一種真空排氣臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請涉及真空排氣技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空排氣臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前的真空排氣臺(tái)，包括真空室，真空室上端具有載物臺(tái)，下端中部設(shè)置真空閥。載物臺(tái)上設(shè)有尾管座，尾管座連接工件，由于尾管座沿直線排列，同一批次的工件在進(jìn)行抽真空作業(yè)時(shí)，有的工件的抽口距離真空閥近，有的工件的抽口距離真空閥遠(yuǎn)，當(dāng)距離閥門近的工件的真空度達(dá)到超高真空時(shí)，遠(yuǎn)端抽口工件的真空度與之相差2?3個(gè)數(shù)量級(jí)，即遠(yuǎn)端處工件內(nèi)的真空度達(dá)不到超高真空，導(dǎo)致同一批次的工件真空度相差較大。
[0003]為了解決同一批次的工件在抽真空時(shí)，真空度相差較大的問題，現(xiàn)有技術(shù)設(shè)計(jì)了下面兩種類型的排氣臺(tái)。
[0004]第一種排氣臺(tái)，通過焊接的方式連接真空閥和真空室，解決了傳統(tǒng)真空系統(tǒng)連接方式復(fù)雜、連接處容易滲漏氣體等問題，保證了真空系統(tǒng)的真空度，提高了抽排氣速率，但沒有從根本上解決近端工件與遠(yuǎn)端工件真空度存在差值的問題。
[0005]第二種真空管圓形排氣臺(tái)，把排氣臺(tái)的載物臺(tái)做成圓形，尾管座以載物臺(tái)的圓心為中心呈一個(gè)或幾個(gè)同心圓排列，同一同心圓上的尾管座與閥門處的距離相等，沒有近端工件與遠(yuǎn)端工件之分。但傳統(tǒng)加熱烘箱為長方體結(jié)構(gòu)，處在不同同心圓上的工件與加熱烘箱的距離不等，導(dǎo)致處在不同同心圓上的工件在加熱烘箱的烘烤下出現(xiàn)受熱不均的問題，使得同一批次工件的真空度不一致。而且，閥門處于載物臺(tái)中心正下方，但工件卻處于載物臺(tái)的周邊，造成閥門大部分的抽氣被浪費(fèi)，利用率低。另外，尾氣管呈幾個(gè)同心圓排列時(shí)，由于各同心圓的相距距離較短，造成工件與尾氣管的連接與分離困難，操作不便。
[0006]因此，目前的排氣臺(tái)不能夠很好的解決同一批次的工件在抽真空時(shí)，真空度相差較大的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明了提供了一種真空排氣臺(tái)，以解決目前的排氣臺(tái)不能夠很好的解決同一批次的工件在抽真空時(shí)，真空度相差較大的問題。
[0008]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種真空排氣臺(tái)，真空室，為中空長條型結(jié)構(gòu);在所述真空室上開設(shè)有多個(gè)第一開口和一個(gè)排氣口，所述多個(gè)第一開口和所述排氣口分別位于所述真空室的相對兩側(cè)壁；
[0009]閥門，與所述真空室的排氣口連接，其中，所述真空室垂直于長方向上的截面面積與所述閥門的橫截面積相等；
[0010]多個(gè)尾管座，分別設(shè)置在所述多個(gè)第一開口處，所述尾管座用于連接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室密封連接；
[0011 ]所述真空室通過所述閥門連接所述抽真空裝置，以完成工件的抽排氣。
[0012]優(yōu)選的，所述真空室為中空長方體型結(jié)構(gòu);所述真空室的腔體截面為正方形截面。
[0013]優(yōu)選的，所述真空室為中空圓柱體型結(jié)構(gòu)，所述真空室的腔體截面為圓形截面；
[0014]所述多個(gè)第一開口并列設(shè)置在所述真空室的長方向上。
[0015]優(yōu)選的，所述真空室的流導(dǎo)是所述尾管座的流導(dǎo)的500倍?1000倍。
[0016]優(yōu)選的，所述真空室的端面安裝有第一真空計(jì);所述排氣口與所述閥門的連接處安裝有第二真空計(jì)。
[0017]優(yōu)選的，所述真空排氣臺(tái)還包括:載物臺(tái)，所述載物臺(tái)和所述真空室密封連接，并且所述載物臺(tái)開設(shè)有和所述多個(gè)第一開口對應(yīng)的多個(gè)第二開口 ；所述尾管座，對應(yīng)設(shè)置在所述多個(gè)第二開口處，所述尾管座用于連接待抽真空的工件，使得所述工件和所述載物臺(tái)密封連接。
[0018]優(yōu)選的，所述真空排氣臺(tái)還包括:加熱罩，設(shè)置在所述載物臺(tái)的上方，所述尾管座全部位于所述加熱罩下方。
[0019]優(yōu)選的，所述加熱罩為槽型結(jié)構(gòu)，倒扣在所述載物臺(tái)上方;所述加熱罩的槽內(nèi)頂部的加熱管--對應(yīng)于所述尾管座分布。
[0020]優(yōu)選的，在所述加熱罩的槽內(nèi)頂部中，每個(gè)加熱管和各自對應(yīng)的尾管座的第一相對距離等于其他加熱管和各自對應(yīng)的尾管座的第二相對距離。
[0021 ]優(yōu)選的，在所述加熱罩內(nèi)部的側(cè)壁上安裝有所述加熱管。
[0022]通過本發(fā)明的一個(gè)或者多個(gè)技術(shù)方案，本發(fā)明具有以下有益效果或者優(yōu)點(diǎn):
[0023]本發(fā)明公開了一種真空排氣臺(tái)，包括:真空室、閥門、多個(gè)尾管座、抽真空裝置;真空室，為中空長條型結(jié)構(gòu);在真空室上開設(shè)有多個(gè)第一開口和一個(gè)排氣口，多個(gè)第一開口和排氣口分別位于真空室的相對兩側(cè)壁；閥門，與真空室的排氣口連接，其中，真空室垂直于長方向上的截面面積與閥門的橫截面積相等;多個(gè)尾管座，分別設(shè)置在多個(gè)第一開口處，尾管座用于連接待抽真空的工件，使得工件和真空室密封連接;真空室通過閥門連接抽真空裝置，以完成工件的抽排氣。通過流導(dǎo)理論的設(shè)計(jì)，使真空室垂直于長方向上的截面面積與閥門的橫截面積相等，進(jìn)而使真空室的流導(dǎo)等于抽真空裝置的流導(dǎo)，有效的解決了近端工件與遠(yuǎn)端工件真空度存在差值的問題，使離閥門距離最遠(yuǎn)的尾管座上的工件，其真空度也能達(dá)到超高真空，并且同一批工件的真空度都處于同一數(shù)量級(jí)。
[0024]進(jìn)一步的，由于真空排氣臺(tái)的加熱罩內(nèi)部的頂部和內(nèi)部側(cè)面安裝加熱管，使得離閥門距離最遠(yuǎn)的尾管座上的工件可以受到上方和側(cè)面的雙重烘烤，進(jìn)一步縮小了同一批工件真空度的差值，保證了同一批工件真空度的一致。
[0025]進(jìn)一步的，由于該真空排氣臺(tái)對工位數(shù)量沒有限制，同一批次可對多個(gè)工件進(jìn)行抽真空操作，工件的生產(chǎn)周期加快，提高了生產(chǎn)效益。
[0026]進(jìn)一步的，該真空排氣臺(tái)結(jié)構(gòu)簡單，操作方法簡便。
【附圖說明】
[0027]圖1為本發(fā)明實(shí)施例中真空排氣臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為本發(fā)明實(shí)施例載物臺(tái)和尾管座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]附圖標(biāo)記說明:真空室1、閥門2、離子栗3、排氣管4、第一真空計(jì)5、第二真空計(jì)6、載物臺(tái)7、尾管座8、加熱罩9和加熱管10。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為了使本申請所屬技術(shù)領(lǐng)域中的技術(shù)人員更清楚地理解本申請，下面結(jié)合附圖，通過具體實(shí)施例對本申請技術(shù)方案作詳細(xì)描述。
[0031]參看圖1，在本發(fā)明實(shí)施例中，提供了一種真空排氣臺(tái)。
[0032]本發(fā)明的真空排氣臺(tái)包括真空室1、閥門2、離子栗3、排氣管4、第一真空計(jì)5、第二真空計(jì)6、載物臺(tái)7、尾管座8、加熱罩9和加熱管10。
[0033]其中，真空室I為大通道小流阻結(jié)構(gòu)，即真空室I的截面面積越大，氣體通過真空室I時(shí)受到的阻力越小，真空室I的截面面積和氣體通過真空室I時(shí)受到的阻力呈反比關(guān)系。因此，本發(fā)明的真空室I的截面面積較大，但氣體通過真空室I時(shí)受到的阻力卻很小。
[0034]真空室I，為中空長條型結(jié)構(gòu)。具體來說，真空室I的形狀可以是中空長方體型、中空圓柱體型等等，當(dāng)然也可以是其他形狀。后續(xù)將對這兩種形狀進(jìn)行具體的介紹。
[0035]在所述真空室I上開設(shè)有多個(gè)第一開口和一個(gè)排氣口，所述多個(gè)第一開口和所述排氣口分別位于所述真空室I的相對兩側(cè)壁。
[0036]閥門2，與所述真空室I的排氣口連接，其中，所述真空室I垂直于長方向上的截面面積與所述閥門2的橫截面積相等。參看圖1，真空室I為中空圓柱體結(jié)構(gòu)(也可以看做管道結(jié)構(gòu))，那么真空室I的長方向?qū)嶋H上指的是中空圓柱體結(jié)構(gòu)的軸線11的方向或者平行于軸線11的方向。
[0037]多個(gè)尾管座8，分別設(shè)置在所述多個(gè)第一開口處，所述尾管座8用于連接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室I密封連接；
[0038]所述真空室I通過所述閥門2連接所述抽真空裝置，以完成工件的抽排氣。
[0039]具體來說，在真空室I一側(cè)壁上設(shè)有一個(gè)排氣口。排氣口的具體位置在真空室I的側(cè)壁中部。排氣口與閥門2連接，閥門2的下端連接離子栗3(即抽真空裝置)，離子栗3的下端與排氣管4連接，用來將抽出的氣體輸送出去。
[0040]為了使同一批次的工件抽氣速率一致，本發(fā)明將真空室I的腔體進(jìn)行了改進(jìn)，使得真空室I的截面面積和所述閥門2的橫截面積相等。
[0041]真空室I的截面面積就是真空室I垂直于長方向的橫截面面積，請參看圖1，圖1中的真空室I是中空圓柱型結(jié)構(gòu)，真空室I的截面面積實(shí)際上就是和軸線垂直的截面面積。由于真空室I為中空圓柱型結(jié)構(gòu)，因此無論是和閥門2連接的中部的截面，或者是兩端的端口處的截面，其截面面積都是相等的，且形狀都是圓形截面。
[0042]而根據(jù)流導(dǎo)理論來說，真空室I端口的真空度與閥門2處的真空度的差值遵從流導(dǎo)理論，即真空室I端口的真空度與閥門2處的真空度與他們的截面面積比值存在一定的關(guān)系。假設(shè)閥門2的端口處的橫截面積SF1，真空室I端口處的截面積為F2,當(dāng)F2 = F1的值很小，即F2S遠(yuǎn)小于Fdt，真空室I端口處的真空度比閥門2處的真空度低2?3個(gè)數(shù)量級(jí)；iF2: F1的值約等于I時(shí)，即真空室I端口的流導(dǎo)約等于離子栗3抽氣口的流導(dǎo)(相當(dāng)于閥門2處的流導(dǎo))時(shí)，兩者的真空度處于同一數(shù)量級(jí)。
[0043]因此，本發(fā)明將真空室I的端口的截面積設(shè)置成和閥門2的橫截面積相等，那么真空室I與閥門2處的流導(dǎo)則相等，能夠使真空室I的流導(dǎo)等于離子栗3抽氣口的流導(dǎo)，使兩者的真空度處于同一數(shù)量級(jí)。解決了近端工件與遠(yuǎn)端工件真空度存在差值的問題，使離閥門2距離最遠(yuǎn)的尾管座8上的工件，其真空度也能達(dá)到超高真空，并且同一批工件的真空度都處于同一數(shù)量級(jí)。
[0044]另外，真空室I的流導(dǎo)是尾管座8處流導(dǎo)的500倍?1000倍。
[0045]以上是以中空圓柱體型的真空室I為例進(jìn)行說明，除此之外，真空室I還可以是中空長方體型結(jié)構(gòu)，那么真空室I中的長方向指的是平行于長方體中四個(gè)長方形的中心線所指的方向。而真空室I中垂直于長方向上的截面面積的形狀為正方形截面，截面面積和中空長方體型結(jié)構(gòu)中的正方形面積相等。