電沉積設(shè)備及其固持裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種基材固定裝置，特別涉及一種用于在鍍膜程序中將待電鍍物予以固定的固持裝置，以及應(yīng)用此固持裝置的電沉積設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，“電鍍(electroplating) ”是一種利用電解還原反應(yīng)在物體上鍍一層膜的方法，其所使用的工藝設(shè)備依所需鍍層(如鍍鎳、鍍銀、鍍錫鉛等)不同而有所差異，而無論使用何種形式的工藝設(shè)備，于各電鍍區(qū)內(nèi)都需要設(shè)置一個固定裝置，用于將待電鍍工件予以固定，使其在鍍膜過程中保持定位位置不變，以利于待電鍍工件的表面鍍覆金屬鍍層。
[0003]然而，公知的鍍膜用固定裝置主要通過數(shù)量不等的膠體結(jié)構(gòu)以固持待電鍍工件，而待電鍍工件在高溫環(huán)境下，其因為膨脹系數(shù)的關(guān)系會產(chǎn)生彎曲形變，導(dǎo)致一部分的膠體結(jié)構(gòu)無法與待電鍍工件有效粘結(jié)，使待電鍍工件掉落；更嚴(yán)重時，有可能發(fā)生破片的情形。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的其中一個目的在于提供一種結(jié)構(gòu)新穎的固持裝置，其可提供較佳的固持靈活性，以防止待電鍍物因受高溫加熱而掉落。
[0005]為達(dá)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:一種固持裝置，用于將至少一待電鍍物固定于一鍍膜腔室內(nèi)，該固持裝置包括:一基座單元及至少四個設(shè)置于該基座單元上的定位支撐單元。其中，所述定位支撐單元各具有一固定部及一自由部，每一所述定位支撐單元的所述固定部固定于所述基座單元，每一所述定位支撐單元的所述自由部用以在一第一位置與一第二位置之間且相對所述基座單元位移，且每一所述定位支撐單元的所述自由部連接一待電鍍物。
[0006]基于上述的固持裝置，本實用新型另提供一種電沉積設(shè)備，其包括:一鍍膜腔室、一固持裝置及一電鍍裝置。其中，所述固持裝置設(shè)置于所述鍍膜腔室內(nèi)，用以固持至少一待電鍍物；該固持裝置包括一基座單元及至少四個設(shè)置于該基座單元上的定位支撐單元，其中所述定位支撐單元各具有一固定部及一自由部，每一所述定位支撐單元的所述固定部固定于所述基座單元，每一所述定位支撐單元的所述自由部用以于一第一位置與一第二位置之間且相對所述基座單元位移，且每一所述定位支撐單元的所述自由部連接所述待電鍍物；所述電鍍裝置與所述固持裝置相對應(yīng)設(shè)置。
[0007]本實用新型至少具有以下技術(shù)效果:本實用新型的固持裝置易于制作、成本低廉且適用于不同大小尺寸的待電鍍物，大幅提升實用性。
[0008]此外，本實用新型通過“至少四個設(shè)置于基座單元上的定位支撐單元，其各具有一固定部及一自由部，其中每一個固定部固定于基座單元，每一個自由部用于在第一位置與第二位置之間且相對所述基座單元位移，且每一個自由部連接待電鍍物”的設(shè)計，可提供較佳的固持靈活性，以防止待電鍍物因受高溫加熱而掉落。
[0009]為使能更進(jìn)一步了解本實用新型的特征及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本實用新型的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本實用新型加以限制。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的固持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(一)。
[0011]圖2為本實用新型的固持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(二)。
[0012]圖3為本實用新型第一實施例的定位支撐單元的立體分解圖。
[0013]圖4為本實用新型第一實施例的定位支撐單元的立體組合圖。
[0014]圖5為本實用新型第一實施例的固持裝置的局部剖面圖。
[0015]圖6為本實用新型的固持裝置的使用狀態(tài)示意圖(一)。
[0016]圖7為本實用新型的固持裝置的使用狀態(tài)示意圖(二)。
[0017]圖8為本實用新型第二實施例的定位支撐單元的立體分解圖。
[0018]圖9為本實用新型第二實施例的定位支撐單元的立體組合圖。
[0019]圖10為本實用新型第二實施例的固持裝置的局部剖面圖。
[0020]圖11為本實用新型的電沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0022]E電沉積設(shè)備
[0023]100固持裝置
[0024]I基座單元
[0025]2、2’定位支撐單元
[0026]21撓性件
[0027]211固定部
[0028]22固定組件
[0029]221固定墊片
[0030]222鎖固件
[0031]212自由部
[0032]2121 結(jié)合面
[0033]2122非結(jié)合面
[0034]2123 貫孔
[0035]2124 粘著體
[0036]23接合墊片
[0037]24接著層
[0038]25輔助接合墊片
[0039]200鍍膜腔室
[0040]300電鍍裝置
[0041]W待電鍍物
【具體實施方式】
[0042]下文中特舉多個實施例，并配合所附圖式，詳細(xì)說明本實用新型的創(chuàng)新部分以及優(yōu)點。
[0043]第一實施例
[0044]圖1及圖2為本實用新型的固持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型系為一種可用于鍍膜腔室的固持裝置100，其包括一基座單元I及至少四個設(shè)置于基座單元I上的定位支撐單元2?；鶈卧狪本身可為一加工平臺，所述定位支撐單元2系平均分布在基座單元I上，并可將至少一個待電鍍物W固定于鍍膜腔室內(nèi)。
[0045]須說明的是，雖然在圖1所示的固持裝置100中，定位支撐單元2的數(shù)量有四個，但是對于本實施例的其他實施方式，定位支撐單元2的數(shù)量可以有四個以上(如圖2所示)；也就是說，由圖1所示的固持裝置100的數(shù)量僅供舉例說明，本實用新型不為此限。定位支撐單元2的數(shù)量可依待電鍍物W的尺寸大小而決定。
[0046]請參閱圖3至圖5，本實施例所提供的定位支撐單元2用于保持待電鍍物W的一偵牝其包括一撓性件21、一固定組件22及一接合墊片23。本實施例中，撓性件21為一矩形的耐熱塑料片或金屬彈片，但本實用新型并不限制于此；撓性件21還具有在長度方向上相隔一段距離的一固定部211及一自由部212，其中固定部211可供定位支撐單元2和基座單元I作組裝，自由部212可供定位支撐單元2和待電鍍物W作連結(jié)。
[0047]更進(jìn)一步來說，每一個定位支撐單元2的固定部211通過固定組件22加以定位；固定組件22包括一固定墊片221及一鎖固件222，其中固定墊片221與固定部211的表面相互接觸，鎖固件222依序穿過固定墊片221與固定部211而鎖入基座單元1，并通過固定墊片221將固定部211壓抵固定在基座單元I上。
[0048]另一方面，每一個定位支撐單元2的自由部212通過一接合墊片23連接待電鍍物W的部分表面，以此限制待電鍍物W的位置而使其不致松動脫落，其中自由部212具有一面對待電鍍物W的結(jié)合面2121及一相對于結(jié)合面2121的非結(jié)合面2122，接合墊片23即設(shè)置于結(jié)合面2121上。而較佳的設(shè)計是，可利用接著力強(qiáng)且耐熱性佳的接著劑將接合墊片23貼合固定；且為了改善接口接合效果，接合墊片23可具有一粗糙表面。本實施例中，接合墊片23可選用與待電鍍物W相同的材質(zhì)；舉例來說，待電鍍物W可為玻璃基材，接合墊片23可為玻璃墊片。
[0049]請一并參閱圖1及圖5至圖7，接下來將進(jìn)一步說明本實用新型的固持裝置100的使用方式。首先，將固持裝置100放置于一鍍膜腔室(圖中未顯示)內(nèi)，固持裝置100可依工藝需求做垂直或水平放置；接著，選取一適當(dāng)尺寸的待電鍍物W，并將其與固持裝置100作結(jié)合，而結(jié)合的方式可以是先在定位支撐單元2的接合墊片23上形成一接著層24，