本發(fā)明涉及硅片生產(chǎn)，尤其涉及一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、滑軸式導(dǎo)電夾緊花籃是花籃的一種，用于高頻或微波信號(hào)傳輸?shù)臋C(jī)械結(jié)構(gòu)，通常應(yīng)用于射頻連接器或者相關(guān)的高頻設(shè)備中。它的設(shè)計(jì)主要目的是確保導(dǎo)電性和機(jī)械穩(wěn)定性，能夠在夾緊時(shí)實(shí)現(xiàn)良好的電氣接觸，硅片電鍍是一種在硅片表面沉積金屬層的電化學(xué)過(guò)程，常用于半導(dǎo)體制造、太陽(yáng)能電池和微電子機(jī)械系統(tǒng)（mems）等領(lǐng)域。硅片電鍍的主要目的是增強(qiáng)硅片的導(dǎo)電性、可焊性、耐腐蝕性，現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)硅片進(jìn)行電鍍時(shí)，一般通過(guò)導(dǎo)電性的夾緊花籃結(jié)構(gòu)將硅片中心不需要電鍍的區(qū)域固定，之后裝置整體放進(jìn)電解液中。

2、現(xiàn)有技術(shù)對(duì)硅片進(jìn)行電鍍時(shí)，需要將裝置整體放入電解液中，導(dǎo)電的花籃結(jié)構(gòu)表面也會(huì)被電鍍，對(duì)電解液的浪費(fèi)較大，現(xiàn)有裝置對(duì)硅片電鍍完成后，將硅片提升的過(guò)程中，電解液會(huì)沾附在硅片表面，使電鍍后的硅片表面出現(xiàn)水滴狀的電鍍層，降低硅片電鍍后的精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是為了解決背景技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)。

2、為達(dá)到以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，包括主體板，所述主體板的側(cè)面設(shè)置有對(duì)硅片進(jìn)行夾緊的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定設(shè)置在主體板側(cè)面的電機(jī)，所述主體板的下端開(kāi)設(shè)有第三空槽，所述第三空槽內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有若干個(gè)限位體，若干個(gè)所述限位體的下端設(shè)置有對(duì)導(dǎo)電夾持和檢測(cè)的導(dǎo)電夾緊機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)電夾緊機(jī)構(gòu)包括若干個(gè)分別固定設(shè)置在限位體下端的第一電動(dòng)伸縮桿，若干個(gè)所述第一電動(dòng)伸縮桿的伸縮端部分別固定連接有第一固定體，若干個(gè)所述第一固定體的側(cè)面設(shè)置有對(duì)硅片表面進(jìn)行吹走電解液的防殘留機(jī)構(gòu)。

3、優(yōu)選的，所述電機(jī)的傳動(dòng)軸端在第三空槽內(nèi)固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的側(cè)面設(shè)置有若干個(gè)與限位體位置對(duì)應(yīng)的固定環(huán)，若干個(gè)所述固定環(huán)的內(nèi)側(cè)分別開(kāi)設(shè)有四個(gè)圓周排列的第一放置槽，若干個(gè)所述第一放置槽內(nèi)分別固定連接有第四電動(dòng)伸縮桿，若干個(gè)所述第四電動(dòng)伸縮桿的伸縮端部分別固定連接有防滑板。

4、優(yōu)選的，若干個(gè)所述限位體的側(cè)面分別對(duì)稱開(kāi)設(shè)有第二放置槽，若干個(gè)所述第二放置槽內(nèi)分別固定連接有第五電動(dòng)伸縮桿，若干個(gè)所述第五電動(dòng)伸縮桿的伸縮端部分別固定連接有防滑塊，若干個(gè)所述限位體的側(cè)面貫穿開(kāi)設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔與固定環(huán)的側(cè)面通過(guò)螺紋配合設(shè)置。

5、優(yōu)選的，若干個(gè)所述第一固定體側(cè)面分別開(kāi)設(shè)有安裝孔，若干個(gè)所述安裝孔內(nèi)分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絕緣環(huán)，若干個(gè)所述絕緣環(huán)的內(nèi)側(cè)分別固定連接有第一固定桿，若干個(gè)所述第一固定桿的兩端分別開(kāi)設(shè)有第二限位槽，若干個(gè)所述第二限位槽內(nèi)分別固定連接有第二彈簧，若干個(gè)所述第二彈簧的端部分別固定連接有第一移動(dòng)桿，所述第一移動(dòng)桿的端部分別固定連接有第四固定體，所述主體板的一側(cè)面開(kāi)設(shè)有第一空槽。

6、優(yōu)選的，所述主體板在靠近第一空槽的位置處固定連接有第二電動(dòng)伸縮桿，所述第二電動(dòng)伸縮桿的伸縮端部固定連接有第二固定體，所述第二固定體的側(cè)面開(kāi)設(shè)有第一限位槽，所述第一限位槽內(nèi)固定連接有第一彈簧，所述第一彈簧的端部固定連接有第二移動(dòng)桿，所述第二移動(dòng)桿的端部固定連接有壓力傳感器，所述壓力傳感器的端部固定連接有第三彈簧，所述第三彈簧的端部固定連接有第一導(dǎo)電體，所述第一導(dǎo)電體的端部固定連接有導(dǎo)電凸起。

7、優(yōu)選的，所述主體板在遠(yuǎn)離第一空槽的側(cè)面開(kāi)設(shè)有第二空槽，所述第二空槽內(nèi)固定連接有第三電動(dòng)伸縮桿，所述第三電動(dòng)伸縮桿的伸縮端部固定連接有電動(dòng)機(jī)，所述電動(dòng)機(jī)的傳動(dòng)軸端固定連接有連接桿，所述連接桿的端部與第一移動(dòng)桿的端部固定連接。

8、優(yōu)選的，若干個(gè)所述第一固定體的側(cè)面分別固定連接有若干個(gè)超聲波探測(cè)器。

9、優(yōu)選的，若干個(gè)所述限位體的上端面開(kāi)設(shè)有若干個(gè)通孔，若干個(gè)所述限位體的側(cè)面開(kāi)設(shè)有若干個(gè)斜向下的出氣孔，若干個(gè)所述出氣孔與通孔相通，所述主體板的上端固定連接有氣泵，所述主體板的上端面內(nèi)部開(kāi)設(shè)有與通孔相通的空腔，所述空腔與氣泵相通。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果：

11、1、電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)，之后轉(zhuǎn)動(dòng)桿配合帶動(dòng)若干個(gè)限位體向同一方向進(jìn)行移動(dòng)，同時(shí)，相互擠壓后的第四電動(dòng)伸縮桿依次收縮，保證若干個(gè)限位體移動(dòng)之后，相鄰的兩個(gè)第一移動(dòng)桿之間的距離相同，保證裝置可以同時(shí)擠壓固定住若干個(gè)硅片，提高裝置電鍍效率，之后同時(shí)伸長(zhǎng)第一電動(dòng)伸縮桿、第二電動(dòng)伸縮桿和第三電動(dòng)伸縮桿，使硅片需要電鍍的區(qū)域進(jìn)入電解液內(nèi)，之后啟動(dòng)電動(dòng)機(jī)，電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)連接桿轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)，由于若干個(gè)第一移動(dòng)桿通過(guò)硅片緊密擠壓在一起，當(dāng)連接桿帶動(dòng)一個(gè)第一固定桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，若干個(gè)第一固定桿同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)硅片轉(zhuǎn)動(dòng)，使硅片表面依次進(jìn)入電解液內(nèi)進(jìn)行電鍍，提高電鍍的均勻性，在電鍍的同時(shí)，裝置不與電解液接觸，可以防止裝置浪費(fèi)和污染電解液，降低電鍍的成本；

12、2、第一電動(dòng)伸縮桿、第二電動(dòng)伸縮桿和第三電動(dòng)伸縮桿同時(shí)收縮，帶動(dòng)硅片離開(kāi)電解液，同時(shí)，氣泵啟動(dòng)，氣泵帶動(dòng)氣體移動(dòng)到空腔內(nèi)，空腔內(nèi)的氣體通過(guò)若干個(gè)通孔從出氣孔內(nèi)噴出，通過(guò)氣體將硅片表面的殘留液噴走，防止電解液附著在硅片表面繼續(xù)電鍍，提高電鍍的精度，同時(shí)，若干個(gè)超聲波探測(cè)器啟動(dòng)，可以檢測(cè)出硅片表面電鍍的厚度。

技術(shù)特征：

1.一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，包括主體板（1），其特征在于：所述主體板（1）的側(cè)面設(shè)置有對(duì)硅片進(jìn)行夾緊的移動(dòng)機(jī)構(gòu)（4），所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)（4）包括固定設(shè)置在主體板（1）側(cè)面的電機(jī)（43），所述主體板（1）的下端開(kāi)設(shè)有第三空槽（41），所述第三空槽（41）內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有若干個(gè)限位體（45），若干個(gè)所述限位體（45）的下端設(shè)置有對(duì)導(dǎo)電夾持和檢測(cè)的導(dǎo)電夾緊機(jī)構(gòu)（2），所述導(dǎo)電夾緊機(jī)構(gòu)（2）包括若干個(gè)分別固定設(shè)置在限位體（45）下端的第一電動(dòng)伸縮桿（21），若干個(gè)所述第一電動(dòng)伸縮桿（21）的伸縮端部分別固定連接有第一固定體（22），若干個(gè)所述第一固定體（22）的側(cè)面設(shè)置有對(duì)硅片表面進(jìn)行吹走電解液的防殘留機(jī)構(gòu)（3）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述電機(jī)（43）的傳動(dòng)軸端在第三空槽（41）內(nèi)固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿（42），所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（42）的側(cè)面設(shè)置有若干個(gè)與限位體（45）位置對(duì)應(yīng)的固定環(huán)（47），若干個(gè)所述固定環(huán)（47）的內(nèi)側(cè)分別開(kāi)設(shè)有四個(gè)圓周排列的第一放置槽（48），若干個(gè)所述第一放置槽（48）內(nèi)分別固定連接有第四電動(dòng)伸縮桿（49），若干個(gè)所述第四電動(dòng)伸縮桿（49）的伸縮端部分別固定連接有防滑板（410）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于：若干個(gè)所述限位體（45）的側(cè)面分別對(duì)稱開(kāi)設(shè)有第二放置槽（411），若干個(gè)所述第二放置槽（411）內(nèi)分別固定連接有第五電動(dòng)伸縮桿（412），若干個(gè)所述第五電動(dòng)伸縮桿（412）的伸縮端部分別固定連接有防滑塊（44），若干個(gè)所述限位體（45）的側(cè)面貫穿開(kāi)設(shè)有螺紋孔（46），所述螺紋孔（46）與固定環(huán)（47）的側(cè)面通過(guò)螺紋配合設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于：若干個(gè)所述第一固定體（22）側(cè)面分別開(kāi)設(shè)有安裝孔（24），若干個(gè)所述安裝孔（24）內(nèi)分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絕緣環(huán)（23），若干個(gè)所述絕緣環(huán)（23）的內(nèi)側(cè)分別固定連接有第一固定桿（25），若干個(gè)所述第一固定桿（25）的兩端分別開(kāi)設(shè)有第二限位槽（215），若干個(gè)所述第二限位槽（215）內(nèi)分別固定連接有第二彈簧（214），若干個(gè)所述第二彈簧（214）的端部分別固定連接有第一移動(dòng)桿（27），所述第一移動(dòng)桿（27）的端部分別固定連接有第四固定體（216），所述主體板（1）的一側(cè)面開(kāi)設(shè)有第一空槽（28）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述主體板（1）在靠近第一空槽（28）的位置處固定連接有第二電動(dòng)伸縮桿（29），所述第二電動(dòng)伸縮桿（29）的伸縮端部固定連接有第二固定體（210），所述第二固定體（210）的側(cè)面開(kāi)設(shè)有第一限位槽（211），所述第一限位槽（211）內(nèi)固定連接有第一彈簧（212），所述第一彈簧（212）的端部固定連接有第二移動(dòng)桿（217），所述第二移動(dòng)桿（217）的端部固定連接有壓力傳感器（218），所述壓力傳感器（218）的端部固定連接有第三彈簧（219），所述第三彈簧（219）的端部固定連接有第一導(dǎo)電體（220），所述第一導(dǎo)電體（220）的端部固定連接有導(dǎo)電凸起（221）。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述主體板（1）在遠(yuǎn)離第一空槽（28）的側(cè)面開(kāi)設(shè)有第二空槽（222），所述第二空槽（222）內(nèi)固定連接有第三電動(dòng)伸縮桿（223），所述第三電動(dòng)伸縮桿（223）的伸縮端部固定連接有電動(dòng)機(jī)（224），所述電動(dòng)機(jī)（224）的傳動(dòng)軸端固定連接有連接桿（225），所述連接桿（225）的端部與第一移動(dòng)桿（27）的端部固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于：若干個(gè)所述第一固定體（22）的側(cè)面分別固定連接有若干個(gè)超聲波探測(cè)器（26）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于：若干個(gè)所述限位體（45）的上端面開(kāi)設(shè)有若干個(gè)通孔（34），若干個(gè)所述限位體（45）的側(cè)面開(kāi)設(shè)有若干個(gè)斜向下的出氣孔（33），若干個(gè)所述出氣孔（33）與通孔（34）相通，所述主體板（1）的上端固定連接有氣泵（31），所述主體板（1）的上端面內(nèi)部開(kāi)設(shè)有與通孔（34）相通的空腔（32），所述空腔（32）與氣泵（31）相通。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于放置硅片的花籃結(jié)構(gòu)，包括主體板，主體板的側(cè)面設(shè)置有對(duì)硅片進(jìn)行夾緊的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定設(shè)置在主體板側(cè)面的電機(jī)，主體板的下端開(kāi)設(shè)有第三空槽，第三空槽內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有若干個(gè)限位體，若干個(gè)限位體的下端設(shè)置有對(duì)導(dǎo)電夾持和檢測(cè)的導(dǎo)電夾緊機(jī)構(gòu)，導(dǎo)電夾緊機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在限位體下端的第一電動(dòng)伸縮桿，若干個(gè)第一電動(dòng)伸縮桿的伸縮端部分別固定連接有第一固定體，若干個(gè)第一固定體的側(cè)面設(shè)置有對(duì)硅片表面進(jìn)行吹走電解液的防殘留機(jī)構(gòu)；空腔內(nèi)的氣體通過(guò)若干個(gè)通孔從出氣孔內(nèi)噴出，通過(guò)氣體將硅片表面的殘留液噴走，防止電解液附著在硅片表面繼續(xù)電鍍，提高電鍍的精度。

技術(shù)研發(fā)人員：曹剛,周龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫旭邦精密機(jī)械有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23