專利名稱：St雙級真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種具有雙級轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)的ST雙級
真空泵。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展，真空泵已被廣泛運(yùn)用于機(jī)械設(shè)備、醫(yī)藥化工、工業(yè)電 子、低溫和真空設(shè)備等多種生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域。其主要工作原理就是利用機(jī)械、物理或 化學(xué)，以及物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空。真空泵的種類已發(fā)展了很多 種，其中，雙級真空泵憑借其強(qiáng)大的真空度，目前被普遍應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的諸多領(lǐng)域中，然 而，目前市面上出現(xiàn)的雙級真空泵均為兩個(gè)單級真空泵進(jìn)行串聯(lián)構(gòu)成的。這樣，不僅結(jié)構(gòu)過 于復(fù)雜、體積較大、重量較重，而且很難實(shí)現(xiàn)真空度的極限值。如中國專利號“03259724. X”公開的雙級真空泵，由兩臺包括泵體及泵體上設(shè)置的 吸氣口、排氣口，泵體內(nèi)安裝的帶葉片槽和葉片的轉(zhuǎn)子構(gòu)成的真空泵串聯(lián)連接，真空泵轉(zhuǎn)子 上的葉片槽為偏離轉(zhuǎn)子軸心線的斜葉片槽，后級真空泵的吸氣口連接前級泵的排氣口。再如中國專利號“200820214684. 5”公開的直聯(lián)式兩級真空泵，包括電機(jī)、風(fēng)葉、第 一級泵、第二級泵、潤滑泵以及液箱，第一級泵包括第一缸體、第一轉(zhuǎn)子和第一滑片，第二級 泵包括第二缸體、第二轉(zhuǎn)子和第二滑片，電機(jī)的輸出軸與風(fēng)葉、第一轉(zhuǎn)子、第二轉(zhuǎn)子以及潤 滑泵的潤滑主軸同軸線連接，潤滑泵的潤滑缸體安裝在第二級泵的后端部，液箱的開口端 密封固定連接在第一缸體上，第二級泵和潤滑泵均位于液箱內(nèi)。很容易看出，上述兩項(xiàng)發(fā)明創(chuàng)造均是通過將兩個(gè)單級泵體進(jìn)行串聯(lián)后得到雙級真 空泵的，雖實(shí)現(xiàn)了雙級真空泵良好的抽氣效果，但卻存在著結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、體積較大、重量 比較重，很難實(shí)現(xiàn)真空度的極限值等不足之處。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，體積小、重 量輕、抽速快，并能夠在入口壓力接近極限壓力時(shí)仍具有較高抽氣率的，具有雙級轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu) 的ST雙級真空泵。本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)ST雙級真空泵，包括一泵體，在所述泵體上分別設(shè)有吸氣口和排氣口，所述吸氣 口上還設(shè)有吸氣止位閥，所述吸氣止位閥的上方還設(shè)有吸氣過濾裝置，在所述泵體的內(nèi)部 還設(shè)有一泵腔，其特征在于在所述泵腔內(nèi)壓設(shè)有一偏心中壁，所述偏心中壁將所述泵腔一 分為二，形成相互獨(dú)立的高級轉(zhuǎn)子腔和低級轉(zhuǎn)子腔，在所述高級轉(zhuǎn)子腔內(nèi)設(shè)有高級轉(zhuǎn)子，所 述低級轉(zhuǎn)子腔內(nèi)設(shè)有低級轉(zhuǎn)子，所述高級轉(zhuǎn)子的一端穿過所述偏心中壁與所述低級轉(zhuǎn)子相 連，所述高級轉(zhuǎn)子的另一端通過聯(lián)軸器與電機(jī)相連，在所述高級轉(zhuǎn)子與所述低級轉(zhuǎn)子上均 設(shè)有旋片槽，所述旋片槽內(nèi)卡設(shè)有旋片，所述高級轉(zhuǎn)子與所述低級轉(zhuǎn)子通過設(shè)置在所述泵 腔兩端的端蓋被封裝在所述泵體內(nèi)。[0009]本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于所述排氣口是由一排高級轉(zhuǎn)子排氣口和一個(gè)低級 轉(zhuǎn)子排氣口所組成；在所述低級轉(zhuǎn)子排氣口的下方還設(shè)有一低級轉(zhuǎn)子吸氣口，在所述排氣口的外側(cè)還 設(shè)有一排氣閥座； 在所述排氣閥座上還設(shè)有兩組高級轉(zhuǎn)子排氣孔和一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔；所述兩組高級轉(zhuǎn)子排氣孔與所述一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔之間相互隔開；在所述兩組高級轉(zhuǎn)子排氣孔與所述一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔的每個(gè)排氣孔上均設(shè)有 排氣閥。本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)還在于所述偏心中壁的偏心距為15-20度之間。本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)還在于在所述低級轉(zhuǎn)子的內(nèi)圈上還設(shè)有鍵位槽，所述 鍵位槽對應(yīng)的所述高級轉(zhuǎn)子上還設(shè)有限位凹槽；所述限位凹槽與所述鍵位槽相卡接，使得所述高級轉(zhuǎn)子上的高級旋片槽與所述低 級轉(zhuǎn)子上的低級旋片槽之間呈現(xiàn)90度夾角，這樣就會使得所述高級轉(zhuǎn)子腔在排氣時(shí)，所述 低級轉(zhuǎn)子腔就會在吸氣。本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)還在于所述高級旋片槽在所述高級轉(zhuǎn)子上的數(shù)量為三 個(gè)或三個(gè)以上，所述高級旋片槽在所述高級轉(zhuǎn)子上為傾斜設(shè)置，且中心偏角為15-20度之 間；所述低級旋片槽在所述低級轉(zhuǎn)子上的數(shù)量也為三個(gè)或三個(gè)以上，所述低級旋片槽 在所述低級轉(zhuǎn)子上也為傾斜設(shè)置，且中心偏角在18-25度之間。本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)還在于在所述旋片上設(shè)有集油槽。本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)還在于在所述聯(lián)軸器外圍還設(shè)有連接架，所述連接架 的一側(cè)與所述泵體相連，所述連接架的另一側(cè)與所述電機(jī)相連，在所述連接架內(nèi)還設(shè)有風(fēng) 扇，所述連接架的外面還設(shè)有風(fēng)扇罩。本實(shí)用新型具有的有益效果是；通過在同一泵體內(nèi)增設(shè)一個(gè)偏心中壁，將泵體一 分為二，形成雙泵腔，從而實(shí)現(xiàn)雙級轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)。避免了將兩個(gè)單級泵進(jìn)行串聯(lián)后再得到雙級 真空泵的不足。不僅結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，而且真空度高。

圖1為本實(shí)用新型ST雙級真空泵的橫向剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型ST雙級真空泵的縱向剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中的泵體整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中的偏心中壁的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中的高級轉(zhuǎn)子、偏心中壁以及低級轉(zhuǎn)子連接狀 態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中的低級轉(zhuǎn)子剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中的高級轉(zhuǎn)子整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中的排氣閥座的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中泵體兩端端蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本實(shí)用新型ST雙級真空泵中的連接架以及風(fēng)撒罩的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)新的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解， 下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。參照圖1-10所示，ST雙級真空泵，包括泵體1，在泵體1上分別設(shè)置有吸氣口 2和 排氣口 3，以及設(shè)置在泵體1內(nèi)部的泵腔4。其中，在吸氣口 2的上面還設(shè)有吸氣止位閥21， 吸氣止位閥21在真空泵吸氣時(shí)便打開，在真空泵不吸氣時(shí)便關(guān)閉，以防止泵腔4內(nèi)的油返 流。在吸氣止位閥21的上方還設(shè)置有吸氣過濾裝置22，以便于將被抽氣體中的粉塵及雜質(zhì) 過濾掉。泵腔4為一內(nèi)徑相同的通孔，在泵腔4內(nèi)壓設(shè)有一偏心中壁41，所述偏心中壁41 的偏心距為15-20度之間。S卩，偏心中壁41的內(nèi)圓圓心處在偏心中壁41的外圓圓心與水 平方向成15-20度角之間的斜角邊上。偏心中壁41的外圈表面與泵腔4的內(nèi)壁非常緊密 的接觸，致使偏心中壁41將泵腔4 一分為二，從而形成相互獨(dú)立的高級轉(zhuǎn)子腔42和低級轉(zhuǎn) 子腔43，在高級轉(zhuǎn)子腔42內(nèi)設(shè)置有高級轉(zhuǎn)子44，在低級轉(zhuǎn)子腔43內(nèi)設(shè)有低級轉(zhuǎn)子45，在高 級轉(zhuǎn)子44上設(shè)有三個(gè)或三個(gè)以上高級旋片槽441，并高級旋片槽441在高級轉(zhuǎn)子44上為傾 斜設(shè)置，且中心偏角為15-20度之間；在低級轉(zhuǎn)子45上也設(shè)有三個(gè)或三個(gè)以上低級旋片槽 451，并低級旋片槽451在低級轉(zhuǎn)子45上也為傾斜設(shè)置，且中心偏角為18-25度之間。在高 級旋片槽441內(nèi)卡設(shè)有高級旋片46 ；在低級旋片槽451內(nèi)也卡設(shè)有低級旋片47。在高級旋 片46與低級旋片47上均設(shè)有集油槽48。其中，高級轉(zhuǎn)子44的兩端為細(xì)長的連接軸，高級轉(zhuǎn)子44 一端的連接軸穿過所述偏 心中壁41與低級轉(zhuǎn)子45相連，偏心中壁41與高級轉(zhuǎn)子44之間通過軸承49相連接，以實(shí)現(xiàn) 高級轉(zhuǎn)子44在泵腔4內(nèi)的自由轉(zhuǎn)動。在低級轉(zhuǎn)子45的內(nèi)圈上還設(shè)有鍵位槽452，在鍵位槽 452對應(yīng)的高級轉(zhuǎn)子44 一端的連接軸上還設(shè)有限位凹槽442。限位凹槽442與鍵位槽452 相卡接，使得高級轉(zhuǎn)子44上的高級旋片槽441與低級轉(zhuǎn)子45上的低級旋片槽451之間呈 現(xiàn)90度夾角，這樣就會使得高級轉(zhuǎn)子腔42在排氣時(shí)，低級轉(zhuǎn)子腔43就會在吸氣。另外，高 級轉(zhuǎn)子44的另一端通過聯(lián)軸器5與電機(jī)6相連，高級轉(zhuǎn)子44與低級轉(zhuǎn)子45通過設(shè)置在泵 腔4兩端的端蓋7被封裝在泵體1內(nèi)。在聯(lián)軸器5的外圍還設(shè)有連接架8，連接架8的一側(cè) 與泵體1固定相連接，連接架8的另一側(cè)與電機(jī)6固定相連，在連接架8內(nèi)還設(shè)有風(fēng)扇9， 連接架8的外面還設(shè)有風(fēng)扇罩10。排氣口 3是由一排由多個(gè)排氣口組成的高級轉(zhuǎn)子排氣口 31和由一個(gè)排氣孔構(gòu)成 的低級轉(zhuǎn)子排氣口 32所組成，在低級轉(zhuǎn)子排氣口 32的下方還設(shè)有一低級轉(zhuǎn)子吸氣口 33。 在排氣口 3的外側(cè)還設(shè)有一排氣閥座34，在排氣閥座34上還設(shè)有兩組由數(shù)個(gè)排氣孔組成的 高級轉(zhuǎn)子排氣孔341和一組由數(shù)個(gè)排氣孔組成的低級轉(zhuǎn)子排氣孔342;其中，兩組高級轉(zhuǎn)子 排氣孔341與一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔342之間是相互隔開的；在兩組高級轉(zhuǎn)子排氣孔341與 一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔342的每個(gè)排氣孔上均設(shè)有排氣閥343。本實(shí)用新型通過在同一泵體1內(nèi)增設(shè)一個(gè)偏心中壁41，將泵體1 一分為二，形成雙 泵腔，從而實(shí)現(xiàn)雙級轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)。避免了將兩個(gè)單級泵進(jìn)行串聯(lián)后再得到雙級真空泵的不足。 不僅結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，而且真空度高。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述 的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還 會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型 要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.ST雙級真空泵，包括一泵體，在所述泵體上分別設(shè)有吸氣口和排氣口，所述吸氣口上 還設(shè)有吸氣止位閥，所述吸氣止位閥的上方還設(shè)有吸氣過濾裝置，在所述泵體的內(nèi)部還設(shè) 有一泵腔，其特征在于在所述泵腔內(nèi)壓設(shè)有一偏心中壁，所述偏心中壁將所述泵腔一分為 二，形成相互獨(dú)立的高級轉(zhuǎn)子腔和低級轉(zhuǎn)子腔，在所述高級轉(zhuǎn)子腔內(nèi)設(shè)有高級轉(zhuǎn)子，所述低 級轉(zhuǎn)子腔內(nèi)設(shè)有低級轉(zhuǎn)子，所述高級轉(zhuǎn)子的一端穿過所述偏心中壁與所述低級轉(zhuǎn)子相連， 所述高級轉(zhuǎn)子的另一端通過聯(lián)軸器與電機(jī)相連，在所述高級轉(zhuǎn)子與所述低級轉(zhuǎn)子上均設(shè)有 旋片槽，所述旋片槽內(nèi)卡設(shè)有旋片，所述高級轉(zhuǎn)子與所述低級轉(zhuǎn)子通過設(shè)置在所述泵腔兩 端的端蓋被封裝在所述泵體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于所述排氣口是由一排高級轉(zhuǎn)子 排氣口和一個(gè)低級轉(zhuǎn)子排氣口所組成；在所述低級轉(zhuǎn)子排氣口的下方還設(shè)有一低級轉(zhuǎn)子吸氣口，在所述排氣口的外側(cè)還設(shè)有 一排氣閥座；在所述排氣閥座上還設(shè)有兩組高級轉(zhuǎn)子排氣孔和一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔；所述兩組高級轉(zhuǎn)子排氣孔與所述一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔之間相互隔開；在所述兩組高級轉(zhuǎn)子排氣孔與所述一組低級轉(zhuǎn)子排氣孔的每個(gè)排氣孔上均設(shè)有排氣閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于所述偏心中壁的偏心距為 15-20度之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于在所述低級轉(zhuǎn)子的內(nèi)圈上還設(shè) 有鍵位槽，所述鍵位槽對應(yīng)的所述高級轉(zhuǎn)子上還設(shè)有限位凹槽；所述限位凹槽與所述鍵位槽相卡接，使得所述高級轉(zhuǎn)子上的高級旋片槽與所述低級轉(zhuǎn) 子上的低級旋片槽之間呈現(xiàn)90度夾角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于所述高級旋片槽在所述高級轉(zhuǎn) 子上的數(shù)量為三個(gè)或三個(gè)以上；所述高級旋片槽在所述高級轉(zhuǎn)子上為傾斜設(shè)置，且中心偏角為15-20度之間； 所述低級旋片槽在所述低級轉(zhuǎn)子上的數(shù)量也為三個(gè)或三個(gè)以上； 所述低級旋片槽在所述低級轉(zhuǎn)子上也為傾斜設(shè)置，且中心偏角在18-25度之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于在所述聯(lián)軸器外圍還設(shè)有連接架；所述連接架的一側(cè)與所述泵體相連，所述連接架的另一側(cè)與所述電機(jī)相連； 在所述連接架內(nèi)還設(shè)有風(fēng)扇，所述連接架的外面還設(shè)有風(fēng)扇罩。
專利摘要ST雙級真空泵涉及真空泵領(lǐng)域，包括一泵體，在泵體上設(shè)有吸氣口和排氣口，吸氣口上設(shè)有吸氣止位閥，吸氣止位閥上方設(shè)有吸氣過濾裝置，在泵體內(nèi)部還設(shè)有一泵腔，其特征在于在泵腔內(nèi)壓設(shè)一偏心中壁，偏心中壁將泵腔一分為二，形成高級轉(zhuǎn)子腔和低級轉(zhuǎn)子腔，在高級轉(zhuǎn)子腔內(nèi)設(shè)有高級轉(zhuǎn)子，低級轉(zhuǎn)子腔內(nèi)設(shè)有低級轉(zhuǎn)子，高級轉(zhuǎn)子的一端穿過偏心中壁與低級轉(zhuǎn)子相連，高級轉(zhuǎn)子的另一端通過聯(lián)軸器與電機(jī)相連，在高級轉(zhuǎn)子與低級轉(zhuǎn)子上均設(shè)有旋片槽，旋片槽內(nèi)卡有旋片，高級轉(zhuǎn)子與低級轉(zhuǎn)子通過設(shè)在泵腔兩端的端蓋封裝在泵體內(nèi)。通過在泵體內(nèi)增設(shè)偏心中壁，將泵體一分為二，形成雙泵腔，實(shí)現(xiàn)雙級轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)。不僅結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，而且真空度高。
文檔編號F04B41/06GK201925132SQ201020629168
公開日2011年8月10日 申請日期2010年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月26日
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