靜電鍵合設(shè)備及靜電鍵合產(chǎn)生的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種靜電鍵合設(shè)備及靜電鍵合產(chǎn)生的方法，該設(shè)備包括手套箱設(shè)備(0000)和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)，靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)內(nèi)部設(shè)置有靜電鍵合室，手套箱設(shè)備(0000)內(nèi)部設(shè)置有手套箱；靜電鍵合室與手套箱之間設(shè)立連接通道(0002)，連接通道(0002)用于實(shí)現(xiàn)操作對(duì)象的內(nèi)部轉(zhuǎn)移。本發(fā)明利用連接通道使手套箱和靜電鍵合室連接在一起，保證了整個(gè)操作環(huán)境的潔凈度，保證了操作環(huán)境與氧氣、水汽隔絕，避免了厭氧、怕水汽的對(duì)象在操運(yùn)過(guò)程中接觸氧氣和水汽的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】
靜電鍵合設(shè)備及靜電鍵合產(chǎn)生的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種靜電鍵合技術(shù)，特別涉及一種靜電鍵合設(shè)備及靜電鍵合產(chǎn)生的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]靜電鍵合也稱為AnodicBonding、Field_Assisted Bonding或Mallory，由Wallis&P0merantz于1969年發(fā)現(xiàn)，主要用于娃和玻璃的鍵合。
[0003]靜電鍵合有許多優(yōu)點(diǎn):(I)靜電鍵合溫度低，(2)靜電鍵合氣密性好，(3)靜電鍵合機(jī)械強(qiáng)度尚，等等。
[0004]但是，在制備MEMS堿金屬原子泡時(shí)，需要先將堿金屬在與氧氣、水汽隔絕的潔凈環(huán)境中滴入帶有硅孔和玻璃片的硅片中，再蓋上玻璃片進(jìn)行靜電鍵合，現(xiàn)有的設(shè)備無(wú)法完成此操作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有制備MEMS堿金屬原子泡時(shí)存在的上述缺陷，以實(shí)現(xiàn)在與氧氣、水汽隔離的潔凈環(huán)境中對(duì)操作對(duì)象的操作和轉(zhuǎn)移，并最終完成靜電鍵合。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，一方面，本發(fā)明提供了一種靜電鍵合設(shè)備，該靜電鍵合設(shè)備包括手套箱設(shè)備和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備;靜電鍵合發(fā)生設(shè)備內(nèi)部設(shè)置有靜電鍵合室，手套箱設(shè)備內(nèi)部設(shè)置有手套箱;靜電鍵合室與手套箱之間設(shè)立連接通道，連接通道用于實(shí)現(xiàn)操作對(duì)象的內(nèi)部轉(zhuǎn)移。
[0007]優(yōu)選的，連接通道設(shè)置有機(jī)械鎖和機(jī)械門(mén)；當(dāng)操作對(duì)象轉(zhuǎn)移之前，開(kāi)啟機(jī)械鎖和機(jī)械門(mén)；當(dāng)操作對(duì)象轉(zhuǎn)移之后，關(guān)閉機(jī)械門(mén)和機(jī)械鎖。
[0008]優(yōu)選的，靜電鍵合設(shè)備還包括手套箱設(shè)備電腦控制終端和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端。
[0009]優(yōu)選的，靜電鍵合室包括第一電極、第一電極操作桿和加熱裝置;靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制第一電極操作桿對(duì)操作對(duì)象施加作用力，使第一電極操作桿與操作對(duì)象接觸;靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制加熱裝置對(duì)操作對(duì)象進(jìn)行加熱;靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制第一電極給操作對(duì)象提供電壓。
[0010]優(yōu)選的，手套箱包括:探頭、氣體輸入孔和氣體輸出孔;手套箱設(shè)備電腦控制終端控制探頭對(duì)手套箱內(nèi)的氧氣和水汽含量進(jìn)行測(cè)量;通過(guò)手套箱設(shè)備電腦控制終端控制開(kāi)啟手套箱的置換功能，直到手套箱設(shè)備電腦控制終端顯示氧氣含量低于0.3ppm、水汽含量低于1.0ppm時(shí)，停止置換功能。
[0011]優(yōu)選的，靜電鍵合設(shè)備還包括位于靜電鍵合發(fā)生設(shè)備內(nèi)部的高真空顯示器和低真空顯示器;高真空顯示器用于在靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端對(duì)靜電鍵合室進(jìn)行真空處理時(shí)，顯示靜電鍵合室內(nèi)高真空數(shù)值;低真空顯示器用于在停止真空處理后對(duì)靜電鍵合室充入氬氣時(shí)，顯示靜電鍵合室內(nèi)低真空數(shù)值。
[0012]優(yōu)選的，靜電鍵合設(shè)備還包括:大操作對(duì)象傳送通道;大操作對(duì)象傳送通道用于在手套箱設(shè)備電腦控制終端控制大操作對(duì)象傳送通道內(nèi)氣壓和手套箱設(shè)備內(nèi)氣壓平衡后，將操作對(duì)象從大操作對(duì)象傳送通道轉(zhuǎn)移到手套箱設(shè)備內(nèi)。
[0013]優(yōu)選的，靜電鍵合設(shè)備還包括支撐架;支撐架用于支撐手套箱設(shè)備和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備。
[0014]第二方面，本發(fā)明提供了一種靜電鍵合產(chǎn)生方法，該方法包括:
[0015]將操作對(duì)象放置到內(nèi)氣壓平衡的手套箱內(nèi)；通過(guò)電腦控制終端開(kāi)啟手套箱置換功能，直到氧氣含量低于0.3ppm和水汽含量低于1.0ppm時(shí)，停止置換功能;將操作對(duì)象通過(guò)連接通道轉(zhuǎn)移到靜電鍵合室;將操作對(duì)象進(jìn)行處理，產(chǎn)生靜電鍵合反應(yīng)。
[0016]優(yōu)選的，將操作對(duì)象通過(guò)連接通道轉(zhuǎn)移到靜電鍵合室之前還包括:
[0017]通過(guò)靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端對(duì)靜電鍵合室進(jìn)行抽真空處理，顯示靜電鍵合室內(nèi)高真空數(shù)值;當(dāng)高真空數(shù)值小于lE_4Pa停止真空操作;充入氬氣入靜電鍵合室，直到靜電鍵合室低真空數(shù)值為1.0E5Pa時(shí)，開(kāi)啟機(jī)械鎖和機(jī)械門(mén)，將操作對(duì)象通過(guò)連接通道轉(zhuǎn)移到靜電鍵合室，以及在操作對(duì)象轉(zhuǎn)移到靜電鍵合室后，關(guān)閉機(jī)械門(mén)和機(jī)械鎖。
[0018]優(yōu)選的，將操作對(duì)象進(jìn)行處理，產(chǎn)生靜電鍵合反應(yīng)之后還包括:
[0019]通過(guò)靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端對(duì)靜電鍵合室進(jìn)行抽真空處理，顯示靜電鍵合室內(nèi)高真空數(shù)值;當(dāng)高真空數(shù)值小于lE_4Pa停止真空操作;充入氬氣入靜電鍵合室，直到靜電鍵合室低真空數(shù)值為2.4E5Pa時(shí)，對(duì)操作對(duì)象進(jìn)行處理，產(chǎn)生靜電鍵合。
[0020]優(yōu)選的，將操作對(duì)象進(jìn)行處理，產(chǎn)生靜電鍵合反應(yīng)的步驟具體包括:
[0021]通過(guò)靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制第一電極操作桿對(duì)操作對(duì)象施加作用力，使第一電極操作桿與操作物接觸;通過(guò)靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制加熱裝置對(duì)操作對(duì)象進(jìn)行加熱，加熱的具體條件為溫度350°C，時(shí)間為3小時(shí);通過(guò)靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制第一電極給操作對(duì)象提供電壓，電壓的具體條件為負(fù)壓1000V，時(shí)間為15分鐘。
[0022]本發(fā)明的目的是保證了整個(gè)操作環(huán)境的潔凈度，保證了操作環(huán)境與氧氣、水汽隔絕，避免了厭氧、怕水汽的對(duì)象在操運(yùn)過(guò)程中接觸氧氣和水汽的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0023]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0024]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電鍵合設(shè)備的立體圖；
[0025]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電鍵合設(shè)備的主視圖；
[0026]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電鍵合設(shè)備的后視圖；
[0027]圖4為圖3中靜電鍵合發(fā)生設(shè)備的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電鍵合產(chǎn)生的方法的流程圖。
[0029]其中:
[0030]0000-手套箱設(shè)備;0001-手套箱外殼;0002-連接通道;0003-支撐桿;0004-手套；0005-手套;0006-手套;0007-手套;0008-手套箱外殼;0009-設(shè)備支撐架;0010_手套箱設(shè)備電源箱;0011-小操作對(duì)象傳送通道;0012-電源箱開(kāi)關(guān);0013-機(jī)械鎖;0014-支撐桿;0015-封閉門(mén)；0016-大操作對(duì)象傳送通道;0017-手套箱設(shè)備電腦控制終端;0018-置物臺(tái)；0019-置物臺(tái)；0020-機(jī)械鎖;0021-封閉門(mén)；0022-封閉門(mén)；0023-機(jī)械鎖;0024-支撐桿;0025-氣體輸入孔;0026-氣體輸入孔;0027-氣體輸出孔;0028-氧探頭;0029-水汽探頭；1000-靜電鍵合發(fā)生設(shè)備；1001-顯示器；1002-電腦控制終端機(jī)箱；1003-高真空顯示器；1004-低真空顯示器；1005-顯示器；1006-支撐桿；1007靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端；1008-靜電鍵合室外殼；1009-靜電鍵合室門(mén)；1010-靜電鍵合室門(mén)把手；1011-機(jī)械鎖；1012-靜電鍵合室觀察窗；1013-電源箱；1014-操控桿;1015-第一電極；1016-第二電極；1017-加熱裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0031]下面通過(guò)附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0032]本發(fā)明的靜電鍵合設(shè)備不僅可以完成對(duì)操作對(duì)象的靜電鍵合操作，還可以為操作對(duì)象提供與氧氣、水汽隔離的潔凈操作環(huán)境。
[0033]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電鍵合設(shè)備的立體圖。如圖1所示，靜電鍵合設(shè)備主要包括靜電鍵合發(fā)生設(shè)備1000、手套箱設(shè)備0000、手套箱與靜電鍵合室的連接通道
0002、設(shè)備支撐架0009。
[0034]靜電鍵合發(fā)生設(shè)備1000用于完成操作對(duì)象的靜電鍵合。手套箱設(shè)備0000用于為操作對(duì)象提供氧氣、水汽可控的潔凈環(huán)境。手套箱與靜電鍵合室的連接通道0002的一側(cè)連接靜電鍵合設(shè)備的靜電鍵合室，另一側(cè)連接手套箱的手套箱殼，用于將兩套設(shè)備連接在一起并實(shí)現(xiàn)操作對(duì)象的內(nèi)部轉(zhuǎn)移。設(shè)備支撐架0009用于支撐靜電鍵合設(shè)備的靜電鍵合室和手套箱的手套箱。
[0035]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電設(shè)備的主視圖。如圖2(a)所示，靜電鍵合設(shè)備上部包括:
[0036]設(shè)置在手套箱設(shè)備0000內(nèi)部的手套，分別為手套0004、0005、0006和0007，手套的數(shù)量具體根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景而定;設(shè)置在手套箱設(shè)備0000內(nèi)部的手套箱電源箱0010，在手套箱電源箱0010上設(shè)置有手套箱電源開(kāi)關(guān)0012;設(shè)置在手套箱設(shè)備0000內(nèi)壁上的置物臺(tái)0018和0019;以及設(shè)置在手套箱設(shè)備0000的有氧探頭0028和水汽探頭0029，用于給堿金屬提供無(wú)氧無(wú)水的環(huán)境，在內(nèi)部環(huán)境的氧氣和水汽的含量達(dá)到要求時(shí)，再開(kāi)始對(duì)堿金屬的操作。
[0037]在手套上部的殼體為不透明的手套箱外殼0001，和手套下部的殼體為透明的手套箱外殼0008。
[0038]設(shè)置在手套箱設(shè)備0000外部的小操作對(duì)象傳送通道0011和大操作對(duì)象傳送通道0016;在大操作對(duì)象傳送通道設(shè)置有封閉門(mén)0015，以及在封閉門(mén)0015設(shè)置有機(jī)械鎖0013和起支撐作用的支撐桿0014。
[0039]大操作對(duì)象傳送通道0016用于在手套箱設(shè)備電腦控制終端0017控制大操作對(duì)象傳送通道0016內(nèi)氣壓和手套箱設(shè)備0000內(nèi)氣壓平衡后，將操作對(duì)象從大操作對(duì)象傳送通道0016轉(zhuǎn)移到手套箱設(shè)備0000內(nèi)。
[0040]設(shè)置在手套箱設(shè)備0000外部的靜電鍵合設(shè)備的電腦控制終端支撐桿1006、靜電鍵合設(shè)備的電腦控制終端1007和手套箱設(shè)備電腦控制終端0017。
[0041]連接通道0002，連接在靜電鍵合發(fā)生設(shè)備1000和手套箱設(shè)備0000之間，連接通道0002設(shè)置有機(jī)械鎖0020和封閉門(mén)0021，便于在開(kāi)始操作時(shí)，將靜電鍵合室和手套箱之間隔離。當(dāng)操作對(duì)象轉(zhuǎn)移之前，開(kāi)啟機(jī)械鎖0020和機(jī)械門(mén)0021;當(dāng)操作對(duì)象轉(zhuǎn)移之后，關(guān)閉機(jī)械門(mén)0021和機(jī)械鎖0020。使得操作過(guò)程中，手套箱和靜電鍵合室其中一個(gè)在反應(yīng)時(shí)，另一個(gè)不受到影響。靜電鍵合設(shè)備下部包括:
[0042]顯示靜電鍵合電流和靜電鍵合電壓的顯示器1001、顯示高真空的顯示器1003、顯示低真空的顯示器1004、顯示高分子栗轉(zhuǎn)速的顯示器1005、手套箱電源箱0010、手套箱電源開(kāi)關(guān)0012和設(shè)備支撐架0009。
[0043]如圖2(b)所示，靜電鍵合設(shè)備上部還包括:
[0044]設(shè)置在手套箱設(shè)備0000內(nèi)部的大操作對(duì)象傳送通道封閉門(mén)0022，以及在封閉門(mén)0022上設(shè)置有機(jī)械鎖0023;支撐桿0024用于支撐封閉門(mén)0022。
[0045]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電鍵合設(shè)備的后視圖。如圖3所示，靜電鍵合設(shè)備上部分包括:
[0046]設(shè)置在手套箱設(shè)備的外殼上的氣體的傳輸孔，傳輸孔包括:手套箱惰性氣體輸入孔0025、手套箱惰性氣體輸入孔0026和手套箱氣體輸出孔0027。
[0047]設(shè)置在靜電鍵合發(fā)生設(shè)備的外部的外殼1008、室門(mén)1009，以及設(shè)置在室門(mén)1009上的把手11、機(jī)械鎖1011和用于觀察靜電鍵合發(fā)生設(shè)備內(nèi)部的觀察窗1012。
[0048]靜電鍵合設(shè)備下部分包括:
[0049 ]給靜電鍵合發(fā)生設(shè)備提供電源的電源箱1013。
[0050]圖4為圖3中靜電鍵合發(fā)生設(shè)備的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，靜電鍵合發(fā)生設(shè)備1000內(nèi)部設(shè)置有:
[0051]第一電極1015，及設(shè)置在第一電極1015上部的操作桿1014，以及第二電極1016。
[0052]在產(chǎn)生靜電鍵合的過(guò)程中，第一電極操作桿1014是由靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端1007控制，使得第一電極1015與第二玻璃片緊密接觸。
[0053]在產(chǎn)生靜電鍵合的過(guò)程中，對(duì)第一電極1015和第二電極1016進(jìn)行加熱處理的加熱裝置1017，該加熱裝置1017是由靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端1007控制。
[0054]在產(chǎn)生靜電鍵合的過(guò)程中，第一電極1015是由靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端1007控制，給第一電極1015提供電壓。
[0055]設(shè)置在靜電鍵合發(fā)生設(shè)備1000的內(nèi)壁，且與操作桿1014、第一電極1015、第二電極1016和加熱裝置1017對(duì)立設(shè)置的連接通道0002。
[0056]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種靜電鍵合產(chǎn)生的方法的流程圖。如圖5所示，靜電鍵合產(chǎn)生的方法包括:
[0057]S01)，打開(kāi)手套箱設(shè)備電源箱0010的電源箱開(kāi)關(guān)0012，手套箱設(shè)備電腦控制終端0017會(huì)顯示手套箱設(shè)備1000內(nèi)氧氣含量和水汽含量，氧氣含量通過(guò)氧氣探頭0028測(cè)量，水汽含量通過(guò)水汽探頭0029測(cè)量。
[0058]S02)，打開(kāi)在手套箱設(shè)備外的大操作對(duì)象傳送通道封閉門(mén)的機(jī)械鎖0013，和封閉門(mén)0015，將玻璃封裝的堿金屬、帶有硅孔和玻璃片的硅片、玻璃片、移液器放入大操作對(duì)象傳送通道0016中，關(guān)閉封閉門(mén)0015，擰緊在手機(jī)械鎖0013。
[0059]S03)，利用手套箱設(shè)備電腦控制終端0017控制手套箱設(shè)備0000內(nèi)氣壓與大操作對(duì)象傳送通道0016內(nèi)氣壓平衡。
[0060]S04)，打開(kāi)在手套箱設(shè)備內(nèi)大操作對(duì)象傳送通道封閉門(mén)的機(jī)械鎖0023，和封閉門(mén)0022，將大操作對(duì)象傳送通道0016內(nèi)的玻璃封裝的堿金屬、帶有硅孔和玻璃片的硅片、玻璃片、移液器轉(zhuǎn)移到手套箱設(shè)備0000內(nèi)，關(guān)閉封閉門(mén)0022，擰緊機(jī)械鎖0023。
[0061]S05)，通過(guò)手套箱設(shè)備電腦控制終端0017開(kāi)啟手套箱置換功能，手套箱內(nèi)的氣體通過(guò)手套箱內(nèi)氣體輸出孔0027排出手套箱外，氬氣通過(guò)手套箱惰性氣體輸入孔0025或0026進(jìn)入手套箱設(shè)備0000，直至手套箱設(shè)備電腦控制終端0017顯示氧氣含量低于0.3ppm、水汽含量低于1.0ppm停止手套箱置換功能。
[0062]S06)，打開(kāi)玻璃封裝的堿金屬，將移液器的移液量調(diào)整為0.0luL，使用移液器將堿金屬滴入帶有硅孔和玻璃片的硅片中，蓋上另一片玻璃片。
[0063]S07)，開(kāi)啟靜電鍵合設(shè)備的電腦控制終端機(jī)箱1002開(kāi)關(guān)，通過(guò)靜電鍵合電腦控制終端1007對(duì)靜電鍵合室抽真空，靜電鍵合室內(nèi)的真空度通過(guò)低真空顯不器1004和尚真空顯示器1003顯示，直至高真空顯示器數(shù)值小于lE-4Pa停止抽真空操作，再充入靜電鍵合室氬氣到低真空顯示1.0E5Pa。
[0064]S08)，打開(kāi)連接通道0002的封閉門(mén)0021上的機(jī)械鎖0020，打開(kāi)封閉門(mén)0021，將手套箱設(shè)備0000內(nèi)的操作結(jié)果轉(zhuǎn)移到靜電鍵合室內(nèi)，放在第二電極1016上，硅片在下，第二片玻璃片在上，關(guān)閉連接通道封閉門(mén)0021，擰緊機(jī)械鎖0020。
[0065]S09)，通過(guò)靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端1007對(duì)靜電鍵合室抽真空，直至高真空顯示器數(shù)值小于lE-4Pa停止抽真空操作，再充入靜電鍵合室氬氣到低真空顯示2.4E4Pa。
[0066]S10)，利用靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端1007控制上電極操控桿1014，并施加60N的壓力，使第一電極1015緊密接觸第二片玻璃片。
[0067]SI I)，利用靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端1007控制加熱裝置1017，設(shè)定加熱溫度為350°C，保持加熱時(shí)間為3小時(shí)。
[0068]S12)，利用靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端1007向第一電極1015施加負(fù)壓1000V，保持時(shí)間15分鐘。
[0069]S13)，利用靜電鍵合發(fā)生設(shè)備的電腦控制終端1007停止加熱、撤銷(xiāo)第一電極1015上的電壓和壓力，使第一電極1015尚開(kāi)玻璃片。
[0070]SI 4 )，打開(kāi)靜電鍵合室門(mén)的機(jī)械鎖1011，使用靜電鍵合室門(mén)把手11打開(kāi)靜電鍵合室門(mén)1009，取出完成靜電鍵合的對(duì)象。
[0071]S15)，使用靜電鍵合室門(mén)把手1010關(guān)閉靜電鍵合室門(mén)1009，擰緊靜電鍵合室門(mén)1009。完成整個(gè)工藝流程。
[0072]本發(fā)明的目的是保證了整個(gè)操作環(huán)境的潔凈度，保證了操作環(huán)境與氧氣、水汽隔絕，避免了厭氧、怕水汽的對(duì)象在操運(yùn)過(guò)程中接觸氧氣和水汽的問(wèn)題。
[0073]以上所述的【具體實(shí)施方式】，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】而已，并不用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種靜電鍵合設(shè)備，包括手套箱設(shè)備(OOOO)和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000);其特征在于，所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)內(nèi)部設(shè)置有靜電鍵合室，所述手套箱設(shè)備(0000)內(nèi)部設(shè)置有手套箱；所述靜電鍵合室與所述手套箱之間設(shè)立連接通道(0002)，所述連接通道(0002)用于實(shí)現(xiàn)操作對(duì)象的內(nèi)部轉(zhuǎn)移。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述連接通道(0002)設(shè)置有機(jī)械鎖(0020)和機(jī)械門(mén)(0021); 當(dāng)所述操作對(duì)象轉(zhuǎn)移之前，開(kāi)啟所述機(jī)械鎖(0020)和所述機(jī)械門(mén)(0021); 當(dāng)所述操作對(duì)象轉(zhuǎn)移之后，關(guān)閉所述機(jī)械門(mén)(0021)和所述機(jī)械鎖(0020)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，還包括手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)和靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述靜電鍵合室包括第一電極(1015)、第一電極操作桿(1014)和加熱裝置(1017); 所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)控制所述第一電極操作桿(1014)對(duì)所述操作對(duì)象施加作用力，使所述第一電極操作桿與所述操作對(duì)象接觸； 所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)控制所述加熱裝置(1017)對(duì)所述操作對(duì)象進(jìn)行加熱； 所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端(1007)控制所述第一電極(1015)給所述操作對(duì)象提供電壓。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述手套箱包括:探頭、氣體輸入孔和氣體輸出孔； 所述手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)控制所述探頭對(duì)所述手套箱內(nèi)的氧氣和水汽含量進(jìn)行測(cè)量； 通過(guò)所述手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)控制開(kāi)啟所述手套箱的置換功能，直到所述手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)顯示所述氧氣含量低于0.3ppm、水汽含量低于I.0ppm時(shí)，停止所述置換功能。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，還包括位于所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000)內(nèi)部的高真空顯示器(1003)和低真空顯示器(1004); 所述高真空顯示器(1003)用于在所述電腦控制終端(1007)對(duì)所述靜電鍵合室進(jìn)行真空處理時(shí)，顯示所述靜電鍵合室內(nèi)高真空數(shù)值； 所述低真空顯示器(1004)用于在停止所述真空處理后對(duì)所述靜電鍵合室充入氬氣時(shí)，顯示所述靜電鍵合室內(nèi)低真空數(shù)值。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，還包括:大操作對(duì)象傳送通道(0016); 所述大操作對(duì)象傳送通道(0016)用于在手套箱設(shè)備電腦控制終端(0017)控制所述大操作對(duì)象傳送通道(0016)內(nèi)氣壓和所述手套箱設(shè)備(0000)內(nèi)氣壓平衡后，將所述操作對(duì)象從所述大操作對(duì)象傳送通道(0016)轉(zhuǎn)移到所述手套箱設(shè)備(0000)內(nèi)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，還包括支撐架;所述支撐架用于支撐所述手套箱設(shè)備(0000)和所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備(1000) ο9.一種靜電鍵合產(chǎn)生的方法，用于如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的靜電鍵合設(shè)備中，其特征在于，包括: 將操作對(duì)象放置到內(nèi)氣壓平衡的手套箱內(nèi)； 通過(guò)電腦控制終端(0017)開(kāi)啟所述手套箱置換功能，直到氧氣含量低于0.3ppm和水汽含量低于1.0ppm時(shí)，停止所述置換功能； 將所述操作對(duì)象通過(guò)連接通道轉(zhuǎn)移到所述靜電鍵合室； 將所述操作對(duì)象進(jìn)行處理，產(chǎn)生靜電鍵合反應(yīng)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述將所述操作對(duì)象進(jìn)行處理，產(chǎn)生靜電鍵合反應(yīng)的步驟具體包括: 通過(guò)所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制所述第一電極操作桿對(duì)所述操作對(duì)象施加作用力，使所述第一電極操作桿與所述操作物接觸； 通過(guò)所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制所述加熱裝置對(duì)所述操作對(duì)象進(jìn)行加熱，所述加熱的具體條件為溫度350°C，時(shí)間為3小時(shí)； 通過(guò)所述靜電鍵合發(fā)生設(shè)備電腦控制終端控制所述第一電極給所述操作對(duì)象提供電壓，所述電壓的具體條件為負(fù)壓1000V，時(shí)間為15分鐘。
【文檔編號(hào)】B81C3/00GK106082117SQ201610597631
【公開(kāi)日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年7月26日 公開(kāi)號(hào)201610597631.5, CN 106082117 A, CN 106082117A, CN 201610597631, CN-A-106082117, CN106082117 A, CN106082117A, CN201610597631, CN201610597631.5
【發(fā)明人】湯亮, 張忠山, 季磊, 支萌輝, 齊敏, 孫泉, 喬?hào)|海, 張倩
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所