專利名稱：一種真空電弧鈦泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空電弧鈦泵，屬于電弧裝置技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
鈦泵作為一種吸氣劑泵，其工作過(guò)程是將鈦以各種方式不斷蒸發(fā)升華而沉積在泵 壁上形成一層層鈦膜，氣體分子與鈦膜化合形成固定化合物，這相當(dāng)于將氣體抽走了。目 前，鈦泵主要有鈦升華泵、彈道式鈦泵和濺射離子泵。這些鈦泵大一定程度上能滿足工業(yè)要 求，但它們也存在缺點(diǎn)抽氣效率低，結(jié)構(gòu)笨重。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種真空電弧鈦泵。本實(shí)用新型可以通過(guò)采取以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)一種真空電弧鈦泵，包括泵體、鈦蒸發(fā)源、引弧桿、鈦靶、法蘭、真空室和電源，所述 鈦蒸發(fā)源置于泵體的左邊，鈦靶置于泵體的右邊，所述引弧桿置于鈦蒸發(fā)源與鈦靶之間，所 述鈦蒸發(fā)源與引弧桿分別通過(guò)開(kāi)關(guān)與電源相連，所述泵體的左側(cè)壁上設(shè)有通氣孔，所述通 氣孔通過(guò)法蘭與真空室相連，所述泵體的右側(cè)壁上設(shè)置有抽風(fēng)孔。在上述基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型所述的抽風(fēng)孔內(nèi)設(shè)有鈦粒子遮擋板；所述抽風(fēng)孔的出 口處設(shè)有抽風(fēng)機(jī)；所述泵體的左側(cè)壁上設(shè)有觀察窗；所述鈦靶的右側(cè)設(shè)有電磁裝置；所述 電磁裝置為磁條或電磁線圈。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型將鈦蒸發(fā)源和鈦靶都 設(shè)置在泵體內(nèi)，使其在泵體內(nèi)蒸發(fā)升華，同時(shí)利用抽風(fēng)孔抽出氣體使泵體內(nèi)形成的鈦膜能 與氣體反應(yīng)，能快速地吸收氣體，使工業(yè)過(guò)程能順利進(jìn)行。另外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作 方便，適用性廣。

圖1是本實(shí)用新型的真空電弧鈦泵的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作詳細(xì)描述。如圖1所示，本實(shí)用新型的真空電弧鈦泵，包括泵體1、鈦蒸發(fā)源2、引弧桿3、鈦靶 4、法蘭5、真空室6和電源7，所述鈦蒸發(fā)源2置于泵體1的左邊，鈦靶4置于泵體1的右邊， 所述引弧桿3置于鈦蒸發(fā)源2與鈦靶4之間，所述鈦蒸發(fā)源2與引弧桿3分別通過(guò)開(kāi)關(guān)與 電源7相連，所述泵體1的左側(cè)壁上設(shè)有通氣孔8，所述通氣孔8通過(guò)法蘭5與真空室6相 連，所述泵體1的右側(cè)壁上設(shè)置有抽風(fēng)孔9。在上述基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型所述的抽風(fēng)孔9內(nèi)設(shè)有鈦粒子遮擋板10，防止鈦粒子 外泄；所述抽風(fēng)孔9的出口處設(shè)有抽風(fēng)機(jī)11 ；所述泵體1的左側(cè)壁上設(shè)有觀察窗12，供用戶觀察鈦蒸發(fā)情況；所述鈦靶4的右側(cè)設(shè)有電磁裝置13 ；所述電磁裝置為磁條或電磁線圈，用 于吸附鈦粒子，使其不偏離鈦靶方向。鈦泵運(yùn)行時(shí)，電源接通，引弧桿迅速與鈦靶接觸，鈦蒸發(fā)源開(kāi)始蒸發(fā)升華，鈦靶吸 附鈦粒子，同時(shí)，法蘭打開(kāi)，抽風(fēng)機(jī)將真空室內(nèi)的氣體抽出與鈦粒子反應(yīng)形成固定化合物。本實(shí)用新型將鈦蒸發(fā)源和鈦靶都設(shè)置在泵體內(nèi)，使其在泵體內(nèi)蒸發(fā)升華，同時(shí)利 用抽風(fēng)孔抽出氣體使泵體內(nèi)形成的鈦膜能與氣體反應(yīng)，能快速地吸收氣體，使工業(yè)過(guò)程能 順利進(jìn)行。另外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，適用性廣。
權(quán)利要求1.一種真空電弧鈦泵，其特征在于包括泵體、鈦蒸發(fā)源、引弧桿、鈦靶、法蘭、真空室和 電源，所述鈦蒸發(fā)源置于泵體的左邊，鈦靶置于泵體的右邊，所述引弧桿置于鈦蒸發(fā)源與鈦 靶之間，所述鈦蒸發(fā)源與引弧桿分別通過(guò)開(kāi)關(guān)與電源相連，所述泵體的左側(cè)壁上設(shè)有通氣 孔，所述通氣孔通過(guò)法蘭與真空室相連，所述泵體的右側(cè)壁上設(shè)置有抽風(fēng)孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電弧鈦泵，其特征在于所述的抽風(fēng)孔內(nèi)設(shè)有鈦粒子遮擋板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電弧鈦泵，其特征在于所述抽風(fēng)孔的出口處設(shè)有抽風(fēng)機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電弧鈦泵，其特征在于所述泵體的左側(cè)壁上設(shè)有觀察窗。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的真空電弧鈦泵，其特征在于所述鈦靶的右側(cè)設(shè) 有電磁裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空電弧鈦泵，其特征在于所述電磁裝置為磁條或電磁線圈。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空電弧鈦泵，包括泵體、鈦蒸發(fā)源、引弧桿、鈦靶、法蘭、真空室和電源，所述鈦蒸發(fā)源置于泵體的左邊，鈦靶置于泵體的右邊，所述引弧桿置于鈦蒸發(fā)源與鈦靶之間，所述鈦蒸發(fā)源與引弧桿分別通過(guò)開(kāi)關(guān)與電源相連，所述泵體的左側(cè)壁上設(shè)有通氣孔，所述通氣孔通過(guò)法蘭與真空室相連，所述泵體的右側(cè)壁上設(shè)置有抽風(fēng)孔。本實(shí)用新型將鈦蒸發(fā)源和鈦靶都設(shè)置在泵體內(nèi)，使其在泵體內(nèi)蒸發(fā)升華，同時(shí)利用抽風(fēng)孔抽出氣體使泵體內(nèi)形成的鈦膜能與氣體反應(yīng)，能快速地吸收氣體，使工業(yè)過(guò)程能順利進(jìn)行。
文檔編號(hào)F04B37/14GK201891569SQ201020629048
公開(kāi)日2011年7月6日 申請(qǐng)日期2010年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月26日
發(fā)明者黃瑞安 申請(qǐng)人:黃瑞安