專利名稱：真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空泵，其中泵殼設(shè)有氣密電引入組件。
背景技術(shù)：
真空泵通常包括設(shè)置在真空密封殼內(nèi)的電氣部件，例如電動馬達(dá)、電致傳感器、磁推軸承等。真空側(cè)上的電氣部件須通過電線連接至該殼的外部。為達(dá)到該目的，須經(jīng)由氣密電引入組件將電線從殼的內(nèi)部引導(dǎo)至殼的外部。
由現(xiàn)有技術(shù)公知一種引入組件，其由設(shè)有貫穿的接觸銷的接觸板構(gòu)成，將所述接觸板構(gòu)造成封閉殼的相應(yīng)孔。接觸板借助密封環(huán)朝所述殼孔的邊緣密封。所述接觸銷在接觸板中的密封難于實現(xiàn)，并且在機械應(yīng)力作用在接觸板上的情況下是不可靠的。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到以上所述，本發(fā)明的目的之一是提供一種真空泵，其殼設(shè)有可靠的氣密電引入組件。
通過具有如權(quán)利要求1所述特征的真空泵來實現(xiàn)上述目的。
根據(jù)本發(fā)明的真空泵包括氣密殼和設(shè)置在該殼內(nèi)的電氣組件。用于在所述電氣組件與殼外部之間建立電連接的氣密電引入組件由以
下構(gòu)件構(gòu)成殼中的孔；密封物料本體，其布置在該殼的孔上，并帶有在殼內(nèi)部與殼外部之間延伸、穿過所述密封物料本體的電線；密封環(huán)，其設(shè)置在殼孔的孔邊與密封物料本體之間；以及固定裝置，其用來將密封物料本體緊固于殼。因此，該引入組件主要由三個元件組成，即將所有電線澆鑄于其中的密封物料本體、用于確保在密封物料本體與孔邊之間的氣密及真空密封的密封環(huán)以及密封物料本
體固定裝置，所述固定裝置的作用是將密封物料本體永久壓在殼孔的孔邊上。
4密封物料具有一定彈性，確保一條或多條電線以氣密及真空密封的方式穿過密封物料本體。優(yōu)選地， 一條或多條電線應(yīng)于近端和遠(yuǎn)端從密封物料本體至少稍向外伸出，以便允許電連接線的連接。在密封物料本體與孔邊之間通過密封環(huán)獲得可靠的密封效果。
密封物料的厚度應(yīng)至少為5mm,且優(yōu)選地是10mm，以便在電線與密封物料之間保證有足夠長的密封距離。
通過將所有電線鑄注在整體式的、彈性密封物料本體內(nèi)，即使在多條電線的情況下，也可用相對簡單的方式實現(xiàn)一種可靠的真空密封通道。這對帶有磁推軸承的真空泵而言特別恰當(dāng)，其原因在于，這些泵通常需要將50條或更多條的電線引導(dǎo)穿過真空密封殼。
根據(jù)優(yōu)選實施方式，從外部將密封物料本體布置在殼孔的孔邊上。在操作期間，密封物料本體將會在從外部作用的大氣壓力與殼中彌漫的真空之間的壓力差的作用下，壓在殼孔的邊緣上。這樣，當(dāng)真空泵運轉(zhuǎn)時，密封物料本體與殼孔的邊緣之間的密封效果將進(jìn)一步得到加強。
優(yōu)選地，固定裝置是密封物料殼，將其構(gòu)造成，幾乎完全收容密封物料，并將密封物料壓靠在殼孔的邊緣上。密封物料殼僅包括用于一條或多條電線的一個近端孔和一個遠(yuǎn)端孔。密封物料殼的主要功能是將密封物料本體固定到適當(dāng)?shù)奈恢蒙?，而另一方面，該殼不是主要起密封作用的。盡管如此，密封物料殼實際上也同樣具有一定的密封效果。
根據(jù)優(yōu)選實施方式，電線可包括設(shè)置在密封物料中的電路板。因此，電線有一部分以印刷電路板上的導(dǎo)電線路的形式實現(xiàn)。電線可進(jìn)一步分別包括從密封物料本體朝殼內(nèi)部伸出的一個插頭，以及從密封物料本體朝殼外部伸出的一個插頭。所述兩個電插頭可通過印
刷電路板相互連接，但也可采用其它方式相互電連接。
根據(jù)優(yōu)選實施方式，印刷電路板包括電子元件。就這一點而言，可能的電子元件是所有可用于放大、抑制干擾或其它對電信號進(jìn)行處理的電子元件，即諸如放大器、抑制扼流圏和電容器、用于信號處理的集成電路之類的元件等。
5優(yōu)選地，所述電子元件是可讀取泵數(shù)據(jù)存儲器，其適于在其中儲 存泵特取功能參數(shù)，例如相應(yīng)真空泵的故障記錄，并適于在任何時 刻將這種功能參數(shù)從中取出。
優(yōu)選地，密封物料材料為環(huán)氧樹脂。環(huán)氧樹脂為真空密封且有彈 性的，并可在不會損壞電子元件的較低溫度下進(jìn)行澆鑄。


下面將參考附圖更詳細(xì)地解釋本發(fā)明的實施方式。
附圖示意性地示出真空泵，且在局部剖視圖中示出設(shè)有氣密電引 入組件的真空泵殼。
具體實施例方式
附圖示意性地示出真空泵10,可將其構(gòu)造成活塞泵，但優(yōu)選地
將其構(gòu)造成帶有磁推軸承的高真空渦輪分子泵。
真空泵10包括真空密封的金屬殼12,該金屬殼12具有殼壁13, 并容納多個電氣部件14、 16、 18，特別是電動馬達(dá)14、磁推軸承16 及泵傳感器18。驅(qū)動馬達(dá)14經(jīng)由軸17驅(qū)動渦輪分子泵的泵轉(zhuǎn)子。
真空泵10設(shè)有氣密電引入組件20，它用于在所述電氣部件14、 16、 18與所述殼的外部之間建立電連接。引入組件20大致由以下構(gòu) 件形成殼壁13中的殼孔22;在所述殼孔22的外部布置于所述殼 孔22上的密封物料本體24;殼孔22的孔邊28與密封物料本體之間 的彈性密封環(huán)26;形成為密封物料殼30的固定裝置32;以及電線 34。所述密封環(huán)26布置在密封物料本體24的環(huán)形槽27中。
電線34由近端電插頭40、遠(yuǎn)端電插頭42以及包括導(dǎo)電線路和 電子元件46、 47、 48的印刷電路板44構(gòu)成。所述電子元件46-48 是集成電路46及無源部件47、 48。所述插頭40、 42包括超過50個 的插銷，各插銷中的每個與電路板44上的導(dǎo)電線路單獨連接。
在集成電路46中儲存有真空泵10的功能^lt和數(shù)據(jù)。這些功能參 數(shù)為泵特配參數(shù)，并包含真空泵10的故障記錄，利用適當(dāng)?shù)淖x取裝置 50，可經(jīng)由遠(yuǎn)端插頭42通過適于插在插頭42上的電數(shù)據(jù)線52將所述故障記錄讀出。
電線34的所有元件均以氣密方式封裝在注鑄在其周圍的密封物 料本體24內(nèi)。密封物料材料為環(huán)氧樹脂。該環(huán)氧樹脂可添加有細(xì)粒 混合劑，該混合劑對熱膨脹、熱導(dǎo)率及/或其它參數(shù)有積極影響。
在形成固定裝置32、并以例如螺接的方式固定于殼30的外部的 杯形密封物料殼30的作用下，將密封物料本體24壓在所述孔邊28 上，從而在孔邊28與密封物料本體24之間形成氣密且真空密封的 狀態(tài)。
權(quán)利要求
1.一種真空泵(10)，包括真空密封殼(12)；設(shè)置在所述殼(12)內(nèi)的彈性部件(14，16，18)；氣密電引入組件(20)，其用于在所述殼(12)內(nèi)的電氣部件(14，16，18)與所述殼(12)的外部之間建立電連接，其中所述引入組件(20)由以下構(gòu)件構(gòu)成殼孔(22)；密封物料本體(24)，其定位在所述殼孔(22)上，并封裝在所述殼的內(nèi)部與所述殼的外部之間延伸的電線(34)；所述殼孔(22)的孔邊(28)與所述密封物料本體(24)之間的密封環(huán)(26)；以及固定裝置(32)，其用來將所述密封物料本體(24)連接至所述殼(12)。
2. 如權(quán)利要求l所述的真空泵(10),其特征在于，將所述密封物 料本體(24)從外部安裝至所述殼孔(22)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的真空泵(10)，其特征在于，所述固定 裝置(32)是密封物料殼(30)。
4. 如權(quán)利要求l-3中任一項所述的真空泵(10)，其特征在于，所 述電線(34)包括設(shè)置在所述密封物料本體(24)內(nèi)的電路板(44)。
5. 如權(quán)利要求l-4中任一項所述的真空泵(10)，其特征在于，所 述電線(34)分別包括朝所述內(nèi)部的一個電插頭(40)和朝所述外部的 一個電插頭(42)。
6. 如權(quán)利要求4或5所述的真空泵(10)，其特征在于，所述電路 板包括電子元件(46， 47， 48)。
7. 如權(quán)利要求6所述的真空泵(10)，其特征在于，將所述電子元 件之一 (46)構(gòu)造為可讀取的泵數(shù)據(jù)存儲器。
8.如權(quán)利要求l-7中任一項所述的真空泵(10),其特征在于，所 述密封物料本體(24)的材料為環(huán)氧樹脂。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種真空泵(10)，其具有真空密封殼(12)并具有用于在殼(12)內(nèi)的電氣組件(14，16，18)與殼外部之間建立電連接的氣密電引入組件(20)。該引入組件(20)由以下構(gòu)件構(gòu)成殼孔(22)；布置在所述孔上的密封物料本體(24)；密封物料本體(24)中的電線；殼孔(22)的孔邊與密封物料本體(24)之間的密封環(huán)(26)；以及用于將密封物料本體(24)緊固于殼(12)的固定裝置(32)。
文檔編號F04D17/16GK101495759SQ200780028215
公開日2009年7月29日 申請日期2007年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月4日
發(fā)明者克里斯蒂安·哈里希, 海因里希·恩倫德爾 申請人:厄利孔萊博爾德真空技術(shù)有限責(zé)任公司