專利名稱：水平電鍍槽槽蓋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種水平電鍍槽槽蓋。
背景技術(shù)：
晶圓生產(chǎn)過程中，需要對其表面進(jìn)行電鍍處理。水平電鍍工藝是在水平電鍍槽內(nèi)實(shí)施。晶圓固定在電鍍槽的槽口處，電鍍液從電鍍槽槽底進(jìn)入，向上流動至與晶圓接觸，在晶圓表面完成電鍍?，F(xiàn)有技術(shù)中的水平電鍍槽，整個槽蓋是一個整體，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且使用不方便。槽蓋蓋在槽體上時，槽蓋與晶圓之間無法嚴(yán)密密封。晶圓無法穩(wěn)固地固定
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種使用方便的水平電鍍
槽槽蓋。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，包括主蓋，所述主蓋設(shè)置有第一通孔；還包括副蓋，所述副蓋可拆卸地設(shè)置于第一通孔內(nèi)。優(yōu)選地是，所述副蓋下端面設(shè)置有密封圈，所述密封圈部分突出于副蓋下端面。優(yōu)選地是，所述的密封圈為O型圈。優(yōu)選地是，所述副蓋下端面設(shè)置有容置槽，所述O型圈設(shè)置于容置槽內(nèi)；所述容置槽的開口寬度小于O型圈的截面直徑。優(yōu)選地是，還包括偏心圓柱，所述偏心圓柱可轉(zhuǎn)動地設(shè)置；所述偏心圓柱將主蓋與副蓋可拆卸連接。優(yōu)選地是，主蓋第一通孔內(nèi)壁設(shè)置有第一凹槽，副蓋側(cè)面設(shè)置有第二凹槽；第一凹槽與第二凹槽位置相對；所述偏心圓柱位于第一凹槽或第二凹槽內(nèi)，偏心圓柱與第一凹槽、第二凹槽相配合將主蓋與副蓋可拆卸連接；偏心圓柱與第一凹槽、第二凹槽的配合關(guān)系使得偏心圓柱可位于第一凹槽或第二凹槽內(nèi)，且在偏心圓柱旋轉(zhuǎn)一角度后，偏心圓柱一部分位于第一凹槽內(nèi)，另一部分位于第二凹槽內(nèi)。優(yōu)選地是，所述偏心圓柱位于第二凹槽內(nèi)，副蓋上設(shè)置有可轉(zhuǎn)動的旋鈕，所述旋鈕插入第二凹槽內(nèi)與偏心圓柱連接。優(yōu)選地是，所述第二凹槽高度大于偏心圓柱最高處的高度；第一凹槽高度等于或小于偏心圓柱最聞處的聞度。優(yōu)選地是，所述偏心圓柱設(shè)置于第二凹槽的下底面上，并在旋轉(zhuǎn)過程中始終與下底面接觸。優(yōu)選地是，所述偏心圓柱沿徑向兩端高度不同；旋鈕連接在偏心圓柱高度較低的半側(cè)。優(yōu)選地是，所述偏心圓柱高度成螺旋形增加。優(yōu)選地是，所述偏心圓柱沿徑向兩端高度不同。[0017]優(yōu)選地是，所述副蓋沿高度方向設(shè)置有第二通孔。優(yōu)選地是，所述主蓋下端面設(shè)置有一周卡槽。優(yōu)選地是，所述主蓋沿徑向設(shè)置有第三通孔，第三通孔與第一通孔連通。優(yōu)選地是，所述副蓋上設(shè)置有手柄。優(yōu)選地是，所述主蓋外圓周面設(shè)置有用于容納密封圈的凹槽。本實(shí)用新型中的水平電鍍槽槽蓋，可以利用偏心圓柱連接主蓋與副蓋，且利用偏心圓柱壓緊副蓋，副蓋上的O型圈壓靠在晶圓邊緣，因此本實(shí)用新型可穩(wěn)固地固定晶圓。本實(shí)用新型將槽蓋分為兩部分，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。
圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型側(cè)視圖。圖3為圖2的A-A剖視圖圖4為本實(shí)用新型中的主蓋結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實(shí)用新型中的主蓋半剖立體圖。圖6為本實(shí)用新型中的主蓋側(cè)視圖。圖7為圖6的A-A剖視圖。圖8為本實(shí)用新型中的副蓋結(jié)構(gòu)示意圖。圖9為本實(shí)用新型中的副蓋側(cè)視圖。圖10為圖9的A-A剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述如圖I、圖2及圖3所示，水平電鍍槽槽蓋，包括主蓋100和副蓋200。副蓋200可拆卸地安裝在主蓋100上。副蓋200上設(shè)置有手柄202。如圖4、圖5、圖6和圖7所示，主蓋100設(shè)置有第一通孔101。第一通孔101自主蓋上端面102延伸至主蓋下端面103。主蓋100外圓周面104設(shè)置有用于容納密封圈的凹槽105。第一通孔101內(nèi)壁設(shè)置有三個第一凹槽106。第一凹槽106高度為hi。主蓋100沿徑向設(shè)置有第三通孔107，第三通孔107與第一通孔101連通。主蓋下端面103設(shè)置有一周卡槽108。如圖8、圖9和圖10所示，副蓋200上端面201設(shè)置有手柄202，方便握持。副蓋200設(shè)置有第二通孔203。第二通孔203自上端面201延伸至下端面204。副蓋200側(cè)面設(shè)置有三個第二凹槽205。三個第二凹槽205高度h2。副蓋200上端面201設(shè)置有三個旋鈕206。三個旋鈕206可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，其下端位于第二凹槽205內(nèi)。第二凹槽205內(nèi)設(shè)置有偏心圓柱207。偏心圓柱207安裝在旋鈕206下端，隨旋鈕206 —起轉(zhuǎn)動。偏心圓柱207高度為螺旋增加。在側(cè)視圖中，右端高度h3高于左端高度h4。而且旋鈕206連接在非圓心的位置，且連接在高度較小的左半部。偏心圓柱207最高處高度h3小于第二凹槽205高度h2，且小于或等于第一凹槽106高度hi。偏心圓柱207旋轉(zhuǎn)過程中，始終與下底面2051接觸。副蓋200下端面204設(shè)置有容置槽208。容置槽208內(nèi)設(shè)置有O型圈209。容置槽208的開口寬度W小于O型圈209的截面直徑D。O型圈209卡設(shè)于容置槽208內(nèi)，O型圈209部分突出于副蓋200下端面204。副蓋200沿高度方向設(shè)置有第二通孔210。使用時，如圖I、圖2和圖3所示，由于偏心圓柱207最高處高度h3小于第二凹槽205高度h2，則旋動旋鈕206可使偏心圓柱207完全位于第二凹槽205內(nèi)，偏心圓柱207不會突出于副蓋200的側(cè)面。將副蓋200放入主蓋100的第一通孔101內(nèi)。使第二凹槽205與第一凹槽106位置相對。旋動旋鈕206帶動偏心圓柱207旋轉(zhuǎn)。偏心圓柱207旋轉(zhuǎn)后部分進(jìn)入第一凹槽106內(nèi)。由于偏心圓柱207最高處高度h3小于或等于第一凹槽106高度hi，偏心圓柱207旋轉(zhuǎn)過程中受到第一凹槽106內(nèi)壁的壓迫，將帶動副蓋200向下移動。直至偏心圓柱207最高處位于第二凹槽205內(nèi)或受第一凹槽106內(nèi)壁阻擋無法繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。主蓋100與副蓋200的相對位置固定。偏心圓柱207將主蓋100與副蓋200可拆卸連接。 本實(shí)用新型中的實(shí)施例僅用于對本實(shí)用新型進(jìn)行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本實(shí)用新型保護(hù)范圍 內(nèi)。
權(quán)利要求1.水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，包括主蓋，所述主蓋設(shè)置有第一通孔；還包括副蓋，所述副蓋可拆卸地設(shè)置于第一通孔內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述副蓋下端面設(shè)置有密封圈，所述密封圈部分突出于副蓋下端面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述的密封圈為O型圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述副蓋下端面設(shè)置有容置槽，所述O型圈設(shè)置于容置槽內(nèi)；所述容置槽的 開口寬度小于O型圈的截面直徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，還包括偏心圓柱，所述偏心圓柱可轉(zhuǎn)動地設(shè)置；所述偏心圓柱將主蓋與副蓋可拆卸連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，主蓋第一通孔內(nèi)壁設(shè)置有第一凹槽，副蓋側(cè)面設(shè)置有第二凹槽；第一凹槽與第二凹槽位置相對；所述偏心圓柱位于第一凹槽或第二凹槽內(nèi)，偏心圓柱與第一凹槽、第二凹槽相配合將主蓋與副蓋可拆卸連接；偏心圓柱與第一凹槽、第二凹槽的配合關(guān)系使得偏心圓柱可位于第一凹槽或第二凹槽內(nèi)，且在偏心圓柱旋轉(zhuǎn)一角度后，偏心圓柱一部分位于第一凹槽內(nèi)，另一部分位于第二凹槽內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述偏心圓柱位于第二凹槽內(nèi)，副蓋上設(shè)置有可轉(zhuǎn)動的旋鈕，所述旋鈕插入第二凹槽內(nèi)與偏心圓柱連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述第二凹槽高度大于偏心圓柱最聞處的聞度；第一凹槽聞度等于或小于偏心圓柱最聞處的聞度。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述偏心圓柱設(shè)置于第二凹槽的下底面上，并在旋轉(zhuǎn)過程中始終與下底面接觸。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述偏心圓柱沿徑向兩端高度不同；旋鈕連接在偏心圓柱高度較低的半側(cè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述偏心圓柱高度成螺旋形增加。
12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述偏心圓柱沿徑向兩端高度不同。
13.根據(jù)權(quán)利要求I所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述副蓋沿高度方向設(shè)置有第二通孔。
14.根據(jù)權(quán)利要求I所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述主蓋下端面設(shè)置有一周卡槽。
15.根據(jù)權(quán)利要求I所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述主蓋沿徑向設(shè)置有第三通孔，第三通孔與第一通孔連通。
16.根據(jù)權(quán)利要求I所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述副蓋上設(shè)置有手柄。
17.根據(jù)權(quán)利要求I所述的水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，所述主蓋外圓周面設(shè)置有用于容納密封圈的凹槽。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種水平電鍍槽槽蓋，其特征在于，包括主蓋，所述主蓋設(shè)置有第一通孔；還包括副蓋，所述副蓋可拆卸地設(shè)置于第一通孔內(nèi)。本實(shí)用新型中的水平電鍍槽槽蓋，可以利用偏心圓柱連接主蓋與副蓋，且利用偏心圓柱壓緊副蓋，副蓋上的O型圈壓靠在晶圓邊緣，因此本實(shí)用新型可穩(wěn)固地固定晶圓。本實(shí)用新型將槽蓋分為兩部分，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。
文檔編號C25D17/02GK202482461SQ20112057382
公開日2012年10月10日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者劉紅兵, 王振榮, 程鵬 申請人:上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司