專利名稱：表面處理裝置及工件保持夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及連續(xù)電鍍裝置等表面處理裝置及工件保持夾具。
背景技術(shù)：
作為表面處理裝置、例如將工件表面電鍍處理的電解電鍍處理裝置，已知有在電鍍槽內(nèi)將電路基板等工件連續(xù)輸送的連續(xù)電鍍處理裝置。工件由被沿著供電軌道輸送的輸送夾具垂下保持，一邊被從供電軌道經(jīng)由輸送夾具供電一邊在電鍍槽內(nèi)被連續(xù)輸送。在電鍍槽中，在作為陰極的工件的輸送路徑的兩側(cè)配置陽極，在陰極一陽極間形成電場，將電鍍液電分解，將工件表面電鍍。這里，已知有代替在電鍍槽的上方配置供電軌道的構(gòu)造(專利文獻I)而在從電鍍
槽的上方離開的位置上與電鍍槽的長度方向平行地延伸設(shè)置供電軌道的構(gòu)造(專利文獻
2)。這樣，在能夠防止當(dāng)輸送夾具在供電軌道上滑動時產(chǎn)生的粉塵落下混入到電鍍槽內(nèi)這一點上較好。在連續(xù)電鍍裝置等表面處理裝置中，用工件保持夾具將工件垂下保持，在表面處理槽內(nèi)的液體中將工件連續(xù)輸送。工件保持夾具例如如專利文獻3所示，一般是將工件的上端夾緊而將工件垂下保持。此外，工件保持夾具的另一功能在于相對于配置在表面處理槽內(nèi)的陽極(正極)將工件設(shè)定為陰極(負(fù)極)。在陰極一陽極間形成電場，將電鍍液電分解，將工件表面電鍍。為此，將工件的上端夾緊的卡盤部件由導(dǎo)電性部件形成，經(jīng)由工件保持夾具將工件設(shè)定為陰極。專利文獻I :特許第3025254號公報 專利文獻2 :特許第3591721號公報
專利文獻3 :特開2009 - 132956號公報
如果如專利文獻2那樣將供電軌道配置到從電鍍槽的上方離開的位置上，則與如專利文獻I那樣將輸送夾具及工件垂下穩(wěn)定支承在供電軌道的正下方的形態(tài)不同。由此，輸送夾具及工件的重心從通過供電軌道的垂線上離開，所以在輸送夾具上作用不需要的力矩。由此，專利文獻2中公開的輸送夾具為了抑制因不需要的力矩帶來的危害，成為比專利文獻I中公開的夾具復(fù)雜的構(gòu)造。例如在專利文獻2中，在供電軌道的側(cè)面上，設(shè)置用來防止輸送夾具的脫落的脫開防止軌道，供電軌道的構(gòu)造也復(fù)雜化。當(dāng)保持在輸送夾具上的工件在液體中行進時，如果在俯視中工件的姿勢傾斜以相對于輸送方向交叉，則有可能受到液體的阻力而工件彎曲、損害商品價值。此外，當(dāng)保持在輸送夾具上的工件在液體中行進時，如果輸送夾具上下運動，則供電軌道與輸送夾具的電氣接觸成為不良，電鍍品質(zhì)也有可能劣化。為了防止這樣的狀況，使輸送夾具的行進穩(wěn)定化的構(gòu)造復(fù)雜化。此外，如專利文獻3那樣，判明僅通過在工件的上端確保通電路線，在確保工件的表面處理的面內(nèi)均勻性方面存在極限。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一些形態(tài)提供一種將沿著配置在從表面處理槽的上方離開的位置上的軌道輸送的輸送夾具的構(gòu)造改良、能夠很穩(wěn)定地支承輸送夾具的表面處理裝置。本發(fā)明的另一些發(fā)明提供一種即使是很薄的工件、也能夠不因液壓等使工件損壞而進行輸送的工件保持夾具。本發(fā)明的再另一些形態(tài)提供一種與導(dǎo)軌另外地設(shè)置供電軌道、能夠使被供電軌道供電的被供電部與輸送夾具的輸送狀態(tài)獨立地總是以適度的接觸壓力與供電軌道接觸的表面處理裝置。本發(fā)明的再另一些形態(tài)的目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)使工件的電流分布的面內(nèi)均勻性提高、進一步提高工件的表面處理品質(zhì)的改善的工件保持夾具及表面處理裝置。
( I)本發(fā)明的一形態(tài)，關(guān)于一種表面處理裝置，具有表面處理槽，收容處理液，具有上端開口；第I、第2導(dǎo)軌，在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置處，沿著與上述表面處理槽的長度方向平行的第I方向延伸設(shè)置；多個輸送夾具，配置在上述表面處理槽的上述處理液中，分別保持工件，支承在上述第I、第2導(dǎo)軌上；上述多個輸送夾具分別具有水平臂部，沿著與上述第I方向交叉的第2方向延伸；第I被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的一端側(cè)，被上述第I導(dǎo)軌導(dǎo)引；第2被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的另一端偵U，被上述第2導(dǎo)軌導(dǎo)引；垂直臂部，在上述第I被導(dǎo)引部與上述第2被導(dǎo)引部之間的位置處從上述水平臂部垂下，保持上述工件。這樣，多個輸送夾具分別具有夾著保持工件的垂直臂部而將第2方向的兩端側(cè)的第I、第2被導(dǎo)引部支承在第I、第2導(dǎo)軌上的雙支承構(gòu)造。因而，在本實施方式中，與專利文獻2那樣的懸臂支承構(gòu)造相比，能夠抑制不需要的力矩的發(fā)生、抑制上下運動而穩(wěn)定地將工件水平輸送。并且，由于作為滑動部的第I、第2導(dǎo)軌及第I、第2被導(dǎo)引部處于從表面處理槽的上端開口的上方離開的位置，所以也不會有粉塵等下落到表面處理槽內(nèi)而將電鍍液污染的情況。(2)本發(fā)明的另一形態(tài),關(guān)于一種表面處理裝置,具有表面處理槽,收容處理液，具有上端開口；第I、第2導(dǎo)軌，在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置處，沿著與上述表面處理槽的長度方向平行的第I方向延伸設(shè)置；供電軌道，在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置、上述第I、第2導(dǎo)軌之間，沿著上述第I方向延伸設(shè)置；多個輸送夾具，配置在上述表面處理槽的上述處理液中，分別保持工件，支承在上述第I、第2導(dǎo)軌上，并且接觸在上述供電軌道上而被供電；上述多個輸送夾具分別具有水平臂部，沿著與上述第I方向交叉的第2方向延伸；第I被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的一端偵U，被上述第I導(dǎo)軌導(dǎo)引；第2被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的另一端側(cè)，被上述第2導(dǎo)軌導(dǎo)引；垂直臂部，在上述第I被導(dǎo)引部與上述第2被導(dǎo)引部之間的位置處從上述水平臂部垂下，保持上述工件；被供電部，在上述第I被導(dǎo)引部與上述垂直臂部之間的位置處支承在上述水平臂上，接觸在上述供電軌道上。在本發(fā)明的另一形態(tài)中，對第I、第2導(dǎo)軌追加而具有供電軌道，輸送夾具還具有與供電軌道接觸的被供電部。供電軌道配置在從表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置、第I、第2導(dǎo)軌之間，所以輸送夾具的被供電部設(shè)在第I被導(dǎo)引部與上述垂直臂部之間的位置上。因此，從垂直臂部到第I被導(dǎo)引部的距離變得比從垂直臂部到第2被導(dǎo)引部的距離長。如果不存在第2被導(dǎo)引部，則從第I被導(dǎo)引部到垂直臂部的腕的長度變長，作用在輸送夾具上的不需要的力矩變大。在本發(fā)明的另一形態(tài)中，也與本發(fā)明的一形態(tài)同樣，具有支承在第I、第2導(dǎo)軌上的雙支承構(gòu)造，所以在輸送夾具上不會作用不需要的力矩。(3)本發(fā)明的再另一形態(tài)，關(guān)于一種工件保持夾具，是將薄板狀的矩形工件在處理槽內(nèi)的液體中保持的工件保持夾具，具有多個第I卡盤部件，把持上述矩形工件的第一邊；多個第2卡盤部件，把持上述矩形工件的與上述第一邊在第I方向上對置的第2邊；框狀部件，包圍上述矩形工件而配置，支承上述多個第I卡盤部件及上述多個第2卡盤部件；上述框狀部件具有第I導(dǎo)引部，將上述多個第I卡盤部件在上述第I方向上可動地移動導(dǎo)引；第I施力部件，將上述多個第I卡盤部件向相對于上述多個第2卡盤部件沿著上述第I方向遠離的一方向移動施力。根據(jù)本發(fā)明的工件保持夾具，分別把持矩形工件的對置兩邊的多 個第I、第2卡盤部件中的至少多個第I卡盤部件在第I方向上可動。由此，即使矩形工件的厚度較薄，也能夠總是對矩形工件施加張緊而保持平面。因此，能夠?qū)匦喂ぜ膬擅嬉跃鶆蚰ず襁M行表面處理。此外，在表面處理時、矩形工件被向處理液多次取出放入時，工件也不會撓曲而保持平面，所以不會有液壓作用在撓曲部上的情況。由此，能夠防止工件因液壓而從卡盤脫落、或者工件損壞。(4)本發(fā)明再另一形態(tài)，關(guān)于一種表面處理裝置，具有表面處理槽，收容處理液，具有上端開口 ；導(dǎo)軌及供電軌道，在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置處，沿著與上述表面處理槽的長度方向平行的第I方向延伸設(shè)置；多個輸送夾具，配置在上述表面處理槽的上述處理液中，分別保持工件，支承在上述導(dǎo)軌上，并且接觸在上述供電軌道上而被供電；上述多個夾具分別具有水平臂部，沿著與上述第I方向交叉的第2方向延伸；被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的一端側(cè)，被上述導(dǎo)軌導(dǎo)引；被供電部，在上述被導(dǎo)引部與上述垂直臂部之間的位置處被上述水平臂支承，接觸在上述供電軌道上；上述被供電部具有接觸部，接觸在上述供電軌道上；平行連桿機構(gòu)，將上述水平臂部與上述接觸部連結(jié)；施力部件，將上述平行連桿機構(gòu)旋轉(zhuǎn)施力，對上述接觸部施加接觸壓力。根據(jù)本發(fā)明的另一形態(tài)，與導(dǎo)軌另外地設(shè)置供電軌道，能夠使向供電軌道供電的被供電部與輸送夾具的輸送狀態(tài)獨立地總是以適度的接觸壓力與供電軌道接觸。(5)本發(fā)明的再另一形態(tài)，關(guān)于一種工件保持夾具，是將薄板狀的矩形工件在處理槽內(nèi)的液體中以垂直狀態(tài)保持、并且將上述工件設(shè)定為陰極的工件保持夾具，具有框狀部件，包圍上述矩形工件而配置；導(dǎo)電性的多個第I卡盤部件，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的上邊；導(dǎo)電性的多個第2卡盤部件，與上述多個第I卡盤電絕緣，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的下邊；第I通電部，對上述多個第I卡盤部件通電；第2通電部，對上述多個第2卡盤部件通電。根據(jù)本發(fā)明的再另一形態(tài)，特別在將很薄的工件作為表面處理對象的情況下，為了消除因液壓不能保持工件的垂下狀態(tài)的問題，將工件的上下夾緊，能夠保持工件的姿勢。這里，在使框狀部件及第I、第2卡盤部件導(dǎo)通的情況下，向支承著第2卡盤部件的下框部件的通電路線的電阻值必然比向支承著第I卡盤部件的上框部件的通電路線的電阻值大。在如以往那樣通過保持夾具僅將工件的上端夾緊的情況下，通電路線僅限定于上框部件。因而，從陽極經(jīng)由液體中向工件及框狀部件流動的電流(或者與其反向的電子的流動)越靠被工件保持夾具夾緊的工件的上端側(cè)越容易流動，工件內(nèi)的電流分布在工件面內(nèi)變得不均勻。工件的電流分布的面內(nèi)均勻性給工件的表面處理品質(zhì)帶來影響。在本發(fā)明的一形態(tài)中，多個第I卡盤部件與多個第2卡盤部件被電絕緣，并且向第I、第2卡盤部件的通電也被分離為第I、第2通電部。由此，從第I通電部向第I卡盤部件的第I通電路線、和從第2通電部向第2卡盤部件的第2通電路線能夠獨立地設(shè)定例如電阻值或電流值，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)使工件的電流分布的面內(nèi)均勻性提高、進一步提高工件的表面處理品質(zhì)的改善。(6)在本發(fā)明的形態(tài)(5)中，可以是，上述框狀部件包括導(dǎo)電性的上框部件，支承上述多個第I卡盤部件；導(dǎo)電性的下框部件，支承上述多個第2卡盤部件；兩個絕緣部件，設(shè)在上述上框部件的兩端部上；導(dǎo)電性的兩個縱框部件，上端部支承在上述兩個絕緣部件上，下端部連結(jié)在上述下框部件的兩端部上；上述第I通電部對上述上框部件通電；上述第2通電部對上述兩個縱框部件通電。在此情況下，第I通電部經(jīng)由上框部件對第I卡盤部件通電，第2通電部經(jīng)由兩個
縱框部件及下框部件對第2卡盤部件通電。上框部件和兩個縱框部件由于被兩個絕緣部件電絕緣，所以能夠獨立地設(shè)定各通電路線的電阻值或電流值。(7)在本發(fā)明的形態(tài)(6)中，可以是，還具有經(jīng)由上述第I通電部的一部分支承上述框狀部件、向上述第I及第2通電部通電的共通通電部。這樣，能夠?qū)⒃O(shè)在作為工件保持夾具具有的兩個功能部的輸送部和工件保持部中的輸送部側(cè)的導(dǎo)電性部件兼用作共通通電部、并且將共通通電部兼用作框狀部件的支承部，能夠削減零件件數(shù)。( 8 )在本發(fā)明的形態(tài)(7 )中，可以是，上述第I通電部具有絕緣部，固定在上述共通通電部上；導(dǎo)電性的連結(jié)部，將上述絕緣部與上述上框部件連結(jié)；至少一個上框通電電纜，將上述共通通電部與上述連結(jié)部連接；上述第2通電部具有將上述共通通電部與上述兩個縱框部件連接的第I及第2縱框通電電纜。這樣，通過第I通電部的一部分具有固定在共通通電部上的絕緣部、和將絕緣部與上框部件連結(jié)的導(dǎo)電性的連結(jié)部，能夠與通電部一起兼用作框狀部件的支承部，能夠削減零件件數(shù)。并且，從共通通電部的分離通電路線能夠通過一個上框通電電纜和第I、第2縱框通電電纜確保。(9)在本發(fā)明的形態(tài)(8)中，可以是，上述連結(jié)部包括 第I垂直臂部及第2垂直臂部，將上述絕緣部與上述上框部件連結(jié)；第I突出部，比上述第I垂直臂部突出；第2突出部，比上述第2垂直臂部突出；上述至少一個上框通電電纜包括將上述共通通電部與上述第I突出部連接的第I上框通電電纜、和將上述共通通電部與上述第2突出部連接的第2上框通電電纜。這樣，通過在具有連結(jié)功能的第I垂直臂部及第2垂直臂部以外設(shè)置第I、第2突出部，能夠使第I、第2突出部作為使第I通電部的通電路線變長的冗余部發(fā)揮功能、或與第I、第2垂直臂材質(zhì)變更。其理由是，作為第2通電部的第I、第2縱框通電電纜的一個和兩個縱框部件的一個成為共通通電部與下框部件之間的通電路線，但縱框部件比較長，為了輕量化而需要減小截面積，電阻值比較大。為了與縱框部件的比較大的電阻值取得平衡，通過第I、第2垂直臂部的一個和第I、第2突出部的一個，能夠?qū)Φ贗通電部側(cè)也賦予比較大的電阻值。如果取得兩者的平衡，則第I、第2上框通電電纜和第I、第2縱框通電電纜能夠使用導(dǎo)電部的長度和截面積相等的相同的電纜，能夠減少安裝錯誤。(10)在本發(fā)明的形態(tài)(7) (9)中，可以是，將從上述共通通電部向上述上框部件流動的電流路徑的電阻值、與從上述共通通電部向上述下框部件流動的電流路徑的電阻值設(shè)定為實質(zhì)上相同。由此，工件內(nèi)的電流分布的面內(nèi)均勻性提高，能夠進一步改善表面處理品質(zhì)。(11)在本發(fā)明的形態(tài)(6) (10)中，可以是，上述兩個絕緣部件分別具有將上述兩個縱框部件的各一個上端部在垂直方向上滑動導(dǎo)引的導(dǎo)引部。這樣，兩個縱框部件、下框部件及多個第2卡盤部件的自重作用在上端部被多個第I卡盤部件支承的工件的下端上， 通過張緊的施加能夠?qū)⒐ぜ３譃榇怪睜顟B(tài)。由此，即使表面處理槽的液壓作用在工件上，也能夠防止工件的變形。(12)在本發(fā)明的形態(tài)(11)中，可以是，還具有將被上述導(dǎo)引部滑動導(dǎo)引的上述兩個縱框部件的各一個向下方移動施力的施力部件。這樣，在上端部被多個第I卡盤部件支承的工件的下端上，除了上述自重以外還作用施力部件帶來的作用力，通過進一步的張緊的施加，能夠?qū)⒐ぜ３譃榇怪睜顟B(tài)。(13)在本發(fā)明的形態(tài)(12)中，可以是，上述施力部件的下端固定在被上述導(dǎo)引部滑動導(dǎo)引的上述兩個縱框部件的各一個上；上述施力部件的上端固定在支承于上述兩個絕緣部件的各一個上的導(dǎo)電性的固定部件上；上述第I、第2縱框通電電纜的各一個連接在上述固定部件上。這樣，第I、第2縱框通電電纜能夠經(jīng)由固定部件、施力部件對縱框部件通電?；蛘咭部梢詫⒌贗、第2縱框通電電纜直接連接在縱框部件上。(14)本發(fā)明的再另一形態(tài)，關(guān)于一種表面處理裝置，具有表面處理槽，收容處理液，具有上端開口 ；上述(5) (13)的任一項所述的工件保持夾具，將浸潰在上述表面處理槽的上述處理液中的工件垂下保持，并且將上述工件設(shè)定為陰極；陽極電極，在上述表面處理槽內(nèi)配置在與上述工件對置的位置上。(15)本發(fā)明的再另一形態(tài)，關(guān)于一種表面處理裝置，具有表面處理槽，收容處理液，具有上端開口 ；工件保持夾具，將浸潰在上述表面處理槽的上述處理液中的工件垂下保持，并且將上述工件設(shè)定為陰極；陽極電極，在上述表面處理槽內(nèi)在垂直方向上延伸，配置在與上述工件對置的位置上；中繼通電部，在比上述表面處理槽內(nèi)的上述處理液的液面低的位置處，對上述陽極電極通電。在本發(fā)明的另一形態(tài)中，當(dāng)來自中繼通電部的電流從陽極電極經(jīng)由表面處理槽內(nèi)的處理液朝向作為陰極(負(fù)極)的工件流動時，從與中繼通電部的連接高度位置在陽極電極上向上方和下方分支流動。這樣，相對于工件流動的電流被改善了其垂直方向上的電流分布的不均勻性。(16)在本發(fā)明的形態(tài)(15)中，可以是，上述工件保持夾具具有框狀部件，包圍上述矩形工件而配置；導(dǎo)電性的多個第I卡盤部件，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的上邊；導(dǎo)電性的多個第2卡盤部件，與上述多個第I卡盤電絕緣而支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的下邊；第I通電部，對上述多個第I卡盤部件通電；第2通電部，對上述多個第2卡盤部件通電。這樣，能夠?qū)⑸鲜?5)及(14)帶來的作用效果組合，實現(xiàn)使工件的電流分布的面內(nèi)均勻性提高、進一步提高工件的表面處理品質(zhì)的改善。


圖I是有關(guān)本發(fā)明的實施方式的表面處理裝置的縱剖視圖。圖2是圖I的部分放大圖。圖3是輸送夾具的立體圖。圖4是表示兩個導(dǎo)軌和輸送夾具的圖。圖5是輸送夾具的俯視圖。圖6是輸送夾具的主視圖。 圖7是表示向陽極的電流控制系統(tǒng)的圖。圖8 (A)、圖8 (B)是表示工件運出時的電流逐漸降低控制和工件運入時的電流逐漸增加控制的圖。圖9是工件保持夾具的框狀部件的部分放大圖。圖10是表示將可動板推下而保持工件的狀態(tài)的圖。圖11是表示通過第I卡盤支承工件并施加張緊的狀態(tài)的圖。圖12是表示被供電部的詳細情況的圖。圖13是表示有關(guān)本發(fā)明的另一實施方式的工件保持夾具的通電部及工件保持部的主視圖。圖14是圖13所示的工件保持夾具的側(cè)視圖。圖15是表示將縱框部件移動導(dǎo)引的絕緣部件和將縱框部件移動施力的施力部件的圖。圖16是表示配置在圖I的處理槽中的陽極電極部的示意圖。圖17是示意地表示圖13所示的工件保持夾具的通電部及工件保持部的圖。圖18是表示將工件內(nèi)的電流分布示意地測量的方法的圖。圖19是表示工件及陽極電極的通電點的圖。圖20 (A)及圖20 (B)是表示保持在圖6和圖13的工件保持夾具上的工件內(nèi)的電流分布的圖。
具體實施例方式以下，對本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式詳細地說明。另外，以下說明的本實施方式不是將權(quán)利要求書所記載的本發(fā)明的內(nèi)容不合理地限定的，并不限于在本實施方式中說明的結(jié)構(gòu)的全部都作為本發(fā)明的解決手段是必須的。I.表面處理裝置的概要
圖I是表面處理裝置例如連續(xù)電鍍處理裝置的縱剖視圖。連續(xù)電鍍處理裝置10將分別保持電路基板等工件20的多個輸送夾具30A沿與圖I的紙面垂直的方向循環(huán)輸送。在圖I中，表示循環(huán)輸送路徑100中的平行的兩個直線輸送路徑110、120。這兩個直線輸送路徑110、120在兩端上被連結(jié)而形成環(huán)狀的循環(huán)輸送路徑100。在循環(huán)輸送路徑100中，設(shè)有將分別保持在多個輸送夾具30A上的工件20進行表面處理例如電鍍處理的電鍍槽(廣義地講是表面處理槽)200、設(shè)在比電鍍槽200靠循環(huán)輸送路徑100的上游、將未處理的工件20向多個輸送夾具30A運入的運入部(未圖示)、和設(shè)在比電鍍槽200靠循環(huán)輸送路徑100的下游、將已處理的工件20從多個輸送夾具30A運出的運出部(未圖示)。在本實施方式中，電鍍槽200沿著第2直線輸送路徑120設(shè)置，運入部及運出部設(shè)在第I直線輸送路徑110中。在循環(huán)輸送路徑100中，還具有配置在電鍍槽200的上游側(cè)的前處理槽群230、和配置在電鍍槽200的下游側(cè)的后處理槽群(未圖示)。前處理槽群230通過在運入部210與電鍍槽200之間從上游側(cè)起依次配置例如脫脂槽、熱水洗槽、水洗槽、噴淋槽及酸洗槽等而構(gòu)成。后處理槽通過在電鍍槽200與運出部之間從上游側(cè)起依次配置例如噴淋槽及水洗槽而構(gòu)成。另外，前處理槽群230及后處理槽群的數(shù)量及種類能夠適當(dāng)變更。2.輸送夾具和兩個導(dǎo)軌
如圖I所示，連續(xù)電鍍處理裝置10具有收容電鍍液(廣義地講是處理液)、具有上端開 口 201的電鍍槽(廣義地講是表面處理槽)200。連續(xù)電鍍處理裝置10還如將圖I的一部分放大表示的圖2所示，具有在從電鍍槽200的上端開口 201的上方離開的位置處沿著與電鍍槽200的長度方向平行的第I方向(與紙面垂直的方向)延伸設(shè)置的第I導(dǎo)軌130及第2導(dǎo)軌140。多個輸送夾具30A配置在電鍍槽200的處理液中而將工件20分別保持，支承在第I、第2導(dǎo)軌130,140上。多個夾具30A分別如圖3 圖5所示，具有水平臂部300、第I被導(dǎo)引部310、第2被導(dǎo)引部320、和垂直臂部330。水平臂部300如圖3及圖5所示，具有沿著與第I方向(輸送方向)A正交(廣義地講是交叉)的第2方向B延伸的例如兩條第I、第2水平臂300A、300B。第I被導(dǎo)引部310如圖4所示，支承在水平臂部300 —端側(cè)，被第I導(dǎo)軌130導(dǎo)引。第2被導(dǎo)引部320如圖4所示，支承在水平臂部300的另一端側(cè)，被第2導(dǎo)軌140導(dǎo)引。垂直臂部330如圖3及圖6所示，在第I被導(dǎo)引部310與第2被導(dǎo)引部320之間的位置上，具有從固定在水平臂部300上的支承板331垂下的保持工件20的例如兩根第I、第2水平臂300A、300B。這樣，多個夾具30A分別具有夾著保持工件20的垂直臂部330將第2方向B的兩端側(cè)的第I、第2被導(dǎo)引部310、320支承在第I、第2導(dǎo)軌130、140上的雙支承梁的形態(tài)。因而，在本實施方式中，與如專利文獻2 (特許第3591721號)那樣懸臂梁的形態(tài)相比，能夠在輸送夾具30A的輸送整個過程中抑制上下運動而穩(wěn)定地將工件20保持輸送。并且，由于作為滑動部的第I、第2導(dǎo)軌130、140及第I、第2被導(dǎo)引部310、320處于從電鍍槽200的上端開口 201的上方離開的位置上，所以不會有粉塵等落下到電鍍槽200內(nèi)而將電鍍液污染的情況。3.輸送夾具、兩個導(dǎo)軌和供電軌道
在電鍍處理裝置10中，將工件20作為負(fù)極(陰極)，電鍍槽200在夾著工件20的輸送路徑的兩側(cè)設(shè)置收容正極(陽極例如銅類正極球)410L、410R的圓筒網(wǎng)背板(收容部)202、203,在負(fù)極-正極間形成電場而將電鍍液電分解,將工件20電場電鍍。為此，需要向輸送中的工件20通電。為了向工件20供電，例如可以將第I、第2導(dǎo)軌130、140的至少一方作為供電軌道。在此情況下，只要將構(gòu)成輸送夾具30A的部件中的、從第I、第2導(dǎo)軌130、140向工件20供電的路徑的材料用導(dǎo)電體形成就可以。
在本實施方式中，如圖I及圖2所示，電鍍處理裝置10與第I、第2導(dǎo)軌130、140另外地設(shè)有供電軌道210。特別是，本實施方式的供電軌道210為了實施特開2009 — 132999中公開的電流控制方法，如圖2所示，具有相互絕緣的多個例如4條分割供電軌道210A 210D。多個輸送夾具30A分別具有與4條分割供電軌道2IOA 2IOD的某一個接觸而被供電的被供電部340 (圖2 圖5)。被供電部340配置在第I被導(dǎo)引部310與垂直臂部330之間的位置上。這樣，多個夾具30A分別具有夾著被供電部340、第2方向B的兩端側(cè)的第I、第2被導(dǎo)引部310、320支承在第I、第2導(dǎo)軌130、140上的雙支承的形態(tài)。因而，在輸送夾具30A的輸送整個過程中，能夠抑制被供電部340的上下運動而穩(wěn)定地維持與供電軌道210的接觸。4.使用分割供電軌道的電流控制方法
以下，參照圖7及圖8 (A)、圖8 (B)對在特開2009 — 132999中公開的電流控制方法進行說明。另外，圖I所示的電鍍槽200沿著垂直于紙面的輸送方何具有例如10幾m以上(包括該值)的長度。圖7所示的電鍍槽單元200A表示單位單元,通過將多個電鍍槽單元200A連接，構(gòu)成圖I的電鍍槽200。電源單元400A 400D經(jīng)由對應(yīng)的分割供電軌道210A 210D向輸送中的各工件20供電。電源單元400A 400D能夠向具有一面Fl及另一面Fr的各工件20通過設(shè)定電流值(A/dm2)下的恒流控制進行供電。進而電源單元400A 400D在向電鍍槽單元200A內(nèi)運入工件20時將電流漸增控制，并且在將工件20運出時將電流漸減控制。在圖7中，在電鍍槽單元200A中，能夠?qū)片(例如3片)工件20 (20A 20C或20B 20D)以輸送夾具30A (30A1 30A4)同時全面浸潰狀態(tài)沿輸送方向A輸送。所謂全面浸潰狀態(tài)，是指至少工件20的電鍍處理對象面(圖10所示的一面Fl及另一面Fr)的全部浸潰在圖I及圖2所示的一個電鍍槽單元200A的電鍍液Q中的狀態(tài)。因而，在從電鍍槽單元200A的出口 200B側(cè)開始將工件20A運出、并且向入口 200F側(cè)開始運入工件20D的狀態(tài)下，在電鍍槽單元200A內(nèi)浸潰數(shù)量為(N+1)即4片工件20 (20A 20D)。在此狀態(tài)下，在工件20B 20C為全面浸潰狀態(tài)下，工件20A及20D是部分浸潰狀態(tài)。所謂部分浸潰狀態(tài)，是指至少工件20A、20D的電鍍處理對象面(圖10所示的一面Fl+另一面Fr)的長度方向的一部分浸潰在一個電鍍槽單元200A的電鍍液Q中的狀態(tài)。從一個電鍍槽單元200A露出的部分被配置到相鄰的其他電鍍槽單元200A內(nèi)或其他處理槽中。這里，在同時能夠在全面浸潰狀態(tài)下在電鍍槽單元200A內(nèi)輸送的工件20的片數(shù)是N (例如，N=3片)的情況下，分割供電軌道210及電源單元400的數(shù)量是(N+1) [=4]。在電鍍槽單元200A內(nèi)(電鍍液Q中)，如圖7所示，對置配設(shè)有沿第I方向A延伸的左右I對陽極電極(銅類正極球)410L、410R。兩陽極電極410L、410R對于保持在各輸送夾具30A (30A1 30A4)上的各工件20 (20A 20D)是共通的，各陽極電極410L、410R與輸送中的各工件20的間隔(極間距離)被維持為一定(規(guī)定值)。各電源單元400A 400D能夠按照保持在輸送夾具30A上的工件20 (按照電源單元400)設(shè)定變更電流值，并且能夠進行設(shè)定電流值Is (A/dm2)下的恒流控制。即，各電源單元400A 400D構(gòu)成為，在將工件20在電鍍槽單元200A內(nèi)以全面浸潰狀態(tài)輸送的期間中進行恒流控制，而在將工件20A以部分浸潰狀態(tài)向電鍍槽單元200A內(nèi)運入的期間中進行電流漸增控制，在將工件20D以部分浸潰狀態(tài)運出的期間中進行電流漸減控制。是部分浸潰在相鄰的兩個電鍍槽單元200A的各自中的狀態(tài)的工件20在下游側(cè)的電鍍槽單元200A受到電流漸減控制，在上游側(cè)的電鍍槽單元200A中受到電流漸增控制。S卩，在圖8 (A)中，在工件20為部分浸潰運入期間T12 (=tl t2)中，到到達設(shè)定電流值Is為止，與時間長(處理面積)成比例將電流(Iin)漸增控制。在全面浸潰時(t2)切換為設(shè)定電流值Is的恒流控制。在工件20為部分浸潰運出期間T34 (=t3 t4)中，如圖8 (B)所示，從設(shè)定電流值Is的恒流控制切換為漸減控制。將電流(Idg)與時間長(處理面積)成反比例漸減控制。根據(jù)該實施方式，由于能夠以按照工件20設(shè)定的電流值進行連續(xù)電鍍處理，所以能夠在各工件20上以對應(yīng)于該工件設(shè)定電流值的沒有不勻的膜厚形成均勻且高品質(zhì)的電鍍被膜。
5.輸送夾具的詳細的說明 5. I.被供電部
在分別設(shè)于在本實施方式中使用的多個輸送夾具30A上的被供電部340與N個分割供電軌道210A 210D的一個接觸。圖7所示的多個輸送夾具30A包括相對于水平臂部300在第2方向B上位置不同的N個部位的各一個上安裝有被供電部340的第I 第N輸送夾具30A1 30A4。第I 第N輸送夾具30A1 30A4的各一個與N個分割供電軌道2IOA 2IOD的各一個接觸。在本實施方式中，采用使輸送夾具30A的零件共通化、與多個分割供電軌道2IOA 2IOD的任意一個接觸的構(gòu)造。為此，多個輸送夾具30A(第I 第N輸送夾具30A1 30A4)分別如圖3所示，具有支承被供電部340的支承部、例如支承板350。支承板350具有在第2方向B上設(shè)在不同的位置上的N (N=4)個安裝部(例如螺孔)351 354。多個輸送夾具30A (圖7所示的第I 第N輸送夾具30A1 30A4)的各自的被供電部340分別包括與供電軌道210 (分割供電軌道210A 210D)接觸的接觸部341。接觸部341例如通過蝶形螺紋件342拆裝自如地安裝在N個安裝部351 354的一個(在圖3中是安裝部351)上。通過這樣將接觸部341安裝到從N個安裝部351 354中選擇的一個上，能夠在使零件共通化的同時、準(zhǔn)備第I 第N輸送夾具30A1 30A4。圖12表示被供電部340的詳細情況。被供電部340具有將支承板350與接觸部341通過例如兩條平行連桿342A、342B連結(jié)的四節(jié)旋轉(zhuǎn)鏈的平行連桿機構(gòu)342。兩條連桿342A、342B總是被作為施力部件的扭轉(zhuǎn)螺旋彈簧343、343向順時針方向移動施力。結(jié)果，能夠使接觸部341以適度的接觸壓力接觸在供電軌道210上。此外，兩條平行連桿342A、342B傾斜，以使其上側(cè)支點先行、下側(cè)支點后行。換言之，兩條連桿342A、342B的長度方向與輸送方向A交叉的角度為銳角。結(jié)果，接觸部341以被輸送夾具30A拉伸的形態(tài)行進，所以行進穩(wěn)定。以往，不使用平行連桿機構(gòu)342，例如將被兩條垂直軸在垂直方向上移動導(dǎo)引的接觸部341通過兩個彈簧向垂直下方移動施力。這樣，如果由兩個彈簧帶來的推壓力不平衡，則接觸部341傾斜。由此，接觸部341的角部與供電軌道210接觸，有接觸部341異常磨損的缺點。在本實施方式中，通過平行連桿機構(gòu)342，接觸部341被水平地配置，與供電軌道210接觸。由此，能夠防止接觸部341傾斜而接觸部341的角部與供電軌道210接觸的情況。因此，能夠防止接觸部341的異常磨損及接觸不良、使作為消耗品的接觸部341的壽命變長。另外，圖12所示的被供電部340的結(jié)構(gòu)能夠在與導(dǎo)軌130、140另外地具有供電軌道210的表面處理裝置中應(yīng)用，導(dǎo)軌及供電軌道也可以是各I條。如果如以往那樣兼用作導(dǎo)軌和供電軌道，則過度的壓力作用在被供電部上，所以磨損劇烈，被供電部的產(chǎn)品壽命變短。在本實施方式中，能夠與輸送夾具30A的行進獨立地使被供電部340對供電軌道210以適度的接觸壓力接觸。結(jié)果，即使將被供電部340用黃銅等形成，也能夠延長壽命。5. 2.第I、第2被導(dǎo)引部
導(dǎo)引第I被導(dǎo)引部310的第I導(dǎo)軌130在縱截面中包括上表面、第I側(cè)面、和與第I側(cè)面對置的第2側(cè)面，例如形成為矩形。被第I導(dǎo)軌130導(dǎo)引的第I被導(dǎo)引部310可以包括與第I導(dǎo)軌130的上表面滾動接觸的第I輥311、與第I導(dǎo)軌130的第I側(cè)面滾動接觸的第2輥312、和與第I導(dǎo)軌130 的第2側(cè)面滾動接觸的第3輥313而構(gòu)成。此外、第2被導(dǎo)引部320可以包括與第2導(dǎo)軌140的上表面滾動接觸的第4輥321。通過第I、第4輥311、321在輸送夾具30A的第2方向B的兩端側(cè)與第I、第2導(dǎo)軌130、140的各上表面接觸，能夠使輸送夾具30A以水平狀態(tài)穩(wěn)定地行進。此外，通過第2、第3輥312、313夾著第I導(dǎo)軌130的兩側(cè)面，能夠抑制輸送夾具30A在第2方向B上位置偏差。5. 3連續(xù)輸送驅(qū)動部
圖2所示的連續(xù)輸送驅(qū)動部150在將輸送夾具30A的第I直線輸送路徑120 (圖I)分割為多個區(qū)間的每個中設(shè)有一個。該連續(xù)輸送驅(qū)動部150具備具有沿著固定導(dǎo)引板151移動的線性導(dǎo)引部152AU52B的推進器153AU53B。兩個推進器153A、153B在未圖示的馬達作用下分別獨立地移動。通過這兩個推進器153AU53B，將輸送夾具30A在一個區(qū)間中連續(xù)直線驅(qū)動。兩個推進器153AU53B在一個區(qū)間內(nèi)分別具有固有的驅(qū)動區(qū)域、和共通的驅(qū)動區(qū)域。首先，推進器153在上游側(cè)的固有驅(qū)動區(qū)域?qū)⑤斔蛫A具30A推動。接著，在共通的驅(qū)動區(qū)域中將輸送夾具30A連續(xù)輸送時，從推進器153A交接給推進器153B。推進器153A在遍及固有及共通的驅(qū)動區(qū)域前進規(guī)定行程后，后退到原來的位置，負(fù)責(zé)下個輸送夾具30A的輸送。推進器153B也同樣動作。在推進器153AU53B中，具有將輸送夾具30A的第I被推動部360推動的爪部件154A、154B。爪部件154A、154B在推進器153A、153B的前進時將輸送夾具30A的第I被推動部360推動。爪部件154AU54B在推進器153AU53B的后退時能夠變位以便不妨礙第I被推動部360的前進。另外，輸送夾具30A具有第2被推動部362，第2被推動部362在電鍍槽20中的連續(xù)輸送以外時使用。5. 4.鉤部
如圖I 圖5所示，在多個輸送夾具30A的各自上，設(shè)有夾具懸掛用的鉤部370、370。連續(xù)電鍍處理裝置10如圖I所示，還具有卡合在鉤部370、370上、使保持在輸送夾具30A上的工件20相對于電鍍槽200升降的升降部160。為了在電鍍槽200以外使工件升降，不需要使用升降軌道。驅(qū)動力較小就足夠。5. 5垂直臂部和工件保持夾具
垂直臂部330如圖3及圖6所示,具有例如兩條垂直臂330A、330B。在該兩條垂直臂330A、330B上，垂下支承著工件保持夾具500。
工件保持夾具500適合在工件20的厚度為IOOym以下(包括該值)、優(yōu)選的是60 μ m以下(包括該值)那樣很薄的工件20中使用。在本實施方式中，工件20的厚度例如是 40 μ m=0. 04mm。工件保持夾具500如圖3及圖6所示,具有把持矩形工件20的第一邊(例如上邊)20a的多個第I卡盤部件510、把持矩形工件20的與第一邊在第3方向(鉛直方向)C上對置的第2邊20b的多個第2卡盤部件520、和包圍矩形工件20而配置、支承多個第I卡盤部件510及多個第2卡盤部件520的框狀部件530。框狀部件530如圖9 圖11所示，具有將多個第I卡盤部件510在第3方向C上可動地移動導(dǎo)引的導(dǎo)引部540、和作為將多個第I卡盤部件510向相對于多個第2卡盤部件520沿第I方向遠離的一方向Cl移動施力的施力部件的螺旋彈簧550。具體而言，框狀部件530如圖10及圖11所示，包括固定板531、和重疊配置在固定板531上的可動板532。導(dǎo)引部540包括形成在固定板531及可動板532的一個、例如可動板532上、以第3方向C為長度方向的長孔533、和形成在固定板531及可動板的另一 個上、向長孔533插通的軸部、例如螺栓軸534。螺旋彈簧550將可動板532相對于固定板531向一方向Cl推壓施力。將多個第I卡盤部件510及多個第2卡盤部件520的各自中共通的結(jié)構(gòu)，舉第I卡盤部件510為例，參照圖10及圖11進行說明。第I卡盤部件510包括接觸在工件20的第I面Fl上的固定部件511、和在與固定部件511對置的位置上可相對于工件20的第2面Fr接觸分離地配置、推壓接觸在第2面Fr上的可動部件512。可動部件512可以包括在推壓解除時被驅(qū)動的被驅(qū)動片512A、在被驅(qū)動片512A的非驅(qū)動時經(jīng)由鉸鏈513被彈簧壓力總是向固定部件側(cè)推壓的推壓驅(qū)動片512B、和形成在推壓驅(qū)動片512B的自由端部上的薄板狀的推壓片512C。在將工件20向工件保持夾具500安裝時，首先將工件20的第2邊20b用多個第2卡盤部件520把持。接著，為了將工件20的第I邊20a用第2卡盤部件510把持，最初將可動板532克服螺旋彈簧550的作用力而推下，設(shè)定為圖10的狀態(tài)。此時，驅(qū)動第I卡盤部件510的被驅(qū)動片512A，如圖10所示那樣將推壓驅(qū)動片512B設(shè)定為開放狀態(tài)。接著，通過將被驅(qū)動片512A的驅(qū)動解除，將工件20的第I邊20a用第I卡盤部件510把持。最后，將向可動板532的推下力解除。由此，可動板532在螺旋彈簧550的作用力下上升，能夠?qū)ぜ?0施加張緊而維持工件20的平面性。另外，向工件20的張緊施加可以由第I卡盤部件510及第2卡盤部件的至少一個進行。即，也可以在第2卡盤部件520中采用上述張緊施加構(gòu)造。另外，上述構(gòu)造的工件保持夾具500也可以作為將多個工件保持夾具500同時浸潰到處理液中的分批處理用使用。在此情況下，第I、第2卡盤部件510、520并不限于上下配置，也可以配置在左右的側(cè)邊上。5.6.圖3的通電部及工件保持部
如上所述，工件保持夾具30A的通電部330如圖3所示，具有導(dǎo)電性的水平臂部300、導(dǎo)電性的支承板331、和導(dǎo)電性的垂直臂部330A、330B(330)。進而，在這兩條垂直臂330A、330B上，垂下支承工件保持部500。工件保持部500如圖3所示，具有把持矩形工件20的上邊20a的導(dǎo)電性的多個第I卡盤部件510、把持矩形工件20的與上邊20a在鉛直方向C上對置的下邊20b的導(dǎo)電性的多個第2卡盤部件520、和包圍矩形工件20而配置、支承多個第I卡盤部件510及多個第2卡盤部件520的框狀部件530?？驙畈考?30具有支承多個第I卡盤部件510的導(dǎo)電性的上框部件531、支承多個第2卡盤部件520的導(dǎo)電性的下框部件532、和將上框部件531的兩端部與下框部件532的兩端部分別連結(jié)的導(dǎo)電性的兩個縱框部件533、534。這樣，在圖3的框狀部件530中，上框部件531與下框部件532通過兩個縱框部件533,534電氣地導(dǎo)通。為了從作為通電部發(fā)揮功能的兩條垂直臂部332A、332B向下框部件532通電而經(jīng)由上框部件531。由此，以往向下框部件532的通電路線的電阻值必然比向上框部件531的通電路線的電阻值大。因此，工件20內(nèi)的電流分布越靠上邊20a則電流值越高，越靠下邊端20b則電流值越低，面內(nèi)均勻性不好。 6.有關(guān)工件保持夾具的工件保持部的變形例 6.1.第I、第2卡盤部件和第I、第2通電部
圖13及圖14在本發(fā)明的實施方式中表示工件保持夾具30B，特別表示具有與圖3的工件保持夾具30A不同的結(jié)構(gòu)的工件保持部600。另外，圖3的工件保持夾具30A和本實施方式的工件保持夾具30B能夠共用圖3所示的輸送部300。圖13的工件保持夾具30B的包括通電部650的工件保持部600的構(gòu)造與圖3的工件保持夾具30A不同。圖13所示的工件保持部600具有把持矩形工件20的上邊20a的導(dǎo)電性的多個第I卡盤部件610、把持矩形工件20的下邊20b的導(dǎo)電性的多個第2卡盤部件620、包圍矩形工件20而配置、支承多個第I卡盤部件610及多個第2卡盤部件620的框狀部件630、和包括第I通電部660及第2通電部670的通電部650。這里，多個第I卡盤部件610與多個第2卡盤部件620電絕緣。第I通電部660向多個第I卡盤部件610通電。第2通電部670向多個第2卡盤部件620通電。特別是，在將很薄的工件作為表面處理對象的情況下，在使工件20下降而向處理槽200投入時、或朝向圖3的輸送方向A將工件20在處理槽200內(nèi)輸送時，因液壓不能保持工件20的垂下狀態(tài)。本實施方式的工件保持部600由于將工件20的上下邊20a、20b夾緊，所以即使液壓作用，也能夠保持工件20的垂直姿勢。另外，第I、第2卡盤部件610、620間的距離也可以固定，但也可以如后述那樣使第2卡盤部件620在垂直方向上可動、再由施力部件向垂直下方移動施力。關(guān)于這一點在后面敘述。本實施方式即使如工件20的厚度為ΙΟΟμπι以下(包括該值)、優(yōu)選的是60μπι以下(包括該值)那樣是很薄的工件20也能夠防止變形。在本實施方式中，工件20的厚度例如是40 μ m =0. 04mm。另外，圖3的工件保持部500也由于具有上下的第I、第2卡盤部件510、520，所以關(guān)于能夠防止工件20的變形這一點與本實施方式是同樣的。但是，在如圖3的工件保持部500那樣使框狀部件530及第I、第2卡盤部件510、520導(dǎo)通的情況下，向支承著第2卡盤部件520的下框部件532的通電路線的電阻值必然比向支承著第I卡盤部件510的上框部件531的通電路線的電阻值大。這是因為，向下框部件532的通電路線一定經(jīng)由向上框部件531的通電路線。此外，在如專利文獻3 (特開2009 - 132956號)的以往技術(shù)那樣、通過保持夾具僅將工件的上端夾緊的情況下，通電路線僅限定于上框部件。因而，從陽極經(jīng)由液體中流到工件及框狀部件中的電流(或與其相反方向的電子的流動)越靠被工件保持夾具夾緊的工件的上端側(cè)越容易流動，工件內(nèi)的電流分布在工件面內(nèi)變得不均勻。工件的電流分布的面內(nèi)均勻性給工件的表面處理品質(zhì)帶來影響。在本實施方式的工件保持部600中，多個第I卡盤部件610和多個第2卡盤部件620被電絕緣，并且向第I、第2卡盤部件610、620的通電也被分離為第I、第2通電部660、670。由此，從第I通電部660向第I卡盤部件610的通電路線、與從第2通電部670向第2卡盤部件620的通電路線能夠獨立地設(shè)定電阻值。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)提高工件20的電流分布的面內(nèi)均勻性、進一步提高工件20的表面處理品質(zhì)的改善。6. 2.框狀部件及通電部
在本實施方式的工件保持部600中，框狀部件630可以具有支承 多個第I卡盤部件610的導(dǎo)電性的上框部件631、支承多個第2卡盤部件620的導(dǎo)電性的下框部件632、設(shè)在上框部件631的兩端部的兩個絕緣部件640A、640B、和上端部支承在兩個絕緣部件640A、640B上、下端部連結(jié)在下框部件632的兩端部上的導(dǎo)電性的兩個縱框部件633、634。在此情況下，第I通電部660經(jīng)由上框部件631向第I卡盤部件610通電。第2通電部670經(jīng)由兩個縱框部件633、634及下框部件632向第2卡盤部件620通電。上框部件631和兩個縱框部件633、634被兩個絕緣部件640、640B電絕緣，所以能夠獨立地設(shè)定各通電路線的電阻值。通電部650能夠?qū)⒆鳛檩斔筒?00的元件的水平臂部301 (301A、301B)兼用作向上框部件631及下框部件632通電的共通通電部。第I通電部660從共通通電部301(301A.301B)經(jīng)由上框部件631向第I卡盤部件610通電。第2通電部670從共通通電部301 (301A.301B)經(jīng)由兩個縱框部件633、634及下框部件632向第2卡盤部件620通電。工件保持夾具30A具有輸送部300和通電部330，但也能夠?qū)⒃O(shè)在輸送部300側(cè)的作為導(dǎo)電性部件的水平臂部301 (301A、301B)兼用作共通通電部。并且，也能夠?qū)⒐餐ㄍ姴?01 (301A、301B)兼用作框狀部件330的支承部，能夠削減零件件數(shù)。在此情況下，第I通電部660可以具有固定在共通通電部301 (301A、301B)上的絕緣部661、將絕緣部661與上框部件631連結(jié)的導(dǎo)電性的連結(jié)部662、和將共通通電部301(301A、301B)與連結(jié)部連接的至少一個上框通電電纜663。另一方面，第2通電部670可以具有將共通通電部301 (301A、30IB )與兩個縱框部件633、634連接的第I及第2縱框通電電纜 671A、671B。這樣，能夠?qū)⒃O(shè)在作為工件保持夾具30B具有的兩個功能部的輸送部300和工件保持部600中的輸送部300側(cè)的導(dǎo)電性部件兼用作共通通電部301(301A、301B)，并且將共通通電部301 (301A、301B)兼用作框狀部件630的支承部，能夠削減零件件數(shù)。此外，通過第I通電部660的一部分具有將固定在共通通電部301 (301A、301B)上的絕緣部661與上框部件631連結(jié)的導(dǎo)電性的連結(jié)部662，能夠與通電功能部一起兼用作框狀部件630的支承部，能夠削減零件件數(shù)。并且，從共通通電部301 (301A、301B)的分離通電路線可以通過一個上框通電電纜663、和第I、第2縱框通電電纜671A、67IB確保。連結(jié)部662可以包括將絕緣部661與上框部件631連結(jié)的第I垂直臂部662A及第2垂直臂部662B、比第I垂直臂部662A突出的第I突出部664A、和比第2垂直臂部662R突出的第2突出部664B。在此情況下，至少一個上框通電電纜663可以包括將作為一個共通通電部的水平臂部301A與第I突出部664A連接的第I上框通電電纜663A、和將作為另一個共通通電部的水平臂部301B與第2突出部664B連接的第2上框通電電纜663B。這樣，通過在具有連結(jié)功能的第I垂直臂部662A及第2垂直臂部662B以外設(shè)置第I、第2突出部664A、664B，能夠使第I、第2突出部664A、664B作為使第I通電部660的通電路線變長的冗余部發(fā)揮功能。其理由是，作為第2通電部670的第I、第2縱框通電電纜671A、671B的一個與兩個縱框部件633、634的一個成為共通通電部301與下框部件632之間的通電路線，但縱框部件632比較長，為了輕量化而需要減小截面積，電阻值比較大。為了與縱框部件632的比較大的電阻值取平衡，通過第I、第2垂直臂部662A、662B的一個和第I、第2突出部664A、664B的一個，能夠?qū)Φ贗通電部660側(cè)也賦予比較大的電阻值。如果能夠取兩者的平衡，則第I、第2上框通電電纜663A、663B和第I、第2縱框通電電纜671A、671B能夠使用導(dǎo)電部的長度和截面積相等的相同的電纜，能夠減少安裝錯誤。通過上述工件保持部600及通電部650的構(gòu)造，能夠?qū)墓餐ㄍ姴?01向上框 部件631流動的電流路徑的電阻值與從共通通電部301向下框部件632流動的電流路徑的電阻值實質(zhì)上設(shè)定為相同。由此，工件20內(nèi)的電流分布的面內(nèi)均勻性提高，能夠進一步改善表面處理品質(zhì)。6.3.維持工件的垂直姿勢的構(gòu)造
如圖15所示，兩個絕緣部件640A、640B可以分別具有將兩個縱框部件633、634的各一個上端部633A、634A在垂直方向上滑動導(dǎo)引的導(dǎo)引部642A。這樣,兩個縱框部件633、634、下框部件632及多個第2卡盤部件620的自重作用在被多個第I卡盤部件610支承著上端部的工件20的下端上，通過張緊的施加，能夠?qū)⒐ぜ?0保持為垂直狀態(tài)。由此，即使表面處理槽的液壓作用在工件20上，也能夠防止工件20的變形。為此，兩個絕緣部件640A、640B分別具有固定在上框部件631的兩端上的固定部641、和固定在固定部641上的筒體642，可以將筒體642的孔642A作為將兩個縱框部件633、634的各一個上端部633A、634A在垂直方向上滑動導(dǎo)引的導(dǎo)引部。另外，固定部641和筒體642也可以一體成形。固定部641可以具有固定到上框部件631上的垂直片641A、和例如兩個水平片641B、641C。筒體642可以在水平片641B的正下方固定在垂直片641A及水平片641B上。設(shè)在兩個縱框部件633、634的各一個上端部633A、634A上的凸緣633B、634B設(shè)計為，能夠與作為下限止動部的水平片641B抵接，但在保持著工件20的通常使用時，在凸緣633B、634B與水平片641B之間確保間隙δ。只要確保間隙δ，就如上述那樣，工件20通過自重被保持為垂直狀態(tài)。如圖15所示，還可以具有將被導(dǎo)引部642Α滑動導(dǎo)引的縱框部件633、634向下方D移動施力的施力部件例如壓縮螺旋彈簧643。這樣，在被多個第I卡盤部件610支承著上端部的工件20的下端上，除了上述自重以外，還作用有施力部件643帶來的作用力，通過進一步的張緊的施加，能夠?qū)⒐ぜ?0保持為垂直狀態(tài)。施力部件634的下端能夠固定到被導(dǎo)引642Α部滑動導(dǎo)引的縱框部件633、634的例如凸緣633Β (634Β)上。施力部件643的上端固定到被絕緣部件640Α(640Β)的水平片641C支承的導(dǎo)電性的固定部件644上。并且，第I、第2縱框通電電纜671Α (671Β)可以連接到固定部件644上。這樣，第I、第2縱框通電電纜671A (67IB)能夠經(jīng)由固定部件644、施力部件643向縱框部件633 (634)通電。這里，固定部件644如圖15所示，可以由螺栓644A、螺母644R、及例如兩片金屬墊圈644C、644D構(gòu)成。在水平片641C的上部，在螺栓644A的頭與墊圈644C之間連結(jié)保持第
I、第2縱框通電電纜671A (671B)。在水平片641C的正下方，在螺母644B與墊圈644D之間連結(jié)保持壓縮螺旋彈簧643的上端。這樣，確保第I、第2縱框通電電纜671A (671B)與施力部件643的固定和導(dǎo)通。另外，第I、第2縱框通電電纜671A (671B)也可以不夾著固定部件644及施力部件643而直接連接在縱框部件633 (634)上。例如，在圖13中，處理液Q的液面Ql (參照
圖16)位于工件20的上邊20a與上框部件631之間。第I、第2縱框通電電纜671A(671B)能夠在比液面Ql靠上方直接連接在縱框部件633 (634)上。在此情況下，圖13 圖15所示的施力部件(壓縮螺旋彈簧)643只要配置在水平片641與凸緣633B (634B)之間就可以，也可以不形成導(dǎo)電路線。7.使工件內(nèi)的電流分布的面內(nèi)均勻性提高的陽極電極
圖16示意地表示配置在圖I所示的工件20的輸送路徑的兩側(cè)的陽極電極(正極)410R(410L)。該陽極電極410R (410L)通過沿著處理槽200的長度方向延伸的陽極棒400被通電。通常，陽極電極410R (410L)直接連接在陽極棒400上，但在本實施方式中，在陽極棒400與陽極電極410R (410L)之間夾著絕緣體430，在陽極棒400上固定著陽極電極410R(410L)。設(shè)有從陽極棒400垂下的中繼通電部420。中繼通電部420的下端部的觸點部件420A設(shè)在比處理槽200內(nèi)的處理液Q的液面Ql低的位置上。觸點部件420A構(gòu)成為，連接在例如陽極電極410R (410L)的垂直方向的中間位置上，向陽極電極410R (410L)通電。所謂連接中繼通電部420的陽極電極410R (410L)的垂直方向的中間位置，優(yōu)選的是將由工件保持夾具30B垂下保持的工件20的縱尺寸2分的位置。在作為工件20而使用縱尺寸不同的多種的情況下，可以將中繼通電部420利用周知的升降機構(gòu)調(diào)整觸點部件420A的上下位置。另外，觸點部件420A能夠在與圖16的紙面垂直的方向上以規(guī)定長度與陽極電極410R (410L)接觸。在陽極電極410R (410L)中，來自觸點部件420的電流當(dāng)經(jīng)由處理槽200內(nèi)的處理液朝向作為陰極(負(fù)極)的工件20流動時，在陽極電極410L (410R)上從觸點部件420A的高度位置向上方向El和下方向E2分支而流動。這樣，將相對于工件20流動的電流改善了其垂直方向上的電流分布的不均勻性。8.電流分布的面內(nèi)均勻性的評價
圖17示意地表示圖13所示的工件保持夾具30B的通電路線。在圖17中，第I、第2上框通電電纜663A、663B和第I、第2縱框通電電纜671A、671B使用導(dǎo)電部的長度和截面積相等的相同的電纜。第I通電部660中的除了第I、第2上框通電電纜663A、663B以外的通電路線(圖17的Fl F2)、和第2通電部670中的除了第I、第2縱框通電電纜671A、671B以外的通電路線(圖17的F3 F4)都設(shè)定為使電阻值實質(zhì)上相等。使用具有在圖17中示意地表示的特性的圖13的工件保持夾具30B、和圖16所示的通電方式的陽極電極410L (410R)，試著計測工件20的面內(nèi)的電流分布。該計測代替圖I的處理槽200而使用相當(dāng)于液體中的電阻的圖18所示的金屬線700，如圖19所示那樣將設(shè)在工件20及陽極電極410上的36處的觸點P彼此用金屬線700連接。此外，將內(nèi)置整流器的電源430的正端子經(jīng)由中繼通電部420連接在陽極電極410的縱向的中間位置上，將負(fù)端子連接在圖13所示的工件保持夾具30B的共通通電部301A、301B上。將本實施方式的計測數(shù)據(jù)表示在圖20 (A)中。另一方面，將使用圖3所示的工件保持夾具30A、和圖16所示的從陽極棒400向陽極電極410直接供電的結(jié)構(gòu)組合的比較例計測的數(shù)據(jù)表示在圖20 (B)中。如由圖20 (A)、圖20 (B)的比較清楚的那樣，可知通過將本實施方式的工件保持夾具30B與圖16所示的向陽極電極410的通電方式組合，工件20的面內(nèi)的電流分布的面內(nèi)均勻性顯著地提高。特別是，在表示比較例的圖20 (B)中越靠工件20的上端則電流值越大，但在表示本實施方式的圖20 (A)中，工件20的垂直方向上的電流分布的不均勻顯著地變少。另外，如上述那樣對本實施方式詳細地進行了說明，但對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言應(yīng)該能夠容易理解能夠進行實際上不從本發(fā)明的新事項及效果脫離的許多變形。因而，這樣的變形例都包含在本發(fā)明的范圍中。例如，在說明書或附圖中，至少一次與更廣義或同 義的不同的用語一起記載的用語在說明書或圖面的任何部位都能夠替換為該不同的用語。此外，本實施方式及變形例的全部的組合也包含在本發(fā)明的范圍中。例如，并不限定為一定使用工件保持夾具30B的共通通電部301的情況，也可以將從被通電部340到第I卡盤部件610及第2卡盤部件620的通電路徑分離。在此情況下，也可以在兩個通電路線上分別連接獨立的電源。附圖標(biāo)記說明
10表面處理裝置(連續(xù)電鍍處理裝置)，20工件，30A、30B輸送夾具，100循環(huán)輸送路徑，110第I直線輸送路徑，120第2直線輸送路徑，130第I導(dǎo)軌，140第2導(dǎo)軌，141上表面，150連續(xù)輸送驅(qū)動部，160升降部，200表面處理槽(電鍍槽)，200A電鍍槽單元，201上端開口，210供電軌道，210A 210D分割供電軌道，300水平臂部，300A、300B第I、第2水平臂，310第I被導(dǎo)引部，311第I輥，312第2輥，313第3輥，320第2被導(dǎo)引部，321第4輥，330垂直臂部，330A、330B第I、第2垂直臂，331支承部，332保持部，340被供電部，341接觸部，342平行連桿機構(gòu)，343施力部件，350支承部(支承板)，360被推動部，370鉤部，400A 400D電源，410L、410R陽極，500工件保持夾具，510第I卡盤部件，520第2卡盤部件，530框狀部件，531固定板，532可動板，533長孔，534軸部，540導(dǎo)引部，600工件保持部，610第I卡盤部件，620第2卡盤部件，630框狀部件，631上框部件，632下框部件，633、634縱框部件，640A、640B絕緣部件，642A導(dǎo)引部，643施力部件，644固定部件，650通電部，660第I通電部，661、662連結(jié)部，662A、662B第I、第2垂直臂部，663、663A、663B上框通電電纜(第I、第2上框通電電纜)，664A、664B第I、第2突出部，670第2通電部，671A、671B第I、第2縱框通電電纜，A第I方向(輸送方向)，B第2方向，C鉛直方向，Q處理液(電鍍液)，Q1液面。
權(quán)利要求
1.一種表面處理裝置，其特征在于， 具有: 表面處理槽，收容處理液，具有上端開口 ； 第I、第2導(dǎo)軌，在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置處，沿著與上述表面處理槽的長度方向平行的第I方向延伸設(shè)置； 多個輸送夾具，配置在上述表面處理槽的上述處理液中，分別保持工件，支承在上述第I、第2導(dǎo)軌上； 上述多個輸送夾具分別具有 水平臂部，沿著與上述第I方向交叉的第2方向延伸； 第I被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的一端側(cè)，被上述第I導(dǎo)軌導(dǎo)引； 第2被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的另一端側(cè)，被上述第2導(dǎo)軌導(dǎo)引； 垂直臂部，在上述第I被導(dǎo)引部與上述第2被導(dǎo)引部之間的位置處從上述水平臂部垂下，保持上述工件。
2.如權(quán)利要求I所述的表面處理裝置，其特征在于， 還具有在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置、上述第I、第2導(dǎo)軌之間、沿著上述第I方向延伸設(shè)置的供電軌道； 上述多個輸送夾具分別具有在上述第I被導(dǎo)引部與上述垂直臂部之間的位置上被上述水平臂支承、接觸在上述供電軌道上的被供電部。
3.如權(quán)利要求2所述的表面處理裝置，其特征在于， 上述供電軌道具有沿著上述第I方向平行地延伸的、相互絕緣的N (N是2以上(包括該值)的整數(shù))個分割供電軌道； 上述多個輸送夾具包括相對于上述水平臂在上述第2方向上位置不同的N個部位的各一個上安裝著上述被供電部的第I 第N輸送夾具，上述第I 第N輸送夾具的各一個與上述N個分割供電軌道的各一個接觸。
4.如權(quán)利要求3所述的表面處理裝置，其特征在于， 上述第I 第N輸送夾具分別包括支承上述被供電部的支承部； 上述支承部包括在上述第2方向上設(shè)在不同的位置上的N個安裝部； 上述第I 第N輸送夾具的各個上述被供電部分別包括接觸在上述供電軌道上的接觸部，上述接觸部安裝在上述N個安裝部的一個上。
5.如權(quán)利要求I 4中任一項所述的表面處理裝置，其特征在于， 上述第I導(dǎo)軌在縱截面中包括上表面、第I側(cè)面、和與上述第I側(cè)面對置的第2側(cè)面； 上述多個輸送夾具的各個上述第I被導(dǎo)引部包括 第I輥，與上述第I導(dǎo)軌的上述上表面滾動接觸； 第2輥，與上述第I導(dǎo)軌的上述第I側(cè)面滾動接觸； 第3輥，與上述第I導(dǎo)軌的上述第2側(cè)面滾動接觸； 上述多個輸送夾具的各個上述第2被導(dǎo)引部包括與上述第2導(dǎo)軌的上表面滾動接觸的第4輥。
6.如權(quán)利要求I 5中任一項所述的表面處理裝置，其特征在于， 上述多個輸送夾具分別還具有懸掛用的鉤部；還具有卡合到上述鉤部上、使保持在上述多個輸送夾具上的上述工件相對于上述表面處理槽升降的升降部。
7.一種工件保持夾具，是將薄板狀的矩形工件在處理槽內(nèi)的液體中保持的工件保持夾具，其特征在于， 具有 多個第I卡盤部件，把持上述矩形工件的第一邊； 多個第2卡盤部件，把持上述矩形工件的與上述第一邊在第I方向上對置的第2邊；框狀部件，包圍上述矩形工件而配置，支承上述多個第I卡盤部件及上述多個第2卡盤部件； 上述框狀部件具有· 第I導(dǎo)引部，將上述多個第I卡盤部件在上述第I方向上可動地移動導(dǎo)引； 第I施力部件，將上述多個第I卡盤部件向相對于上述多個第2卡盤部件沿著上述第I方向遠離的一方向移動施力。
8.如權(quán)利要求7所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述框狀部件還具有 第2導(dǎo)引部，將上述多個第2卡盤部件在上述第I方向上可動地移動導(dǎo)引； 第2施力部件，將上述多個第2卡盤部件向相對于上述多個第I卡盤部件在上述第I方向上遠離的方向移動施力。
9.如權(quán)利要求7或8所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述框狀部件包括固定板、和重疊配置在上述固定板上的可動板； 上述第I導(dǎo)引部包括形成在上述固定板及上述可動板的一個上、將上述第I方向作為長度方向的長孔、和形成在上述固定板及上述可動板的另一個上、向上述長孔插通的軸部; 上述第I施力部件將上述可動板相對于上述固定板向上述一方向推壓施力。
10.如權(quán)利要求7 9中任一項所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述多個第I卡盤部件及上述多個第2卡盤部件分別包括 固定部件，接觸在上述工件的第I面上； 可動部件，在與上述固定部件對置的位置上可相對于上述工件的第2面接觸分離而配置，被推壓接觸到上述第2面上； 上述可動部件包括 被驅(qū)動片，在推壓解除時被驅(qū)動； 推壓驅(qū)動片，在上述被驅(qū)動片的非驅(qū)動時總是被向上述固定部件側(cè)推壓； 薄板狀的推壓片，形成在上述推壓驅(qū)動片的自由端部上。
11.一種表面處理裝置，其特征在于， 具有 表面處理槽，收容處理液，具有上端開口 ； 導(dǎo)軌及供電軌道，在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置處，沿著與上述表面處理槽的長度方向平行的第I方向延伸設(shè)置； 多個輸送夾具，配置在上述表面處理槽的上述處理液中，分別保持工件，支承在上述導(dǎo)軌上，并且接觸在上述供電軌道上而被供電； 上述多個夾具分別具有 水平臂部，沿著與上述第I方向交叉的第2方向延伸； 被導(dǎo)引部，支承在上述水平臂部的 一端側(cè)，被上述導(dǎo)軌導(dǎo)引； 被供電部，在上述被導(dǎo)引部與上述垂直臂部之間的位置處被上述水平臂支承，接觸在上述供電軌道上； 上述被供電部具有 接觸部，接觸在上述供電軌道上； 平行連桿機構(gòu)，將上述水平臂部與上述接觸部連結(jié)； 施力部件，將上述平行連桿機構(gòu)旋轉(zhuǎn)施力，對上述接觸部施加接觸壓力。
12.—種工件保持夾具，是將薄板狀的矩形工件在處理槽內(nèi)的液體中以垂直狀態(tài)保持、并且將上述工件設(shè)定為陰極的工件保持夾具，其特征在于，具有 框狀部件，包圍上述矩形工件而配置； 導(dǎo)電性的多個第I卡盤部件，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的上邊； 導(dǎo)電性的多個第2卡盤部件，與上述多個第I卡盤部件電絕緣，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的下邊； 第I通電部，對上述多個第I卡盤部件通電； 第2通電部，對上述多個第2卡盤部件通電。
13.如權(quán)利要求12所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述框狀部件包括 導(dǎo)電性的上框部件，支承上述多個第I卡盤部件； 導(dǎo)電性的下框部件，支承上述多個第2卡盤部件； 兩個絕緣部件，設(shè)在上述上框部件的兩端部上； 導(dǎo)電性的兩個縱框部件，上端部支承在上述兩個絕緣部件上，下端部連結(jié)在上述下框部件的兩端部上； 上述第I通電部對上述上框部件通電； 上述第2通電部對上述兩個縱框部件通電。
14.如權(quán)利要求13所述的工件保持夾具，其特征在于， 還具有經(jīng)由上述第I通電部的一部分支承上述框狀部件、向上述第I及第2通電部通電的共通通電部。
15.如權(quán)利要求14所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述第I通電部具有 絕緣部，固定在上述共通通電部上； 導(dǎo)電性的連結(jié)部，將上述絕緣部與上述上框部件連結(jié)； 至少一個上框通電電纜，將上述共通通電部與上述連結(jié)部連接； 上述第2通電部具有將上述共通通電部與上述兩個縱框部件連接的第I及第2縱框通電電纜。
16.如權(quán)利要求15所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述連結(jié)部包括第I垂直臂部及第2垂直臂部，將上述絕緣部與上述上框部件連結(jié)； 第I突出部，比上述第I垂直臂部突出； 第2突出部，比上述第2垂直臂部突出； 上述至少一個上框通電電纜包括將上述共通通電部與上述第I突出部連接的第I上框通電電纜、和將上述共通通電部與上述第2突出部連接的第2上框通電電纜。
17.如權(quán)利要求14 16的任一項所述的工件保持夾具，其特征在于， 將從上述共通通電部向上述上框部件流動的電流路徑的電阻值、與從上述共通通電部向上述下框部件流動的電流路徑的電阻值設(shè)定為實質(zhì)上相同。
18.如權(quán)利要求16所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述兩個絕緣部件分別具有將上述兩個縱框部件的各一個上端部在垂直方向上滑動導(dǎo)引的導(dǎo)引部。
19.如權(quán)利要求18所述的工件保持夾具，其特征在于， 還具有將被上述導(dǎo)引部滑動導(dǎo)引的上述兩個縱框部件的各一個向下方移動施力的施力部件。
20.如權(quán)利要求19所述的工件保持夾具，其特征在于， 上述施力部件的下端固定在被上述導(dǎo)引部滑動導(dǎo)引的上述兩個縱框部件的各一個上； 上述施力部件的上端固定在支承于上述兩個絕緣部件的各一個上的導(dǎo)電性的固定部件上； 上述第I、第2縱框通電電纜的各一個連接在上述固定部件上。
21.—種表面處理裝置，其特征在于， 具有 表面處理槽，收容處理液，具有上端開口 ； 權(quán)利要求12 20的任一項所述的工件保持夾具，將浸潰在上述表面處理槽的上述處理液中的工件垂下保持，并且將上述工件設(shè)定為陰極； 陽極電極，在上述表面處理槽內(nèi)配置在與上述工件對置的位置上。
22.—種表面處理裝置，其特征在于， 具有 表面處理槽，收容處理液，具有上端開口 ； 工件保持夾具，將浸潰在上述表面處理槽的上述處理液中的工件垂下保持，并且將上述工件設(shè)定為陰極； 陽極電極，在上述表面處理槽內(nèi)在垂直方向上延伸，配置在與上述工件對置的位置上； 中繼通電部，在比上述表面處理槽內(nèi)的上述處理液的液面低的位置處，對上述陽極電極通電。
23.如權(quán)利要求22所述的表面處理裝置，其特征在于， 上述工件保持夾具具有 框狀部件，包圍上述矩形工件而配置； 導(dǎo)電性的多個第I卡盤部件，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的上邊；導(dǎo)電性的多個第2卡盤部件，與上述多個第I卡盤部件電絕緣而支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的下邊； 第I通電部，對上述多個第I卡盤部件通電； 第2通電部，對上述多個第2卡盤部件通電。
全文摘要
提供將沿配置在從表面處理槽的上方離開的位置上的軌道輸送的輸送夾具的構(gòu)造改良、能很穩(wěn)定地支承輸送夾具的表面處理裝置及工件保持夾具。表面處理裝置具有表面處理槽，收容處理液，具有上端開口；第1、第2導(dǎo)軌，在從表面處理槽的上端開口的上方離開的位置處沿與表面處理槽的長度方向平行的第1方向延伸設(shè)置；多個輸送夾具，配置在表面處理槽的處理液中，分別保持工件，支承在第1、第2導(dǎo)軌上。輸送夾具具有水平臂部，沿第2方向延伸；第1被導(dǎo)引部，支承在水平臂部的一端側(cè)，被第1導(dǎo)軌導(dǎo)引；第2被導(dǎo)引部，支承在水平臂部的另一端側(cè)，被第2導(dǎo)軌導(dǎo)引；垂直臂部，在第1被導(dǎo)引部與第2被導(dǎo)引部之間的位置處從水平臂部垂下，保持工件。
文檔編號C25D17/28GK102851722SQ20121022040
公開日2013年1月2日 申請日期2012年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月30日
發(fā)明者野田朝裕, 渡邊重幸, 石井勝己 申請人:Almex Pe 株式會社