專利名稱：真空泵系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種真空泵系統(tǒng)，尤指一種達成泵空載運轉(zhuǎn)時節(jié)能的真空泵系 統(tǒng)。
背景技術(shù)：
真空泵的主要目的，是在創(chuàng)造低于大氣壓力的真空環(huán)境，借以營造更加潔凈的環(huán) 境、良好的工藝及產(chǎn)品質(zhì)量，因此真空泵被廣泛應(yīng)用于石化工業(yè)、制造業(yè)以及醫(yī)療業(yè)環(huán)境 中。在公知抽真空系統(tǒng)建制下，當工藝腔室真空條件已達成，便切斷泵與工藝腔室的 連通，而此同時真空泵是處于空載運轉(zhuǎn)狀態(tài)。因吸入側(cè)與排出側(cè)存在著頗大壓差，此空載運 轉(zhuǎn)耗功很大。中國臺灣專利公告號1267581揭露一種真空排氣裝置，如圖1所示，其主要架構(gòu)為 一逆止閥2設(shè)于一主真空泵1的排出側(cè)，并加裝一輔助真空泵3與逆止閥2并聯(lián)。通過輔 助真空泵3將主真空泵1的排出側(cè)壓力降低，縮小吸入側(cè)與排出側(cè)壓差，以節(jié)省主真空泵1 于空轉(zhuǎn)狀態(tài)下的能量消耗。然而，上述公知解決方案需額外提供一真空泵，顯然所費不貲，而且此額外真空泵 亦有維修保養(yǎng)的必要，更增添系統(tǒng)整體成本負擔(dān)，因此并非十分理想。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種真空泵系統(tǒng)，使能節(jié)省真空泵于空載運轉(zhuǎn)時的耗 H1^ ο為達成上述目的，本實用新型的技術(shù)解決方案是一種真空泵系統(tǒng)包括一第一連通管路、一第二連通管路、一第三連通管路、一第一 控制閥、一真空泵、及一逆止閥。上述真空泵包括有一吸入側(cè)、與一排出側(cè)。上述第一連通管路分別連接于第一控制閥的一出氣端與真空泵吸入側(cè)，第二連通 管路分別連接于第一控制閥的一入氣端與真空泵排出側(cè)，第三連通管路分別連接于真空泵 排出側(cè)與逆止閥的一入氣端。真空泵的吸入側(cè)與排出側(cè)之間通過第一控制閥選擇式連通。 上述逆止閥是設(shè)于第二連通管路之后。上述真空泵的吸入側(cè)可通過一第四連通管路而連通至一工藝腔體，且第四連通管 路上可組設(shè)有一第二控制閥。通過上述系統(tǒng)，當真空泵吸入側(cè)所連通的工藝腔體已達所需壓力，且連接于工藝 腔體與真空泵之間的第二控制閥已關(guān)閉，真空泵處于空載運轉(zhuǎn)時，此時第一控制閥即會打 開，因真空泵排出側(cè)氣體再度被導(dǎo)回吸入側(cè)，氣體于泵內(nèi)部循環(huán)、兩端壓力獲得平衡，避免 了排出側(cè)氣體不斷被重復(fù)壓縮而耗功的情形，整個系統(tǒng)耗電也獲得極大改善。真空泵系統(tǒng)還可包括一壓力傳感器、與一控制器，壓力傳感器是設(shè)于工藝腔體內(nèi)， 控制器分別電連接于壓力傳感器與第二控制閥，當控制器接收到壓力傳感器反應(yīng)工藝腔體已達目標壓力的訊號，即關(guān)閉第二控制閥。關(guān)于第一控制閥的自動控制設(shè)計至少有以下兩種。一為，通過上述第二控制閥的 控制器來同時控制第一控制閥；或者，另設(shè)置一專用控制器負責(zé)第一控制閥的開閉。此兩種 設(shè)計皆可設(shè)定當接收到工藝腔體與真空泵之間的第二控制閥已關(guān)閉的訊號，自動打開第一 控制閥，使系統(tǒng)進入節(jié)能模式。真空泵系統(tǒng)還可包括一消音器，組設(shè)于逆止閥 的出氣端。本實用新型的有益效果是，相較于公知的現(xiàn)有專利案需加裝一額外真空泵，本實 用新型僅需加裝一電磁閥，不僅初期制造成本低，后續(xù)維修成本顯然亦為一優(yōu)勢。

圖1是公知真空泵系統(tǒng)示意圖；圖2是本實用新型第一較佳實施例的真空泵系統(tǒng)示意圖；圖3是本實用新型第二較佳實施例的真空泵系統(tǒng)示意圖。主要元件符號說明主真空泵1逆止閥2輔助真空泵3工藝腔體11真空泵12吸入側(cè)121排出側(cè)122第一控制閥13入氣端131，141，151出氣端132，142，152 第二控制閥14逆止閥15消音器16控制器17，19壓力傳感器18第一連通管路Ll第二連通管路L2第三連通管路L3第四連通管路L具體實施方式
參考圖2，圖中為半導(dǎo)體工藝所使用的抽真空系統(tǒng)，包括有半導(dǎo)體相關(guān)的工藝腔體 11、一真空泵12、一第一控制閥13、一第二控制閥14、一逆止閥15、一消音器16、一控制器 17、及一壓力傳感器18。工藝腔體11與真空泵12之間是通過一第四連通管路L4而連接，而第二控制閥14 組設(shè)于第四連通管路L4中，第二控制閥入氣端141對應(yīng)于工藝腔體11，出氣端142則對應(yīng) 于真空泵12。真空泵12的排出側(cè)122另接出一第三連通管路L3，而逆止閥15與消音器16 依序自真空泵12的排出側(cè)122之后組設(shè)于第三連通管路L3中，逆止閥入氣端151對應(yīng)于 真空泵12，出氣端152對應(yīng)于消音器16。第一控制閥13是組設(shè)在一第一連通管路Ll與第二連通管路L 2之間，第一連通 管路Ll分別連接于第一控制閥13的出氣端132與真空泵吸入側(cè)121，第二連通管路L2分 別連接于第一控制閥13的入氣端131與真空泵排出側(cè)122。逆止閥15是位于第二連通管 路L2之后ο控制器17分別電性連接于第一控制閥13、第二控制閥14、及壓力傳感器18，壓力傳感器18設(shè)置在工藝腔體11內(nèi)部，用以檢測工藝腔體11內(nèi)的抽真空程度。控制器17接 收壓力傳感器18傳回的信息據(jù)以決定第一控制閥13與第二控制閥14的開閉。當真空泵12已完成對工藝腔體11抽真空的步驟(即腔體內(nèi)壓力已低至特定水 平)，此時壓力傳感器18將所讀取的壓力信息傳遞至控制器17，控制器17則開始關(guān)閉第二 控制閥14、并打開第一控制閥13。此時因第一控制閥13的開啟，第一連通管路Ll與第二連通管路L2使得真空泵12 的吸入側(cè)121與排出側(cè)122為連通，排出側(cè)122氣體被導(dǎo)回吸入側(cè)121，氣體便于真空泵12 本身內(nèi)循環(huán)流動，也意味著此二處壓力幾近平衡。據(jù)此，即使真空泵12持續(xù)運轉(zhuǎn)，因吸入側(cè) 121與排出側(cè)122壓力差極小，其耗電量并不高。第三連通管路L 3中的逆止閥15可確保真空泵12排出側(cè)122壓力不致再回升。 消音器16負責(zé)將泵運作期間噪音減低。由上述可知，本實用新型是將真空泵兩端以管路連通，并于管路中設(shè)一閥門以選 擇式開閉管 路的連通，當管路的連通關(guān)閉時，適合真空泵正常運轉(zhuǎn)；而當管路的連通開啟 時，氣體于真空泵內(nèi)循環(huán)以避免排出側(cè)氣體不斷被重復(fù)壓縮耗功，適合真空泵空載運轉(zhuǎn)。經(jīng) 實際驗證結(jié)果，利用本實用新型的抽真空系統(tǒng)可讓真空泵電流消耗節(jié)省，甚至可達40%。相較之下，前述公知專利輔助真空泵是與主真空泵同時運轉(zhuǎn)，顯然比主真空泵單 獨運轉(zhuǎn)時更耗電，其更自認合并兩泵運轉(zhuǎn)消耗電力只有在工藝腔體已完成抽真空步驟、輔 助真空泵真正開始發(fā)揮作用時，整體電力消耗才會開始減少。而且利用本實用新型更免除 了維修保養(yǎng)輔助真空泵的必要。參考圖3，為第二實施例的真空泵系統(tǒng)示意圖。本實施例系統(tǒng)架構(gòu)與第一例的差 異在于，第一控制閥13的開閉是受另一控制器19所控制，且控制器19當然亦與第二控制 閥14電連接。當?shù)诙刂崎y14關(guān)閉的訊號被控制器19所接收，控制器19便開啟第一控 制閥13以使系統(tǒng)進入節(jié)能模式。上述實施例僅是為了方便說明而舉例，本實用新型所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以權(quán)利 要求書保護的范圍所述為準，而非僅限于上述實施例。
權(quán)利要求一種真空泵系統(tǒng)，其特征在于，包括一第一連通管路；一第二連通管路；一第三連通管路；一第一控制閥，組設(shè)于該第一連通管路與該第二連通管路之間；一逆止閥；以及一真空泵，包括有一吸入側(cè)、與一排出側(cè)，其中該第一連通管路分別連接于該第一控制閥的一出氣端與該吸入側(cè)，該第二連通管路分別連接于該第一控制閥的一入氣端與該排出側(cè)，該第三連通管路分別連接于該排出側(cè)與該逆止閥的一入氣端，且該逆止閥位于該第二連通管路之后，該真空泵的該吸入側(cè)與該排出側(cè)之間通過該第一控制閥選擇式連通。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空泵的該吸入側(cè)通過一第四連通管 路而連通至一工藝腔體。
3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一第二控制閥，組設(shè)于該第四連通管 路中。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一壓力傳感器、與一第一控制器，該 壓力傳感器設(shè)于該工藝腔體內(nèi)，該第一控制器分別電連接于該壓力傳感器與該第二控制 閥。
5.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一控制器還電連接于該第一控制閥。
6.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一第二控制器，電連接于該第一控制閥。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一消音器，組設(shè)于該逆止閥的一出氣端。
專利摘要本實用新型是有關(guān)于一種真空泵系統(tǒng)，包括一真空泵、一第一連通管路(L1)、一控制閥、一第二連通管路(L2)、一第三連通管路(L3)、與一逆止閥?？刂崎y組設(shè)于第一連通管路與第二連通管路之間，第一連通管路分別連接于控制閥出氣端與真空泵的吸入側(cè)，第二連通管路分別連接于控制閥入氣端與真空泵的排出側(cè)，第三連通管路分別連接于真空泵的排出側(cè)與逆止閥入氣端。通過控制閥，使真空泵吸入側(cè)與排出側(cè)之間為選擇式連通。借此，以極低建制成本達到一節(jié)能式真空泵系統(tǒng)，且后續(xù)維修成本亦不高。
文檔編號F04B37/14GK201763565SQ20102016765
公開日2011年3月16日 申請日期2010年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月6日
發(fā)明者劉明信, 劉邱豪, 方宏聲, 蘇焜誠 申請人:漢鐘精機股份有限公司