本發(fā)明涉及化學品制備裝置領域，具體的是一種電子級化學品復極槽。

背景技術(shù)：

1、tmah（四甲基氫氧化銨）是一種在半導體制造過程中常用的顯影液成分，它在光刻膠的顯影中扮演著重要角色，復極槽則是電化學合成tmah的一種設備，復極槽是一種電解槽，為了提高電壓、穩(wěn)定電流、分散熱量與提高效率，復極槽內(nèi)部通常設置有多個電路互相串聯(lián)的單元槽，復極槽主要通過電解反應將甲胺和水轉(zhuǎn)化為tmah。

2、為了防止tmah在電解的過程中揮發(fā)、防止雜質(zhì)對tmah污染同時維持電解液的組成，現(xiàn)有對tmah進行制備的復極槽通常采用密封結(jié)構(gòu)，在密封的狀態(tài)下對tmah進行制備能夠提高生產(chǎn)效率、提升產(chǎn)品純度以及保證生產(chǎn)安全。

3、但是現(xiàn)有的密封復極槽在對tmah進行電解制備時，為了保證良好的密封性，導致對制備tmah所需原料的加注較為不便，使得上料步驟較為繁瑣，降低了生產(chǎn)的效率，且在密封狀態(tài)下進行對tmah進行電解的原料由于處于靜止狀態(tài)，使得原料在電解的過程中易發(fā)生沉淀現(xiàn)象，從而降低了對tmah的制備效果。

4、綜上，目前亟需一種能夠快捷對制備tmah的原料進行加注且提高反應效率、防止原料沉淀的制備裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種電子級化學品復極槽，包括匚形架，匚形架下側(cè)水平段上部固定安裝有復極電解池，匚形架上側(cè)水平段下部上下滑動設置有密封罩蓋，密封罩蓋的下部滑動套設在復極電解池的外側(cè)，密封罩蓋中部固定安裝有分隔板，密封罩蓋與分隔板上共同設置有控制上下料的開閉機構(gòu)，密封罩蓋上設置有加快反應速率的加速機構(gòu)。

2、所述開閉機構(gòu)包括固定安裝在密封罩蓋上側(cè)的上料管，上料管下部呈錐形結(jié)構(gòu)，上料管內(nèi)部上下滑動設置有一號密封塞塊，分隔板的下部固定安裝有與復極電解池的單元格一一對應的下料管，下料管上部內(nèi)側(cè)開設有錐形面，下料管內(nèi)部上下滑動設置有二號密封塞塊，一號密封塞塊上設置有對其位置進行固定的限位組件，匚形架的上側(cè)水平段內(nèi)部固定安裝有供料組件，分隔板上設置有對二號密封塞塊進行限位的鎖止組件，匚形架上側(cè)水平段上部固定安裝有液壓缸，液壓缸的伸縮段與密封罩蓋固定連接。

3、所述加速機構(gòu)包括固定安裝在一號密封塞塊下部的隨動板，隨動板下部轉(zhuǎn)動設置有與二號密封塞塊一一對應的轉(zhuǎn)動柱，轉(zhuǎn)動柱下部外側(cè)固定安裝有槳葉，轉(zhuǎn)動柱下部固定安裝有穿插至二號密封塞塊下部的轉(zhuǎn)動支桿，轉(zhuǎn)動支桿外側(cè)設置有攪動組件，密封罩蓋上設置有驅(qū)動轉(zhuǎn)動柱的驅(qū)動組件，密封罩蓋內(nèi)部設置有分隔原料的隔離組件。

4、作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述限位組件包括左右滑動設置在一號密封塞塊上部右側(cè)的阻擋板，一號密封塞塊與上料管之間設置有推動彈簧，阻擋板的右側(cè)與一號密封塞塊之間設置有回復彈簧，阻擋板的上端開設有從左向右逐漸朝上傾斜的斜面，一號密封塞塊的上部左側(cè)左右滑動設置有連接件，連接件下部開設有從左向右逐漸朝下傾斜的斜面，連接件上部開設有矩形缺口，連接件的下部右側(cè)與一號密封塞塊之間設置有壓縮彈簧。

5、作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述供料組件包括固定安裝在匚形架上側(cè)水平段內(nèi)部的供料管，供料管的下部上下滑動套設在上料管的外側(cè)，供料管的上端與存儲反應原料的存儲裝置連接，供料管的內(nèi)側(cè)下部軸心位置固定安裝有抵動柱，抵動柱下端左側(cè)固定安裝有l(wèi)形塊，抵動柱下端右側(cè)固定安裝有推動斜塊。

6、作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述鎖止組件包括共同固定安裝在二號密封塞塊下端的曲形板，曲形板與分隔板之間設置有螺旋彈簧，曲形板的左右兩端固定安裝有移動方桿，移動方桿與分隔板的對應位置上下滑動連接，移動方桿上設置有對曲形板的位置進行鎖定的固定部。

7、作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述固定部包括前后滑動設置在移動方桿內(nèi)部的鎖止斜塊，分隔板下部對應移動方桿的位置開設有矩形槽，鎖止斜塊后部左側(cè)開設有從前向后逐漸朝下傾斜的直線槽，移動方桿內(nèi)部上下滑動設置有主動推桿，主動推桿上端與分隔板之間設置有主動推簧，主動推桿右側(cè)上部通過凸起柱滑動在直線槽內(nèi)部，復極電解池的左右側(cè)壁上部均固定安裝有阻擋條板。

8、作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述攪動組件包括固定安裝在轉(zhuǎn)動支桿下部外側(cè)的內(nèi)螺旋板，轉(zhuǎn)動支桿的中部與下部均固定安裝有渦形板，上下兩個渦形板的渦線旋向相反，上下兩個渦形板之間固定安裝有安裝支柱，安裝支柱上固定安裝有外螺旋板，外螺旋板與內(nèi)螺旋板的旋向相反。

9、作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述驅(qū)動組件包括固定安裝在密封罩蓋上部的左側(cè)的執(zhí)行電機，密封罩蓋頂壁下側(cè)轉(zhuǎn)動設置有轉(zhuǎn)動方桿，轉(zhuǎn)動方桿與最左側(cè)的轉(zhuǎn)動柱上下滑動連接，轉(zhuǎn)動方桿的上端與執(zhí)行電機的輸出軸固定連接，所有轉(zhuǎn)動柱的外側(cè)通過鏈條連接在一起。

10、作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述隔離組件包括前后對稱且上下滑動設置在密封罩蓋內(nèi)部的滑動桿，兩個滑動桿上沿左右方向等間距固定安裝有隔離板，隔離板位于相鄰的兩個二號密封塞塊之間的位置，密封罩蓋右側(cè)壁上轉(zhuǎn)動設置有轉(zhuǎn)動齒輪，前側(cè)的滑動桿右部后側(cè)與隨動板的右部前側(cè)均固定安裝有齒條，前后兩個齒條分別嚙合在轉(zhuǎn)動齒輪的前后側(cè)。

11、本發(fā)明的有益效果在于：

12、一、本發(fā)明采用液壓缸帶動密封罩蓋向上移動，使得供料組件能夠自動的將原料加注在密封罩蓋與分隔板之間的空間內(nèi)部，之后液壓缸帶動密封罩蓋向下移動，使得密封罩蓋內(nèi)部的原料能夠快速下料至復極電解池的每個單元槽內(nèi)部，通過對原料進行二次貯存的方式，能夠在復極電解池反應的過程中進行上料，同時能夠?qū)λ械膹蜆O電解池的所有單元槽進行統(tǒng)一的下料，提高了原料的加注效率，從而增加了生產(chǎn)的效率。

13、二、本發(fā)明采用轉(zhuǎn)動柱帶動槳葉能夠?qū)γ芊庹稚w內(nèi)部的原料進行攪動，防止原來在二次貯存時發(fā)生沉淀，同時通過攪動組件能夠?qū)蜆O電解池內(nèi)部的原料進行攪動，進而防止原料在電解的過程中發(fā)生沉淀，從而保證對tmah的制備效果，且通過攪動組件能夠?qū)蜆O電解池中的原料進行上下的立體翻動，從而增加攪拌效果。

14、三、本發(fā)明采用隔離組件能夠?qū)γ芊庹稚w內(nèi)部的原料進行提前的分隔，使得密封罩蓋內(nèi)部的原料能夠等量分布，隨后通過下料管能夠同時將密封罩蓋內(nèi)部的原料下料至復極電解池的內(nèi)部，從而在提高下料效率的同時能夠保證復極電解池的每個單元槽內(nèi)部的原料量相同，從而保證電解的效率。

技術(shù)特征：

1.一種電子級化學品復極槽，其特征在于，包括匚形架(1)，匚形架(1)下側(cè)水平段上部固定安裝有復極電解池(2)，匚形架(1)上側(cè)水平段下部上下滑動設置有密封罩蓋(3)，密封罩蓋(3)的下部滑動套設在復極電解池(2)的外側(cè)，密封罩蓋(3)中部固定安裝有分隔板(4)，密封罩蓋(3)與分隔板(4)上共同設置有控制上下料的開閉機構(gòu)(5)，密封罩蓋(3)上設置有加快反應速率的加速機構(gòu)(6)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級化學品復極槽，其特征在于，所述限位組件(55)包括左右滑動設置在一號密封塞塊(52)上部右側(cè)的阻擋板(551)，一號密封塞塊(52)與上料管(51)之間設置有推動彈簧，阻擋板(551)的右側(cè)與一號密封塞塊(52)之間設置有回復彈簧，阻擋板(551)的上端開設有從左向右逐漸朝上傾斜的斜面，一號密封塞塊(52)的上部左側(cè)左右滑動設置有連接件(552)，連接件(552)下部開設有從左向右逐漸朝下傾斜的斜面，連接件(552)上部開設有矩形缺口，連接件(552)的下部右側(cè)與一號密封塞塊(52)之間設置有壓縮彈簧。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級化學品復極槽，其特征在于，所述供料組件(56)包括固定安裝在匚形架(1)上側(cè)水平段內(nèi)部的供料管(561)，供料管(561)的下部上下滑動套設在上料管(51)的外側(cè)，供料管(561)的上端與存儲反應原料的存儲裝置連接，供料管(561)的內(nèi)側(cè)下部軸心位置固定安裝有抵動柱(562)，抵動柱(562)下端左側(cè)固定安裝有l(wèi)形塊(563)，抵動柱(562)下端右側(cè)固定安裝有推動斜塊(564)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級化學品復極槽，其特征在于，所述鎖止組件(57)包括共同固定安裝在二號密封塞塊(54)下端的曲形板(571)，曲形板(571)與分隔板(4)之間設置有螺旋彈簧，曲形板(571)的左右兩端固定安裝有移動方桿(572)，移動方桿(572)與分隔板(4)的對應位置上下滑動連接，移動方桿(572)上設置有對曲形板(571)的位置進行鎖定的固定部(573)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種電子級化學品復極槽，其特征在于，所述固定部(573)包括前后滑動設置在移動方桿(572)內(nèi)部的鎖止斜塊(5731)，分隔板(4)下部對應移動方桿(572)的位置開設有矩形槽，鎖止斜塊(5731)后部左側(cè)開設有從前向后逐漸朝下傾斜的直線槽(5732)，移動方桿(572)內(nèi)部上下滑動設置有主動推桿(5733)，主動推桿(5733)上端與分隔板(4)之間設置有主動推簧，主動推桿(5733)右側(cè)上部通過凸起柱滑動在直線槽(5732)內(nèi)部，復極電解池(2)的左右側(cè)壁上部均固定安裝有阻擋條板(5734)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級化學品復極槽，其特征在于，所述攪動組件(65)包括固定安裝在轉(zhuǎn)動支桿(64)下部外側(cè)的內(nèi)螺旋板(651)，轉(zhuǎn)動支桿(64)的中部與下部均固定安裝有渦形板(652)，上下兩個渦形板(652)的渦線旋向相反，上下兩個渦形板(652)之間固定安裝有安裝支柱(653)，安裝支柱(653)上固定安裝有外螺旋板(654)，外螺旋板(654)與內(nèi)螺旋板(651)的旋向相反。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級化學品復極槽，其特征在于，所述驅(qū)動組件(66)包括固定安裝在密封罩蓋(3)上部的左側(cè)的執(zhí)行電機(661)，密封罩蓋(3)頂壁下側(cè)轉(zhuǎn)動設置有轉(zhuǎn)動方桿(662)，轉(zhuǎn)動方桿(662)與最左側(cè)的轉(zhuǎn)動柱(62)上下滑動連接，轉(zhuǎn)動方桿(662)的上端與執(zhí)行電機(661)的輸出軸固定連接，所有轉(zhuǎn)動柱(62)的外側(cè)通過鏈條連接在一起。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級化學品復極槽，其特征在于，所述隔離組件(67)包括前后對稱且上下滑動設置在密封罩蓋(3)內(nèi)部的滑動桿(671)，兩個滑動桿(671)上沿左右方向等間距固定安裝有隔離板(672)，隔離板(672)位于相鄰的兩個二號密封塞塊(54)之間的位置，密封罩蓋(3)右側(cè)壁上轉(zhuǎn)動設置有轉(zhuǎn)動齒輪(673)，前側(cè)的滑動桿(671)右部后側(cè)與隨動板(61)的右部前側(cè)均固定安裝有齒條(674)，前后兩個齒條(674)分別嚙合在轉(zhuǎn)動齒輪(673)的前后側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及化學品制備裝置領域，具體的是一種電子級化學品復極槽，包括匚形架，匚形架下側(cè)水平段上部固定安裝有復極電解池，匚形架上側(cè)水平段下部上下滑動設置有密封罩蓋，密封罩蓋的下部滑動套設在復極電解池的外側(cè)，密封罩蓋中部固定安裝有分隔板，密封罩蓋與分隔板上共同設置有控制上下料的開閉機構(gòu)，密封罩蓋上設置有加快反應速率的加速機構(gòu)，本發(fā)明采用液壓缸帶動密封罩蓋上下移動，使得密封罩蓋對原料進行轉(zhuǎn)運，通過對原料進行二次貯存的方式，能夠在復極電解池反應的過程中進行上料，同時能夠?qū)λ械膹蜆O電解池的所有單元槽進行統(tǒng)一的下料，提高了原料的加注效率，從而增加了生產(chǎn)的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：馮亞楠,賈成林,于文達,孟鵬,趙鵬,郭金,王寶興,何江匯,胡學建,邵天成
受保護的技術(shù)使用者：信聯(lián)電子材料科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/17