專利名稱：復(fù)合式清潔真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及泵技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種復(fù)合式清潔真空泵。
背景技術(shù)：
油封式機(jī)械真空泵目前在鍍膜技術(shù)、冶金技術(shù)、電子技術(shù)等工業(yè)部門中仍得到普遍的應(yīng)用，它們的共同特點是依靠泵油潤和密封，在使用過程中，泵的高級腔中將會有少量的泵油被拋入被抽系統(tǒng)中，同時高級腔中的油也會慢慢地向被抽系統(tǒng)“爬行”，這些過程進(jìn)入被抽系統(tǒng)中的泵油，在低壓強(qiáng)下會不斷地?fù)]發(fā)，盡管有一部分油蒸氣被泵本身抽走，但仍有一些油蒸氣返流到系統(tǒng)中，會影響成品的質(zhì)量、數(shù)量、安全和維護(hù)。由此可見工業(yè)上就需要有一種清潔的真空泵，近幾年出現(xiàn)了一些無油真空泵，如爪式泵、螺桿泵、渦旋泵等，雖然它們可以實現(xiàn)無油的清潔真空，但是一系列十分突出的問題是壓縮比不高、抽速小、結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造和維護(hù)成本高，價格昂貴。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種可以獲得清潔真空和大抽速的復(fù)合式清潔真空泵。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的，它包括泵殼、羅茨真空泵、旋片真空泵和油氣分離器，其特征是在泵殼內(nèi)安裝有羅茨真空泵和旋片真空泵，羅茨真空泵和旋片真空泵之間通過管路連接，在旋片真空泵進(jìn)氣口上方裝有獲得清潔真空的吸附室，在羅茨真空泵進(jìn)氣口處設(shè)置有自動換向閥。
本實用新型由于設(shè)置了吸咐室并采用了羅茨真空泵和旋片真空泵復(fù)合結(jié)構(gòu)，且通過自動換向閥的閉環(huán)控制，可以在大氣壓至0.13帕的寬量程內(nèi)保持大抽速、高效率，具有結(jié)構(gòu)緊湊、功率消耗低和成本小的優(yōu)點。
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步的描述；
圖1是復(fù)合式清潔真空泵的結(jié)構(gòu)示意圖圖2是復(fù)合式清潔真空泵的抽氣過程過程示意圖，具體實施方式
如
圖1——2所示，該復(fù)合式清潔真空泵包括泵殼11、自動換向閥1、羅茨真空泵2、旋片真空泵4和氣體管路7、8、9、10、12和油氣分離器13，在泵殼11內(nèi)安裝有羅茨真空泵2和旋片真空泵4，羅茨真空泵2和旋片真空泵4之間通過管路連接，在旋片真空泵4進(jìn)氣口6上方裝有獲得清潔真空的吸附室3，在羅茨真空泵2進(jìn)氣口處設(shè)置有自動換向閥1，在殼體內(nèi)安裝的羅茨真空泵和旋片真空泵可實現(xiàn)串、并聯(lián)結(jié)構(gòu)。其抽氣過程是，在進(jìn)氣口的初始條件為大氣壓時，氣體流程用雙線表示，被抽氣體經(jīng)過進(jìn)氣口5進(jìn)入自動換向閥1，將自動換向閥1的閥芯左移，后氣體經(jīng)過管路7、8、9進(jìn)入吸咐室3，使被抽氣體中的可凝性蒸氣被捕集到吸咐室3中，剩余的干燥氣體經(jīng)過管路10進(jìn)入旋片真空泵4中，并由旋片真空泵4的排氣閥排出，經(jīng)泵體的油氣分離裝置過濾后，排出泵外，當(dāng)進(jìn)氣口6壓力值達(dá)到某一設(shè)定值時，自動換向閥1使管路12接通，之后被抽氣體經(jīng)管路7——羅茨真空泵2、管路9——吸咐室3——管路10——旋片真空泵4——油氣分離器13過濾之后排出泵外。
權(quán)利要求1.一種復(fù)合式清潔真空泵，它包括泵殼、自動換向閥、羅茨真空泵、旋片真空泵和油氣分離器，其特征是在泵殼內(nèi)安裝有羅茨真空泵和旋片真空泵，羅茨真空泵和旋片真空泵之間通過管路連接，在旋片真空泵進(jìn)氣口上方裝有獲得清潔空氣的吸附室，在羅茨真空泵進(jìn)氣口處設(shè)置有自動換向閥。
專利摘要一種復(fù)合式清潔真空泵,它包括泵殼、自動換向閥、羅茨真空泵、旋片真空泵和油氣分離器,其特征是在泵殼內(nèi)安裝有羅茨真空泵和旋片真空泵,羅茨真空泵和旋片真空泵之間通過管路連接,在旋片真空泵進(jìn)氣口上方裝有獲得清潔空氣的吸附室。本實用新型由于設(shè)置了吸咐室并采用了羅茨真空泵和旋片真空泵復(fù)合結(jié)構(gòu),且通過自動換向閥的閉環(huán)控制,可以在大氣壓至0.13帕的寬量程內(nèi)保持大抽速、高效率,具有結(jié)構(gòu)緊湊、功率消耗低和成本小的優(yōu)點。
文檔編號F04C23/00GK2502045SQ0125047
公開日2002年7月24日 申請日期2001年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月28日
發(fā)明者王君 申請人:王君