技術(shù)編號：5469332
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種真空泵系統(tǒng)，尤指一種達(dá)成泵空載運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)節(jié)能的真空泵系 統(tǒng)。背景技術(shù)真空泵的主要目的，是在創(chuàng)造低于大氣壓力的真空環(huán)境，借以營造更加潔凈的環(huán) 境、良好的工藝及產(chǎn)品質(zhì)量，因此真空泵被廣泛應(yīng)用于石化工業(yè)、制造業(yè)以及醫(yī)療業(yè)環(huán)境 中。在公知抽真空系統(tǒng)建制下，當(dāng)工藝腔室真空條件已達(dá)成，便切斷泵與工藝腔室的 連通，而此同時(shí)真空泵是處于空載運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。因吸入側(cè)與排出側(cè)存在著頗大壓差，此空載運(yùn) 轉(zhuǎn)耗功很大。中國臺灣專利公告號1267581揭露一種真空排氣裝置，如...
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