專利名稱：壓電微型泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及壓電微型泵，詳細(xì)來說涉及使用彎曲變形的壓電元件的微型泵。
背景技術(shù)：
以往以來，已知有使用彎曲變形的壓電元件的微型泵，該壓電元件通過施 加電壓而以彎曲模式進(jìn)行彎曲變形。專利文獻(xiàn)l中揭示了這樣一種微型泵，即 在泵的主體形成泵室，并在構(gòu)成該泵室頂蓋的隔膜的背面粘貼有壓電元件。
圖9 (a)是表示專利文獻(xiàn)l中所示的泵構(gòu)造的簡圖。在殼體20中設(shè)置泵室 21，在構(gòu)成泵室21的頂蓋的隔膜22上粘貼有壓電元件23。作為隔膜22，使用聚 酰亞胺之類的有機材料。但是存在以下問題，即在壓電元件23彎曲變形時，如 圖9 (b)所示，由于壓電元件23的彎曲而應(yīng)該發(fā)生的泵室21的容積變化中的一 部分，會因為壓電元件23兩端部分的隔膜22的位移而變得無用。舉例來說，壓 電元件23隔著隔膜22為僅浮起運動的狀態(tài)，就無法將壓電元件23的位移充分地 傳遞作為泵室21的容積變化。產(chǎn)生這種現(xiàn)象的理由在于，例如壓電元件23朝泵 室21凸出變形、想要擠壓出泵室21內(nèi)充滿的非壓縮性流體(液體)時，對隔膜 22施加液壓，而該液壓使得隔膜22的周邊部分(沒有粘貼壓電元件23的部分) 朝著與泵室21相反的方向位移。反之，當(dāng)壓電元件23朝泵室21凹進(jìn)變形時，隔 膜22的周邊部分朝泵室21的方向彎曲。
若用金屬片之類的硬質(zhì)材料形成隔膜22，則由于能夠抑制隔膜22的周邊部 分的彎曲，就不會發(fā)生圖9 (b)那樣的現(xiàn)象。但是，若隔膜22堅硬，就會妨礙 壓電元件23的彎曲變形，使其振幅變小，泵室21的容積變化變小。另外，使泵 的驅(qū)動頻率降低，其結(jié)果，存在泵的流體輸送能力低下的問題。而且，以往的 情況是，若不能在隔膜22的中央粘貼壓電元件23，則左右位移的平衡就被破壞， 就不能正確地傳遞泵室21的容積變化。因此，必須提高隔膜22與壓電元件23的 粘貼位置的精度。專利文獻(xiàn)l:日本專利特開2003-214349號公報

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的理想實施形態(tài)的目的在于提供一種壓電微型泵，該壓電微 型泵即使是在其隔膜由柔軟的材料形成的情況下，也可以沒有任何損失地將壓 電元件的位移傳遞作為泵室的容積變化，而且該壓電微型泵的流體輸送能力優(yōu) 異。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種壓電微型泵，是用隔膜隔離泵室，在隔 膜的背面配置壓電元件，利用壓電元件的彎曲變形而使隔膜隨之變形，使泵室 容積變化，從而輸送泵室內(nèi)的流體的壓電微型泵，其特征在于，設(shè)置與上述壓 電元件的背面抵接、并支撐上述壓電元件的支撐構(gòu)件。
若對壓電元件施加交變電壓(矩形波電壓或交流電壓)，則壓電元件向板 厚方向彎曲變形，隔膜也隨之變形。若隔膜是由柔軟的材料形成，則由于泵室 內(nèi)充滿的流體的壓力變化，所以隔膜的周邊部分(沒有配置壓電元件的部分) 朝著與壓電元件相反的方向彎曲，從而無法將壓電元件的位移充分地傳遞作為 泵室的容積變化。但是，由于壓電元件的背面被支撐構(gòu)件支撐，所以支撐構(gòu)件 對隔膜周邊部分的反方向的彎曲進(jìn)行限制，從而防止壓電元件為浮起狀態(tài)。其 結(jié)果是能確實地將壓電元件的位移傳遞作為泵室的容積變化，能夠提高流體輸 送能力。
壓電元件的背面僅與支撐構(gòu)件接觸，不一定用粘結(jié)等進(jìn)行限制。因此，支 撐構(gòu)件不限制壓電元件的彎曲位移，可以高效地驅(qū)動壓電元件。還有，本發(fā)明
中的隔膜的背面是指隔膜的與泵室反向一側(cè)的表面，壓電元件的背面是指壓電 元件的與泵室反向一側(cè)的表面。
最好是在隔膜的中央粘貼壓電元件，而本發(fā)明即使是從中央部分產(chǎn)生偏 移，但是由于利用支撐構(gòu)件限制了向壓電元件的背面方向的偏移，所以也難以 產(chǎn)生性能低下的情況。另外，即使在隔膜遠(yuǎn)大于壓電元件時也難以產(chǎn)生性能低 下的情況。從而可以使用柔軟(楊氏模量低)的隔膜，即使是低電壓驅(qū)動的壓 電元件也容易獲得泵浦作用。
作為支撐構(gòu)件，例如可以使用支撐隔膜的殼體的內(nèi)壁，也可以在殼體的內(nèi) 側(cè)配置另一構(gòu)件。支撐構(gòu)件可以是用與殼體等相同的較硬質(zhì)的材料形成，也可 以采用橡膠等彈性體。隔膜可以使用與以往一樣的聚酰亞胺之類的有機材料，也可以使用橡膠、合成橡膠等任意彈性材料。盡管也可以使用金屬片，但最好
是楊氏模量在20MPa以下、厚度在100戶以下的柔軟彈性材料。
根據(jù)理想的實施形態(tài)，支撐構(gòu)件是支撐非驅(qū)動時的壓電元件的背面的整個 面的平面構(gòu)件為佳。這種情況下，在壓電元件向泵室凸出變形時，支撐構(gòu)件可 以支撐壓電元件的外周部分背面或兩端部分的背面，在壓電元件向泵室凹進(jìn)變 形時，支撐構(gòu)件可以支撐壓電元件的中央部分的背面。因此，壓電元件向任一 方向變形的情況，都可以使隔膜一直朝泵室方向位移，從而可以使泵室的體積 減小。其結(jié)果是能確實地擠壓出泵室的流體，可以使流體輸送能力提高。
根據(jù)理想的實施形態(tài)，壓電元件形成為長方形，支撐構(gòu)件支撐壓電元件的 長邊方向兩端部分的背面，在壓電元件的中央部分背面一側(cè)，設(shè)置壓電元件可 彎曲變形的空間為佳。壓電元件的形狀可以是圓片形或長方形等，但是使長方 形的壓電元件以其長邊方向兩端部分(短邊一側(cè)的兩邊)為支點的模式發(fā)生彎 曲位移的情況，與使圓片形的壓電元件以其外周部分為支點的模式發(fā)生彎曲位 移的情況相比，能獲得較大的位移體積。因此，若使用長方形的壓電元件作為 隔膜驅(qū)動用的執(zhí)行機構(gòu)，就可以提高泵的效率。對于支撐構(gòu)件支撐壓電元件的 背面的整個面的情況，雖然在壓電元件向任一方向變形時，都能夠使隔膜一直 朝泵室的方向發(fā)生位移，但是壓電元件對泵室作凹進(jìn)變形時的位移體積比凸出 變形時的要小。因此，通過采用支撐構(gòu)件支撐壓電元件的長邊方向兩端部分的 背面的構(gòu)造，在壓電元件朝泵室凸出變形時，使隔膜的中央部分上升而發(fā)生位 移，在壓電元件朝泵室凹進(jìn)變形時，使隔膜的中央部分向下伸展而發(fā)生位移。 任一情況都可以獲得大的位移體積。從而，可以使泵室的體積周期性地發(fā)生大 變動，能夠提高泵的效率。
根據(jù)理想的實施形態(tài)，壓電元件形成為小于隔膜的可位移區(qū)域的形狀、采 用在隔膜的壓電元件外周側(cè)的整個外周設(shè)置沒有配置壓電元件的空白部分的 結(jié)構(gòu)為佳。當(dāng)壓電元件與隔膜的可位移區(qū)域為同等大小時，由于對隔膜幾乎沒 有空白部分，因此在壓電元件發(fā)生位移時，有可能對隔膜的一部分施加過大的 力，從而限制壓電元件的位移。反之，使壓電元件為小于隔膜的可位移區(qū)域的 形狀，在壓電元件外周側(cè)設(shè)置隔膜的空白部分時，在壓電元件位移時，隔膜的 空白部分就可以自由地伸縮，不會約束壓電元件的位移。因此，壓電元件可以 自由進(jìn)行彎曲位移，從而提高泵的效率。
根據(jù)理想的實施形態(tài)，將壓電元件與隔膜進(jìn)行表面接合為佳。這種情況下，隔膜與壓電元件緊貼而動作，從而可以確實地將壓電元件的位移傳遞給隔膜。 另外，還可以防止壓電元件向左右自由移動。作為粘結(jié)劑，使用與隔膜同樣的 硅類或聚氨酯類等的彈性粘結(jié)劑為佳。還有，不管壓電元件相對于隔膜的中央 部分偏移了多少位置，都不會對泵的效率有很大的影響。
根據(jù)理想的實施形態(tài)，設(shè)定隔膜和支撐構(gòu)件的厚度方向的間隙小于壓電元 件的厚度，利用隔膜的彈性將壓電元件與支撐構(gòu)件壓緊為佳。利用隔膜的彈性 可以將壓電元件預(yù)先與支撐構(gòu)件壓緊并保持。由于可以使壓電元件與支撐構(gòu)件 確實接觸，所以通過壓電元件的彎曲變形，可以確實使泵室的體積變動。在這 樣利用隔膜的彈性而將壓電元件預(yù)先與支撐構(gòu)件壓緊并保持的情況下，也可以 不粘結(jié)壓電元件與隔膜。在不粘結(jié)的情況下，由于壓電元件不受隔膜的約束而 可以自由位移，所以可以用低電壓高效地驅(qū)動壓電元件。還有，當(dāng)壓電元件沒 有與隔膜粘結(jié)時，壓電元件有時會相對于隔膜在平面方向上發(fā)生位置偏移。因 此，在支撐構(gòu)件上設(shè)置將壓電元件的外周面以規(guī)定的間隙進(jìn)行位置限制的外壁 部為佳。對于這種情況，可以防止壓電元件的位置偏移，而且外壁部對壓電元 件的位移沒有約束力，因此可以高效地驅(qū)動壓電元件。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，由于利用支撐構(gòu)件支撐壓電元件的背面，因此， 支撐構(gòu)件限制隔膜的周邊部分的位移，可以防止壓電元件為浮起的狀態(tài)。其結(jié)
果是可以確實地將壓電元件的位移傳遞作為泵室的容積變化，可以提高流體的 輸送能力。
具體實施例方式
以下，基于實施例說明本發(fā)明的理想實施形態(tài)。 實施例l
圖1 圖4表示本發(fā)明有關(guān)的壓電微型泵的第1實施例。本實施例的微型泵P
由底板l、壓電元件2、隔膜3、框體4、蓋板5構(gòu)成，這些零部件相互層疊粘結(jié)。 底板l由例如玻璃環(huán)氧基板或樹脂材料形成，在中央部分形成構(gòu)成振動室 的長方形的凹部la。本實施例中，如后所述，凹部la的底壁la,與壓電元件2的 背面抵接，成為支撐該壓電元件2的支撐構(gòu)件。在凹部la的底面，形成用來引 出壓電元件2的引線2a的兩個引出孔lb、以及用來將振動室向大氣開放的多個 貫通孔lc。凹部la的深度與壓電元件2的厚度相等或稍淺。
壓電元件2形成為長方形，并容納在凹部la中。壓電元件2的外形尺寸要小于凹部la的內(nèi)部尺寸，以凹部la中容納壓電元件2的狀態(tài)，在壓電元件2的四邊 與凹部la的內(nèi)側(cè)邊緣之間形成規(guī)定的間隙5 (參照圖3)。該間隙S對應(yīng)于壓電元 件2彎曲位移時的、隔膜3可充分伸展的空白部分3a的寬度。該實施例的壓電元 件2是公知的雙壓電晶片型陶瓷壓電元件。與壓電元件2的下表面的電極連接有 兩根引線2a，通過對這些引線2a施加矩形波信號或交流信號，可以使其以長邊 方向兩端部分(短邊一側(cè)的兩邊)為支點、以長邊方向中央部分為最大位移點 的彎曲模式進(jìn)行彎曲振動。還有，作為壓電元件2，也可以是單壓電晶片型壓 電元件。
隔膜3是用橡膠、合成橡膠、軟質(zhì)樹脂之類的彈性片材料，形成為與底板l 相同的外形。在隔膜3的背面、即振動室一側(cè)的表面上，在整個面涂敷粘結(jié)劑， 通過使隔膜3與容納了壓電元件2的底板1緊貼，使壓電元件2與隔膜3進(jìn)行表面 接合，并且使底板l的除去凹部la的上表面與隔膜3粘結(jié)。
框體4由例如玻璃環(huán)氧基板或樹脂材料構(gòu)成，為了形成泵室6，而形成為長 方形框狀。在框體4的一個短邊一側(cè)的側(cè)面的外側(cè)設(shè)置形成流入通路7用的側(cè)壁 部4a，在一個長邊一側(cè)的側(cè)面的外側(cè)設(shè)置形成排出通路8用的側(cè)壁部4b。在框體 4的內(nèi)側(cè)(泵室)與流入通路7之間的側(cè)壁形成流入孔4c，在該流入孔4c的泵室 一側(cè)的側(cè)面上安裝只允許向泵室6進(jìn)行液體流入的逆止閩10。在框體4的內(nèi)側(cè) (泵室)與排出通路8之間的側(cè)壁形成排出孔4d，在該排出孔4d的排出通路一 側(cè)的側(cè)面上安裝只允許從泵室6進(jìn)行液體排出的逆止閥11。在該例中，用橡膠 等彈性片材料構(gòu)成逆止閥IO、 11，但并不限于此?？蝮w4的下表面與隔膜3的上 表面粘結(jié)。
蓋板5由例如玻璃環(huán)氧基板或樹脂材料構(gòu)成，與框體4的上表面粘結(jié)。通過 粘結(jié)蓋板5，在蓋板5與隔膜3之間形成泵室6、流入通路7與排出通路8。流入通 路7和排出通路8分別連接管道9a、 9b，通過管道9a、 9b與未圖示的液體供給部 和液體排出部連接。在該實施例中，使用硅管作為管道9a、 9b。
圖5是說明上述微型泵P的動作用的簡圖，(a)表示非驅(qū)動時或電壓切換 時，(b)表示壓電元件2向上凸出變形時，(c)表示壓電元件2向下凸出變形 時。
圖6(a)表示施加于壓電元件2上的交變電壓。若對壓電元件2施加在+ V 一V之間變化的交變電壓，則例如在+V的半周期間，壓電元件2如圖5 (b)所 示那樣向上凸出變形，在一V的半周期間，壓電元件2如圖5 (c)所示那樣向下凸出變形。在電壓切換時，由于如(a)所示壓電元件2回復(fù)到平面形狀，所以 隔膜3也回復(fù)為平坦。還有，由于電壓方向與壓電元件2的變形方向和壓電元件 2的極化方向有關(guān)，因此也可以與上述相反，在+V的半周期間，使壓電元件2 向下凸出變形，在一V的半周期間，使壓電元件2向上凸出變形。
當(dāng)壓電元件2向上凸出變形時，隔膜3的中央部分朝泵室6發(fā)生位移，擠壓 出泵室6內(nèi)的液體。此時，由于泵室6內(nèi)的液壓，隔膜3被反向擠壓，但是由于 壓電元件2的長邊方向的兩端部分與底板l的凹部la的底壁la,接觸而被支撐，所 以隔膜3無法朝與泵室6相反的方向彎曲，從而可以高效地擠壓出液體。還有， 由于在四邊上設(shè)置了具有寬度S的隔膜3的空白部分3a，所以在壓電元件2向上凸 出變形時，與壓電元件2的短邊方向兩端部分(長邊一側(cè)的兩邊)對應(yīng)的空白 部分3a伸展，從而使壓電元件2的位移不受約束，可以進(jìn)行大的彎曲變形。反 之，當(dāng)壓電元件2向下凸出變形時，由于壓電元件2的長邊方向中央部分與底板 l的凹部la的底壁la,接觸，所以壓電元件2的兩端部分抬起，隔膜3的周邊部分 朝泵室6位移，從而擠壓出泵室6內(nèi)的液體。此時，與壓電元件2的長邊方向兩 端部分(短邊一側(cè)的兩邊)以及短邊方向兩端部分(長邊一側(cè)的兩邊)對應(yīng)的 空白部分3a伸展，從而也可以使壓電元件2的位移不受強約束，使壓電元件可
以彎曲變形。
圖6 (b)表示上述微型泵P的排出流量的變化。如上所述，由于在壓電元 件2朝任一方向變形時都使隔膜3 —直向泵室6的方向位移，所以從泵室6排出液 體的間隔短，從泵室6可以幾乎沒有間斷地排出液體。壓電元件2向上凸出變化 時的排出流量要比壓電元件2向下凸出變化時的排出流量大。因此，如圖6 (b) 所示，大流量排出和小流量排出交替出現(xiàn)。
在上述構(gòu)成的微型泵中，泵室6的大小為25.5mmX12. 5mmX1.6mm，對壓電 元件2施加士5V、 17Hz的矩形波電壓進(jìn)行驅(qū)動時，可獲得排出流量為6.4pl/s， 泵壓為350Pa。
實施例2
圖7表示本發(fā)明的理想第2實施例。該實施形態(tài)是使第1實施例中的隔膜3與 底板l的凹部底壁la,之間的間隙H比壓電元件2的厚度T要小的例子。這種情況 下，利用隔膜3的彈性，可以將壓電元件2與底壁la壓緊并保持。因此，也可以 不粘結(jié)壓電元件2與隔膜3。但是，當(dāng)然也可以粘結(jié)壓電元件2與隔膜3。
當(dāng)沒有粘結(jié)壓電元件2與隔膜3時，與將兩者粘結(jié)的情況相比，壓電元件2可以更自由地彎曲變形，可以獲得更大的位移。從而提高泵的效率。
實施例3
圖8表示本發(fā)明的理想第3實施例。圖8 (a)表示非驅(qū)動時或電壓切換時， 圖8 (b)表示壓電元件2向上凸出變形時，圖8 (c)表示壓電元件2向下凸出變 形時。
該實施例中，在底板l的凹部la，設(shè)置有支撐壓電元件2的長邊方向兩端部 分即短邊一側(cè)的兩邊的枕部(支撐構(gòu)件)ld。壓電元件2可以只是放置在枕部 ld上而沒有粘結(jié)。枕部ld可以與底板l一體化形成，也可以是在底板l上固定另 一零部件。在枕部ld之間設(shè)置壓電元件2可自由變形的振動空間le。
如上所述，采用枕部ld支撐壓電元件2的長邊方向兩端部分、使壓電元件2 在振動室內(nèi)部抬起的構(gòu)造。由此，如(b)所示壓電元件2向上凸起變形時，由 于壓電元件2在中央部分附近使隔膜3向上方上升，而使泵室6的容積縮小，所 以可以擠壓出泵室6內(nèi)的液體。另一方面，如(c)所示壓電元件2向下凸起變 形時，隔膜3向下方伸展而變形。由于枕部ld之間設(shè)有振動空間le，所以壓電 元件2的中央部分可以向下發(fā)生大位移。隨著壓電元件2的向下的位移，隔膜3 也一起位移，從而可以擴大泵室6的容積。因此，可以吸入液體到泵室6。
該實施例中，當(dāng)壓電元件2向下凸起變形時，可以吸入液體到泵室6，當(dāng)壓 電元件2向上凸起變形時，可以排出泵室6內(nèi)的液體。壓電元件2上下彎曲位移 時，由于枕部ld—直支撐著壓電元件2的兩端部分，所以不會出現(xiàn)壓電元件2浮 起的狀態(tài)，可以將壓電元件2的位移有效地傳遞作為泵室6的容積變化，這樣的 實施例的微型泵不同于第l實施例，由于它可以有效利用壓電元件2的與泵室6 反方向的彎曲，因此可以增大泵的排出流量，從而可以提高泵的效率。
上述實施例中，使用雙壓電晶片型的壓電元件作為壓電元件2。該壓電元 件是通過施加交變電壓、使其向兩個方向發(fā)生同等彎曲位移的壓電元件，但是 也可以使用例如僅在一個方向上可獲得大位移的壓電元件。第1實施例中，由 于壓電元件2的向上凸出變形對于排出量有很大的影響，所以通過使用僅在向 上方向上可獲得大位移的壓電元件，能夠提高泵的效率。還有，僅在一個方向 上可獲得大位移的壓電元件，可以利用對中間層上下不對稱的層疊構(gòu)造而實 現(xiàn)。另外，即使是上下對稱的層疊構(gòu)造，通過使施加電壓正負(fù)不對稱，僅在一 側(cè)施加大的電壓，從而可以使僅在一側(cè)發(fā)生大的位移。再者，還可以對兩者進(jìn) 行組合，來獲得更大的位移。上述實施例中，使用了長方形的壓電元件，但也可以使用正方形或圓形的 壓電元件。但是，由于長方形壓電元件可以獲得比正方形或圓形的壓電元件更 大的位移體積，所以有利于實現(xiàn)小型且高效的微型泵。
上述實施例中，作為支撐壓電元件背面的支撐構(gòu)件，使用了構(gòu)成殼體的底 板，但也可以使用不同于殼體的構(gòu)件。這種情況下，支撐構(gòu)件不限于硬質(zhì)材料， 也可以使用彈性橡膠等軟質(zhì)材料。而且，殼體也不限于如圖2所示的由底板、 框體、蓋板構(gòu)成，只要是可以用隔膜隔離泵室、可以設(shè)置支撐壓電元件背面的 支撐構(gòu)件的構(gòu)造，就可以采用任何結(jié)構(gòu)。


圖l是本發(fā)明有關(guān)的壓電微型泵的第l實施例的立體圖。 圖2是圖1所示的壓電微型泵的分解立體圖。
圖3是圖1所示的壓電微型泵的縱向截面圖。 圖4是圖3的IV—IV線的截面圖。
圖5是表示圖1所示的壓電微型泵的動作的簡要截面圖，(a)表示非驅(qū)動 時，(b)表示向上凸出的狀態(tài)，(c)表示向下凸出的狀態(tài)。
圖6 (a)表示施加于壓電元件的交變電壓，(b)表示微型泵的排出流量 的變化。
圖7是本發(fā)明的第2實施例的簡要截面圖。
圖8是本發(fā)明的第3實施例的簡要截面圖，(a)表示非驅(qū)動時，(b)表示 向上凸出的狀態(tài)，(c)表示向下凸出的狀態(tài)。
圖9是以往的微型泵的一個例子的截面圖，(a)表示非驅(qū)動時，(b)表 示壓電元件變形的狀態(tài)。
標(biāo)號說明
P 微型泵
1 底板
la 凹部(振動室) la,底壁(支撐構(gòu)件) ld 枕部(支撐構(gòu)件)
2 壓電元件
3 隔膜3a 空白部
4 框體
5 蓋板
6 泵室
7 流入通路
8 排出通路
10、 11 逆止閥
權(quán)利要求
1. 一種壓電微型泵，該壓電微型泵用隔膜隔離泵室，在隔膜的背面配置壓電元件，利用壓電元件的彎曲變形而使隔膜隨之變形，從而使泵室容積變化，并輸送泵室內(nèi)的流體，其特征在于，設(shè)置與所述壓電元件的背面抵接并且支撐所述壓電元件的支撐構(gòu)件。
2. 如權(quán)利要求1所述的壓電微型泵，其特征在于， 所述支撐構(gòu)件是在非驅(qū)動時支撐所述壓電元件的整個背面的平面構(gòu)件。
3. 如權(quán)利要求1所述的壓電微型泵，其特征在于，所述壓電元件形成為長方形，所述支撐構(gòu)件支撐所述壓電元件長邊方向的 兩端部分的背面，在所述壓電元件的中央部分背面一側(cè)設(shè)置所述壓電元件可彎 曲變形的空間。
4. 如權(quán)利要求1至3中的任一項所述的壓電微型泵，其特征在于， 所述壓電元件形成為小于所述隔膜的可位移區(qū)域，對所述隔膜在所述壓電元件外周側(cè)的整個外周設(shè)置未配置有所述壓電元件的空白部。
5. 如權(quán)利要求1至4中的任一項所述的壓電微型泵，其特征在于， 所述壓電元件與所述隔膜進(jìn)行了表面接合。
6. 如權(quán)利要求1至4中的任一項所述的壓電微型泵，其特征在于， 將所述隔膜與所述支撐構(gòu)件的厚度方向的間隙設(shè)定為比所述壓電元件的厚度要小，利用所述隔膜的彈性將所述壓電元件與所述支撐構(gòu)件壓緊。
全文摘要
本發(fā)明提供一種壓電微型泵，該壓電微型泵即使在其隔膜由柔軟的材料形成的情況下，也可以有效地將壓電元件的位移傳遞作為泵室的容積變化，而且該壓電微型泵的流體輸送能力優(yōu)異。在該壓電微型泵中，用隔膜(3)隔離泵室(6)，在隔膜(3)的背面配置壓電元件(2)，利用壓電元件(2)的彎曲變形使隔膜(3)隨之變形，從而使泵室(6)的容積變化，并輸送泵室(6)內(nèi)的流體。設(shè)置支撐壓電元件(2)的背面的支撐構(gòu)件(1a₁)，支撐構(gòu)件(1a₁)限制隔膜(3)的周邊部分的反向彎曲，從而防止壓電元件(2)為浮起的狀態(tài)。其結(jié)果是能夠確實地將壓電元件(2)的位移傳遞作為泵室(6)的容積變化，來提高流體的輸送能力。
文檔編號F04B43/02GK101427026SQ20078001413
公開日2009年5月6日 申請日期2007年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月22日
發(fā)明者平田篤彥, 神谷岳 申請人:株式會社村田制作所