專利名稱：波紋管泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適于作為輸送在制造半導(dǎo)體、液晶的設(shè)備或裝置中使用的純水、藥液的送液裝置的波紋管泵(bellows pump)。
背景技術(shù)：
波紋管泵具有泵體，其具有被輸送流體的吸入通道以及排出通道；波紋管，其一端氣密地固定在泵體上，與泵體之間形成密閉空間；動(dòng)作板，安裝在波紋管的另一端，使波紋管相對(duì)泵體進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)。作為這樣的波紋管泵的例子，公知有專利文獻(xiàn)1所示的單腔式波紋管泵、專利文獻(xiàn)2所示的多腔式(往復(fù)式泵)波紋管泵。對(duì)于作為容積泵的波紋管泵，在對(duì)使波紋管伸展運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行吸入和使波紋管縮短運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行排出的動(dòng)作進(jìn)行切換時(shí)，瞬間產(chǎn)生大的壓力變動(dòng)(壓力上升)。在流體為水等液體的情況下，產(chǎn)生也稱為“水錘(水擊)”的沖擊振動(dòng)。該大的壓力變動(dòng)所引起的振動(dòng)傳遞至設(shè)備、配管，有可能產(chǎn)生如下缺陷，即，產(chǎn)生顆粒和使各部分破損(例如，使經(jīng)由配管與泵連接的石英制容器出現(xiàn)裂紋或破碎)等。因此，以往采取如下對(duì)策，即，使配管內(nèi)的流速變慢來(lái)抑制將要產(chǎn)生的振動(dòng)，或附設(shè)蓄力器(accumulator)等吸收已經(jīng)產(chǎn)生的振動(dòng)來(lái)緩和振動(dòng)。但是，前者的振動(dòng)抑制方法是減少泵的排出量，因此存在使性能降低的缺陷，在后者的振動(dòng)緩和方法中，產(chǎn)生增大設(shè)置場(chǎng)所、提高成本等問(wèn)題。這樣，在不使性能降低、不增大成本和設(shè)置場(chǎng)所面積的情況下，抑制或消除在對(duì)根據(jù)波紋管泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行的吸入以及排出進(jìn)行切換時(shí)所產(chǎn)生的沖擊振動(dòng)的對(duì)策，還有進(jìn)一步改進(jìn)的余地。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 JP特開2001-123959號(hào)公報(bào)；專利文獻(xiàn)2 JP特開2002-174180號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問(wèn)題本發(fā)明的目的在于提供一種進(jìn)一步改善了的波紋管泵，其在不使性能降低、不增大設(shè)置場(chǎng)所面積和成本的情況下或性能降低得少、設(shè)置場(chǎng)所面積和成本增大得少的情況下，能夠抑制或消除對(duì)吸入以及排出進(jìn)行切換時(shí)所產(chǎn)生的沖擊振動(dòng)。用于解決問(wèn)題的手段技術(shù)方案1的發(fā)明的波紋管泵，具有泵體1，其具有被輸送流體的吸入通道12以及排出通道13 ；波紋管2，其一端加氣密地固定在所述泵體1上，在所述波紋管2與所述泵體1之間形成有密閉空間11 ；動(dòng)作板15，其安裝在所述波紋管2的另一端2c上，用于使所述波紋管2相對(duì)于所述泵體1進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，其特征在于，在由氟樹脂制作的所述波紋管2的另一端2c與所述動(dòng)作板15之間形成有氣密狀的空間部19，并且，所述另一端2c的與所述空間部19相面對(duì)的鄰空部分20能夠彈性變形，使得所述空間部19能夠進(jìn)行伸縮。技術(shù)方案2的發(fā)明的波紋管泵的特征在于，在技術(shù)方案1記載的波紋管泵中，所述另一端2c的中心部以向所述動(dòng)作板一側(cè)開放的方式凹入，從而所述另一端2c形成為帶有底的大致筒狀的板狀部，通過(guò)所述另一端2c的配置在所述動(dòng)作板15或環(huán)狀前端面17上的密封裝置18，所述另一端2c中的凹入部分構(gòu)成所述空間部19。技術(shù)方案3的發(fā)明的波紋管泵的特征在于，在技術(shù)方案1記載的波紋管泵中，波紋管泵為以特定方式形成的往復(fù)式泵，該特定方式為，在所述泵體1的兩端部分別氣密地固定有所述波紋管2，并且通過(guò)配置在各所述波紋管2的外側(cè)的連接棒22來(lái)將分別安裝在各所述波紋管2上的所述動(dòng)作板15相連接，使得相向配置的一對(duì)所述波紋管2、2以伸/縮彼此相反的方式進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)。技術(shù)方案4的發(fā)明的波紋管泵的特征在于，在技術(shù)方案1 3中任一項(xiàng)所述的波紋管泵中，所述波紋管2由PTFE制成。發(fā)明效果根據(jù)技術(shù)方案1的發(fā)明，詳細(xì)內(nèi)容在實(shí)施方式中描述，波紋管另一端的與空間部相面對(duì)的鄰空部分能夠彈性變形，使得形成在波紋管的另一端與動(dòng)作板之間的氣密狀空間部能夠伸縮。因此，對(duì)于隨著流體急停所引起的壓力上升而引起的振動(dòng)的傳遞(水擊現(xiàn)象)，通過(guò)使鄰空部分與壓力上升同步地進(jìn)行彈性變形，來(lái)增加波紋管的內(nèi)部容積以抵消壓力上升，從而降低振動(dòng)。由此，能夠降低或避免向其他設(shè)備傳播振動(dòng)，抑制或消除設(shè)備破損或產(chǎn)生顆粒等缺陷。而且，不需要使流體速度變慢，能夠充分地發(fā)揮泵本來(lái)的性能，并且不需要其他的緩沖設(shè)備。結(jié)果，能夠提供一種進(jìn)一步改進(jìn)了的波紋管泵，其不使性能降低、不會(huì)增加成本和設(shè)置場(chǎng)所面積，或使性能降低得少、設(shè)置場(chǎng)所面積和成本增加得少，并且能夠抑制或消除對(duì)吸入以及排出進(jìn)行切換時(shí)產(chǎn)生的沖擊振動(dòng)。而且，波紋管為氟樹脂制，適用于要求高清潔性的半導(dǎo)體清洗工序或要求高耐腐蝕性的藥液供給生產(chǎn)線等。根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明，由于在厚壁板狀的波紋管的另一端設(shè)置凹入部分，在波紋管的另一端與動(dòng)作板之間形成空間部，所以具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，能夠以僅改變了波紋管而其他構(gòu)件不需要變更的合理且經(jīng)濟(jì)的方式得到技術(shù)方案1的發(fā)明的所述效果。另外，還具有通過(guò)更換波紋管來(lái)適用于現(xiàn)有機(jī)種的優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明，提供能夠有效地抑制或消除大容量的易于產(chǎn)生大的振動(dòng)的往復(fù)式泵中的沖擊振動(dòng)且實(shí)用性好的波紋管泵。 根據(jù)技術(shù)方案4的發(fā)明，作為氟樹脂采用PTFE，具有如下的效果。即，PTFE (四氟化乙烯樹脂)為常用的氟樹脂，是比較容易得到的材料，并且具有使用溫度范圍大、耐藥性、 電絕緣性、低摩擦性、非粘接性、耐候性、難燃性等好的特性，是更適用于波紋管泵的材料。


圖1是表示多腔式波紋管泵的結(jié)構(gòu)的剖視圖(第一實(shí)施例)。圖2是表示沖擊干擾裝置的結(jié)構(gòu)的主要部分的剖視圖。圖3是表示單腔式波紋管泵的結(jié)構(gòu)的剖視圖(第二實(shí)施例)。圖4是沖擊緩沖裝置的其他結(jié)構(gòu)的主要部分的原理圖。
圖5是表示本發(fā)明泵在水擊情況下的時(shí)間與沖擊壓之間的關(guān)系曲線的圖。圖6是表示以往的泵出現(xiàn)在水擊情況下的時(shí)間與沖擊壓之間的關(guān)系曲線的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的波紋管泵的實(shí)施方式。圖1是第一實(shí)施例的多腔式波紋管泵的剖視圖，圖2是沖擊緩沖裝置的主要部分圖，圖3是第二實(shí)施例的單腔式波紋管泵的剖視圖，圖4是表示沖擊緩沖裝置的其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖視圖，圖5是本發(fā)明泵在水擊情況下的“時(shí)間-沖擊壓曲線圖”，圖6是以往的泵在水擊情況下的“時(shí)間-沖擊壓曲線圖”?！驳谝粚?shí)施例〕如圖1、圖2所示，第一實(shí)施例的波紋管泵A為將一對(duì)波紋管以背靠背狀態(tài)結(jié)合的結(jié)構(gòu)，即為多腔式的結(jié)構(gòu)，是單位時(shí)間內(nèi)的排出量大的大容量泵。波紋管泵A具有在左右方向上位于中央的氟樹脂(PTFE等)制的泵體1、配置在泵體1的左右兩端的一對(duì)波紋管2、2、 一對(duì)氣缸3、3、連續(xù)設(shè)置在泵體1的左右兩端的一對(duì)中間殼4、4、連續(xù)設(shè)置在各中間殼4的左右外側(cè)的一對(duì)端部殼5、5、一對(duì)吸入用止回閥6、6、一對(duì)排出用止回閥7、7、一對(duì)非接觸式傳感器8、8等，其中，一對(duì)波紋管2、2是氟樹脂(PTFE等)制，并具有公共的軸心(泵軸心) P，一對(duì)中間殼4、4由不銹鋼材料(SUS304)等制成，一對(duì)端部殼5、5由不銹鋼材料(SUS304) 等制成。在此，簡(jiǎn)單說(shuō)明抽取作用，通過(guò)未圖示的空氣供排裝置使空氣以出/入彼此相反的方式相對(duì)于設(shè)置在各端部殼5、5的軸心P上的空氣供排口 a、a出入，使一對(duì)氣缸3、3以伸/縮彼此相反的方式進(jìn)行伸縮動(dòng)作，而使從配置在泵體1側(cè)方的流體吸入部ri吸入的藥液等流體，大致連續(xù)地從配置在流體吸入部ri上側(cè)的流體排出部ro排出。即，波紋管泵形成一對(duì)波紋管2、2以伸/縮彼此相反的方式進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)(被伸縮驅(qū)動(dòng))的結(jié)構(gòu)，在一個(gè)波紋管2進(jìn)行排出流體動(dòng)作的期間，另一個(gè)波紋管2進(jìn)行吸入流體動(dòng)作，從而雖然是往復(fù)運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，但能夠連續(xù)地排出流體。接著，說(shuō)明各部分的結(jié)構(gòu)。如圖1所示，泵體1形成為其左右兩側(cè)的中心部分向外方突出的扁平的大致圓柱狀。在形成于泵體1的左右的外周側(cè)部分的帶有階梯的凹入環(huán)槽 IA中，嵌入有波紋管2的厚壁凸緣(一端的一個(gè)例子)2a,并且該厚壁凸緣加通過(guò)夾持在泵體1與中間殼4之間的基端側(cè)圓環(huán)板9，被保持為防止脫離的狀態(tài)。在分別形成于泵體1 的左右的中心側(cè)部分的一對(duì)圓形孔(省略附圖標(biāo)記)中，嵌入保持著吸入用閥殼6A以及排出用閥殼7A，在各個(gè)閥殼6A、7A中安裝有閥芯6B、7B以及用于對(duì)閥芯6B、7B施力而將他們向閥座6a、7a按壓的螺旋彈簧10。在向作為波紋管2的內(nèi)部空間的泵室(密閉空間的一個(gè)例子)11突出的各閥殼 6A、7A的前端部形成有流體通過(guò)用的圓孔6b、7b。在泵體1上形成有吸入通道12以及排出通道13，其中，所述吸入通道12使一對(duì)吸入用止回閥6、6與流體吸入部ri連通，所述排出通道13使一對(duì)排出用止回閥7、7與流體吸入部ri連通。在圖1中描繪出了，位于右側(cè)的波紋管2處于伸展得最長(zhǎng)的上止點(diǎn)且正要進(jìn)行縮短移動(dòng)的狀態(tài)，位于左側(cè)的波紋管2處于縮短得最短的下止點(diǎn)且正要進(jìn)行伸展移動(dòng)的狀態(tài)。從而，描繪出圖1右側(cè)的排出用止回閥 7以及左側(cè)的吸入用止回閥6打開，圖1左側(cè)的排出用止回閥7以及右側(cè)的吸入用止回閥6關(guān)閉的狀態(tài)。如圖1、圖2所示，波紋管2具有上述的厚壁凸緣加、波紋部2b以及厚壁的大致圓板狀的頭部(“另一端”以及“板狀部”的一個(gè)例子)2c，在頭部2c —體安裝有動(dòng)作板15。 即，頭部2c嵌入在動(dòng)作板15上形成的中心圓孔15a中，并且，通過(guò)配置在動(dòng)作板15的泵體一側(cè)且與頭部2c的外周部相面對(duì)的前端側(cè)圓環(huán)板14來(lái)防止頭部2c脫離，由此所述頭部2c 與動(dòng)作板15相連接成能夠一體移動(dòng)。此外，前端側(cè)圓環(huán)板14通過(guò)多個(gè)螺栓16與動(dòng)作板15 連接。頭部2c的中心部以向動(dòng)作板15 —側(cè)開放的方式凹入，從而所述頭部2c形成為帶有底的大致筒狀的板狀部，在與動(dòng)作板15接觸的環(huán)狀前端面17上配置0型環(huán)(密封裝置的一個(gè)例子)18，由此頭部2c的凹入部分成為空間部19。此外，頭部2c為由橡膠等具有彈性的材料構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，僅使環(huán)狀前端面17與動(dòng)作板15壓接就能夠進(jìn)行密封，此時(shí)環(huán)狀前端面17本身成為密封裝置。由于具有作為大徑孔的空間部19，頭部2c形成為除了其外周部之外厚度都薄的薄壁部(鄰空部分的一個(gè)例子)20，因?yàn)椴y管2由氟樹脂制成，優(yōu)選由 PTFE制成，所以薄壁部20能夠進(jìn)行彈性移動(dòng)(彈性振動(dòng))。此外，波紋管2可以由既能夠塑性變形也能夠彈性變形的材料形成。S卩，在波紋管2的頭部2c與動(dòng)作板15之間形成氣密狀的空間部19，并且，頭部2c 的與空間部19相面對(duì)的薄壁部20能夠彈性變形，而使空間部19能夠伸縮(伸展以及縮小)。而且，頭部2c的中心部以向動(dòng)作板15 —側(cè)開放的方式凹入而所述頭部2c形成帶有底的大致筒狀的板狀部，在頭部2c的與動(dòng)作板15接觸的環(huán)狀前端面17上配置有作為密封裝置的0型環(huán)18，由此構(gòu)成頭部2c中的空間部19。另外，由于存在該空間部19，構(gòu)成抑制緩和對(duì)吸入以及排出(或排出以及吸入)流體進(jìn)行切換時(shí)所產(chǎn)生的沖擊振動(dòng)(水錘水擊) 的沖擊緩沖裝置(振動(dòng)緩和裝置)B。波紋管2由氟樹脂制成，優(yōu)選由PTFE (聚四氟乙烯)制成，不是通過(guò)吹塑成形而形成的，而是利用切斷刀(stick bite)或切削刀(knife)等在車床上對(duì)PTFE制的圓筒構(gòu)件進(jìn)行切削加工而形成的。如圖1、圖2所示，該波紋管2的形狀為波紋狀，在位于厚壁凸緣 2a與頭部2c之間的波紋部沘交替設(shè)置有凸部32和凹部33，在凸部32和凹部33之間連續(xù)設(shè)置有圓板狀的側(cè)面部；34。凸部32的頂部處和凹部33的最深部處的壁厚，即凸部32和凹部33的波紋管徑向上的最小壁厚設(shè)定為與側(cè)面部34的波紋管軸向上的壁厚相等，但是優(yōu)選設(shè)定為大于等于側(cè)面部34的波紋管軸向上的壁厚。對(duì)于凸部32的內(nèi)周面(波紋管2的內(nèi)表面)和凹部 33的外周面(波紋管2的外表面)，為了不產(chǎn)生銳角部分，優(yōu)選由規(guī)定的圓角或具有半徑R 的彎曲面構(gòu)成。由此，在波紋管2沿著軸向延伸時(shí)，側(cè)面部34積極地彎曲，由于該彎曲，在凸部32和凹部33的最小壁厚部分或其附近，主要使彎曲內(nèi)表面?zhèn)犬a(chǎn)生的應(yīng)力分散，從而緩和應(yīng)力集中。尤其，優(yōu)選將凸部32和凹部33各自的最小壁厚與側(cè)面部34的壁厚比設(shè)定在 1. 2 2. 5的范圍內(nèi)。由此，即使不徒然地增大凸部32、凹部33的壁厚，也能夠有效地緩和該部分的應(yīng)力集中。例如，如果凸部3、凹部33的最小壁厚為1. 4mm,側(cè)面部34的壁厚為 3. 0mm，則所述壁厚比為大約2. 1，在適當(dāng)?shù)谋诤竦姆秶鷥?nèi)。另外，所述壁厚比小于1. 2時(shí)，不能夠充分地緩和應(yīng)力，在超過(guò)2. 5時(shí)，使波紋管直徑變大，不能夠使其小型化。
左右的動(dòng)作板15、15螺接固定在連接棒22的兩端，所述連接棒22松配合地嵌入各中間殼4、4的插通孔^、4a，且能夠移動(dòng)地插通基端側(cè)圓環(huán)板9，并且以液密狀態(tài)插通泵體1中內(nèi)嵌的密封軸承21中，該連接棒22在軸心P的周圍相隔等角度設(shè)置有多個(gè)(例如 4個(gè))。密封軸承21壓入或內(nèi)嵌在帶有階梯的凹入環(huán)槽IA上形成的貫通孔Ia中，并安裝有內(nèi)外的0型環(huán)23、24。這樣，左右的動(dòng)作板15、15通過(guò)連接棒22 —體地沿著軸心P方向運(yùn)動(dòng)，從而能夠使一對(duì)波紋管2、2可靠地以伸/縮彼此相反方式進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)。接著，說(shuō)明沖擊緩沖裝置B的作用、效果。通常存在如下的缺陷，即，在內(nèi)置在波紋管泵中的流體吸入用止回閥、流體排出用止回閥進(jìn)行切換時(shí)，或者在配管系統(tǒng)中存在的開閉閥、斷流閥、單向閥(check valve)等各種閥進(jìn)行切換時(shí)，閥芯與閥座抵接(或離開)而使流體急劇地加速或減速，從使壓力急劇上升，由此在配管系統(tǒng)中產(chǎn)生沖擊振動(dòng)。在本發(fā)明的波紋管泵A中具有如下優(yōu)點(diǎn)，即，通過(guò)利用動(dòng)作板15而設(shè)置在頭部2c上的沖擊緩沖裝置 B，來(lái)緩和或消除該沖擊振動(dòng)。接著，更詳細(xì)地說(shuō)明水擊(水錘)。在一個(gè)波紋管伸展，流體從設(shè)置在波紋管泵內(nèi)的流體吸入用止回閥流入波紋管內(nèi)時(shí)，即使波紋管的伸展運(yùn)動(dòng)停止，由于慣性，流體仍然要從流體吸入用止回閥流入波紋管內(nèi)，因此波紋管內(nèi)的壓力暫時(shí)急劇上升。于是，流體吸入用止回閥急速關(guān)閉(急速切斷)，那時(shí)，要從流體吸入通道流入波紋管內(nèi)的流體被急速地切斷，由此產(chǎn)生水擊。因水擊所產(chǎn)生的沖擊、振動(dòng)傳遞至配管等，從而使石英管制的容器等出現(xiàn)裂痕等損傷。基本上，由于止回閥急速關(guān)閉而產(chǎn)生水擊，所以只要消除將成為使閥急速關(guān)閉的原因的波紋管內(nèi)壓力的急劇上升的現(xiàn)象，以使閥急速關(guān)閉現(xiàn)象不會(huì)發(fā)生，就能夠防止發(fā)生水擊。作為用于防止水擊的方法的例子，例如，考慮使波紋管的伸縮移動(dòng)速度(行進(jìn)速度)變慢，來(lái)防止閥急速關(guān)閉，但是這樣不能夠確保流量，結(jié)果難以實(shí)現(xiàn)防止水擊。如本發(fā)明那樣在頭部2c設(shè)置薄壁部20的方法具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，借助薄壁部20的彈性變形吸收波紋管內(nèi)壓力的急劇上升，來(lái)避免或減輕水擊，另外不需要降低波紋管的伸縮移動(dòng)速度，從而能夠確保規(guī)定的流量。S卩，在有大的壓力上升時(shí)，沖擊緩沖裝置B發(fā)揮作用，如圖2的假想線所示，空間部 19成為氣袋(air bag)，薄壁部20向氣袋的容積縮小的方向彈性變形，瞬間消除或大幅度降低波紋管內(nèi)的壓力上升。此外，薄壁部20設(shè)計(jì)為具有足夠的強(qiáng)度而在泵的排出壓力下實(shí)質(zhì)上不彎曲變形(準(zhǔn)確地說(shuō)，發(fā)生極小的彎曲但不會(huì)產(chǎn)生永久形變的厚度)。以往的頭部為不具有空間部19的厚壁板狀，通過(guò)減小其壁厚在頭部與動(dòng)作板15之間設(shè)置空間部19，來(lái)作為沖擊緩沖裝置B，從而形成不需要追加或改造新的部件并且不需要專用的設(shè)置空間的經(jīng)濟(jì)且合理的對(duì)策。另外，通過(guò)更換波紋管2，能夠適用于當(dāng)前的機(jī)種，富有通用性。S卩，對(duì)于隨著流體(動(dòng)能)急停所產(chǎn)生的壓力上升而引起的振動(dòng)的傳播即水擊現(xiàn)象，通過(guò)使薄壁部20與壓力上升同步地發(fā)生彈性變形而使波紋管內(nèi)部容積增加，來(lái)抵消壓力上升而降低振動(dòng)。由此，降低(或避免)向其他設(shè)備傳播振動(dòng)，能夠抑制(或消除)設(shè)備破損或產(chǎn)生顆粒等缺陷。另外，由于不需要使流體速度變慢，所以能夠充分地發(fā)揮泵本來(lái)的性能，另外，由于不需要其他的緩沖設(shè)備，還能夠減小占用空間(footprint)、降低成本。作為參考，圖5和圖6示出了本發(fā)明的波紋管泵和以往的波紋管泵中的水擊的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。根據(jù)圖6所示的以往的泵的“時(shí)間-沖擊壓曲線圖”(時(shí)間與隨時(shí)間變化的水擊的強(qiáng)度即沖擊壓之間的關(guān)系曲線)可知，沖擊壓的絕對(duì)值(平均)大約為0.25Mpa左右。相對(duì)于此，根據(jù)圖5所示的本發(fā)明的泵的“時(shí)間-沖擊壓曲線圖”可知，沖擊壓的絕對(duì)值(平均)大約為0.075Mpa左右，僅為以往的30%。即，與以往相比，采用本發(fā)明能夠得到水擊壓減少70%這樣的很好的效果?！驳诙?shí)施例〕如圖3所示，第二實(shí)施例的波紋管泵A為僅在泵體1的一側(cè)安裝有波紋管2的單腔式的泵的例子。該單腔式波紋管泵A，在一端配置有波紋管2的泵體1的另一端設(shè)置降低脈動(dòng)機(jī)構(gòu)25，另外，在動(dòng)作板15上安裝有泵軸沈、位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)27等，其中，所述泵軸26 為了使波紋管2伸縮運(yùn)動(dòng)而固定在動(dòng)作板15上，所述位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)27利用該泵軸沈和一對(duì)非接觸式傳感器8、8進(jìn)行檢測(cè)。該第二實(shí)施例的波紋管泵A中的沖擊緩沖裝置B本身與第一實(shí)施例的波紋管泵A相同。在圖3中，觀為安裝在泵體1上的泵殼，29為經(jīng)由移動(dòng)凸緣30安裝在泵軸沈上且與其一體移動(dòng)的傳感片。頭部2c通過(guò)貫通頭部2c的螺栓16而夾持在前端側(cè)圓環(huán)板14 與動(dòng)作板15之間，通過(guò)該結(jié)構(gòu)，使頭部2c形成為與動(dòng)作板15 —體移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。此外，在與第一實(shí)施例的泵具有相同功能之處標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，省略其說(shuō)明。〔第一其他實(shí)施例〕如圖4所示，作為沖擊緩沖裝置B，可以具有如下的頭部2c，即設(shè)置從薄壁部20到動(dòng)作板15的帶狀的凸緣31等，形成多個(gè)與動(dòng)作板相面對(duì)的空間部19。例如，如果形成1個(gè)通過(guò)軸心P沿著徑向橫切圖1、2所示的圓柱狀空間部的凸緣，則在沿著軸心方向觀察，形成 2個(gè)半圓形的空間部19，如果形成相互交叉的2個(gè)凸緣，則在沿著軸心方向觀察，形成4個(gè)四分之一圓形的空間部19。由此，能夠改變空間部19的氣袋的彈簧常數(shù)。另外，雖然省略了圖示，但是還能夠形成如下的沖擊緩沖裝置B，其具有由形成在厚壁的動(dòng)作板15上的凹入部形成的空間部19?！驳诙渌麑?shí)施例〕省略了圖示，作為沖擊緩沖裝置B可以是在波紋管2的內(nèi)部配置僅能夠進(jìn)行彈性縮小變形的球狀體。例如，可以配置外側(cè)覆蓋有金屬網(wǎng)的空氣能夠進(jìn)入的橡膠球等，在水擊等有大的上升壓力時(shí)，橡膠球縮小，吸收緩和壓力。即使作用有負(fù)壓，也不能夠膨脹為大于金屬網(wǎng)所限定的大小。附圖標(biāo)記說(shuō)明1泵體2波紋管2a 一端2c另一端12吸入通道13排出通道15動(dòng)作板17環(huán)狀前端面18密封裝置19空間部20鄰空部分22連接棒
權(quán)利要求
1.一種波紋管泵，具有泵體，其具有被輸送流體的吸入通道以及排出通道，波紋管，其一端氣密地固定在所述泵體上，在所述波紋管與所述泵體之間形成有密閉空間，動(dòng)作板，其安裝在所述波紋管的另一端上，用于使所述波紋管相對(duì)于所述泵體進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)；其特征在于，在由氟樹脂制作的所述波紋管的另一端與所述動(dòng)作板之間形成有氣密的空間部，并且，所述另一端的與所述空間部相面對(duì)的鄰空部分能夠彈性變形，使得所述空間部能夠進(jìn)行伸縮。
2.如權(quán)利要求1所述的波紋管泵，其特征在于，所述另一端的中心部以向所述動(dòng)作板一側(cè)開放的方式凹入，從而所述另一端形成為帶有底的大致筒狀的板狀部，通過(guò)所述另一端的配置在所述動(dòng)作板或環(huán)狀前端面上的密封裝置，所述另一端的凹入部分構(gòu)成所述空間部。
3.如權(quán)利要求1所述的波紋管泵，其特征在于，所述波紋管泵為以特定方式形成的往復(fù)式泵，該特定方式為，在所述泵體的兩端部，分別氣密地固定有所述波紋管，并且通過(guò)配置在各所述波紋管的外側(cè)的連接棒來(lái)將分別安裝在各所述波紋管上的所述動(dòng)作板相連接， 使得相向配置的一對(duì)所述波紋管以伸/縮彼此相反的方式進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的波紋管泵，其特征在于，所述波紋管由四氟化乙烯樹脂制成。
全文摘要
提供不使性能降低、不會(huì)增加成本和設(shè)置場(chǎng)所面積且抑制對(duì)吸入以及排出進(jìn)行切換時(shí)產(chǎn)生的沖擊振動(dòng)的被改進(jìn)了的波紋管泵。該波紋管泵，具有泵體(1)，其具有流體的吸入通道(12)和排出通道(13)；波紋管(2)，其基端凸緣(2a)氣密地固定在泵體(1)上，且在波紋管(2)與所述泵體(1)之間形成泵室(11)；動(dòng)作板(15)，其安裝在波紋管(2)的頭部(2c)上，使波紋管(2)相對(duì)于泵體(1)進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，將頭部(2c)形成為懸空底的形狀而在頭部(2c)與動(dòng)作板(15)之間形成氣密狀的空間部(19)，通過(guò)與空間部(19)相面對(duì)的薄壁頭部(2c)的彈性膜變形，使空間部(19)縮小，由此吸收緩和壓力上升。
文檔編號(hào)F04B43/10GK102325999SQ201080009008
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2010年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月24日
發(fā)明者中野篤, 桂將義, 足立智大 申請(qǐng)人:日本皮拉工業(yè)株式會(huì)社