技術(shù)編號(hào)：40320433
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及化學(xué)品制備裝置領(lǐng)域，具體的是一種電子級(jí)化學(xué)品復(fù)極槽。背景技術(shù)、tmah（四甲基氫氧化銨）是一種在半導(dǎo)體制造過程中常用的顯影液成分，它在光刻膠的顯影中扮演著重要角色，復(fù)極槽則是電化學(xué)合成tmah的一種設(shè)備，復(fù)極槽是一種電解槽，為了提高電壓、穩(wěn)定電流、分散熱量與提高效率，復(fù)極槽內(nèi)部通常設(shè)置有多個(gè)電路互相串聯(lián)的單元槽，復(fù)極槽主要通過電解反應(yīng)將甲胺和水轉(zhuǎn)化為tmah。、為了防止tmah在電解的過程中揮發(fā)、防止雜質(zhì)對(duì)tmah污染同時(shí)維持電解液的組成，現(xiàn)有對(duì)tmah進(jìn)行制備的復(fù)極槽通常采用密封...
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