種真空泵用排氣裝置。該排氣裝置利用氣體的迂回流動及超大容量的排氣桶可以減少排出氣體的粉塵含量，降低機組噪音，縮短機組維護周期。本發(fā)明的另一目的在于提供一種能耗低、真空室真空度高的真空泵用排氣裝置。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的本發(fā)明包括外罩、排氣管、傳輸管及進氣法蘭，其中排氣管設(shè)置在外罩內(nèi)，排氣管的頂端由外罩穿出、與尾氣處理裝置相連接；所述傳輸管安裝在外罩內(nèi)，在外罩的外表面設(shè)有進氣法蘭，該進氣法蘭的一端與真空泵相連，另一端與外罩的內(nèi)部連通；由進氣法蘭進入外罩內(nèi)的氣體經(jīng)傳輸管、通過排氣管排出至尾氣處理裝置。其中所述外罩內(nèi)分別設(shè)有上支撐板及下支撐板，排氣管及傳輸管分別安裝在上、下支撐板上，其中上支撐板上開有多個透氣孔；所述排氣管的底端位于下支撐板的下方，所述傳輸管的頂端位于上支撐板的上方、底端位于下支撐板的下方；所述進氣法蘭與外罩內(nèi)部連通的另一端位于上、下支撐板之間；所述進氣法蘭的一端通過真空管路與真空泵相連，在真空管路上并聯(lián)有隔膜泵；所述排氣管的頂端設(shè)有與隔膜泵相對應(yīng)的截止閥，排氣管通過所述截止閥與尾氣處理裝置相連接；所述外罩的底部開有粉塵清潔口，該粉塵清潔口通過無氧銅圈密封；所述進氣法蘭通過固定筋板固接在外罩上。本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為I.本發(fā)明使真空泵排出氣體在外罩內(nèi)迂回流動，先通過傳輸管后再由排氣管3排出至尾氣處理裝置，使氣體中含有的粉塵落到外罩底部，降低了排出氣體中的粉塵含量，避免工藝制程中產(chǎn)生粉塵顆粒堵塞排氣口，延長機組維護時間，降低了大抽速干泵機組噪音。2.本發(fā)明在進氣法蘭與真空泵之間連接的真空管路上并聯(lián)有隔膜泵，相應(yīng)地在外 罩頂端的排氣法蘭上連接了截止閥，由于大抽速干泵機組能耗較大，一般為40KW/h，通過增加一個并聯(lián)的排氣口、引入前級隔膜泵，能夠在正常工作狀態(tài)時進入低能耗模式，有效減低能耗至6 8KW，降至原來的20%，并提高真空室真空度，具有巨大經(jīng)濟價值與社會價值。3.本發(fā)明在外罩內(nèi)焊接了上、下支撐板，將外罩分成了上、中、下三個空間，上支撐板上開設(shè)了透氣孔，增加了氣體流動距離，使氣體中的粉塵落到外罩底部。4.本發(fā)明的進氣法蘭通過固定筋板進行固定，與外罩焊接在一起，安裝牢固。5.本發(fā)明的外罩底部開有粉塵清潔口，便于清潔外罩內(nèi)的粉塵。


圖I為本發(fā)明真空泵機組的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意
圖3為圖2的左視圖；圖4為圖2中的A-A剖視圖；其中1為排氣法蘭，2為上支撐板，3為排氣管，4為傳輸管，5為外罩，6為下支撐板，7為固定筋板，8為進氣法蘭，9為粉塵清潔口，10為截止閥，11為真空管路，12為隔膜泵，A為排氣裝置，B為增壓泵，C為大抽速干泵。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳述。如圖2 4所示，本發(fā)明包括外罩5、排氣管3、傳輸管4、上支撐板2、下支撐板6及進氣法蘭8，其中外罩5內(nèi)部中空，內(nèi)部的徑向截面為圓形；在外罩5內(nèi)，由上至下依次設(shè)有上支撐板2及下支撐板6，上、下支撐板2、6均為圓盤狀，其中上支撐板2上開有多個透氣孔，上、下支撐板2、6的外圓周表面分別焊接在外罩5的內(nèi)壁上，上、下支撐板2、6將外罩5的內(nèi)部分成上、中、下三部分。排氣管3位于外罩5內(nèi)、焊接在上、下支撐板2、6上，排氣管3的底端位于外罩5內(nèi)的下部、下支撐板6的下方，排氣管3的頂端由外罩5穿出并設(shè)有排氣法蘭1，排氣管3的頂端通過排氣法蘭I與尾氣處理裝置相連接。傳輸管4位于外罩5內(nèi)、焊接在上、下支撐板2、6上，傳輸管4的頂端位于外罩5內(nèi)的上部、上支撐板2的上方，底端位于外罩5內(nèi)的下部、下支撐板6的下方。在外罩5的外表面,上、下支撐板2、6之間設(shè)有進氣法蘭8，該進氣法蘭8通過固定筋板7焊接在外罩5上。進氣法蘭8的一端通過真空管路11與真空泵相連，另一端與外罩5內(nèi)的中部連通；由進氣法蘭8進入外罩5內(nèi)的氣體經(jīng)傳輸管4、通過排氣管3排出至尾氣處理裝置。外罩5的底部開有粉塵清潔口 9，該粉塵清潔口 9通過無氧銅圈密封，該無氧銅圈耐熱達到150°C以上。在進氣法蘭8與真空泵相連的真空管路11上并聯(lián)有隔膜泵12，相應(yīng)地，排氣管3頂端的排氣法蘭I連接有截止閥10，排氣管3通過所述截止閥10與尾氣處理裝置相連接。本發(fā)明的工作原理為如圖I所示，本實施例的真空泵由增大抽速的增壓泵B及大抽速干泵C組成，排氣裝置A上的進氣法蘭8通過真空管路11與大抽速干泵C相連，在真空管路11上并聯(lián)隔膜泵12 ;排氣裝置A中的外罩5頂端的排氣法蘭I先連接截止閥10、然后再去尾氣處理裝置相連接。先將排氣管3及傳輸管4的外表面與上、下支撐板2、6焊接在一起，再將上、下支撐板2、6的外圓周表面分別焊接在外罩5的內(nèi)壁上，最后將外罩5焊接成封閉的空腔。
真空泵排出的氣體通過真空管路11由進氣法蘭8先進入外罩5內(nèi)、兩支撐板之間；然后，通過上支撐板2上的透氣孔進入傳輸管4的頂端，再通過傳輸管4進入下支撐板6的下部空間；最后，通過排氣管3、排氣法蘭I、截止閥10排出至尾氣處理裝置。當(dāng)排氣口的壓力低于大氣壓時，工藝進行中無大量氣體排出時，進入低能耗模式，此時截止閥10關(guān)閉，真空泵內(nèi)的氣體通過隔膜泵12排出，機組功率將降低至額定功率的20%，大大節(jié)約能耗的同時，工藝室真空度還能得到相應(yīng)的提高。 本發(fā)明的排氣裝置使真空泵排出氣體迂回排出至尾氣處理裝置，氣體中的粉塵落在外罩5的下部空間，這些粉塵可通過外罩底部的粉塵清潔口 9進行清理。本發(fā)明適用于半導(dǎo)體、太陽能、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種真空泵用排氣裝置，其特征在于包括外罩(5)、排氣管(3)、傳輸管(4)及進氣法蘭(8)，其中排氣管(3)設(shè)置在外罩(5)內(nèi)，排氣管(3)的頂端由外罩(5)穿出、與尾氣處理裝置相連接；所述傳輸管(4)安裝在外罩(5)內(nèi)，在外罩(5)的外表面設(shè)有進氣法蘭(8)，該進氣法蘭(8)的一端與真空泵相連，另一端與外罩(5)的內(nèi)部連通；由進氣法蘭(8)進入外罩(5)內(nèi)的氣體經(jīng)傳輸管(4)、通過排氣管(3)排出至尾氣處理裝置。
2.按權(quán)利要求I所述的真空泵用排氣裝置，其特征在于所述外罩(5)內(nèi)分別設(shè)有上支撐板⑵及下支撐板(6)，排氣管(3)及傳輸管⑷分別安裝在上、下支撐板(2、6)上，其中上支撐板(2)上開有多個透氣孔。
3.按權(quán)利要求2所述的真空泵用排氣裝置，其特征在于所述排氣管(3)的底端位于下支撐板(6)的下方，所述傳輸管(4)的頂端位于上支撐板(2)的上方、底端位于下支撐板(6)的下方。
4.按權(quán)利要求2所述的真空泵用排氣裝置，其特征在于所述進氣法蘭(8)與外罩(5)內(nèi)部連通的另一端位于上、下支撐板(2、6)之間。
5.按權(quán)利要求I所述的真空泵用排氣裝置，其特征在于所述進氣法蘭(8)的一端通過真空管路(11)與真空泵相連，在真空管路(11)上并聯(lián)有隔膜泵(12);所述排氣管(3)的頂端設(shè)有與隔膜泵(12)相對應(yīng)的截止閥(10)，排氣管(3)通過所述截止閥(10)與尾氣處理裝置相連接。
6.按權(quán)利要求I所述的真空泵用排氣裝置，其特征在于所述外罩(5)的底部開有粉塵清潔口(9)，該粉塵清潔口(9)通過無氧銅圈密封。
7.按權(quán)利要求I所述的真空泵用排氣裝置，其特征在于所述進氣法蘭(8)通過固定筋板⑵固接在外罩(5)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及真空泵設(shè)備，具體地說是一種真空泵用排氣裝置，包括外罩、排氣管、傳輸管及進氣法蘭，其中排氣管設(shè)置在外罩內(nèi)，排氣管的頂端由外罩穿出、與尾氣處理裝置相連接；所述傳輸管安裝在外罩內(nèi)，在外罩的外表面設(shè)有進氣法蘭，該進氣法蘭的一端與真空泵相連，另一端與外罩的內(nèi)部連通；由進氣法蘭進入外罩內(nèi)的氣體經(jīng)傳輸管、通過排氣管排出至尾氣處理裝置。本發(fā)明使真空泵排出氣體在外罩內(nèi)迂回流動，先通過傳輸管后再由排氣管3排出至尾氣處理裝置，使氣體中含有的粉塵落到外罩底部，降低了排出氣體中的粉塵含量，避免工藝制程中產(chǎn)生粉塵顆粒堵塞排氣口，延長機組維護時間，降低了大抽速干泵機組噪音。
文檔編號F04B37/14GK102654117SQ20111005277
公開日2012年9月5日 申請日期2011年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月4日
發(fā)明者張振厚, 王光玉, 秦柏林 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司