專利名稱：用于輸送待處理的扁平材料的方法、保持裝置、設(shè)備和系統(tǒng)以及裝載或卸載設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于為對(duì)待處理的扁平材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施輸送待處理扁平材料的方法、保持裝置、設(shè)備和系統(tǒng)。本發(fā)明還涉及用于此種設(shè)施的裝載或卸載設(shè)備。特別地，本發(fā)明涉及這種用于輸送諸如薄片之類的具有較低固有剛度的待處理材料的方法和設(shè)備。本發(fā)明還涉及可極大程度地避免待處理材料的要進(jìn)行處理的可用區(qū)域與該設(shè)施的固定元件之間的接觸的這種方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
在諸如印制線路產(chǎn)業(yè)中的印刷電路板之類的待處理的扁平材料的加工中，對(duì)于待處理材料進(jìn)行的處理通常在濕式化學(xué)生產(chǎn)線中進(jìn)行。在常規(guī)設(shè)施中，印刷電路板通常放置在輥式輸送器上，并被輸送經(jīng)過該設(shè)施。然而，對(duì)于變得非常薄的待處理材料來說，特別是對(duì)于薄片型的待處理材料來說，由輥式或滾柱式輸送器進(jìn)行輸送變得越來越困難，這是由于待處理材料的固有穩(wěn)定性差，或者由于其單位面積上的重量較輕，通過用處理液或清洗液對(duì)其進(jìn)行噴射會(huì)使它移動(dòng)或移位。此外，某些基片的表面和/或在生產(chǎn)線中施加于表面的諸如漆之類的材料很敏感，以致僅由于擱置在輥?zhàn)由暇蜁?huì)對(duì)它們?cè)斐蓳p害。通過DElO 2007 038 116 Al，獲知用于輸送基片、特別是印刷電路板的設(shè)備和方法，其中彼此疊置的印刷電路板借助于保持夾相連而形成鏈。保持夾沿印刷電路板的寬度方向延伸。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的根本目的是提供于輸送扁平待處理材料的方法、保持裝置、設(shè)備和系統(tǒng)， 以及提供用于最初提及的那類設(shè)施的裝載或卸載設(shè)備，它們使得能夠安全地輸送所述材料，特別是安全地輸送固有穩(wěn)定性差的待處理材料——例如薄片型的印刷電路板或具有敏感表面的待處理材料。根據(jù)本發(fā)明，該目的通過用于為對(duì)扁平待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施輸送所述材料的方法、保持裝置、設(shè)備和系統(tǒng)以及用于這種設(shè)施的裝載或卸載設(shè)備來實(shí)現(xiàn)的。從屬權(quán)利要求限定本發(fā)明的優(yōu)選和有利實(shí)施方式。輸送扁平的待處理材料的方法提供了要附接于待處理材料的保持裝置，在該方法中，所述材料在輸送平面內(nèi)沿輸送方向進(jìn)行輸送，該保持裝置在所述材料的邊緣區(qū)域上的至少兩個(gè)點(diǎn)處保持所述材料，該邊緣區(qū)域在輸送所述待處理材料時(shí)沿輸送方向定向。保持裝置在輸送方向上移動(dòng)，以便輸送待處理材料。至少在待處理材料的部分輸送期間，將具有位于輸送平面內(nèi)并且橫向于輸送方向定向的分力的力施加在待處理材料的至少一個(gè)區(qū)域上。由于在該方法的情況下待處理材料安裝在保持裝置上，并因所述裝置的移動(dòng)而移動(dòng)，因此無需使所述材料本身與輥?zhàn)?、滾柱或類似的驅(qū)動(dòng)裝置相接觸以輸送它。施加具有位于輸送平面內(nèi)并且橫向于輸送方向定向的分力的力使得可沿寬度方向——即沿與輸送方向成直角并在輸送平面內(nèi)的方向拉伸待處理材料。這樣以來，能夠安全地輸送具有低固有穩(wěn)定性和/或敏感表面的待處理材料，例如導(dǎo)體薄片。該方法可以構(gòu)造成使得首先將保持裝置附接于待處理材料，僅在此后將保持裝置聯(lián)接到屬于所述設(shè)施的輸送設(shè)備上，以輸送安裝有待處理材料的所述保持裝置通過該設(shè)施。保持裝置特別地以與該設(shè)施、特別是與輸送系統(tǒng)分離的方式構(gòu)造而成。根據(jù)一些實(shí)施方式，保持裝置特別是不永久地連接到設(shè)施的輸送系統(tǒng)上。該方法可構(gòu)造成使得待處理材料被輸送通過至少兩個(gè)完全連續(xù)的、用于對(duì)待處理材料進(jìn)行化學(xué)或電化學(xué)處理的不同處理站，而無需在站間將保持裝置從所述材料上移除。 不同的處理站在處理溶液的不同成分或不同濃度方面有所不同。施加在待處理材料的至少一個(gè)區(qū)域上的具有分力的力可以選擇成使得所述材料偏離出輸送平面的偏移量小，但所述待處理材料未被過度拉伸。具有所述分力的力還可以選擇成使得當(dāng)待處理材料被輸送通過屬于該設(shè)施的處理站時(shí)，待處理材料的上側(cè)面和下側(cè)面與處理站的分別設(shè)置用于處理所述材料的上側(cè)面和下側(cè)面的固定元件間隔相同的距離。 具有所述分力的力還可以選擇成使得該距離在待處理材料的整個(gè)寬度上是恒定的?？山?jīng)由保持裝置將力施加在待處理材料的邊緣區(qū)域上。為此，可至少在待處理材料的部分輸送期間一即至少在所述材料在設(shè)施內(nèi)的輸送路徑的一部分上一將力沿橫向于輸送方向并在輸送平面內(nèi)的方向施加在保持裝置上。待處理材料可被另一保持裝置在另一邊緣區(qū)域處保持，該另一邊緣區(qū)域沿所述材料的縱向方向定向?？蓪⒎聪虻牧Α⒓幢畴x于彼此定向并且橫向于輸送方向定向的力施加在所述保持裝置和另一保持裝置上。作用于保持裝置、或作用于保持裝置和所述另一保持裝置的力可根據(jù)待處理材料的特性進(jìn)行選擇。例如，所述力可根據(jù)所述待處理材料的最大允許變形量進(jìn)行選擇。該力還可根據(jù)待處理材料的厚度、并且如果需要根據(jù)待處理材料的其它材料參數(shù)以這樣的方式進(jìn)行選擇，即，使得由垂直于所述輸送平面作用的力引起的所述材料偏離出輸送平面的變形量或偏移量保持小于閾值。此外，保持裝置可被設(shè)置成平行于輸送方向拉伸待處理材料。為此，保持裝置的相對(duì)于彼此被例如機(jī)械地預(yù)拉伸的不同部分可在沿縱向方向間隔開、例如在所述材料的沿在縱向方向上設(shè)置的邊緣的前部拐角和后部拐角附近的多個(gè)點(diǎn)處保持待處理材料。保持裝置保持待處理材料的邊緣區(qū)域可沿所述材料的寬度方向——即橫向于輸送方向的方向——具有最大寬度，該最大寬度小于待處理材料的寬度。由此，待處理材料的相對(duì)大的區(qū)域能夠保持可用于在設(shè)施內(nèi)進(jìn)行化學(xué)或電化學(xué)處理?？刹粌H出于機(jī)械安裝的目的、而且出于與待處理材料電接觸的目的使用保持裝置。為此，當(dāng)將要執(zhí)行電化學(xué)處理步驟時(shí)，可使保持裝置與例如呈接線夾或輪的形式的電流接觸裝置形成導(dǎo)電接觸。當(dāng)行進(jìn)通過濕式化學(xué)處理站時(shí)，安裝在保持裝置上的待處理材料可以這樣一種方式被輸送通過所述處理站，即，所述保持裝置被引導(dǎo)通過處理站的向待處理材料施加處理流體的區(qū)域。由于保持裝置保持該待處理材料的沿輸送方向定向的邊緣部分，通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)處理站，所述保持裝置可被側(cè)向地引導(dǎo)通過向待處理材料施加處理流體的區(qū)域。在正清洗和/或干燥所述材料的情況下，可將保持裝置與安裝在其上的待處理材料一起引導(dǎo)通過用于清洗和/或干燥所述材料的區(qū)域，以便同樣清洗和/或干燥該保持裝置。還能夠設(shè)置在其中選擇性地處理保持裝置的處理站。例如，處理站可被設(shè)計(jì)成使保持裝置而非待處理材料的可用區(qū)域暴露于處理流體流。待處理材料可以是具有低固有剛度的材料，例如薄片。所述待處理材料還可以是連續(xù)的材料。根據(jù)本發(fā)明的一方面提供的保持裝置被構(gòu)造成，在待處理材料的邊緣區(qū)域中的至少兩點(diǎn)處保持所述材料。所述保持裝置被構(gòu)造成用于可拆卸地聯(lián)接到屬于對(duì)待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理用的設(shè)施的輸送設(shè)備上，以便沿輸送方向輸送所述材料，并且所述保持裝置被設(shè)計(jì)成在聯(lián)接到輸送設(shè)備上的狀態(tài)中它們以這樣一種方式保持待處理材料 所述材料的保持裝置在其中保持所述材料的邊緣區(qū)域沿輸送方向延伸。以這樣一種方式設(shè)計(jì)的保持裝置能夠穩(wěn)定待處理材料的在輸送所述材料時(shí)沿輸送方向定向的邊緣區(qū)域。保持裝置可被設(shè)計(jì)成，使得它們包括帶有縱向軸線的保持軌道。所述保持軌道可被構(gòu)造成，以這樣一種方式作用于待以剛硬的方式處理的材料使得所述軌道抑制住該材料圍繞在每種情況下都垂直于保持軌道的縱向軸線定向的第一和第二軸線的彎曲或扭結(jié)。 所述保持軌道可被構(gòu)造成在其聯(lián)接于輸送設(shè)備的狀態(tài)中保持軌道的縱向軸線平行于輸送方向。在保持裝置聯(lián)接于輸送設(shè)備的狀態(tài)中，保持裝置可由此被裝配成以這樣一種方式吸收作用于待處理材料的彎曲力，即，抵消所述材料圍繞在每種情況下都垂直于輸送方向的第一和第二軸線的彎曲或扭結(jié)。保持裝置可包括第一保持部件和第二保持部件，這些保持部件具有用于保持待處理材料的閉合狀態(tài)和用于插入所述材料的打開狀態(tài)。第一保持部件和第二保持部件可例如被構(gòu)造成分離的部件，這些分離的部件可在處于打開狀態(tài)時(shí)彼此完全分離開。所述第一保持部件和所述第二保持部件可被構(gòu)造成用于在處于所述閉合狀態(tài)中時(shí)至少借助于力鎖定連接來安裝待處理材料。作為選擇或此外，還可以形狀鎖定的方式保持待處理材料。保持裝置可包括力作用裝置，該力作用裝置在所述保持裝置處于閉合狀態(tài)中時(shí)，在第一保持部件與第二保持部件之間施加吸引力。所述力作用裝置可包括保持部件上或保持部件中的磁體。保持裝置可以這樣一種方式構(gòu)造而成，S卩，在它們聯(lián)接于輸送設(shè)備的狀態(tài)中，它們?cè)诒人霾牧系膶挾刃〉木嚯x上沿與輸送方向成直角的方向與待處理材料重疊。由此，對(duì)于借助于保持裝置安裝的待處理材料的相對(duì)較大的區(qū)域而言，能夠保持可用于在設(shè)施內(nèi)進(jìn)行化學(xué)或電化學(xué)處理。保持裝置可包括保持軌道，在該保持軌道中形成有用于液體的通道。以這種方式設(shè)計(jì)的保持裝置使得液體——例如處理液體或清洗液體能夠通過保持裝置引導(dǎo)遠(yuǎn)離待處理材料成。所述保持裝置可被構(gòu)造成，使得屬于輸送設(shè)備的驅(qū)動(dòng)輥或驅(qū)動(dòng)滾柱橫向于所述輸送方向移位，該輥?zhàn)踊驖L柱能夠橫向于輸送平面移動(dòng)。為此，保持裝置可例如具有傾斜側(cè)面或倒角端，該傾斜側(cè)面或倒角端鉤住驅(qū)動(dòng)輥或驅(qū)動(dòng)滾柱，并且在保持裝置相對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)輥移動(dòng)的同時(shí)使它橫向于輸送方向移位。
保持裝置可被裝配成與待處理材料電接觸。為此，所述保持裝置可包括構(gòu)造成用以接觸待處理材料的至少一個(gè)導(dǎo)電接觸面和設(shè)置成能夠在保持裝置保持待處理材料時(shí)聯(lián)接于外部接觸元件的另一導(dǎo)電接觸面。該導(dǎo)電接觸面和該另一導(dǎo)電接觸面可通過設(shè)置在保持裝置中的導(dǎo)體部分以導(dǎo)電的方式連接。該另一導(dǎo)電接觸面可具有兩個(gè)部分，這兩個(gè)部分在保持裝置保持待處理材料時(shí)設(shè)置在保持裝置的相對(duì)兩側(cè)上。通過將兩個(gè)接觸元件壓靠在這兩部分上，能夠?qū)崿F(xiàn)與待處理材料的良好的電接觸以及所述材料在保持裝置內(nèi)的良好的機(jī)械安裝。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面設(shè)置的用于為對(duì)扁平的待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施輸送借助于保持裝置沿邊緣區(qū)域安裝的所述材料的設(shè)備包括輸送裝置，該輸送裝置可以可拆卸的方式聯(lián)接于保持裝置，并且被構(gòu)造成使所述保持裝置沿輸送方向移動(dòng)，待處理的材料安裝在所述保持裝置上。該設(shè)備被構(gòu)造成至少在待處理材料的部分輸送期間將具有處于一個(gè)輸送平面內(nèi)且橫向于輸送方向定向的分力的力施加在待處理材料的至少一個(gè)區(qū)域上。由于該設(shè)備的輸送裝置可連接于保持待處理材料的保持裝置，因此無需為了輸送所述材料而使所述材料自身與輥?zhàn)?、滾柱或類似的驅(qū)動(dòng)裝置相接觸。施加具有位于輸送平面內(nèi)且橫向于輸送方向定向的分力的力使得可沿寬度方向、即沿與輸送方向成直角的方向拉伸待處理材料。該裝置可具有拉伸裝置，用于將力沿橫向于輸送方向且在輸送平面內(nèi)的方向施加在保持裝置上。該拉伸裝置可包括可移動(dòng)的支承件，該可移動(dòng)的支承件可橫向于輸送方向移動(dòng)并被構(gòu)造成用于引導(dǎo)保持裝置。所述可移動(dòng)的支承件可附接于驅(qū)動(dòng)軸?？稍O(shè)置諸如彈性元件或一對(duì)磁體之類的力作用裝置以將力橫向于輸送方向施加在可移動(dòng)的支承件上。該設(shè)計(jì)使得能夠經(jīng)由在其中引導(dǎo)所述保持裝置的可移動(dòng)的支承件將力施加在保持裝置上，借助于該力，又能夠沿寬度方向拉伸待處理材料。由該設(shè)備輸送的待處理材料可借助于另一保持裝置沿另一邊緣區(qū)域安裝。該設(shè)備可包括另一拉伸裝置，該另一拉伸裝置被構(gòu)造成將力沿橫向于輸送方向并在輸送平面內(nèi)的方向施加在該另一保持裝置上。特別地，該拉伸裝置和該另一拉伸裝置可被裝配成，將力沿相反方向施加在該保持裝置和該另一保持裝置上。該另一拉伸裝置可包括另一可移動(dòng)的支承件，將力橫向于輸送方向施加在該另一可移動(dòng)的支承件上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面設(shè)置的用于為對(duì)扁平的待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施輸送被保持裝置沿邊緣區(qū)域保持的所述材料的系統(tǒng)包括根據(jù)一實(shí)施方式的用于輸送待處理材料的設(shè)備和用于保持所述材料的保持裝置，該保持裝置以可拆卸的方式聯(lián)接于該設(shè)備的輸送裝置。保持裝置可被構(gòu)造成根據(jù)一實(shí)施方式的保持裝置。根據(jù)另一方面，提供了一種對(duì)待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施用的裝載或卸載設(shè)備，該設(shè)施具有用于輸送沿邊緣區(qū)域保持的待處理材料的設(shè)備。該裝載或卸載設(shè)備可用作用于該類設(shè)施的裝載器或卸載器。所述裝載或卸載設(shè)備被裝配成在打開狀態(tài)與用于保持待處理材料的閉合狀態(tài)之間轉(zhuǎn)移保持裝置，并且所述裝載或卸載設(shè)備包括支承設(shè)備，該支承設(shè)備用于在將保持裝置轉(zhuǎn)移到打開狀態(tài)中時(shí)支承所述待處理材料。此類裝載或卸載設(shè)備使得能夠?qū)⒈３盅b置附接于待處理材料以隨后將由保持裝置保持的所述材料供給至用于處理的設(shè)施，或能夠在所述材料已在設(shè)施中經(jīng)過處理后將保
10持裝置從待處理材料上移除。當(dāng)保持裝置處于打開狀態(tài)中時(shí)，支承設(shè)備支承待處理材料。所述支承設(shè)備可包括例如能夠豎向調(diào)節(jié)的穿孔板，或者用于產(chǎn)生氣墊的空氣噴嘴，該穿孔板或氣墊能夠支承待處理材料。該裝載或卸載設(shè)備可被構(gòu)造成接收處于閉合狀態(tài)的保持裝置，將處于閉合狀態(tài)的保持裝置從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)移到打開狀態(tài)中，并隨后轉(zhuǎn)移回到閉合狀態(tài)中，以及將保持裝置以閉合狀態(tài)送出。該裝載或卸載設(shè)備可包括用于與保持裝置的第一保持部件接合的第一接合裝置， 和用于與保持裝置的第二保持部件接合的第二接合裝置。該第一接合裝置和第二接合裝置可例如分別包括成型面，這些成型面分別與第一保持部件和第二保持部件上的互補(bǔ)面以形狀鎖定的方式接合?？稍O(shè)置用于產(chǎn)生第一接合裝置和第二接合裝置的相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，以便在打開狀態(tài)與閉合狀態(tài)之間轉(zhuǎn)移第一保持部件和第二保持部件。移動(dòng)裝置可被構(gòu)造成施加能夠作為相對(duì)移動(dòng)過程所覆蓋的路徑的函數(shù)變化的力。 例如，能夠在最初施加相對(duì)較大的力，直到已將保持部件彼此分離開預(yù)定的距離。由移動(dòng)裝置施加的力可隨后采取較小值，已將保持部件彼此分離得更遠(yuǎn)。與在其上施加較小的力的路徑相比，該相對(duì)較大的力可被施加更短的路徑上。本發(fā)明的實(shí)施方式使得能夠?qū)⒋幚聿牧?、特別是甚至例如薄片等具有低固有穩(wěn)定性的待處理材料安全地輸送通過用于對(duì)所述待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施。


下面將借助于優(yōu)選或有利的實(shí)施方式、參照附圖更為詳細(xì)地說明本發(fā)明。圖1是根據(jù)一實(shí)施方式的待處理材料輸送通過處理所述材料用的設(shè)施的示例性簡(jiǎn)圖。圖2是根據(jù)一實(shí)施方式的借助于保持裝置安裝的薄片的立體圖。圖3是根據(jù)一實(shí)施方式的輸送設(shè)備的立體圖。圖4是來自圖4的輸送設(shè)備的一部分的側(cè)視圖。圖5是具有根據(jù)一實(shí)施方式的輸送設(shè)備的處理站的立體圖，該處理站屬于用于處理待處理材料的設(shè)施。圖6是根據(jù)一實(shí)施方式的保持裝置的截面圖。圖7A和7B是來自圖6的保持裝置的第一和第二保持部件的平面圖。圖8是根據(jù)另一實(shí)施方式的保持裝置的示意性局部剖視圖。圖9是根據(jù)一實(shí)施方式的裝載設(shè)備的立體圖。圖10是屬于圖1中所示的設(shè)施的緩沖設(shè)備的立體圖。圖11是根據(jù)一實(shí)施方式的相鄰的保持裝置的端部的平面圖。
具體實(shí)施例方式與待處理材料相關(guān)的方向或位置細(xì)節(jié)按照慣例參照輸送方向予以表示。與待處理材料的輸送期間的輸送方向平行或反平行的方向?qū)⒈环Q之為“縱向”，并且處于輸送平面中、垂直于輸送方向的方向?qū)⒈环Q之為待處理材料的“寬度方向”。
元件或設(shè)備的“可拆開的聯(lián)接”將被理解為是指使得能夠?qū)⒃蛟O(shè)備彼此分離開而不會(huì)損壞或毀壞所述元件或設(shè)備的這類聯(lián)接。保持裝置與待處理材料之間的“可拆開的聯(lián)接”將由此被理解為是指可從待處理材料上移除保持裝置而不會(huì)毀壞所述保持裝置或所述材料或者以有損它們的功能的方式損壞它們的聯(lián)接。保持裝置與輸送設(shè)備之間的“可拆開的聯(lián)接”應(yīng)理解為是指可從輸送設(shè)備上移除保持裝置而不會(huì)毀壞所述保持裝置或所述輸送設(shè)備或者以有損它們的功能的方式損壞它們。圖1示意性地示出了用于對(duì)待處理的扁平材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施1，其中，該待處理的扁平材料可構(gòu)造成薄板或薄片的形式。設(shè)施1包括生產(chǎn)線2，生產(chǎn)線 2具有多個(gè)處理站，在這些處理站，待處理的材料受到化學(xué)和/或電化學(xué)處理、清洗或干燥。 示意性地示出了處理站3、4。該待處理材料沿一個(gè)輸送方向在生產(chǎn)線2內(nèi)進(jìn)行輸送，并由此被供給至處理站3、4。即使在設(shè)施1的例子中給出具有兩個(gè)處理站3、4的生產(chǎn)線2，提供任意期望數(shù)量的適合適配于特定應(yīng)用的處理站通常也是可能的。在處理站處，發(fā)生下列情況中的一種或多種可例如將處理流體、電流、能量、脈沖或輻射供給至待處理材料、或者所述材料可以被設(shè)定成處于振動(dòng)中等等。如將會(huì)更為詳細(xì)地再次說明的那樣，待處理材料借助于保持裝置安裝于一邊緣區(qū)域，或者安裝于多個(gè)邊緣區(qū)域。所述保持裝置被設(shè)計(jì)并引導(dǎo)成使得待處理材料的縱向邊緣——即所述材料的平行于輸送方向延伸的邊緣——位于將被稱之為待處理材料的“輸送平面”的平面內(nèi)或大致處于“輸送平面”內(nèi)。根據(jù)多個(gè)實(shí)施方式的設(shè)備和方法使得能夠以所述材料的各個(gè)區(qū)域與輸送平面的偏離保持較小的方式來保持和輸送具有較低固有剛度的待處理材料。然而，對(duì)“待處理材料在一個(gè)輸送平面內(nèi)的輸送”進(jìn)行說明并不排除所述材料的個(gè)別部分或區(qū)域在輸送該待處理材料時(shí)偏移出輸送平面的可能性。由此，例如，作用在待處理材料上的重力、所述材料暴露于流體流等可能導(dǎo)致待處理材料的區(qū)域偏移出輸送平面。所述材料可例如在水平的輸送平面中進(jìn)行輸送。出于將待處理材料輸送通過生產(chǎn)線2的目的，設(shè)施1裝配有輸送設(shè)備。將參照?qǐng)D3和4更為詳細(xì)地描述可用于在圖1中概略地示出的設(shè)施的情形中輸送待處理材料的輸送設(shè)備的實(shí)施方式。為了在設(shè)施1的生產(chǎn)線2內(nèi)輸送待處理材料，保持裝置以可拆開的方式附接于所述材料。在待處理材料已被輸送通過生產(chǎn)線2之后，再將保持裝置從待處理材料上取下或移除。設(shè)施1進(jìn)一步包括裝載設(shè)備或裝載器10。例如利用機(jī)械手(圖1中并未示出) 或類似物將待處理材料從適合的所述材料的儲(chǔ)備庫(kù)8供給至裝載設(shè)備10。保持裝置同樣被從適合的所述保持裝置的儲(chǔ)備庫(kù)9供給至裝載設(shè)備10。裝載設(shè)備10將保持裝置附接于待處理材料的邊緣區(qū)域，從而使得所述保持裝置在所述邊緣區(qū)域上的多個(gè)點(diǎn)處保持所述材料。如將再次更為詳細(xì)說明的那樣，保持裝置沿所述材料的平行于輸送方向定向的邊緣上的邊緣部分保持待處理材料。保持裝置可在所述邊緣部分內(nèi)的多個(gè)點(diǎn)或區(qū)域處保持待處理材料，該多個(gè)點(diǎn)或區(qū)域以間隔開的方式或連續(xù)的方式設(shè)置在該邊緣部分內(nèi)。在一實(shí)施方式中，保持裝置至少在所述材料的界定出所述材料的平行于輸送方向延伸的邊緣區(qū)域的兩個(gè)拐角的附近保持待處理材料。在另一實(shí)施方式中，保持裝置至少在待處理材料的界定出所述材料的平行于輸送方向延伸的邊緣區(qū)域的兩個(gè)拐角的附近、以及所述邊緣區(qū)域的設(shè)置在
12兩個(gè)拐角之間的中央部分上保持待處理材料。設(shè)施1還可具有緩沖設(shè)備12，該緩沖設(shè)備12設(shè)置成在輸送方向上處于裝載設(shè)備 10的下游并處于生產(chǎn)線2的上游。所述緩沖設(shè)備12從裝載設(shè)備10接收通過保持裝置安裝的待處理材料11。緩沖設(shè)備12將安裝好的待處理材料11向前輸送至生產(chǎn)線2，并且與此同時(shí)可設(shè)置成使得其將借助于保持裝置安裝的待處理材料11加速或制動(dòng)減速至與所述材料在生產(chǎn)線2內(nèi)的初始速度相對(duì)應(yīng)的速度。其它的功能也可集成到緩沖設(shè)備12中。例如， 所述緩沖設(shè)備12可被設(shè)計(jì)成沿橫向于輸送方向的方向拉緊安裝好的待處理材料11。緩沖設(shè)備11還可具有多個(gè)傳感器和可控的驅(qū)動(dòng)元件，以設(shè)定相鄰的基片或待處理材料之間的距離。在待處理材料在生產(chǎn)線2內(nèi)的輸送期間，設(shè)施1的輸送設(shè)備對(duì)保持所述材料的保持裝置起作用。輸送設(shè)備移動(dòng)所述保持裝置，以便沿輸送方向5移動(dòng)安裝在保持裝置上的待處理材料。在待處理材料在生產(chǎn)線2內(nèi)進(jìn)行輸送的同時(shí)，具有分力6、7的力施加在待處理材料的平行于輸送方向延伸的邊緣區(qū)域上，即施加在縱向邊緣上。分力6、7定向成它們位于輸送平面內(nèi)并且與輸送方向成直角或橫向于該輸送方向定向。作用于待處理材料的平行于輸送方向延伸的兩個(gè)邊緣部分上的分力6、7大小相同，并且彼此定向相反。在此情況下，所述分力6、7的大小可以選擇成使得它們拉緊待處理材料。分力6、7的大小還可以選擇成使得它們將待處理材料保持成在所述材料的整個(gè)寬度上接近輸送平面或位于輸送平面內(nèi)，而不會(huì)過度拉伸所述材料。分力6、7的大小還可以選擇成使得所述材料的上側(cè)面和底面與設(shè)置用于處理所述上側(cè)面和底面的處理站的固定元件之間間隔一定的距離，該距離在待處理材料的整個(gè)寬度上基本上恒定。設(shè)施1還具有卸載設(shè)備13或卸載器13，該卸載設(shè)備13接收已經(jīng)被處理過的材料。 在生產(chǎn)線2與卸載設(shè)備13之間，可設(shè)置另一緩沖設(shè)備14，已經(jīng)被處理過的材料被生產(chǎn)線2 供給至該緩沖設(shè)備14，該緩沖設(shè)備14將所述材料供給至卸載設(shè)備13。所述卸載設(shè)備13將保持裝置從待處理材料上移除?？蓪⒁呀?jīng)被處理過的所述材料15從設(shè)施1上取出，并隨后
供給至另一處理裝置。在繼待處理材料的處理之后將保持裝置移除后，還可將保持裝置16從設(shè)施1上移除，并再次用于安裝另一待處理材料。在一次或多次穿過設(shè)施1后，如果需要，保持裝置16 可接受清潔處理，以便從所述保持裝置16上去除在前一次或前幾次穿過設(shè)施1的過程中沉淀在保持裝置16上的沉降物。將參照?qǐng)D2至8更為詳細(xì)地描述可用于在諸如圖1中概略地示出的設(shè)施的情形中輸送待處理的制品的保持裝置和輸送裝置的實(shí)施方式。圖2是通過保持裝置保持的待處理材料的立體圖。所述待處理材料21被示出為呈大致矩形形狀的薄板或薄片。在待處理材料21的兩個(gè)縱向邊緣——即在輸送待處理材料時(shí)沿輸送方向定向的兩個(gè)邊緣處，保持裝置22和另一保持裝置25無論如何在所述材料 21的所述邊緣部分上的至少兩個(gè)點(diǎn)處保持所述材料。在所示實(shí)施方式中，保持裝置22和另一保持裝置25分別在待處理材料的拐角附近以及設(shè)置在所述拐角之間的多個(gè)點(diǎn)處保持相應(yīng)的邊緣區(qū)域。保持裝置22和另一保持裝置25設(shè)計(jì)成使得它們沿寬度方向——即在輸送待處理材料21時(shí)在輸送平面內(nèi)與輸送方向成直角延伸的方向——在最大距離BR上與待處理材料 21疊合，該最大距離BR與所述材料21的寬度B相比很小。保持裝置的寬度可為約5mm至 45mm,特別地為約IOmm至35mm，特別地為約15mm至30mm，并且可對(duì)應(yīng)地與待處理材料在比所述保持裝置的寬度小的寬度BR上疊合。保持裝置22和另一保持裝置25可以設(shè)計(jì)成使得它們的長(zhǎng)度LH對(duì)應(yīng)于待處理材料21的長(zhǎng)度L或大于該長(zhǎng)度。根據(jù)待處理材料21，保持裝置22和另一保持裝置25可在所述材料的拐角附近保持所述材料。如在圖2中所示，保持裝置22和另一保持裝置25可以構(gòu)造成使得當(dāng)它們處于它們正保持待處理材料的狀態(tài)中時(shí)它們?cè)诳v向方向上在所述材料的一側(cè)或兩側(cè)上伸出超過待處理材料21。在圖2中所示的實(shí)施方式中，保持裝置22和另一保持裝置25的長(zhǎng)度LH為此選擇成大于待處理材料21的長(zhǎng)度L。保持裝置22和另一保持裝置25的在縱向方向上伸出超過待處理材料21的部分可用于設(shè)定設(shè)施內(nèi)的待處理材料之間的最小距離。所述保持裝置22和另一保持裝置25可以附接于待處理材料21使得保持裝置在它們的在輸送方向5上作為前端的端部比在它們的在所述輸送方向5上作為后端的端部伸出得遠(yuǎn)。在圖2中所示的實(shí)施方式中，保持裝置22和另一保持裝置25被構(gòu)造成軌道的形狀并且具有長(zhǎng)度LH，該長(zhǎng)度LH與保持裝置22或另一保持裝置25在與其垂直的方向上的尺寸相比長(zhǎng)。盡管保持裝置22和另一保持裝置25在圖2中被示出為連續(xù)的軌道，但是所述保持裝置還可具有多個(gè)部分，這多個(gè)部分在待處理材料的縱向方向上間隔開、并且彼此連接以在邊緣區(qū)域中的多個(gè)點(diǎn)處保持所述待處理材料21。數(shù)量是多個(gè)的這些部分可借助于彈性元件彼此連接，這些彈性元件構(gòu)造成使得所述部分在縱向方向上被預(yù)拉伸成彼此遠(yuǎn)離，換言之，使得可在縱向方向上對(duì)保持裝置的部分施加遠(yuǎn)離彼此定向的力。也可借助于保持裝置在待處理材料的縱向方向上拉伸待處理材料。保持裝置22具有軌道狀的第一保持部件23和軌道狀的第二保持部件24。同樣， 該另一保持裝置25具有軌道狀的第一保持部件沈和軌道狀的第二保持部件27。當(dāng)保持裝置22或25處于圖2中所示的閉合狀態(tài)時(shí)，第一保持部件23 J6和第二保持部件M、27布置在待處理材料21的相對(duì)兩側(cè)上，使得所述材料的邊緣區(qū)域伸進(jìn)第一保持部件23與第二保持部件M之間以及第一保持部件沈與第二保持部件27之間并被保持在該部位。接下來將描述圖2中以31示出的細(xì)節(jié)A。安裝好的待處理材料的以A指代的切除部分在以31表示的細(xì)節(jié)圖中以放大的方式表示出。上部保持部件23具有帶有多個(gè)部分 32,33的接觸緣，這些部分32、33沿待處理材料21的方向突出。接觸緣的部分32、33的面朝待處理材料21的那些端面觸碰所述材料并以力鎖定的方式保持所述材料。在保持緣的部分32、33之間設(shè)置有間隙34、35。所述間隙34、35形成液體通道，該液體通道使得能夠通過保持裝置22將處理液體引導(dǎo)走。另一保持裝置25具有與保持裝置22的設(shè)計(jì)鏡像對(duì)稱的對(duì)應(yīng)的設(shè)計(jì)。在另一設(shè)計(jì)中，保持裝置22與另一保持裝置25是完全相同的設(shè)計(jì)。保持裝置22 和另一保持裝置25中的每個(gè)都可以構(gòu)造成成使得上部保持部件與下部保持部件關(guān)于輸送平面互為鏡像對(duì)稱。所述上部保持部件與所述下部保持部件可例如通過鉸鏈連接。保持裝置22的端部和另一保持裝置25的端部具有斜面觀、29。在一種實(shí)施方式中，所述斜面觀、四至少被構(gòu)造在保持裝置22的在輸送待處理材料時(shí)最先與設(shè)施的輸送設(shè)備聯(lián)接的端部處。在這種情況下，斜面觀、四可相對(duì)于彼此被設(shè)置成，使得保持裝置22在它們的端部方向上變窄，從而有助于將所述保持裝置22引入到處理設(shè)施的輸送設(shè)備中。保持裝置22與另一保持裝置25可聯(lián)接于處理設(shè)施的適當(dāng)構(gòu)造的輸送設(shè)備，以便輸送由所述保持裝置22和所述另一保持裝置25所保持的待處理材料21。在這種情況下， 輸送設(shè)備與保持裝置之間的聯(lián)接優(yōu)選以這樣一種方式發(fā)生，即，待處理材料21的作為所述材料的可用區(qū)域而接受處理的中央?yún)^(qū)域并不與輸送設(shè)備的元件相接觸，并且同樣有利地不與生產(chǎn)線的其它固定元件相接觸，直到再次將保持裝置22和另一其它保持裝置從待處理材料21上釋放。圖3是根據(jù)一實(shí)施方式的輸送設(shè)備41的立體圖，該輸送設(shè)備41可用于輸送借助于保持裝置安裝的待處理材料。所述輸送設(shè)備41可用作來自圖1的設(shè)施1的生產(chǎn)線2中的輸送設(shè)備。輸送設(shè)備41具有兩個(gè)輥式輸送器42、43，這兩個(gè)輥式輸送器42、43以彼此間隔開的方式設(shè)置在待處理材料的輸送路徑的兩側(cè)。每個(gè)輥式輸送器42、43都包括沿輸送方向設(shè)置的多對(duì)輥?zhàn)印Ｃ繉?duì)輥?zhàn)佣及ù怪庇谳斔推矫骈g隔開的兩個(gè)輥?zhàn)?。在圖3中所示的輸送設(shè)備41中，輥?zhàn)?4’、45’設(shè)置成豎向間隔開，以使得一個(gè)輥?zhàn)?4’設(shè)置在輸送待處理材料 21的水平輸送平面的上方，而另一個(gè)輥?zhàn)?5’設(shè)置在該水平輸送平面的下方。在輸送設(shè)備41的情況下，輥式輸送器43的處于輸送平面上方的輥?zhàn)?4’與設(shè)置在另一輥式輸送器42的對(duì)應(yīng)位置的輥?zhàn)?4均連接于軸。設(shè)置在輸送平面下方的輥?zhàn)訉?duì)應(yīng)地連接于軸?？梢越柚谶@些軸以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)輥?zhàn)?4、44’、45’，這些軸安裝在屬于輸送設(shè)備41的支承插件47上。其中至少一個(gè)軸被安裝成能夠相對(duì)于其它軸例如在支承插件 47中的豎向延伸的間隙48內(nèi)移位。由于在這種安裝配置的情況下，可以改變屬于一對(duì)輥?zhàn)拥妮佔(zhàn)又g的豎直距離，因此，能夠輸送例如具有不同厚度的待處理材料。在輸送設(shè)備的一側(cè)一在輸送設(shè)備41的情況下與輥式輸送器42相同的一側(cè)一上，軸以旋轉(zhuǎn)固定的方式連接于一對(duì)齒輪46，這對(duì)齒輪46經(jīng)由驅(qū)動(dòng)軸(未示出)可操作地連接于驅(qū)動(dòng)單元(同樣未示出)。輸送設(shè)備41沿輸送方向輸送由保持裝置所保持的待處理材料21，所述輸送設(shè)備 41接觸保持裝置22、25，而在待處理材料21的要進(jìn)行處理的中央可用區(qū)域并未被所述輸送設(shè)備的固定元件觸碰。待處理材料21的受處理的中央?yún)^(qū)域在處理設(shè)施的處理站中與液體或氣體接觸。輸送設(shè)備41構(gòu)造成使得其對(duì)在待處理材料21的縱向邊緣處保持所述材料的每個(gè)保持裝置22、25施力，該力在保持裝置22、25上具有在輸送平面內(nèi)并橫向于輸送方向定向的分力6、7。在這種情況下，輸送設(shè)備41在保持裝置22、25上施力，該力具有方向相反的分力6、7，從而沿橫向于輸送方向的方向拉緊待處理材料21。為了確保在待處理材料21的兩側(cè)上的保持裝置22、25的同步輸送，輸送設(shè)備41 可設(shè)有同步設(shè)備(未示出)。所述同步設(shè)備可設(shè)置成確保附接在待處理材料21的不同側(cè)上的保持裝置22、25的同步前進(jìn)。同步設(shè)備可以這樣一種方式來實(shí)現(xiàn)借助于止擋件來阻止保持裝置在輸送方向上的移動(dòng)，并且可在預(yù)期點(diǎn)及時(shí)地再釋放所述保持裝置。為此，同步設(shè)備可包括至少一個(gè)可移動(dòng)的元件和連接于可移動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并且借助于該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述至少一個(gè)可移動(dòng)的元件可在第一位置與第二位置之間移動(dòng)。在第一位置中，所述至少一個(gè)可移動(dòng)的元件與保持裝置22、25中的一個(gè)或兩者接合，以防止對(duì)應(yīng)的保持裝置在輸送方向上前進(jìn)；在第二位置中，所述可移動(dòng)元件定位成允許對(duì)應(yīng)的保持裝置的前進(jìn)。可能的是，設(shè)置諸如第一可控止擋件之類的第一可移動(dòng)元件以管理在第一側(cè)上的保持裝置22的前進(jìn)，并設(shè)置諸如第二可控止擋件之類的第二可移動(dòng)元件以管理在第二側(cè)上的保持裝置25 的前進(jìn)。同步設(shè)備的其它設(shè)計(jì)也是可能的。例如，所述同步設(shè)備可具有齒輪，該齒輪在輸送期間接合在保持裝置22、25中，從而實(shí)現(xiàn)附接于不同側(cè)的保持裝置的同步且明確的前進(jìn)。如接下來將更為詳細(xì)地說明的那樣，參照?qǐng)D4，無論如何，在輥式輸送器42、43中的至少一個(gè)中，屬于一對(duì)輥?zhàn)拥钠渲兄辽僖粋€(gè)輥?zhàn)印缭O(shè)置在輸送平面下方的輥?zhàn)?5 被構(gòu)造成可移動(dòng)的支承件。出于引導(dǎo)對(duì)應(yīng)的保持裝置22或25的目的構(gòu)造該可移動(dòng)支承件。 它在相關(guān)聯(lián)的保持裝置22或25上施力，該力具有橫向于輸送方向的分力6、7，該力經(jīng)由所述保持裝置22或25被傳遞至待處理材料的對(duì)應(yīng)的邊緣區(qū)域。圖4示出了從由圖3中的IV-IV指示的方向看到的屬于輥式輸送器42的一對(duì)輥?zhàn)拥钠矫鎴D。在該情況下，輸送方向定向圖面中，并且輸送平面沿水平方向與所述圖面相交。 已經(jīng)參照?qǐng)D3進(jìn)行說明的元件設(shè)有相同的附圖標(biāo)記。盡管正參照?qǐng)D4對(duì)屬于輥式輸送器42的一對(duì)輥?zhàn)舆M(jìn)行說明，但屬于輥式輸送器43 的該對(duì)輥?zhàn)訌墓δ艿慕嵌壬蟻碚f可具有完全相同的設(shè)計(jì)，并且可被構(gòu)造成與圖4中所示的構(gòu)造成鏡像對(duì)稱。特別地，可在輥式輸送器43和輥式輸送器42 二者中都設(shè)置可移動(dòng)支承件，從而以浮動(dòng)的方式安裝待處理材料。在輸送設(shè)備41的改型實(shí)施方式中，在輥式輸送器42、34中的僅一個(gè)中，輥?zhàn)颖辉O(shè)計(jì)成可移動(dòng)的支承件，而另一輥式輸送器在預(yù)定位置處引導(dǎo)相關(guān)聯(lián)的保持裝置并且起到固定支承件的作用。這對(duì)輥?zhàn)影ㄝ佔(zhàn)?4、45，輥?zhàn)?4、45布置成使得保持待處理材料21的保持裝置 22可在它們之間進(jìn)行輸送。輥?zhàn)?4附接于軸51。輥?zhàn)?5附接與另一軸52。軸51以可旋轉(zhuǎn)地固定的方式聯(lián)接于齒輪46a，并且另一軸52以可旋轉(zhuǎn)地固定的方式聯(lián)接于齒輪46b。 齒輪46a和46b處于接合狀態(tài)，從而在旋轉(zhuǎn)齒輪46b時(shí)，同樣以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)齒輪46a。 所述齒輪46b聯(lián)接于斜齒輪46c，該斜齒輪46c與驅(qū)動(dòng)軸(未示出)處于可操作的連接中。輥?zhàn)?5具有用于保持裝置22的導(dǎo)槽53。所述輥?zhàn)?5以這樣一種方式附接于軸 52, BP,它是能夠在一定范圍內(nèi)沿所述軸52軸向移位的。這樣，輥?zhàn)?5形成用于保持裝置 22的可移動(dòng)的支承件，保持裝置22安裝在該輥?zhàn)?5上從而通過輥?zhàn)?4、45的旋轉(zhuǎn)沿輸送方向移動(dòng)。由于輥?zhàn)?5沿軸52的可軸向移動(dòng)的安裝，因而能夠?qū)Ρ３盅b置22進(jìn)而對(duì)由所述保持裝置22所保持的薄片的邊緣區(qū)域施力，該力在輸送平面內(nèi)具有橫向于輸送方向的分力。輥?zhàn)?4具有柱狀的外表。輥?zhàn)?4的外表設(shè)計(jì)成使得無論帶有導(dǎo)槽53的輥?zhàn)?5的位置如何，所述輥?zhàn)?4總是能夠在保持裝置22的與導(dǎo)槽相反的一側(cè)上(圖4中在頂部處) 接觸該保持裝置22。輸送設(shè)備可有利地構(gòu)造成使得輥?zhàn)?5與保持裝置22之間的摩擦力鎖定連接能夠確保所述保持裝置22的無滑動(dòng)輸送。如將在下面再次更為詳細(xì)地說明的那樣， 出于增大輥?zhàn)?4擠壓保持裝置22進(jìn)入導(dǎo)槽53中并抵靠輥?zhàn)?5的力的目的，可設(shè)置重物。輸送設(shè)備包括力作用裝置，該力作用裝置在輥?zhàn)?5上施加平行于軸52的力。在圖4中所示的設(shè)計(jì)的情況下，力作用裝置包括磁體M和另一磁體55，該磁體M附接于輥?zhàn)?45，該另一磁體55通過安裝裝置56沿軸52保持于固定的軸向位置處。磁體M、55可被構(gòu)造成永磁體。另一磁體陽和附接于輥?zhàn)?5的磁體M被裝配成，使得排斥力在它們之間起作用。磁體討、陽之間的排斥力導(dǎo)致力57沿軸52在軸向方向上對(duì)輥?zhàn)?5起作用。當(dāng)保持裝置22行進(jìn)到導(dǎo)槽53中時(shí)，輥?zhàn)?5能夠沿軸52在軸向方向上進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，并經(jīng)由所述導(dǎo)槽53的邊緣將橫向于輸送方向的力57施加在保持裝置22上。這樣，待處理材料21可被輸送設(shè)備41以彈性的方式拉伸。為了允許輸送具有不同厚度的待處理材料21，或者允許使用具有不同設(shè)計(jì)的保持裝置，軸51安裝在支承插件47上，以便能夠相對(duì)于軸52移動(dòng)。例如，軸51能夠相對(duì)于軸 52豎向移動(dòng)。旋轉(zhuǎn)夾帶裝置62附接于軸52。出于將轉(zhuǎn)矩從軸52傳遞至所述輥?zhàn)?5的目的， 在旋轉(zhuǎn)夾帶裝置62與輥?zhàn)?5之間設(shè)置有離合器64。所述離合器64以設(shè)計(jì)成使得在用于傳遞轉(zhuǎn)矩的離合器64保持接合時(shí)輥?zhàn)?5沿軸62的軸向移動(dòng)是可能的。止擋元件61附接于軸51，該止擋元件61能夠與旋轉(zhuǎn)夾帶裝置62相接觸，從而限制軸51、52朝向彼此的移動(dòng)。止擋元件61和旋轉(zhuǎn)夾帶裝置62設(shè)計(jì)成使得在止擋元件61與旋轉(zhuǎn)夾帶裝置62彼此頂靠時(shí)，保持裝置22能夠利用它們的倒角端可靠地行進(jìn)到輥?zhàn)?5的導(dǎo)槽53與輥?zhàn)?4之間的居間空間中。重物63附接于軸51，以便增大輥?zhàn)?4擠壓保持裝置22進(jìn)入導(dǎo)槽53中并抵靠輥?zhàn)?5力。這樣，可改善輥?zhàn)?4、45與保持裝置22之間的摩擦力鎖定連接，并且所述保持裝置22可被緊固在輥?zhàn)?5的導(dǎo)槽53中?？稍谄渌鼘?shí)施方式中對(duì)已經(jīng)參照?qǐng)D4進(jìn)行說明的輸送設(shè)備的這對(duì)輥?zhàn)拥拇私Y(jié)構(gòu)進(jìn)行改良。例如，替代保持裝置22的外表面接合在其中的輥?zhàn)?5的導(dǎo)槽53，可以在屬于輸送設(shè)備的輥?zhàn)由虾捅３盅b置上設(shè)置其它輔助接合部分，借助于這些輔助接合部分將沿軸52 作用在輥?zhàn)?5上的軸向力傳遞至保持裝置22。在待處理材料21的寬度方向上作用于保持裝置22上的力不必經(jīng)由輥?zhàn)?5施加在所述保持裝置22上。在另一實(shí)施方式中，磁體4可例如并不設(shè)置在輥?zhàn)?5自身上，而是設(shè)置在與輥?zhàn)?5分離開并且設(shè)置成在保持裝置22上施力的元件上，該力在待處理材料的寬度方向上具有分力。在另一實(shí)施方式中，可將磁力施加在保持裝置22上，不是經(jīng)由可移動(dòng)支承件間接地施加，而是通過安裝在軸52上的諸如永磁體55之類的磁體直接施加。在保持裝置22中可設(shè)置與安裝在軸52上的磁體相互作用的永磁體。安裝在軸52上的磁體和保持裝置22 中的永磁體可以構(gòu)造并設(shè)置成使得在所述保持裝置22上施加有具有這樣的分力的力該分力定向成使得在寬度方向上拉伸待處理材料。輥?zhàn)?5可構(gòu)造有柱狀的外表，保持裝置22 能夠在由安裝在軸52上的磁體施加在所述保持裝置22上的力的作用下在待處理材料21 的寬度方向上沿該柱狀的外表移動(dòng)。代替磁體M、55，可使用其它適合的裝置，以在保持裝置22上施加力，該力的分力處于輸送平面中并橫向于輸送方向，該力以彈性的方式拉伸待處理材料。例如，可使用彈性元件，以便在輥?zhàn)?5上施加沿著軸52的力。在另一實(shí)施方式中，保持裝置22可暴露在橫向于它們的縱向方向——即在待處理材料的寬度方向上的流體流下，從而在保持裝置22上施加定向成在寬度方向上拉伸待處理材料21的力。圖11示出了相鄰的保持裝置22a與22b之間的聯(lián)接器176，在此處所述的多種方法和設(shè)備的情況下，根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，借助于該聯(lián)接器176，能夠?qū)崿F(xiàn)相鄰的保持裝置 22a與22b之間的交錯(cuò)。保持裝置的端部設(shè)計(jì)成使得將力從一個(gè)保持裝置2 傳遞至相鄰的保持裝置22b。經(jīng)由如圖11中所示的諸如舌槽榫之類的機(jī)械聯(lián)接器可實(shí)現(xiàn)交錯(cuò)。通過前保持裝置2 與后保持裝置22b彼此交錯(cuò)，能夠減小、并有利地完全抑制力在待處理材料 21的前緣或后緣(沿輸送方向看)上的達(dá)到峰值。作為交錯(cuò)176的結(jié)果，作用在一個(gè)保持裝置上的力還被相鄰的保持裝置吸收。特別地，能夠以這樣一種方式實(shí)施交錯(cuò)，即，作為交錯(cuò)的結(jié)果，力從一個(gè)保持裝置2 橫向于輸送方向5輸送至相鄰的保持裝置22b。交錯(cuò)176 可產(chǎn)生于保持裝置22a、22b的適當(dāng)?shù)膸缀卧O(shè)計(jì)，例如通過帶有小于Imm的小間隙乃至力鎖定方式的配合而產(chǎn)生。為了產(chǎn)生交錯(cuò)，甚至是呈彼此連接的鏈節(jié)方式的形狀鎖定連接也是可能的。圖5是示出了處理設(shè)施的一部分的立體圖，在該部分中，待處理材料21在處理站 71中進(jìn)行處理。借助于保持裝置22、25安裝的待處理材料21由處理設(shè)施的輸送設(shè)備的一部分72供給至處理站71，并由所述處理設(shè)施的輸送設(shè)備的另一部分73從處理站71向前輸送。輸送設(shè)備的部分72、73可構(gòu)造成類似于參照?qǐng)D3和4描述的輸送設(shè)備41。輸送設(shè)備的所述部分72、73可設(shè)置成，使得對(duì)于已經(jīng)安裝的待處理材料21的各個(gè)位置而言，保持裝置 22,25都聯(lián)接于部分72、73中的至少一個(gè)而使得將待處理材料21安全地向前輸送，并且如果需要，橫向于輸送方向拉伸。所討論的處理站可以是例如用于對(duì)待處理材料21進(jìn)行化學(xué)處理的站、用于清洗所述材料的站、或用于干燥所述材料或用于將液體從所述材料上吹掉的站。由此，屬于處理站71的噴嘴裝置可例如通過使待處理材料21暴露于流體流而將化學(xué)處理試劑、水或氣體供給至待處理材料21。處理站具有供給區(qū)域75，借助于該供給區(qū)域75，將諸如化學(xué)處理試劑、水或氣體之類的適合的處理流體供給至待處理材料21的中央可用區(qū)域，該中央可用區(qū)域并未被保持裝置22、25所遮擋。所述供給區(qū)域75例如可具有用于使可用區(qū)域暴露于處理流體流的噴嘴裝置。供給區(qū)域75設(shè)置成使得其一直延伸到待處理材料的中央可用區(qū)域的附近，但并不觸碰所述材料。特別地，所述供給區(qū)域75可以設(shè)置成使得其面朝待處理材料21的部分在保持裝置22、25之間向內(nèi)突出?？稍诖幚聿牧?1的與供給區(qū)域75相反的一側(cè)上(在圖5中位于輸送平面下方)設(shè)置另一供給區(qū)域，以例如通過將所述材料的該相反側(cè)暴露于流體流而將處理流體供給至所述材料的該相反側(cè)。設(shè)置在待處理材料21的該相反側(cè)上的供給區(qū)域可以構(gòu)造成使得以對(duì)稱的方式從上方和下方作用于待處理材料，從而將所述待處理材料21的任何出離輸送平面的偏移保持在較少程度。設(shè)置在待處理材料21的該相反側(cè)上的供給區(qū)域可以構(gòu)造成并且在寬度方向上施加在所述材料上的分力可以選擇成，使得所述材料的上側(cè)面與供給區(qū)域75隔開一定距離，該距離在所述材料的整個(gè)寬度上基本恒定；并且使得待處理材料的底面與處理站71的用于所述材料的底面的對(duì)應(yīng)的供給區(qū)域隔開一定距離，該距離在所述材料的整個(gè)寬度上基本恒定。設(shè)置在待處理材料21的相對(duì)兩側(cè)上的供給區(qū)域可以構(gòu)造成并且沿寬度方向施加在所述材料上的分力可以以選擇成使得這些距離是相等的。保持裝置22、25在輸送待處理材料21通過處理站71時(shí)從中通過的間隙設(shè)置在供給區(qū)域75的兩側(cè)上。作為選擇，能夠在供給區(qū)域75的側(cè)旁設(shè)置另外的供給區(qū)域76、77，借助于供給區(qū)域76、77，同樣例如通過使保持裝置22、25暴露于處理流體流而將處理流體供給至保持裝置22、25。該另外的供給區(qū)域76、77可以根據(jù)保持裝置22、25是否同樣要在特定處理站受處理而設(shè)置。例如，在其中利用水清洗待處理材料或借助于氣體流干燥待處理材料的處理站中可設(shè)置該另外的供給區(qū)域76、77。另一方面，處理站可以這樣一種方式進(jìn)行構(gòu)造，即，在正通過處理站將化學(xué)處理試劑供給至待處理材料21或待處理材料21的未被保持裝置所遮擋的可用區(qū)域的情況下，不提供用于保持裝置的供給區(qū)域76、77。由此，在供入化學(xué)處理試劑的處理站中，能夠避免直接用化學(xué)處理試劑、會(huì)導(dǎo)致發(fā)生更多不期望的沉降的某些物質(zhì)噴濺保持裝置22、25。如上所述，如果保持裝置22、25與待處理材料一起被清洗和干燥，則可以在清洗和干燥站中從保持裝置22、25上去除已經(jīng)在之前用化學(xué)處理試劑對(duì)待處理材料的可用區(qū)域進(jìn)行的處理中到達(dá)所述保持裝置22、25上的所述化學(xué)處理試劑的痕跡。處理站還可以構(gòu)造成使得對(duì)保持裝置22、25的選擇性處理發(fā)生在這樣的區(qū)域中 在這些區(qū)域中，所述保持裝置22、25被引導(dǎo)通過所述站，而待處理材料的可用區(qū)域在該處理站內(nèi)并未受到任何直接的處理。這樣，例如能夠去除已經(jīng)遺留在保持裝置22、25上的化學(xué)處理試劑以避免保留至下一站。為了從待處理材料21的表面去除液體，還可使用以浮動(dòng)的方式安裝的滾柱，特別是安裝成能夠沿軸向方向移位的滾柱。盡管已經(jīng)參照?qǐng)D5對(duì)于將借助于保持裝置安裝的待處理材料輸送通過供入處理流體的處理站進(jìn)行了說明，但還可以為了其它處理步驟構(gòu)造帶有適當(dāng)設(shè)計(jì)的處理站。例如， 處理站可被構(gòu)造成向待處理材料供給下列物質(zhì)中的一種或多種處理流體、電流、能量、脈沖或輻射。所述處理站可以這樣一種方式進(jìn)行構(gòu)造，即，所述材料的未被保持裝置22、25所遮擋的待處理的可用區(qū)域不與處理站或輸送設(shè)備的固定元件接觸。如可從處理站71的已經(jīng)參照?qǐng)D5進(jìn)行說明的設(shè)計(jì)中看到的那樣，保持裝置22、25 在待處理材料21的平行于輸送方向延伸的邊緣區(qū)域處的布置使得用于所述處理站71的處理流體的供給區(qū)域75能夠設(shè)計(jì)成使得該供給區(qū)域75能夠伸到待處理材料的未被輸送裝置 22、25所遮擋的可用區(qū)域近前。特別地，供給區(qū)域75與待處理材料21之間的間距不受保持裝置22、25的尺寸的限制。將參照?qǐng)D6和7描述根據(jù)一實(shí)施方式的保持裝置。所述保持裝置可用于保持待處理材料21，并且出于輸送所述待處理材料21的目的而被設(shè)計(jì)成與參照?qǐng)D3至5進(jìn)行說明的處理設(shè)施的輸送設(shè)備協(xié)作。圖6示出了在圖2和7中借助于線VI-VI示意性地示出的位置處剖切保持裝置 22,25的截面圖。圖7A是保持裝置的第一保持部件23的平面圖，并且圖7B是所述保持裝置的第二保持部件M的平面圖。圖7A中的第一保持部件23的平面圖示出了所述第一保持部件23的在保持裝置處于閉合狀態(tài)中時(shí)面朝第二保持部件M的側(cè)面。圖7B中的第二保持部件M的平面圖示出了第二保持部件M的在保持裝置處于閉合狀態(tài)中時(shí)面朝第一保持部件23的側(cè)面。第一保持部件和第二保持部件的在圖7A和7B中示出位于底部的邊緣對(duì)應(yīng)于保持裝置的在圖6中示出位于左側(cè)的側(cè)面，并且背離待處理材料。保持裝置22、25分別包括兩個(gè)分離的軌道狀的保持部件23、24，這兩個(gè)保持部件 23,24在保持裝置22處于圖6中所示的閉合狀態(tài)中時(shí)，附接于待處理材料21的相對(duì)兩側(cè)， 并且這兩個(gè)保持部件23J4將所述待處理材料21以力鎖定方式保持在它們之間。在打開
19狀態(tài)，保持部件23J4彼此分離開從而可將待處理材料21插置在所述保持部件23J4之間或者從保持裝置22中取出。第一保持部件23包括體部81，用于保持待處理材料21的接觸緣82被構(gòu)造在該體部81上。所述體部81具有溝槽83，該溝槽83與第二保持部件M的互補(bǔ)設(shè)計(jì)一起充當(dāng)定位裝置，以便在處于閉合狀態(tài)時(shí)，將保持部件23J4相對(duì)于彼此定位。第一保持部件23的體部81具有由諸如金屬之類的具有高剛度的材料制成的硬芯 84。磁體85設(shè)置在所述體部81中。磁體85可以是平行六面體的。芯84可由鐵磁性金屬構(gòu)造而成，以增大第一保持部件與第二保持部件之間的磁性吸引力。第一保持部件23還包括另一體部86。所述另一體部86以這樣一種方式附接于體部81，S卩，硬芯84和磁體85完全被兩個(gè)體部81、86圍繞。該另一體部86的外表面具有輪廓部87。例如屬于裝載或卸載設(shè)備的接合裝置能夠接合在輪廓部87中以在閉合狀態(tài)與打開狀態(tài)之間移動(dòng)保持裝置。體部81、86可由塑料構(gòu)造而成，特別是由不與在處理設(shè)施中所使用的化學(xué)試劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的塑料構(gòu)造而成。在這種情況下，硬芯84與磁體85完全用塑料包裹住。在另一實(shí)施方式中，體部81、86可以一體的方式被構(gòu)造成單個(gè)塑料本體。體部81、86還可由不導(dǎo)電的材料制成——例如由陶瓷制成，或者可由優(yōu)質(zhì)鋼制成。第二保持部件M包括體部91，在體部91上構(gòu)造有突起93。所述突起93以這樣一種方式構(gòu)造而成，即，它可被插置在第一保持部件23中的溝槽83中并與該第一保持部件 23 一起充當(dāng)定位裝置，以便在處于閉合狀態(tài)中時(shí)，將保持部件23J4相對(duì)于彼此定位。第二保持部件M的體部91具有由諸如金屬之類的具有高剛度的材料制成的硬芯 94。磁體95設(shè)置在所述體部91中。芯94可由鐵磁性金屬構(gòu)造而成，以增大第一保持部件與第二保持部件之間的磁性吸引力。磁體95設(shè)置成使得當(dāng)保持裝置22處于圖6中所示的閉合狀態(tài)中時(shí)在于磁體85、95之間存在吸引力。第二保持部件M還包括另一體部96。所述另一體部96以這樣一種方式附接于體部91，S卩，硬芯94和磁體95完全由兩個(gè)體部91、96圍繞。該另一體部96的外表面具有輪廓部97。例如屬于裝載或卸載設(shè)備的接合裝置能夠接合在輪廓部97中以在閉合狀態(tài)與打開狀態(tài)之間移動(dòng)保持裝置。第二保持部件M的體部91、96可由塑料構(gòu)造而成，特別是由不與在處理設(shè)施中所使用的化學(xué)試劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的塑料構(gòu)造而成。在這種情況下，硬芯94與磁體95完全被塑料包裹住。在另一實(shí)施方式中，體部91、96可以一體的方式被構(gòu)造成單個(gè)塑料本體。體部91、96還可由不導(dǎo)電的材料制成——例如由陶瓷制成，或者可由優(yōu)質(zhì)鋼制成。第一保持部件23和第二保持部件24可涂覆有以這樣一種方式選擇出的材料，即， 使利用在用于對(duì)待處理材料進(jìn)行處理的設(shè)施中所使用的處理流體中的至少一種對(duì)保持部件23、24的浸濕減少。特別地，該涂層可以選擇成使得減少或抑制化學(xué)處理試劑的遺留。如從圖7A的平面圖中可見，第一保持部件23可以這樣一種方式進(jìn)行分割，S卩，所述第一保持部件23的在圖6的截面圖中所示的結(jié)構(gòu)在所述元件的中央?yún)^(qū)域中被間隙88中斷。所述間隙88沿在保持裝置22保持待處理材料21時(shí)與所述材料21的寬度方向相對(duì)應(yīng)的方向貫穿第一保持部件23延伸。間隙88中斷接觸緣82，從而使接觸緣82的部分在多個(gè)分離開的線性部分處保持該待處理材料。
如在圖7B的平面圖中所見，第二保持部件M可以這樣一種方式進(jìn)行分割，S卩，所述第二保持部件M的在圖6的截面圖中所示的結(jié)構(gòu)在所述元件的中央?yún)^(qū)域中被間隙98所中斷。所述間隙98沿在保持裝置22保持待處理材料21時(shí)與所述材料的寬度方向相對(duì)應(yīng)的方向貫穿第二保持部件M延伸。間隙98中斷突起93。所述間隙98沿第二保持部件M 的縱向方向設(shè)置在與第一保持部件23上的間隙88的位置相對(duì)應(yīng)的位置上。當(dāng)保持裝置22 處于閉合狀態(tài)中時(shí)，第一保持部件23中的間隙88由此與第二保持部件M中的間隙98對(duì)準(zhǔn)。所述間隙88、98限定貫穿保持裝置22的通道，這些通道在保持裝置22處于閉合狀態(tài)中時(shí)，橫向貫穿所述保持裝置22延伸，即沿待處理材料21的寬度方向延伸。這種通道允許經(jīng)保持裝置22將液體從待處理材料輸送離開。對(duì)于接觸緣82而言，相對(duì)于間隙88突出小于Imm可能是有利的。由此，當(dāng)保持裝置22附接于待處理材料21時(shí)，所述材料的上側(cè)面與間隙88之間的間隔能夠具有小于Imm的高度，所述高度是垂直于輸送平面進(jìn)行測(cè)量的。對(duì)于突起93而言，相對(duì)于間隙98伸出小于Imm同樣是有利的。由此，當(dāng)保持裝置22附接于待處理材料21時(shí)，所述材料的底面與間隙98之間的間隔能夠具有小于Imm的高度。如同樣在圖7A和7B的平面圖中可見的，在第一保持部件23的端部區(qū)域101、102 或在第二保持部件M的端部區(qū)域103、104處并未設(shè)有間隙88或98。由此，可在第一保持部件23和第二保持部件M中、分別在端部區(qū)域101、102、103、104中每單位長(zhǎng)度設(shè)置更多個(gè)磁體85和95。從而增大保持力，利用該保持力，在保持裝置22處于閉合狀態(tài)中時(shí)，在端部區(qū)域中將第一保持部件23和第二保持部件M保持在一起。保持力的這種增大導(dǎo)致了待處理材料21的分別被保持在端部區(qū)域101、103與端部區(qū)域102、104之間的邊緣區(qū)域的特別牢固的安裝。保持部件23、對(duì)可以這樣一種方式構(gòu)造而成，S卩，待處理材料的拐角被分別保持在所述端部區(qū)域101、103與端部區(qū)域102、104之間。由此，能夠在輸送待處理材料時(shí)減少或防止所述材料的拐角脫離保持裝置22。在根據(jù)另一實(shí)施方式的保持裝置的示例中，來自圖6的截面圖中所示的結(jié)構(gòu)可在第一保持部件和第二保持部件的整個(gè)長(zhǎng)度上連續(xù)延伸，即，所述第一保持部件和所述第二保持部件還可以構(gòu)造成使得它們沒有形成任何供液體通過用的通道。在這種情況下，接觸緣82沿待處理材料21的縱向方向連續(xù)延伸，并在設(shè)置在連續(xù)的線上的多個(gè)點(diǎn)處保持所述材料的邊緣部分。在根據(jù)另一實(shí)施方式的保持裝置的示例中，確定上部保持部件與下部保持部件在保持裝置處于閉合狀態(tài)時(shí)的布置的定位裝置還可以以不同于借助舌槽榫結(jié)構(gòu)的方式構(gòu)造而成。例如，上部保持部件與下部保持部件可借助于鉸鏈彼此連接。在這種情況下，所述上部保持部件與所述下部保持部件可具有關(guān)于輸送平面彼此鏡像對(duì)稱的設(shè)計(jì)。這種保持部件可用于在該兩個(gè)縱向邊緣中的每個(gè)處安裝待處理材料。圖8是根據(jù)又一實(shí)施方式的保持裝置110的立體圖。所述保持裝置110可用于保持待處理材料21。保持裝置110以這樣一種方式進(jìn)行配置，即，它們不僅機(jī)械地保持所述材料，而且能夠用于與所述材料電接觸。保持裝置110可用于在電解處理廠中或電鍍廠中與導(dǎo)電薄片以及厚板材電接觸。保持裝置110包括兩個(gè)分離的軌道狀的保持部件111、112，當(dāng)保持裝置110處于圖8中所示的閉合狀態(tài)中時(shí)，這兩個(gè)保持部件111、112附接于待處理材料21的相對(duì)兩側(cè)， 并且將待處理材料21以力鎖定的方式保持在它們之間。在打開狀態(tài)中，保持部件111、112
21彼此分離開，從而能夠?qū)⒋幚聿牧?1插置在所述保持部件111、112之間或者從保持裝置 110中取出。第一保持部件ill包括體部113，該體部113可由塑料構(gòu)造而成，特別是由不與在處理設(shè)施中所使用的化學(xué)處理試劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的塑料構(gòu)造而成。體部113還可包括諸如陶瓷之類的不導(dǎo)電的材料或優(yōu)質(zhì)鋼。磁體114嵌置在體部113中。第二保持部件112包括體部123，該體部123可由塑料構(gòu)造而成，特別是由不與在處理設(shè)施中所使用的化學(xué)處理試劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的塑料構(gòu)造而成。體部123還可包括諸如陶瓷之類的不導(dǎo)電的材料或優(yōu)質(zhì)鋼。磁體1 嵌置在體部123中。磁體114、1M設(shè)置成使得當(dāng)保持裝置110處于圖8中所示的閉合狀態(tài)時(shí)在磁體114、IM之間存在吸引力。第一保持部件111具有溝槽，該溝槽與第二保持部件112上的對(duì)應(yīng)的突起協(xié)作，以確定保持部件111、112在保持裝置110處于閉合狀態(tài)中時(shí)的相對(duì)定位。第一保持部件111 的側(cè)面與第二保持部件112的側(cè)表面被成型為允許形狀鎖定接合，以便例如將保持裝置從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)移成打開狀態(tài)?？稍诒３盅b置111中構(gòu)造橫向貫穿保持裝置110延伸以允許經(jīng)所述保持裝置110將液體從待處理材料21輸送離開的通道130。由于這些設(shè)計(jì)特征對(duì)應(yīng)于參照?qǐng)D6和7所述的保持裝置22的設(shè)計(jì)特征，因此，可對(duì)所述圖進(jìn)行附加參考。第一保持部件111的體部Il3中設(shè)有導(dǎo)電材料115，在示出的保持部件111的示例中，該導(dǎo)電材料115具有矩形設(shè)計(jì)。所述導(dǎo)電材料115可以例如是金屬。導(dǎo)電材料115的一部分以這樣一種方式伸出體部113，即，當(dāng)保持裝置110處于圖8中所示的閉合狀態(tài)時(shí)，該部分以在其端部處構(gòu)造的接觸面116觸碰待處理材料21。所述接觸面116既可用于機(jī)械地保持待處理材料21，又可用于與所述材料電接觸。接觸面116可設(shè)有涂層，該涂層可由不同于導(dǎo)電材料115的材料構(gòu)造而成，例如由優(yōu)質(zhì)鋼、混合氧化物或?qū)щ姀椥泽w構(gòu)造而成。在保持部件111的在保持裝置110處于圖8中所示的閉合狀態(tài)中時(shí)朝外側(cè)露出的外表面上(在第一保持部件111的在圖8中為上表面的表面上)設(shè)置有以導(dǎo)電的方式連接于導(dǎo)電材料115的另一導(dǎo)電接觸面117。所述另一電接觸面117可由不同于導(dǎo)電材料115 的材料構(gòu)造而成，例如由優(yōu)質(zhì)鋼、混合氧化物或?qū)щ姀椥泽w構(gòu)造而成。用于該另一電接觸面的材料可特別地以這樣一種方式進(jìn)行選擇，即，在該另一電接觸面117與接觸元件118之間存在低阻接觸，在處理設(shè)施內(nèi)借助于該接觸元件118供入電流。所述另一電接觸面117可以這樣一種方式構(gòu)造而成，即，它橫向于第一保持部件111的縱向方向地——即在待處理材料21的寬度方向上——寬于接觸元件118的接觸面119，在處理設(shè)施內(nèi)，出于為其供給電流的目的，將該接觸元件118的接觸面119按壓到該另一電接觸面117上。第一保持部件111可以這樣一種方式構(gòu)造而成，即，接觸面116和該另一接觸面 117是扁平的設(shè)計(jì)。在另一實(shí)施方式中，接觸面116和/或該另一接觸面117可具有凸形形狀。特別地，接觸面116和該另一接觸面117可以這樣一種方式構(gòu)造成具有凸形形狀，即， 與平面結(jié)構(gòu)的接觸面相比，待處理材料21或接觸元件118的接觸面119在更小的面積上但以更大的法向力接觸。在第二保持部件Il2的體部I23中設(shè)有導(dǎo)電材料125，在示出的保持部件112的示例中，該導(dǎo)電材料125具有矩形設(shè)計(jì)。所述導(dǎo)電材料125可以特別是金屬。導(dǎo)電材料125的一部分以這樣一種方式伸出體部123，即，當(dāng)保持裝置110處于圖8中所示的閉合狀態(tài)中時(shí)， 該部分以在其端部處構(gòu)造的接觸面1 觸碰待處理材料21。所述接觸面1 既可用于機(jī)械地保持待處理材料21，又可用于與所述材料電接觸。接觸面1 可設(shè)有涂層，該涂層可由不同于導(dǎo)電材料125的材料構(gòu)造而成，例如由優(yōu)質(zhì)鋼、混合氧化物或?qū)щ姀椥泽w構(gòu)造而成。在保持部件112的在保持裝置110處于圖8中所示的閉合狀態(tài)中時(shí)朝外側(cè)露出的外表面上(在第二保持部件112的在圖8中為下表面的表面上)設(shè)置有以導(dǎo)電的方式連接于導(dǎo)電材料125的另一導(dǎo)電接觸面127。所述另一電接觸面127可由不同于導(dǎo)電材料125 的材料構(gòu)造而成，例如由優(yōu)質(zhì)鋼、混合氧化物或?qū)щ姀椥泽w構(gòu)造而成。用于該另一電接觸面 127的材料可特別地以這樣一種方式進(jìn)行選擇，即，在該另一電接觸面127與接觸元件1 之間存在低阻接觸，在處理設(shè)施內(nèi)借助于該接觸元件1 供入電流。所述另一電接觸面127 可以這樣一種方式構(gòu)造而成，即，它橫向于第二保持部件112的縱向方向地——即在待處理材料21的寬度方向上——寬于接觸元件1 的接觸面129，在處理設(shè)施內(nèi)，出于為其供給電流的目的，將該接觸元件128的接觸面1 按壓到該另一電接觸面127上。第二保持部件112可以這樣一種方式構(gòu)造而成，即，接觸面1 和該另一接觸面 127具有扁平的設(shè)計(jì)。在另一實(shí)施方式中，接觸面1 和/或該另一接觸面127可分別具有凸形形狀。特別地，接觸面126和該另一接觸面127可以這樣一種方式構(gòu)造成具有凸形形狀，即，與平面結(jié)構(gòu)的接觸面相比，待處理材料21或接觸元件128的接觸面1 在更小的面積上但以更大的法向力接觸。第一保持部件ill中的導(dǎo)電材料115和第二保持部件112中的導(dǎo)電材料125可沿保持裝置110的縱向方向被中斷。所述第一保持部件111和所述第二保持部件112由此可沿它們的縱向方向分別具有多個(gè)導(dǎo)電材料115的節(jié)段和導(dǎo)電材料125的節(jié)段。作為選擇， 導(dǎo)電材料115和/或?qū)щ姴牧?25還可以以銷釘形的方式設(shè)置在第一保持部件111和/或第二保持部件112中。在另一改型中，導(dǎo)電材料115、125的沿待處理材料21的方向從第一保持部件111或第二保持部件112伸出的部分可以以分裂的方式構(gòu)造而成，或者呈多個(gè)銷釘?shù)男螤睢Ｒ赃@種方式構(gòu)造而成的接觸面可成功地與待處理材料21充分接觸。裂片或銷釘可以以彼此間隔開的方式設(shè)置或成一排彼此緊鄰設(shè)置。已經(jīng)借助于保持裝置110安裝的待處理材料21可輸送通過處理設(shè)施，在該處理設(shè)施中，在電化學(xué)處理站內(nèi)，接觸元件118、1觀被壓靠在朝外側(cè)露出的接觸面117、127上。接觸元件可以是例如卡夾形式的常規(guī)接觸元件。所述接觸元件還可以具有輥形或圓盤形結(jié)構(gòu)。接觸元件118、1觀可特別地以大小相等但定向相反的力壓靠在保持裝置110的接觸面 117,127 上。在另一實(shí)施方式中，保持裝置110可以這樣一種方式構(gòu)造而成，S卩，代替間隙和在保持裝置Iio如圖8中所示處于閉合狀態(tài)中時(shí)接合在間隙中的突起，設(shè)置鉸鏈，該鉸鏈將上部保持部件111與下部保持部件112彼此連接，并將它們相對(duì)于彼此定位。盡管如已經(jīng)參照?qǐng)D6至8描述的用于扁平的待處理材料的保持裝置22、110可用于輸送具有低固有剛度的薄的待處理材料，但是，所述保持裝置22、110還可用于安裝較厚的基片和/或與較厚的基片接觸。例如，根據(jù)本發(fā)明的保持裝置110還可用于輸送印刷電路板通過電鍍?cè)O(shè)施等，即使所述印刷電路板具有很高的固有剛度而不必沿寬度方向拉伸它們。圖9是根據(jù)一實(shí)施方式的裝載設(shè)備140的立體圖。所述裝載設(shè)備140可用作屬于圖1中的設(shè)施1的裝載設(shè)備10。
裝載設(shè)備140被設(shè)計(jì)成將具有第一保持部件23和第二保持部件M的保持裝置22 附接于扁平的待處理材料21。所述裝載設(shè)備140包括可構(gòu)造成支承板141的支承裝置。所述支承板141可被構(gòu)造成穿孔板。支承板141是能夠借助于致動(dòng)設(shè)備(未示出)豎向調(diào)整的。裝載設(shè)備140還包括可樞轉(zhuǎn)地安裝在框架144上的兩個(gè)折板142、143。出于打開和閉合該折板的目的，設(shè)置氣動(dòng)設(shè)備151、152。在框架143上成兩排設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向設(shè)備147。所述導(dǎo)向設(shè)備147被設(shè)計(jì)成接收保持裝置22的第二保持部件24，并在向前輸送所述保持裝置22時(shí)對(duì)它進(jìn)行導(dǎo)向。在各種情況下，在折板142、143中的每個(gè)上成排地設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向設(shè)備145。導(dǎo)向設(shè)備147被設(shè)計(jì)成接收保持裝置22的第一保持部件23，并在向前輸送所述保持裝置22時(shí)對(duì)它進(jìn)行導(dǎo)向。 導(dǎo)向設(shè)備147和導(dǎo)向設(shè)備145可特別地以這樣一種方式進(jìn)行設(shè)置，即，在各種情況下，當(dāng)折板142、143處于閉合狀態(tài)時(shí)，導(dǎo)向設(shè)備145中的一個(gè)位于導(dǎo)向設(shè)備145中的一個(gè)的豎向上方。裝載設(shè)備140被設(shè)計(jì)成使保持裝置22在它們的閉合狀態(tài)與它們的打開狀態(tài)之間轉(zhuǎn)移，在閉合狀態(tài)中，第一保持部件23和第二保持部件M彼此接觸；在打開狀態(tài)中，可將待處理材料21插置在所述保持裝置22中。為此，導(dǎo)向設(shè)備147可被設(shè)計(jì)成在打開折板142、 143時(shí)，將第二保持部件M緊固在所述導(dǎo)向設(shè)備147上使得第二保持部件M并不與第一保持部件23 —起移動(dòng)。導(dǎo)向設(shè)備145可被設(shè)計(jì)成，在打開折板142、143時(shí)，將第一保持部件 23緊固在所述導(dǎo)向設(shè)備145上使得第一保持部件23與折板142或143 —起移動(dòng)遠(yuǎn)離第二保持部件M。在第一保持部件和第二保持部件具有成型的外表面的情況下，導(dǎo)向設(shè)備147中的每個(gè)均可具有接合裝置148，該接合裝置148在打開折板142、143時(shí)以形狀鎖定的方式保持第二保持部件24。所述接合裝置可包括例如具有外邊緣的一個(gè)盤148或多個(gè)盤148，該外邊緣的例如呈V形突起形狀的輪廓與第二保持部件M的側(cè)向輪廓互補(bǔ)。特別地，導(dǎo)向設(shè)備147中的每個(gè)均可具有至少兩個(gè)外部輪廓與第二保持部件M的外部輪廓互補(bǔ)的盤148， 該外部輪廓，所述兩個(gè)盤148與所述第二保持部件M的相對(duì)的外表面相接合。同樣，每個(gè)導(dǎo)向設(shè)備145均可具有接合裝置146，該接合裝置146以形狀鎖定的方式保持第一保持部件 23。所述接合裝置可包括例如具有外邊緣的一個(gè)盤146或多個(gè)盤146，該外邊緣的例如呈V 形突起形狀的輪廓與第一保持部件23的側(cè)向輪廓互補(bǔ)。特別地，每個(gè)導(dǎo)向設(shè)備145均可具有至少兩個(gè)外部輪廓與第一保持部件23的外部輪廓互補(bǔ)的盤146，所述兩個(gè)盤146與所述第一保持部件23的相對(duì)的外表面相接合。接下來將描述裝載設(shè)備140的操作。在工作循環(huán)之初，折板142、143被閉合，并且在導(dǎo)向設(shè)備145、147中并未設(shè)有保持部件23、24。在閉合狀態(tài)中，保持裝置22被引入到由導(dǎo)向設(shè)備145、147所限定的導(dǎo)向件中。當(dāng)將保持裝置22完全引入到由導(dǎo)向設(shè)備145、147 所限定的導(dǎo)向件中時(shí)，致動(dòng)氣動(dòng)設(shè)備151、152，以打開折板142、143。在該過程中，接合裝置 148將第二保持部件M保持在導(dǎo)向設(shè)備147上，并且接合裝置146將第一保持部件23保持在導(dǎo)向設(shè)備145上。當(dāng)打開折板時(shí)，保持裝置22對(duì)應(yīng)地被轉(zhuǎn)移到打開狀態(tài)中。將折板142、143打開得足夠遠(yuǎn)以能夠借助于機(jī)械手等將待處理材料21放置在由導(dǎo)向設(shè)備147所保持的兩個(gè)第二保持部件M之間。在放置好待處理材料21之前，將支承板141豎向移動(dòng)到能夠支承放置在第二保持部件M上的所述材料的位置。在該過程中，支承板的表面可以設(shè)置成使得該表面與第二保持部件M的放置待處理材料21的接收區(qū)域處于一個(gè)平面中。作為重新致動(dòng)氣動(dòng)設(shè)備151、152的結(jié)果，折板142、143被閉合以使保持在所述折板142、143上的第一保持部件23與第二保持部件M再次接觸。由此，將保持裝置轉(zhuǎn)移到閉合狀態(tài)中，在這種情況下，在待處理材料21的沿縱向方向延伸的邊緣區(qū)域處將待處理材料21保持在第一保持部件23與第二保持部件M之間。在已將保持裝置22轉(zhuǎn)移到閉合狀態(tài)之后，降低支承板141。將被所述保持裝置22 保持的待處理材料輸送出裝載設(shè)備140。這能夠通過以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)導(dǎo)向設(shè)備147上的盤狀接合裝置148和/或通過以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)導(dǎo)向設(shè)備145上的盤狀接合裝置146而實(shí)現(xiàn)。在一實(shí)施方式中，出于輸送所述保持裝置的目的，以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)屬于引導(dǎo)附接于待處理材料的一個(gè)縱向邊緣的保持裝置的至少一個(gè)導(dǎo)向設(shè)備145或147的盤狀接合裝置、和屬于引導(dǎo)附接于待處理材料的另一縱向邊緣的另一保持裝置的至少一個(gè)另一導(dǎo)向設(shè)備145或147的盤狀接合裝置。在一實(shí)施方式中，在待處理材料的每一側(cè)上以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)屬于至少一個(gè)導(dǎo)向設(shè)備145或147的盤狀接合裝置，當(dāng)利用圖1的設(shè)施1中的裝載設(shè)備140時(shí)，該至少一個(gè)導(dǎo)向設(shè)備145或147設(shè)置于輸送方向上的最外側(cè)的位置處，即鄰近緩沖設(shè)備12的位置。在另一實(shí)施方式中，以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)屬于所有導(dǎo)向設(shè)備147的盤狀接合裝置，以輸送保持裝置并由此輸送安裝在保持裝置上的待處理材料。在每種情況下，都可出于輸送保持裝置目的而驅(qū)動(dòng)屬于對(duì)應(yīng)導(dǎo)向設(shè)備的所有盤狀接合裝置。在一實(shí)施方式中， 在每個(gè)導(dǎo)向設(shè)備中僅驅(qū)動(dòng)部分盤狀接合裝置，例如驅(qū)動(dòng)在外側(cè)上抵靠保持裝置的盤狀接合裝置，即設(shè)置在導(dǎo)向設(shè)備147的背離待處理材料的一側(cè)上的盤狀接合裝置。為了以安全可靠的方式對(duì)保持裝置22進(jìn)行導(dǎo)向，導(dǎo)向設(shè)備147和145可分別具有兩個(gè)頰板153和154，這兩個(gè)頰板153和巧4能夠朝向彼此移位。在頰板153與IM之間分別設(shè)置有凹部，第二或第一保持部件的至少一部分可插置到該凹部中。移動(dòng)設(shè)備巧5聯(lián)接于頰板153和154中的至少一個(gè)，以相對(duì)于彼此調(diào)節(jié)所述頰板。移動(dòng)設(shè)備155可例如被構(gòu)造成聯(lián)接于內(nèi)頰板153的氣動(dòng)設(shè)備。所述移動(dòng)設(shè)備能夠以這樣一種方式相對(duì)于彼此調(diào)節(jié)頰板153、154，即，附接于頰板的相應(yīng)的盤狀接合裝置148和146抵壓保持裝置的在導(dǎo)向設(shè)備中受引導(dǎo)的保持部件。在以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向設(shè)備中的盤狀接合裝置以沿輸送方向輸送保持裝置的情況下，移動(dòng)設(shè)備155可以設(shè)置成調(diào)節(jié)頰板153、154以使得當(dāng)以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)盤狀接合裝置時(shí)，保持裝置22因?qū)儆趯?dǎo)向設(shè)備的接合裝置與所述保持裝置22之間的摩擦力鎖定連接而移動(dòng)?？蛇x地或另外地，屬于導(dǎo)向設(shè)備的盤狀接合裝置與保持裝置之間的形狀鎖定連接也可設(shè)置成使得當(dāng)旋轉(zhuǎn)盤狀接合裝置時(shí)所述保持裝置移動(dòng)。然而，在圖9中所示的實(shí)施方式中，導(dǎo)向設(shè)備既用于沿輸送方向引導(dǎo)保持裝置，又用于在打開折板時(shí)緊固住保持裝置的保持部件以使所述保持部件彼此分離開，出于這些目的，可設(shè)置分離設(shè)備。例如，可設(shè)置銷釘形的接合裝置，以便在打開折板時(shí)緊固住保持裝置的保持部件使得所述保持部件彼此分離開，而在沿輸送方向輸送期間導(dǎo)向設(shè)備引導(dǎo)保持裝置。氣動(dòng)設(shè)備151、152打開折板142、143，并因此充當(dāng)致使與第一保持部件23接合的接合裝置146相對(duì)于與第二保持部件M接合的接合裝置148移動(dòng)的移動(dòng)裝置。氣動(dòng)設(shè)備151、152可被構(gòu)造和致動(dòng)成，在每種情況下，所施加的力或作用在折板142、143上的轉(zhuǎn)矩隨著所述折板142、143的打開角度的增大而減小。例如，可以設(shè)置氣動(dòng)壓力沖桿151，該氣動(dòng)壓力沖桿151能夠在整個(gè)第一路徑上施加第一力，以實(shí)現(xiàn)折板143的最初打開，并且在該過程中能夠?qū)⒈３盅b置22的保持部件23J4彼此分開。折板143的進(jìn)一步打開可借助于另一氣動(dòng)設(shè)備152或其它致動(dòng)器來實(shí)現(xiàn)，該另一氣動(dòng)設(shè)備152或其它致動(dòng)器可比壓力沖桿151 在更長(zhǎng)的路徑上致動(dòng)但僅施加較小的力。對(duì)于參照?qǐng)D9描述的裝載設(shè)備140進(jìn)行的改良可在其它實(shí)施方式中實(shí)施。例如， 分別保持該保持裝置22的第一保持部件23和第二保持部件M的接合裝置可以設(shè)計(jì)成使得這些接合裝置以力鎖定的方式保持所述第一保持部件和所述第二保持部件，以便將所述保持裝置從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)移到打開狀態(tài)中。例如，代替使用豎向可調(diào)的支承板141，還可使用產(chǎn)生氣墊的設(shè)備以便例如在保持裝置處于打開狀態(tài)時(shí)支承待處理材料21。在達(dá)到閉合狀態(tài)之前，保持裝置22還可被偏轉(zhuǎn)到使它們具有平行于輸送平面的彎曲應(yīng)力的狀態(tài)中。已經(jīng)參照?qǐng)D9描述的設(shè)備不僅可用作裝載設(shè)備，還可用作卸載設(shè)備。在用作卸載設(shè)備的情況下，以這樣一種方式顛倒上述的作用時(shí)序，即，將由保持裝置保持的待處理材料供給至該設(shè)備，然后將所述保持裝置從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)移到打開狀態(tài)中，以能夠?qū)⒋幚聿牧蠌谋３盅b置移除。可將這種卸載設(shè)備用作圖1的設(shè)施1中的卸載器13。圖10是緩沖設(shè)備160的立體圖，該緩沖設(shè)備160可用作用作圖1中的處理設(shè)施中的緩沖設(shè)備12或緩沖設(shè)備14。所述緩沖設(shè)備可設(shè)置用以完成除接收已經(jīng)從裝載設(shè)備發(fā)送或即將供給至卸載設(shè)備中的待處理材料之外的其它任務(wù)。如接下來將以緩沖設(shè)備160為例說明的，所述緩沖設(shè)備能夠在將待處理材料從裝載設(shè)備向生產(chǎn)線輸送的同時(shí)，沿橫向于輸送方向的方向拉伸由保持裝置沿縱向邊緣保持的待處理材料?？蛇x地或者另外地，緩沖設(shè)備可設(shè)置用以設(shè)定相繼的基片或待處理材料之間的距離。所述緩沖設(shè)備還可設(shè)置用以在附接于待處理材料的相對(duì)的縱向邊緣的保持裝置之間建立同步性，使得沿輸送方向?qū)⑺霰３盅b置設(shè)置在完全相同的位置處，即使得所述保持裝置保持同步。緩沖設(shè)備160具有第一組輸送設(shè)備162和第二組輸送設(shè)備163，它們附接于框架 161。在第一組輸送設(shè)備162和第二組輸送設(shè)備163中的每個(gè)輸送設(shè)備都被設(shè)置成引導(dǎo)并向前移動(dòng)保持著待處理材料21的保持裝置22。為此，每個(gè)輸送設(shè)備具有用于接收保持裝置22的對(duì)應(yīng)的導(dǎo)槽?？尚D(zhuǎn)地安裝的驅(qū)動(dòng)盤165、168沿導(dǎo)槽設(shè)置在輸送設(shè)備中。所述驅(qū)動(dòng)盤可在導(dǎo)槽的相對(duì)兩側(cè)上成對(duì)地設(shè)置。以旋轉(zhuǎn)的方向驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)盤使得保持裝置沿輸送方向移動(dòng)。例如，可以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)每個(gè)輸送設(shè)備中的至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)盤，以移動(dòng)保持裝置。 在一個(gè)實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)每個(gè)輸送設(shè)備中的在保持裝置的外側(cè)上抵靠保持裝置的一對(duì)驅(qū)動(dòng)盤，即在輸送設(shè)備的背離待處理材料的一側(cè)上的一對(duì)驅(qū)動(dòng)盤。所述保持裝置的移動(dòng)使得向前輸送被保持裝置所保持的待處理材料。因此，即使是在緩沖設(shè)備160中，也是通過輸送設(shè)備164、166、167、169移動(dòng)其上安裝有待處理材料的保持裝置而實(shí)現(xiàn)所述待處理材料的輸送。每個(gè)輸送設(shè)備可具有兩個(gè)頰板173、174，這兩個(gè)頰板173和174能夠朝向彼此移位，并且在這兩個(gè)頰板173與174之間構(gòu)造有導(dǎo)槽172。移動(dòng)設(shè)備175聯(lián)接于頰板173或 174中的至少一個(gè)，以相對(duì)于彼此調(diào)節(jié)所述頰板。每個(gè)頰板上均可設(shè)有一對(duì)驅(qū)動(dòng)盤。移動(dòng)設(shè)
26備175可例如被構(gòu)造成聯(lián)接于內(nèi)頰板173的氣動(dòng)設(shè)備。所述移動(dòng)設(shè)備能夠以這樣一種方式相對(duì)于彼此調(diào)節(jié)頰板173、174，即，使附接于所述頰板的驅(qū)動(dòng)盤抵靠保持裝置的設(shè)置在導(dǎo)槽中的保持部件。移動(dòng)設(shè)備175可以被裝配成以這樣一種方式調(diào)節(jié)頰板173、174，即，當(dāng)以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)盤時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)盤與所述保持裝置22之間的摩擦力鎖定連接導(dǎo)致保持裝置22移動(dòng)。作為選擇或此外，驅(qū)動(dòng)盤與保持裝置22之間的形狀鎖定連接也可以設(shè)置成使得在驅(qū)動(dòng)盤旋轉(zhuǎn)時(shí)所述保持裝置22移動(dòng)。屬于輸送設(shè)備組161、162的輸送設(shè)備可以這樣一種方式設(shè)置，即，當(dāng)輸送由保持裝置保持的待處理材料時(shí)，在所述待處理材料的相對(duì)的縱向邊緣處保持所述待處理材料的所述保持裝置之間的距離逐漸增大。為此，輸送設(shè)備可以這樣一種方式進(jìn)行設(shè)置，即，輸送設(shè)備166、169的導(dǎo)槽之間的距離比輸送設(shè)備164、167中的導(dǎo)槽之間的距離大。輸送設(shè)備的為側(cè)向附接于待處理材料的兩個(gè)保持裝置設(shè)置的導(dǎo)槽之間的距離可沿輸送方向增大。這樣以來，待處理材料在它被裝載設(shè)備輸送至生產(chǎn)線的同時(shí)，可在緩沖設(shè)備160內(nèi)被逐漸拉伸。為了監(jiān)控保持裝置在緩沖設(shè)備160內(nèi)的移動(dòng)，在所述輸送設(shè)備上設(shè)置有檢測(cè)保持裝置經(jīng)由對(duì)應(yīng)的輸送設(shè)備通過的傳感器170。設(shè)置有用于設(shè)定基片之間的距離的其它傳感器171。所述傳感器171可例如檢測(cè)連續(xù)的基片或待處理材料上的保持裝置之間的距離。 取決于所檢測(cè)到的實(shí)際距離，可向前移動(dòng)附接于連續(xù)基片的保持裝置使得調(diào)整到所需的理想距離。根據(jù)多個(gè)實(shí)施方式的設(shè)備、方法和保持裝置使得能夠以這樣一種方式在用于對(duì)待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施內(nèi)輸送所述材料，即，能夠安全地輸送固有穩(wěn)定性低或具有敏感表面的待處理材料。可在其它實(shí)施方式中實(shí)現(xiàn)對(duì)已經(jīng)在附圖中示出并以詳細(xì)的方式描述的實(shí)施方式的多種改良。盡管在參照?qǐng)D3和4描述的輸送設(shè)備中，可移動(dòng)支承件彈性地向外按壓設(shè)置在待處理材料的兩側(cè)上的保持裝置，但是在一種改良中，為附接于待處理材料的一個(gè)縱向邊緣的保持裝置設(shè)置可移動(dòng)支承件而為附接于所述待處理材料的另一縱向邊緣的保持裝置設(shè)置固定支承件是可能的。在其它實(shí)施方式中，橫向于輸送方向并且處于輸送平面內(nèi)的作用于待處理材料的力不僅可由機(jī)械支承件產(chǎn)生，而且可由橫向于所述輸送方向流動(dòng)的流體流產(chǎn)生。盡管已經(jīng)在實(shí)施方式的上下文中描述了具有輸送輥的輸送設(shè)備，但還可在其它實(shí)施方式中使用其它輸送設(shè)備。例如，輸送設(shè)備可具有回轉(zhuǎn)鏈。在保持裝置上可構(gòu)造有允許將在待處理材料的縱向邊緣處保持該待處理材料的保持裝置鉤掛到所述回轉(zhuǎn)鏈中的接合部分。橫向于輸送方向并且處于輸送平面內(nèi)的作用于待處理材料的力的分量不是必須由輸送設(shè)備提供。在其它實(shí)施方式中，可設(shè)置有例如彈性元件，該彈性元件聯(lián)接于作用在待處理材料的相對(duì)的縱向邊緣上的兩個(gè)保持裝置并且遠(yuǎn)離彼此地按壓所述保持裝置。這對(duì)保持裝置和彈性元件由此形成框架，該框架在縱向邊緣處穩(wěn)定住待處理材料并且沿寬度方向拉伸所述材料。彈性元件可沿待處理材料的寬度方向在作用于所述材料的相對(duì)的縱向邊緣上的保持裝置之間延伸。所述彈性元件可以這樣一種方式進(jìn)行設(shè)計(jì)，即，它們相對(duì)較薄，例如厚度為小于3mm。
在再一實(shí)施方式中，可設(shè)置彈性元件，該彈性元件聯(lián)接于作用在待處理材料的相對(duì)的縱向邊緣上的兩個(gè)保持裝置，并且該彈性元件遠(yuǎn)離彼此地按壓所述保持裝置。該彈性元件可以相對(duì)較薄，例如被構(gòu)造成厚度為小于3mm。每個(gè)保持裝置可被分成多個(gè)部分，這多個(gè)部分沿待處理材料的縱向方向間隔開?？稍诿總€(gè)保持裝置的多個(gè)部分之間設(shè)置其它彈性元件，該其它彈性元件沿待處理材料的縱向方向遠(yuǎn)離彼此地按壓對(duì)應(yīng)保持裝置的部分。保持裝置具有彈性元件和其它彈性元件的部分形成絕對(duì)彈性的框架，該框架能夠既沿縱向方向又沿寬度方向拉伸待處理材料。盡管可將保持裝置附接于待處理材料的兩個(gè)縱向邊緣，以保持待處理材料，但是在其它實(shí)施方式中，在沿縱向邊緣的至少兩點(diǎn)處保持所述待處理材料的保持裝置還可僅附接于待處理材料的平行于輸送方向延伸的邊緣區(qū)域中的一個(gè)。盡管已經(jīng)在設(shè)施的上下文中描述了待處理材料在水平的輸送平面內(nèi)移動(dòng)的實(shí)施方式，但是同樣可在以豎直定向的方式輸送待處理材料的情況下使用所述設(shè)備和方法。待處理材料可在進(jìn)行輸送的同時(shí)被浸沒在處理液體中。即使是在浸沒的待處理材料的情況下，仍然可以適當(dāng)?shù)姆绞绞褂酶鶕?jù)多個(gè)實(shí)施方式的輸送設(shè)備和保持裝置。固有穩(wěn)定性低的待處理材料的輸送是本發(fā)明的實(shí)施方式可有利地使用的其中一個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。此外，特別地，根據(jù)本發(fā)明的保持裝置還能夠用于輸送印刷電路板等，印刷電路板等具有高固有穩(wěn)定性，從而在輸送期間并不橫向于輸送方向?qū)λ鼈冞M(jìn)行拉伸。例如，諸如在權(quán)利要求22至M中限定且已經(jīng)參照?qǐng)D8的實(shí)施方式更為詳細(xì)地描述的根據(jù)本發(fā)明的保持裝置可廣泛地用于在電解設(shè)施等內(nèi)輸送基片或其它待處理材料。
0165]附圖標(biāo)記列表0166]1處理設(shè)施0167]2生產(chǎn)線0168]3、4處理站0169]5輸送方向0170]6、7橫向于輸送方向的分力0171]8待處理材料0172]9保持裝置0173]10裝載設(shè)備0174]11被保持裝置保持的待處理材料0175]12緩沖設(shè)備0176]13卸載設(shè)備0177]14另一緩沖設(shè)備0178]15已經(jīng)處理過的待處理材料0179]16保持裝置0180]21待處理材料0181]22a、22b保持裝置0182]23,26第一保持部件0183]24、27第二保持部件
28、29 斜面B待處理材料的寬度BR邊緣區(qū)域的寬度L待處理材料的長(zhǎng)度LH保持裝置的長(zhǎng)度31 詳圖32、33 接觸緣34,35液體通道41輸送設(shè)備42、43輥式輸送器44、44，施壓輥45,45'可移動(dòng)支承件(帶有溝槽的輥)46 齒輪47支承插件48 間隙51、52 軸53 導(dǎo)槽54、55 磁體56用于磁體的安裝裝置57拉伸力61止擋元件62旋轉(zhuǎn)夾帶裝置63 重物64離合器71處理站72、73輸送設(shè)備的部分75供給區(qū)域76,77另外的供給區(qū)域81 體部82接觸緣83 溝槽84 硬芯85 磁體86 體部87輪廓部91 體部93 突起94 硬芯95 磁體
96 體部97輪廓部101-104保持部件的端部區(qū)域110保持裝置111、112 保持部件113 體部114 磁體115導(dǎo)電材料116、117 接觸面118接觸元件119接觸面123 體部124 磁體125導(dǎo)電材料126、127 接觸面128接觸元件129接觸面130 通道140裝載設(shè)備141支承臺(tái)142、143 折板144 框架145、147 導(dǎo)向設(shè)備146、148 接合裝置151、152 氣動(dòng)設(shè)備153、154導(dǎo)向設(shè)備的頰板155移動(dòng)設(shè)備160緩沖設(shè)備161 框架162、163輸送設(shè)備組164、166、167、169 輸送設(shè)備165、168 驅(qū)動(dòng)盤170、171 傳感器172 導(dǎo)槽173、174輸送設(shè)備的頰板175移動(dòng)設(shè)備176聯(lián)接器
權(quán)利要求
1.一種用于在對(duì)扁平的待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施內(nèi)輸送所述待處理材料的方法，其中，所述待處理材料沿輸送方向( 在輸送平面內(nèi)進(jìn)行輸送，所述方法包括下列步驟將保持裝置02 ；110)附接于所述待處理材料(21)，所述保持裝置在所述材料的邊緣區(qū)域上的至少兩個(gè)點(diǎn)處保持所述待處理材料(21)，所述邊緣區(qū)域在所述待處理材料進(jìn)行輸送時(shí)沿所述輸送方向( 定向；以及使所述保持裝置02 ；110)在所述輸送方向( 上運(yùn)動(dòng)，以便輸送所述待處理材料 (21)；其中，至少在所述待處理材料的部分輸送期間，在所述待處理材料的至少一個(gè)區(qū)域上施加力，所述力具有位于所述輸送平面內(nèi)并橫向于所述輸送方向(5)定向的分力 (6,7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，至少在所述待處理材料的部分輸送期間，將力(6、7)沿在所述輸送平面內(nèi)并橫向于所述輸送方向(5)的方向施加在所述保持裝置02 ；110)上。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，另一保持裝置0 在所述待處理材料的另一邊緣區(qū)域處保持所述材料 (21)，并且，將力(6、7)沿相反方向施加在所述保持裝置0 和所述另一保持裝置05)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的方法，其中，作用在所述保持裝置02 ；110)上或者作用在所述保持裝置0 和所述另一保持裝置0 上的所述力(6、7)根據(jù)所述待處理材料的特性、特別是所述待處理材料 (21)的最大允許變形量進(jìn)行選擇。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述保持裝置平行于所述輸送方向( 拉伸所述待處理材料01)。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述保持裝置O2;110)保持所述待處理材料的所述邊緣區(qū)域具有橫向于所述輸送方向( 的最大寬度(BR)，所述最大寬度(BR)小于所述待處理材料的寬度 ⑶。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，經(jīng)由所述保持裝置(110)實(shí)現(xiàn)與所述待處理材料的電接觸以用于電化學(xué)處理。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，將安裝在所述保持裝置02 ；110)上的所述待處理材料輸送通過濕式化學(xué)處理站，使得將所述保持裝置O2;110)引導(dǎo)經(jīng)過所述處理站的向所述待處理材料施加處理液體的區(qū)域(75)。
9.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，將安裝在所述保持裝置02 ；110)上的所述待處理材料與所述保持裝置 (22 ；110) 一起引導(dǎo)通過用于清洗和/或干燥所述待處理材料的區(qū)域(75-77)。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，輸送安裝在所述保持裝置02 ；110)上的所述待處理材料使得所述待處理材料的要處理的可用區(qū)域在于所述設(shè)施內(nèi)輸送的過程中不與所述設(shè)施的元件接觸。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述待處理材料是具有低固有剛度的待處理材料(21)，尤其是薄片，或者所述待處理材料是印刷電路板。
12.一種用于輸送扁平的待處理材料的保持裝置，其中，所述保持裝置O2;110) 被構(gòu)造成用以在所述待處理材料的邊緣區(qū)域中在至少兩個(gè)點(diǎn)處保持所述材料；所述保持裝置02 ；110)被構(gòu)造和設(shè)計(jì)成可拆卸地聯(lián)接到屬于對(duì)所述待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施的、用于沿輸送方向( 輸送所述待處理材料的輸送設(shè)備 (41)，以便在所述保持裝置02 ；110)處于聯(lián)接到所述輸送設(shè)備Gl)上的狀態(tài)時(shí)將所述待處理材料保持成使得所述待處理材料的邊緣區(qū)域沿所述輸送方向( 延伸，其中所述保持裝置02 ；110)在所述邊緣區(qū)域中保持所述待處理材料01)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的保持裝置，所述保持裝置包括用于保持所述待處理材料的至少一個(gè)保持部分(82 ；116,126) 或用于保持所述待處理材料的多個(gè)保持部分(82;116、1沈)，所述至少一個(gè)保持部分沿在所述保持裝置O2;110)處于聯(lián)接到所述輸送設(shè)備上的狀態(tài)時(shí)對(duì)應(yīng)于所述輸送方向 (5)的方向延伸，所述多個(gè)保持部分沿在所述保持裝置02 ；110)處于聯(lián)接到所述輸送設(shè)備上的狀態(tài)時(shí)對(duì)應(yīng)于所述輸送方向(5)的所述方向設(shè)置。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的保持裝置，所述保持裝置包括第一保持部件和第二保持部件(對(duì)、112)，所述第一保持部件03 ；111)和第二保持部件04、11幻具有用于安裝所述待處理材料的閉合狀態(tài)和用于插入所述待處理材料的打開狀態(tài)，所述第一保持部件03 ；111)和第二保持部件04、11幻被設(shè)置成在處于所述閉合狀態(tài)時(shí)至少通過所述第一保持部件03 ；111)與所述第二保持部件04、11幻之間的力鎖定連接、特別是摩擦力鎖定連接保持所述待處理材料 01)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的保持裝置，所述保持裝置包括力作用裝置，特別是至少一對(duì)用于在所述保持裝置02 ；110)處于所述閉合狀態(tài)時(shí)在所述第一保持部件03 ；111)與所述第二保持部件04、11幻之間產(chǎn)生吸引力的磁體(85,95 ；114,124) ο
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的保持裝置，其中，所述第一保持部件具有接觸緣(82)，在所述閉合狀態(tài)下，所述接觸緣(8 沿所述第二保持部件的方向突出從而以力鎖定的方式保持所述待處理材料。
17.根據(jù)權(quán)利要求14至16中的任一項(xiàng)所述的保持裝置，所述保持裝置包括定位裝置(83、93)，用以在處于所述閉合狀態(tài)時(shí)，以預(yù)定布置相對(duì)于彼此定位所述第一保持部件03 ；111)和所述第二保持部件04 ； 112)。
18.根據(jù)權(quán)利要求12至17中的任一項(xiàng)所述的保持裝置，所述保持裝置構(gòu)造成使得當(dāng)所述保持裝置02 ；110)處于聯(lián)接到所述輸送設(shè)備上的狀態(tài)時(shí)，所述保持裝置02 ；110)垂直于所述輸送方向( 在距離(BR)上與所述待處理材料 (21)重疊，所述距離(BR)小于所述待處理材料的寬度(B)。
19.根據(jù)權(quán)利要求12至18中的任一項(xiàng)所述的保持裝置，所述保持裝置包括硬度高的材料(84、94 ；115、125)，特別是金屬芯。
20.根據(jù)權(quán)利要求12至19中的任一項(xiàng)所述的保持裝置，所述保持裝置包括保持軌道03、24;111)，在所述保持軌道03、M;111)中形成有用于液體的通道(88、89 ； 130)。
21.根據(jù)權(quán)利要求12至20中的任一項(xiàng)所述的保持裝置，所述保持裝置被塑料材料(81、86;91、96)包圍住、特別是被不與所述設(shè)施中所使用的化學(xué)處理試劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的塑料材料包圍住。
22.根據(jù)權(quán)利要求12至20中的任一項(xiàng)所述的保持裝置，所述保持裝置被構(gòu)造成與所述待處理材料電接觸。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的保持裝置，所述保持裝置包括至少一個(gè)被構(gòu)造成用以接觸所述待處理材料的導(dǎo)電接觸面 (116；126)和以導(dǎo)電的方式連接到所述保持裝置上的另一導(dǎo)電接觸面(117;127)，所述另一導(dǎo)電接觸面(117 ；127)設(shè)置成使得能夠在所述保持裝置02 ；110)保持所述待處理材料 (21)時(shí)聯(lián)接到外部電流源上。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的保持裝置，其中，所述另一導(dǎo)電接觸面具有兩個(gè)部分(117 ;127)，所述兩個(gè)部分在所述保持裝置 (22 ；110)保持所述待處理材料時(shí)設(shè)置在所述保持裝置02 ；110)的相對(duì)兩側(cè)上。
25.一種用于對(duì)扁平的待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施(1)的、輸送所述待處理材料的設(shè)備，所述待處理材料借助于保持裝置02 ；110)沿邊緣區(qū)域安裝，其中所述設(shè)備被設(shè)置成在輸送平面內(nèi)沿輸送方向( 輸送所述待處理材料(21)， 所述設(shè)備包括輸送裝置04、45)，所述輸送裝置(44、妨)能夠以可拆卸的方式聯(lián)接到所述保持裝置 (22 ；110)上，并且被構(gòu)造成使其上安裝有所述待處理材料的所述保持裝置02 ；110) 沿所述輸送方向( 運(yùn)動(dòng)；其中，所述設(shè)備Gl)被構(gòu)造成至少在所述待處理材料的部分輸送期間將力施加到所述待處理材料的至少一個(gè)區(qū)域上，所述力具有位于輸送平面內(nèi)并且橫向于所述輸送方向(5)定向的分力(6、7)。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的設(shè)備，所述設(shè)備包括拉伸裝置(45、54、55)，所述拉伸裝置G5、M、55)用于對(duì)所述保持裝置 (22 ；110)施加在所述輸送平面內(nèi)且橫向于所述輸送方向(5)定向的力(57)。
27.根據(jù)權(quán)利要求沈所述的設(shè)備，其中，所述拉伸裝置包括用于引導(dǎo)所述保持裝置O2;110)的可移動(dòng)支承件05)。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的設(shè)備，其中，所述輸送裝置包括驅(qū)動(dòng)軸(52)，所述可移動(dòng)支承件0 附接于所述驅(qū)動(dòng)軸 (52)。
29.根據(jù)權(quán)利要求27或觀所述的設(shè)備，其中，所述拉伸裝置包括力作用裝置(54、55)，特別是至少一個(gè)磁體，以便橫向于所述輸送方向( 對(duì)所述可移動(dòng)支承件0 施加力(57)。
30.根據(jù)權(quán)利要求27至四中的任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中，所述輸送裝置包括施壓裝置(44)，所述施壓裝置04)被設(shè)置成使所述保持裝置 (22 ；110)抵壓所述可移動(dòng)支承件(45)。
31.根據(jù)權(quán)利要求沈至30中的任一項(xiàng)所述的設(shè)備，所述設(shè)備被構(gòu)造成用以輸送通過另一保持裝置0 沿另一邊緣區(qū)域安裝的待處理材料 01)，其中，所述設(shè)備包括另一拉伸裝置G5’)，所述另一拉伸裝置05’)被構(gòu)造成對(duì)所述另一保持裝置0 施加在所述輸送平面內(nèi)且橫向于所述輸送方向( 定向的力。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的設(shè)備，其中，所述拉伸裝置和所述另一拉伸裝置被構(gòu)造成用以沿相反的方向?qū)λ霰３盅b置 (22)和所述另一保持裝置(25)施加力(6、7)。
33.用于對(duì)扁平的待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施的、輸送所述待處理材料的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括根據(jù)權(quán)利要求25至32中的任一項(xiàng)所述的設(shè)備Gl)；以及保持裝置02 ；110)，所述保持裝置02 ；110)能夠聯(lián)接到所述待處理材料的所述邊緣區(qū)域上，其中，所述設(shè)備的所述輸送裝置以可拆卸的方式聯(lián)接到所述保持裝置02 ； 110)上。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，所述保持裝置02 ；110)被構(gòu)造為根據(jù)權(quán)利要求12至M中的任一項(xiàng)所述的保持裝置。
35.對(duì)待處理材料進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施用的裝載或卸載設(shè)備，所述設(shè)施具有用于輸送通過保持裝置02 ；110)沿邊緣區(qū)域安裝的扁平的待處理材料的設(shè)備，其中，所述裝載或卸載設(shè)備(140)被設(shè)置成在打開狀態(tài)與用于保持所述待處理材料的閉合狀態(tài)之間轉(zhuǎn)移所述保持裝置，并且所述裝載或卸載設(shè)備(140)包括支承設(shè)備(141)，所述支承設(shè)備(141)用于在將所述保持裝置02 ；110)轉(zhuǎn)移到所述打開狀態(tài)時(shí)支承所述待處理材料。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的裝載或卸載設(shè)備，所述裝載或卸載設(shè)備被構(gòu)造成接收處于所述閉合狀態(tài)的所述保持裝置02 ；110)、將所述保持裝置O2;110)從所述閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)移到所述打開狀態(tài)然后再回到所述閉合狀態(tài)、 并將所述保持裝置Ο2;110)以所述閉合狀態(tài)送出。
37.根據(jù)權(quán)利要求35或36所述的裝載或卸載設(shè)備，所述裝載或卸載設(shè)備包括用于與所述保持裝置02 ；110)的第一保持部件接合的第一接合裝置(146)、用于與所述保持裝置02 ；110)的第二保持部件04)接合的第二接合裝置(148)、以及用于產(chǎn)生所述第一接合裝置(146)和所述第二接合裝置(148)的相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置(151、152)。
38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的裝載或卸載設(shè)備，其中，所述移動(dòng)裝置(151、15幻被構(gòu)造成用于以這樣一種方式產(chǎn)生所述相對(duì)移動(dòng)由所述移動(dòng)裝置(151、15幻施加的用于產(chǎn)生所述相對(duì)移動(dòng)的力隨著所述第一接合裝置(146) 與所述第二接合裝置(148)之間的距離增大而減小。
39.根據(jù)權(quán)利要求37或38所述的裝載或卸載設(shè)備，其中，能夠以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)所述第一接合裝置(146)和/或所述第二接合裝置 (148)。
全文摘要
為了在對(duì)扁平的待處理材料(21)進(jìn)行化學(xué)和/或電化學(xué)處理的設(shè)施中輸送所述材料，在所述設(shè)施內(nèi)，在輸送平面內(nèi)沿輸送方向(5)輸送待處理材料(21)，將保持裝置(22、25)附接于所述待處理材料(21)。保持裝置(22、25)于待處理材料(21)的邊緣區(qū)域上的至少兩點(diǎn)處保持所述材料，該邊緣區(qū)域在所述待處理材料(21)進(jìn)行輸送時(shí)沿輸送方向(5)定向。保持裝置(22、25)以可拆卸的方式聯(lián)接于輸送設(shè)備(41)，該輸送設(shè)備(41)沿輸送方向移動(dòng)所述保持裝置(22、25)，以便輸送待處理材料(21)。至少在待處理材料(21)的部分輸送期間，將具有位于輸送平面內(nèi)并且橫向于輸送方向(5)定向的分力的力(6、7)施加在待處理材料(21)的一區(qū)域上，例如施加在縱向邊緣區(qū)域上。
文檔編號(hào)C25D17/00GK102405691SQ201080017597
公開日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2010年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月22日
發(fā)明者亨利·孔策, 克里斯蒂安·托馬斯 申請(qǐng)人:埃托特克德國(guó)有限公司